JPH06148149A

JPH06148149A - 超音波測定装置

Info

Publication number: JPH06148149A
Application number: JP92304081A
Authority: JP
Inventors: Tomio Endo; 富男遠藤; Kazumoto Abe; 千幹阿部; Mitsugi Sakai; 貢酒井
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1992-11-13
Filing date: 1992-11-13
Publication date: 1994-05-27

Abstract

(57)【要約】【目的】高速Ａ／Ｄ変換を行わなくとも内部反射信号を
除去できる超音波測定装置を提供する。【構成】音響レンズ６の受信信号を位相検波する位相検
波手段１０ａ，ｂ，１２ａ，ｂと、試料反射が無い状態
で位相検波して得られた第１の複素データを時間の関数
として記憶する記憶手段２３と、試料からの反射信号を
位相検波して得られた第２の複素データから、この第２
の複素データと時間が一致する第１の複素データを減算
する減算手段１８とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波を使用して試料
の弾性的性質を調査する超音波測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、集束させた超音波を試料に入射
させて、その試料からの反射波を受波して超音波画像を
作成し、またはＶ(z) 曲線を利用して試料の微小領域の
弾性表面波音速を測定する装置として超音波顕微鏡が知
られている。

【０００３】従来の超音波顕微鏡は、数百ＭＨz で数十
周期の電気的バースト波を発生させ、これを圧電素子で
超音波に変換する。変換した超音波を音響レンズで集束
させて試料に照射する。試料からの反射波を音響レンズ
で受け、圧電素子で電気信号に変換し、ピーク検波して
その振幅を検出する。

【０００４】以上の動作を試料を超音波の入射方向（２
方向）と垂直な面（ＸＹ面）で２次元走査することで超
音波画像を得る。また、試料の表面波音速を測定する場
合は、音響レンズをＺ方向に動かしながら、前記ピーク
検出までの動作をくり返してＶ(z) 曲線を得、これに対
してＦＦＴ解析を行って測定する。

【０００５】このような超音波顕微鏡において、圧電素
子で受信される反射信号には、試料からの反射信号の他
に音響レンズ内の反射が存在する。特に図７に示すＡの
経路とこれを多数回往復することで生じる多重反射が大
きいため、一般には、この経路を１往復した反射タイミ
ングと２回往復した反射タイミングの間に合焦させた時
の試料反射がくるように音響レンズを設計されることが
多い。

【０００６】この反射の他にも経路Ｂのようにさまざま
なタイミングで音響レンズ内の反射が圧電素子にかえっ
てくるため、試料からの反射信号と干渉して正確に検出
できない。これに対して音響レンズの内部反射を除去す
る方法が考案されている。特開昭６０−１１７１５０号
公報では、内部反射で一定レベル以上のものの振幅とタ
イミングをあらかじめ記憶させておき、これと疑似のも
のを発生させて減算することで、内部反射を除去する技
術が開示されている。また、特開平４−４０３６２号公
報では音響レンズの内部反射のみの波形をあらかじめ記
憶しておき、測定時の反射信号から減算することで、内
部反射を除去する技術が示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】以上に示した従来の超
音波顕微鏡には、次のような欠点があった。

【０００８】特開昭６０−１１７１５０号公報に示され
る技術では、不用な反射信号のタイミングと振幅のみを
記憶して除去している。しかし、試料からの反射と内部
反射が重なった場合には、波の干渉が起こるため、その
位相差によってたがいに強め合ったり弱め合ったりする
状態となるため、単純に振幅だけを減算しても不用な反
射信号の影響を除去することはできない。さらに減算す
るための、内部反射の疑似信号を形成する回路は超音波
の周波数が高くなると技術的に難しくなり、コストも高
くなるという欠点があった。

