JPH06147873A - 変位検出器のノイズ除去装置 - Google Patents

変位検出器のノイズ除去装置

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JPH06147873A
JPH06147873A JP32494492A JP32494492A JPH06147873A JP H06147873 A JPH06147873 A JP H06147873A JP 32494492 A JP32494492 A JP 32494492A JP 32494492 A JP32494492 A JP 32494492A JP H06147873 A JPH06147873 A JP H06147873A
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JP
Japan
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signal
noise
permanent magnet
elastic wave
circuit
Prior art date
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Pending
Application number
JP32494492A
Other languages
English (en)
Inventor
Kozo Kyoizumi
宏三 京和泉
Takeshige Kajima
壮茂 梶間
Kiyoaki Shudo
清昭 周藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SAN TESUTO KK
Original Assignee
SAN TESUTO KK
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Publication date
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  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ノイズの到達時刻に関係なくノイズを効果的に
除去できる変位検出器のノイズ除去装置を提供するこ
と。 【構成】磁歪線の軸線方向に周期的な電流パルスを流す
ことにより、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接
する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線の特
定部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計
測することにより、永久磁石に与えられる機械的変位を
検出する。受信器で受信された各周期における受信信号
のうち最初に到達する信号のみを検出し、前後の周期の
2つの信号の伝播時間差を予め定めた設定値と比較し、
この差が設定値より大きい時、後の信号を除去する。そ
のため、最終的な出力には本来必要な超音波信号の伝播
時間に比例した信号のみが得られ、ノイズが効果的に除
去される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁歪現象を用いて物体の
機械的変位や液面の変位などを検出する磁歪式の変位検
出器のノイズ除去装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、磁歪式変位検出装置として、本出
願人は磁歪線に周期的な電流パルスを流すことにより、
磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の近接する磁歪線の
部位で捩り弾性波(超音波)を発生させ、磁歪線の特定
部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間を計測
することにより、永久磁石に与えられる機械的変位を検
出するものを提案した(特開昭61−112923号公
報,特開昭63−217224号公報) 。
【0003】この種の変位検出器の場合、受信器で本来
必要な捩り弾性波だけなく種々のノイズが受信されるの
を避けることができない。しかも、このようなノイズは
捩り弾性波と同等な周波数帯にあるため、両者を区別す
るのが難しい。このような問題に対処するため、特開昭
62−14596号公報に開示されるノイズ除去装置が
提案されている。このノイズ除去装置は、スタートパル
スから所定期間において禁止信号を発生し、ノイズの受
信を禁止するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このノイズ
除去装置の場合、ノイズが禁止時間内にあればその受信
が防止されるが、禁止時間外であればノイズが除去され
ず、ノイズの到達を捩り弾性波の到達として誤検出する
恐れがある。その結果、ノイズの到達から捩り弾性波信
号の到達までの時間に相当する出力変動を生じることに
なる。そこで、本発明の目的は、ノイズの到達時刻に関
係なくノイズを効果的に除去できる変位検出器のノイズ
除去装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、磁歪線の軸線方向に周期的な電流パルス
を流すことにより、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石
の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪
線の特定部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時
間を計測することにより、永久磁石に与えられる機械的
変位を検出する変位検出器において、上記受信器で受信
された受信信号のうち、各電流パルスの供給後に最初に
到達する信号のみを検出する到達信号検出手段と、電流