【０００９】また、特開平４−４０３６２号公報で示さ
れる技術では、内部反射の波形を記憶しておき、減算す
るために内部反射は除去することができる。しかし、内
部反射波形を記憶するためには多量の記憶領域を必要と
する。さらに、超音波の周波数が高い時には高速のＡ／
Ｄ変換をする必要がある。例えば、送信周波数が４００
ＭＨz の時に位相が５°の精度で内部反射をとるとする
と、３０ＧＨz 程度でサンプリングしてＡ／Ｄ変換する
必要があり、これを１回の送信で行うことは困難であ
る。この波形を５μｓの時間幅分記憶しておくために
は、１点が８ｂｉｔのデータであっても、１５０Ｋｂｙ
ｔｅがメモリとして必要となると共に、減算時に高速に
読み出す必要があるという欠点があった。

【００１０】本発明の超音波測定装置はこのような課題
に着目してなされたものであり、その目的とするところ
は、試料反射による受信信号を位相検波して得られる複
素データから、内部反射による受信信号を位相検波して
得られる複素データのうち、試料反射による受信信号を
位相検波して得られる複素データと同一タイミングの複
素データを減算することで、高速Ａ／Ｄ変換を行わなく
とも内部反射信号を除去できる超音波測定装置を提供す
ることにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の超音波測定装置は、高周波バースト波を
発生する高周波バースト波手段と、発生させた高周波バ
ースト波を超音波に変換すると共に、反射した超音波を
電気信号に変換する電気音響変換器と、この電気音響変
換器が取り付けられていると共に、超音波を試料に入射
させる音響レンズとを備えた超音波測定装置において、
前記音響レンズの受信信号を位相検波する位相検波手段
と、試料反射が無い状態で前記位相検波手段によって位
相検波して得られた第１の複素データを時間の関数とし
て記憶する記憶手段と、前記試料からの反射信号を前記
位相検波手段によって位相検波して得られた第２の複素
データから、この第２の複素データと時間が一致する前
記第１の複素データを減算する減算手段とを具備する。

【００１２】また、本発明の超音波測定装置は、連続波
を発生する周波数可変の発振手段と、この発振手段の発
生した基準信号の一部を切り取り高周波バースト波とす
る高周波バースト波発生手段と、発生させた高周波バー
スト波を超音波に変換すると共に、反射した超音波を電
気信号に変換する電気音響変換器と、この電気音響変換
器の出力する超音波を試料に入射させる音響レンズと、
前記発振手段の基準信号を参照波として受信信号を位相
検波する位相検波手段と、試料反射が無い状態で前記位
相検波手段によって位相検波して得られた第１の複素デ
ータを時間の関数として記憶する記憶手段と、前記試料
からの反射信号を前記位相検波手段によって位相検波し
て得られた第２の複素データから、この第２の複素デー
タと時間が一致する前記第１の複素データを減算する減
算手段とを具備する。

【００１３】

【作用】すなわち、本発明によれば、試料の超音波測定
を行なう前に音響レンズ内部の内部反射のみを位相検波
し、そのタイミングと位相検波によって得られる第１の
複素データを記憶部にあらかじめ記憶しておく。そして
試料を超音波測定する時に、試料反射信号を位相検波し
て得られる第２の複素データから、試料反射のとき得ら
れる第２の複素データと同じタイミングの第１の複素デ
ータを減算する。これにより、音響レンズ内部の反射波
と試料反射波との干渉が除去され、正確な試料反射信号
のみを検出できる。

【００１４】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００１５】図１は本発明の第１実施例の超音波測定装
置の構成を示す図である。同図において、一定の周波数
の連続波（以下基準信号と呼ぶ）を発生する送信部１に
前記基準信号の一部を切り取りバースト波とする半導体
スイッチ２の入力側が接続されている。半導体スイッチ
２の出力側端子には、信号を一つの方向にだけ流すサー
キュレータ３を介して前記バースト信号を電気音響変換
する圧電トランスデューサ４及び前置増幅器５がそれぞ
れ接続され、該出力端子の他端には終端抵抗として例え
ば５０Ωの抵抗Ｒ１が接続されている。

【００１６】前記圧電トランスデューサ４は音響レンズ
６に取りつけられており、該音響レンズ６の焦点付近に
はカプラ液体７で満たされた水槽８の中に載置された試
料９がある。前記カプラ液体７は音響レンズ６と試料９
との間に超音波を伝播させるためのものである。

【００１７】そして、前置増幅器５の出力には２つの乗
算部１０ａ、１０ｂがそれぞれ接続されている。第１の
乗算部１０ａには送信部１と基準信号が参照信号（第１
参照信号）となるように直接的に接続され、第２の乗算
部１０ｂには前記第１参照信号の位相を９０°変化させ
た信号（第２参照信号）を生成する移相部１１を介して
送信部１が接続される。

【００１８】前記２つの乗算部１０ａ、１０ｂの出力端
には、高周波成分を除去するためのローパスフィルタ
（ＬＰＦ）１２ａ、１２ｂが接続される。２つのＬＰＦ
１２ａ、１２ｂは送信部１の出力する連続波の周波数の
少なくとも２倍の周波数が除去可能な特性のものを採用
する。ローパスフィルタ１２ａ、１２ｂの出力にはＳ／
Ｈ部１３ａ、１３ｂが接続され、その出力はそれぞれＡ
／Ｄ変換部１４ａ、１４ｂでＡ／Ｄ変換される。Ｓ／Ｈ
部１３ａ、１３ｂとＡ／Ｄ変換部１４ａ、１４ｂにはタ
イミング設定部１５が接続され、Ｓ／Ｈのタイミングと
Ａ／Ｄ変換のタイミングを送信パルス選択部１６から出
力される送信パルスにより出力する。

【００１９】Ａ／Ｄ変換部１４ａ、１４ｂ、タイミング
設定部１５、送信パルス選択部１６はバス１７を介して
ＣＰＵ１８と接続されている。バス１７には超音波画像
を記憶する画像メモリ１９、超音波画像や測定結果を表
示する表示部２０、音響レンズ６と試料９の距離を変化
させると共に、その相対移動距離を測定するＺ走査部２
１、試料９の表面と平行に、２次元走査（ＸＹ面）を行
ない、その相対移動距離を出力するＸＹ走査部２２、メ
モリ２３が接続され、メモリ２３の中には内部反射測定
プログラム２４、内部反射除去プログラム２５と内部反
射データ２６を記憶する領域や、Ｖ(z) データ２７を記
憶する領域がある。次に、以上のように構成された本実
施例の動作について説明する。図２は本実施例のタイム
チャートである。

【００２０】ＣＰＵ１８は送信パルス選択部１６に、送
信トリガとしてＸＹ走査部２２の出力する位置信号パル
スかＣＰＵ１８からのトリガパルスかを選択するように
設定する。送信パルス選択部１６は送信パルスが図２
（ａ）のように入力されると、図２（ｂ）に示すように
短いパルスを送信パルスと同期して出力する。このパル
ス幅は送信部１が出力する連続波の同期の数十倍になる
ように設定されている。送信パルス選択部１６から出力
された図２（ｂ）のパルスは半導体スイッチ２に入力さ
れる。半導体スイッチ２は入力するパルスがオンのとき
は、送信部１の信号をサーキュレータ３に通し、オフの
ときは終端抵抗Ｒ１で終端する。こうして、送信バース
ト波（図２（ｃ））がサーキュレータ３に入力される。
送信バースト信号はサーキュレータ３を矢印Ｉ方向に通
ってトランスデューサ４に印加され、電気音響変換され
て超音波となり、音響レンズ６を通り、音響レンズ６の
レンズ面とカプラ液体７の界面で屈折してカプラ液体７
の中で集束して試料９に入射する。

【００２１】以上のようにして試料９に入射した超音波
は、試料９で反射して再びカプラ液体７、音響レンズ６
を伝播し、トランスデューサ４で電気信号に変換され
る。この信号を以下受信信号と呼ぶ。受信信号はサーキ
ュレータ３を矢印Ｋ方向に通って前置増幅器５で増幅さ
れ、２つの乗算部１０ａ、１０ｂに入力される。

【００２２】前記第１の乗算部１０ａでは、前記送信部
１の出力する基準信号を第１参照信号として、受信信号
と乗算を行なう。第２の乗算部１０ｂは前記基準信号を
移相部１１で９０°位相を変化させた信号を第２参照信
号として、前記受信信号と乗算を行なう。