パルスの供給から上記到達信号検出手段によって到達信
号を検出するまでの時間に比例した信号を出力する比例
信号出力手段と、比例信号出力手段から出力された前後
の2つの信号のレベル差を予め定めた設定値と比較する
レベル差比較手段と、上記レベル差比較手段により比較
されたレベル差が設定値より大きい時、後の信号を除去
する信号除去手段と、を備えたものである。
【0006】
【作用】磁歪線の軸線方向に電流パルスを周期的に流す
と、永久磁石の近接する磁歪線の部位で捩り弾性波が発
生し、この弾性波は受信器で受信される。この時、受信
器には捩り弾性波以外のノイズも受信されることがあ
る。ノイズが捩り弾性波より先に受信器に到達すると、
その周期ではノイズだけが到達信号検出手段で検出され
る。一方、他の周期では捩り弾性波が到達信号検出手段
で検出される。これら信号は共に比例信号出力手段で受
信器に到達するまでの時間に比例した信号に変換され
る。比例信号出力手段から出力された信号のうち、前後
の隣合う周期の2つの信号のレベル差がレベル差比較手
段によって設定値と比較される。この設定値は、永久磁
石の正常な移動速度の最大値を基準にして設定される。
前の信号レベルが後の信号レベルより設定値以上大きい
時、つまり隣合う2つの周期の間に永久磁石が予め設定
された速度より速く受信器に近づいたと認識された場
合、信号除去手段は後の信号がノイズによる信号である
と判断し、後の信号を除去する。そのため、捩り弾性波
による信号のみが出力され、永久磁石の位置を正確に検
出できる。このように本発明のノイズ除去装置は、従来
のように所定の期間だけノイズの受信を禁止するのでは
なく、ノイズによる信号も受信し、これを正しい信号
(捩り弾性波による信号)の到達時間と比較し、その違
いを判断して正しい信号のみを出力するものである。
【0007】
【実施例】図1は本発明にかかる変位検出器の一例の回
路図、図2はその各部の信号波形図である。1はNiな
どの磁歪線、2は磁歪線1に沿って移動可能な円筒形状
の永久磁石であり、この永久磁石2にはその両端面にN
極,S極が着磁されている。なお、永久磁石2の着磁方
向は半径方向であってもよい。磁歪線1の始端にはパル
ス発生回路3から電流パルスBが印加されており、磁歪
線1の終端は接地されている。パルス発生回路3は矩形
波発生回路4から入力された矩形波信号Aに基づいて、
その立ち上がり時に同期した短い幅の電流パルスBを発
生する。磁歪線1の始端近傍には受信器5が設けられ、
磁歪線1を伝播する信号を受信する。受信器5として
は、触子を磁歪線1に対して交差して接触させ、磁歪線
1を伝播する捩り弾性波を触子の軸方向力に変換し、触
子の端部に取り付けた圧電素子等の検出部で捩り弾性波
の到来を検出するものや、逆磁歪効果(Villari effect)
を利用して磁歪線1を伝播した捩り弾性波の到来を非接
触で検出するコイル等がある。
【0008】受信器5で受信した電圧信号Dは波形成形
回路6で一定電圧d1 と比較され、一定電圧d1 を越え
るものがパルス信号Eに成形される。この時、受信信号
D中には超音波(捩り弾性波)信号Uの他に、電流パル
スBにより誘導されたノイズSや外部から侵入したノイ
ズTも含まれ、これら信号U,S,Tは波形成形回路6
で同様に成形される。
【0009】矩形波発生回路4から出力される矩形波信
号Aは、パルス発生回路3の他に、マスキング回路7と
サンプルホールドパルス発生回路8と三角波発生回路9
にも入力される。マスキング回路7は、電流パルスBに
よって誘導されたノイズSを受信信号Dから除去するた
めのマスキング信号Cを出力するものであり、この信号
Cは電流パルスBの発生から一定時間だけLレベルとな
る。波形成形回路6でパルス状に形成された受信信号E
はマスキング信号Cとともに第1AND回路10に入力
される。上記のようにマスキング信号Cは電流パルスB
の発生から一定時間だけLレベルとなるので、その期間
に存在するノイズSは除去され、第1AND回路10の
出力信号Fには超音波信号UとノイズTとが含まれるこ
とになる。
【0010】サンプルホールドパルス発生回路8には第
1AND回路10の出力信号Fと矩形波発生回路4の矩
形波信号Aとが入力される。この回路8の内部では、出
力信号Fのうち一周期の中で最初に到達する信号によっ
てHレベルとなり、矩形波信号Aの立ち下がりと同時に
Lレベルとなる矩形波信号Gが生成される。そして、こ
の回路8からは信号Gの立ち上がりに同期したサンプル
ホールドパルス信号Hが出力される。
【0011】三角波発生回路9は、矩形波信号Aの立ち
上がりに同期して一定の勾配で上昇し、矩形波信号Aの
立ち上がりと同時にリセットされる三角波状電圧Iを発
生する。この三角波状電圧Iとサンプルホールドパルス
信号Hとが第1サンプルホールド回路11に入力され
る。第1サンプルホールド回路11は、サンプルホール
ドパルス信号Hの入力によって三角波状電圧Iをサンプ
ルホールドした信号Jを出力する。図2の例では、第1
周期の出力Jは超音波信号Uによって電圧V1 でサンプ
ルホールドされ、第2周期ではノイズTによって電圧V
2 まで下がり、第3周期では超音波信号Uによって再び
電圧V1 へ復帰している。これら電圧V1,V2 は、各
周期において最初に受信器5に到達した信号の伝播時間
に比例している。
【0012】第1サンプルホールド回路11の出力J
と、後述する第2サンプルホールド回路12の出力Nと
が電圧比較回路13に入力される。電圧比較回路13は
出力JとNとを比較し、出力Jの電圧レベルが出力Nよ
り設定値以上低い時にはLレベル信号を出力Lし、それ
以外の時にはHレベル信号を出力Lする。図2の例で
は、第2周期に存在するノイズTの到来によって出力J
がV1 からV2 に急激に下がるので、この瞬間に電圧比
較回路13の出力LはHレベルからLレベルへ変化し、
第3周期の超音波信号Uの到来によって再びHレベルへ
変化する。
【0013】一方、サンプルホールドパルス信号Hはパ
ルスディレイ回路14にも入力され、パルス信号Hより