【００２３】第１の乗算部１０ａの出力と第２の乗算部
１０ｂの出力は、それぞれＬＰＦ１２ａ、１２ｂで基準
信号の２倍の周波数が除去される。この乗算部とＬＰＦ
で位相検波が行なわれ、基準信号に対する受信信号の位
相差をφとすると、ＬＰＦ１２ａからはcos φに比例す
る強度をもった矩形波（同相成分と呼ぶ）が、ＬＰＦ１
２ｂからはsin φに比例する強度をもった矩形波（直交
成分）が出力される。受信信号には試料反射の他に、多
数の内部反射が含まれており、図２（ｄ）のようになっ
ている。すでに述べたように、特に図７で示した経路Ａ
とその多重による音響レンズ内部反射が大きいため、音
響レンズはこの反射の返ってくるタイミングの間に合焦
時の試料反射がくるように設計されている。本実施例で
は第１レンズ内部反射Ｆ₁と第２レンズ内部反射Ｆ₅の
間に試料反射がくる例をあげている。この他にもＦ₂〜
Ｆ₄で示しているように図７の経路Ｂに示すような内部
反射が存在する。その結果、ＬＰＦ１２ａと１２ｂの出
力はそれぞれ図２（ｅ）と（ｆ）のように多数の矩形波
となる。このうち、必要な反射波の複素データを得るた
めにタイミング設定部１５はＣＰＵ１８からバス１７を
介して送られる送信からの遅延時間ｔ₁に基づき図２
（ｇ）に示すＳ／Ｈタイミング信号を２つのＳ／Ｈ部１
３ａ、１３ｂに送出する。

【００２４】Ｓ／Ｈ部１３ａ、１３ｂは、タイミング設
定部１５の出力する信号がオンになるタイミングで図２
（ｅ）、（ｆ）それぞれのデータを保持する。保持され
たデータはＡ／Ｄ変換部１４ａ、１４ｂでデジタル信号
に変換され、音響レンズの内部反射測定時は内部反射デ
ータ記憶部２６へ、Ｖ(z) 測定時は後で述べる内部反射
除去を行なった後、Ｖ(z) データ記憶部２７へ、画像化
時は内部反射除去を行ない画像メモリ１９に保存され
る。次に、内部反射除去方法について説明する。

【００２５】まず、試料９と音響レンズ６との距離を焦
点距離以上の充分な距離に離して、試料９からの反射が
受信しないようにする。内部反射測定プログラム２４に
より、ＣＰＵ１８からバス１７を介して送信パルス選択
部１６から送信パルスを送出しながら、タイミング設定
部１５へ遅延時間ｔ₁を次々に変化させる信号をＣＰＵ
１８から送出して、前記複素データ測定を行なって音響
レンズの内部反射を内部反射データ記憶部２６に記憶さ
せる。

【００２６】例えば、第１内部反射Ｆ₁が送信から１．
５μｓの時間遅れで、第２内部反射Ｆ₅が３μｓの送信
からの時間遅れであり、焦点がその間にある時、一般に
Ｖ(z) 測定は第１内部反射と第２内部反射の間で行なう
ので、測定する内部反射はこの間にあるもので充分であ
る。バースト波の幅は数百ｎｓであるから、１ｎｓづつ
１．５μｓの間の音響レンズ内部反射の複素データを１
つのデータにつき８ｂｉｔで記憶するのに必要なメモリ
は、１．５Ｋｂｙｔｅである。５μｓの間、１６ｂｉｔ
で記憶しても１０Ｋｂｙｔｅで非常に少ない記憶領域で
すむことになる。

【００２７】超音波画像を得るときは、観察したい深さ
に焦点を合わせ、試料反射にＳ／Ｈタイミングｔ₁をＣ
ＰＵ１８からタイミング設定部１５に設定する。ＣＰＵ
１８によりＸＹ走査部２２で２次元走査を行ない、その
位置パルスが送信パルス選択部１６に入力されると、送
信パルス選択部１６は送信パルスを送信部１に送出す
る。そして、前述の動作により複素データがディジタル
データとしてバス１７に入力される。ＣＰＵ１８は内部
反射除去プログラム２５によって、タイミング設定部に
設定されたＳ／Ｈタイミングｔ₁と同じ遅延時間の内部
反射の複素データを内部反射データ記憶部２６から探
し、前記複素データから減算する。その結果の同相成分
をＸ、直交成分をＹとすれば、（Ｘ² ＋Ｙ² ）^1/2 で強
度が得られるので、強度を計算して画像メモリ１９に入
力する。ＸＹ走査しながらくり返せば内部反射が除去さ
れた超音波画像が得られる。

【００２８】Ｖ(z) 測定を行なう時は、内部反射測定プ
ログラム２４で内部反射の複素データを記憶した後、Ｖ
(z) 測定を開始する位置に音響レンズを移動して試料反
射がＳ／ＨされるようにＣＰＵ１８からタイミング設定
部１５に遅延時間を設定する。この値をｔ₁＝Ｔ₀とす
る。

【００２９】ＣＰＵ１８からＺ走査部２１により音響レ
ンズ６と試料９の距離を変化させ、その相対移動距離を
Ｚ走査部２１で測定してＣＰＵ１８に返す。ＣＰＵ１８
はその移動距離が一定のピッチごとに送信パルス選択部
１６に送信パルスを出すように指令する。音響レンズ６
と試料９との距離が変化すると、試料反射のタイミング
も変化する。初期位置からの音響レンズ６と試料９の相
対移動距離をΔＺとすると、試料反射のＳ／Ｈタイミン
グｔ₁は、ｔ₁＝Ｔ₀＋２ΔＺ／Ｖｗ（１）Ｖｗはカプラ液体の音速

【００３０】であり、一般にカプラ液体の音速は既知で
あるから、（１）式によりＳ／Ｈタイミングが計算可能
である。ＣＰＵ１８は（１）式でＳ／Ｈタイミングを計
算し、タイミング設定部１５に遅延時間を設定する。前
述のようにして、デジタルに変換された試料反射の複素
データから、式（１）で計算される遅延時間にあたる、
あらかじめ測定されている内部反射複素データを内部反
射データ記憶部２６から探し、内部反射除去プログラム
２５で試料反射の複素データから除去する。

【００３１】そして画像データと同様にして強度を計算
し、Ｖ(z) データ記憶部２７に記憶する。音響レンズ６
と試料９との距離を変化させて、以上の動作をくり返せ
ば内部反射が除去されたＶ(z) 曲線が得られる。記憶さ
れたＶ(z) 曲線は、ＦＦＴ等の処理でその周期を知るこ
とで表面波音速測定ができる。もちろん複素データとし
て記憶しておき、逆ＦＦＴにより、特開平３−１８２６
４５号公報に示すように反射関数を得てもよい。

【００３２】従って、本実施例によれば、音響レンズの
内部反射を複素データとしてあらかじめ測定しておき、
試料反射の複素データから減算することで、内部反射を
除去した超音波画像やＶ(z) 曲線を得ることができる。
次に、本発明の第２実施例について図面を参照して説明
する。

【００３３】図３は本発明の第２実施例の構成図であ
る。ここで図３の参照符号において、図１に示した構成
部材と同等のものには図１と同じ参照符号を付し、その
説明は省略する。

【００３４】本実施例は、第１実施例において、送信周
波数を可変としたものである。周波数可変の送信部３０
１は、バス１７を介してＣＰＵ１８と接続され、その出
力は、第１の半導体スイッチ２の入力端に接続されてい
る。第１の半導体スイッチ２の出力側の一方には、トラ
ンスデューサ４の入出力を切り換えるための第２の半導
体スイッチ３０２の入力端が接続され、その出力側は終
端抵抗として例えば５０Ωの抵抗Ｒ１が接続されてい
る。第２の半導体スイッチ３０２の出力端には前置増幅
器５が接続されている。