微小時間t1 だけ遅延したパルス信号Kを出力する。こ
のパルス信号Kには、超音波信号U’とノイズT’とが
含まれる。上記電圧比較回路13の出力Lとパルスディ
レイ回路14の出力Kは第2AND回路15に入力され
る。このAND回路15は、入力信号が共にHレベルの
時のみ出力信号Mを出力するものであり、図2の例では
第1周期と第3周期の超音波信号U’のみが出力され
る。
【0014】最後に、第1サンプルホールド回路11の
出力Jと第2AND回路15の出力Mとが第2サンプル
ホールド回路12に入力される。第2サンプルホールド
回路12では、出力Mの入力によって出力Jをサンプル
ホールドした信号Nを出力する。図2の例では、ノイズ
T’が存在する第2周期には第2AND回路15から信
号Mが出力されないため、ノイズT’は除去され、超音
波信号U’の伝播時間に応じた電圧信号V1 のみが第2
サンプルホールド回路12から出力されることになる。
第2サンプルホールド回路12の出力Nは上述のように
電圧比較回路13に帰還される。
【0015】なお、永久磁石2に与えられる機械的変位
xは公知の方法で簡単に求めることができる。即ち、電
流パルスBの供給から受信器5に捩り弾性波が到達する
までの時間tを上記電圧信号V1 から演算し、この時間
tと磁歪線1の捩り弾性波の伝播速度vとから、次式に
より永久磁石2の変位xを求めることができる。 x=v・t
【0016】図2では、理解を容易にするため永久磁石
2が停止している場合を示した。実際には、永久磁石2
は移動するので、その移動による電圧V1 の正常な変化
(但し、V1 より電圧が低下する方向のみ)をノイズと
誤解しないように、設定値を決定しておく必要がある。
また、図2において、第1サンプルホールド回路11の
出力Jにはサンプルホールドの過渡現象によるノッチP
が現れる。しかし、パルスディレイ回路14によってサ
ンプルホールドパルス信号Hを遅延させ、この遅延パル
スによって第2サンプルホールド回路12を動作させる
ことにより、最終的な出力Nにはノッチのない直流信号
を得ることができる。
【0017】従来の場合(特開昭62−14596号公
報)には、永久磁石の位置に関係する直流パルス列を作
り出し、これを平均化してDC(直流)出力を得てい
る。そのため、永久磁石の位置に比例した正確な直流パ
ルス列を作り出すため、正確な間隔で電流パルスを出す
必要があり、そのため水晶発振器等による効果な時計が
必要となる。さらに、直流パルス列を平均化することに
よって直流信号を得る関係上、平滑化のために十分大き
なフィルタが必要となり、応答性が悪くなる欠点があ
る。これに対し、上記実施例の場合には、永久磁石の位
置に比例する正確な直流パルス列を作り出す必要がない
ので、安価な発振器で足りるとともに、サンプルホール
ド方式によって直流信号を得るようにしているので、応
答性が良いという利点がある。
【0018】上記実施例は本発明の一例に過ぎず、本発
明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。上記実施
例では磁歪線として中実線を用い、この磁歪線に電流パ
ルスを直接供給する例を示したが、特開昭59−162
412号公報に記載のように、磁歪線をチューブ状と
し、この磁歪線の中央に電流パルスを流すための導線を
挿通した構成としてもよい。本発明で用いられる永久磁
石は実施例のような円環形状に限らず、直方体形、U字
形など如何なる形状でもよく、その磁界の方向も限定さ
れない。
【0019】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、受信器で受信された各周期における受信信号の
うち最初に到達する信号のみを検出し、前後の周期の2
つの信号の伝播時間差を予め定めた設定値と比較し、こ
の差が設定値より大きい時、後の信号を除去するように
したので、最終的な出力には本来必要な超音波信号の伝
播時間に比例した信号のみが得られ、ノイズが効果的に
除去される。したがって、ノイズの多い環境で使用して
も永久磁石の変位を正確かつ安定して測定できるという
効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる変位検出器の一例の回路図であ
る。
【図2】図1の各部の信号波形図である。
【符号の説明】
1 磁歪線 2 永久磁石 3 パルス発生回路 8 サンプルホールドパルス発生回路 9 三角波発生回路 11 第1サンプルホールド回路 12 第2サンプルホールド回路 13 電圧比較回路 14 パルスディレイ回路 15 第2AND回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】磁歪線の軸線方向に周期的な電流パルスを
    流すことにより、磁歪線に沿って移動可能な永久磁石の
    近接する磁歪線の部位で捩り弾性波を発生させ、磁歪線
    の特定部位に設けた受信器までの捩り弾性波の伝播時間
    を計測することにより、永久磁石に与えられる機械的変
    位を検出する変位検出器において、 上記受信器で受信された受信信号のうち、各電流パルス
    の供給後に最初に到達する信号のみを検出する到達信号
    検出手段と、 電流パルスの供給から上記到達信号検出手段によって到
    達信号を検出するまでの時間に比例した信号を出力する
    比例信号出力手段と、 比例信号出力手段から出力された前後の2つの信号のレ
    ベル差を予め定めた設定値と比較するレベル差比較手段
    と、 上記レベル差比較手段により比較されたレベル差が設定
    値より大きい時、後の信号を除去する信号除去手段と、
    を備えたことを特徴とする変位検出器のノイズ除去装
    置。
JP32494492A 1992-11-09 1992-11-09 変位検出器のノイズ除去装置 Pending JPH06147873A (ja)

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