【００３５】次に、本実施例の作用について図４のタイ
ムチャートを参照して説明する。ＣＰＵ１８はバス１７
を介して周波数可変送信部３０１に測定する周波数を設
定する。送信パルス選択部１６は、ＣＰＵ１８またはＸ
Ｙ走査部２２から送信パルスが図４（ａ）のように入力
されると同期して第２の半導体スイッチ３０２に図２
（ｂ）のようにオンオフする切換えパルスを送信すると
共に、第１の半導体スイッチ２に図２（ｂ）より遅れて
オンになり、早くオフになる幅数百ｎｓｅｃのパルスを
送信する。第１の半導体スイッチ２は、送信パルス選択
部１６から送信される信号がオンの時に第２の半導体ス
イッチ３０２に切り替わり、周波数可変送信部の出力す
る連続波を第２の半導体スイッチ３０２に流し、オフの
時は終端抵抗Ｒ１側に切り替わる。こうして送信バース
ト波図４（ｄ）が作られる。第２の半導体スイッチ３０
２は送信パルス選択部１６から送信される信号がオンの
時は第１の半導体スイッチ２の出力側へ切り替わり送信
バースト波を圧電トランスデューサ４に流す。第１実施
例と同様にして反射された受信信号は今度は前置増幅器
５側へ切り替わっている第２の半導体スイッチ３０２を
通り前置増幅器で増幅される。以下の動作は第１実施例
と同じである。

【００３６】第１実施例において用いているサーキュレ
ータ３は、一般に周波数帯域が非常に狭く中心周波数の
２０％以下しかないため周波数可変が不可能である。そ
こで、本実施例では周波数可変とするために半導体スイ
ッチを使用している。本実施例のように周波数可変とし
た時には、広い周波数で１つの種類の音響レンズを使用
することは難しかった。一般に音響レンズにつけられた
圧電トランスデューサは、設計された周波数で最も効率
良く超音波へ変換する。音響レンズ面とカプラ液体の反
射を小さくするためにレンズ面にとりつけられている反
射防止膜も一つの周波数で最も有効であるように設計さ
れている。さらに高い周波数ほどカプラ液体中の超音波
の吸収が大きくなる。例えば、焦点距離５８０μｍ、４
００ＭＨz で設計された音響レンズを使った６００ＭＨ
z の周波数による溶融石英のＶ(z) 曲線は図５のように
ほとんど音響レンズの内部反射のために試料反射は測定
できない。本実施例による内部反射除去を行なった同じ
条件のＶ(z) 曲線は図６のように内部反射が非常に良く
除去される。

【００３７】以上のように本実施例によれば、１つの音
響レンズで広い周波数にわたって内部反射の除去された
超音波画像やＶ(z) 曲線を得ることができる。さらに、
今まで内部反射が多く、使用不可能であった音響レンズ
も使用可能となるため、音響レンズの不良率も改善され
る。

【００３８】本発明は、前述した実施例に限定されるも
のでは無い。例えば移相部は９０°基準信号を変化させ
る必要は無く何度でも良いし、基準波を一定時間遅延さ
せる遅延素子でも良い。また超音波を集束させる音響レ
ンズでなく、探傷に使用する平面波を出力する超音波探
触子でも良い。周波数を数百ＫＨz 程度に下げて位相検
波を行なうことも考えられる。他にも本発明の要旨を逸
脱しない範囲で種々の変形や応用が可能であることは勿
論である。

【００３９】

【発明の効果】以上、説明してきたように、本発明によ
れば、まず、音響レンズの内部反射信号の複素データを
記憶しておき、その後、試料反射による受信信号を位相
検波して得られる複素データから、内部反射による受信
信号を位相検波して得られる複素データのうち、試料反
射による受信信号を位相検波して得られる複素データと
同一タイミングの複素データを減算するようにしたの
で、内部反射を除去することができ、内部反射の無い超
音波画像やＶ(z) 曲線が得られると共に音響レンズの内
部反射の記憶する領域も小さくて良い。さらに、１種類
の音響レンズで広い周波数における超音波測定が可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の超音波測定装置の構成を
示す図である。

【図２】図１の構成の動作を説明するためのタイムチャ
ートである。

【図３】本発明の第２実施例の構成図である。

【図４】本発明の第２実施例の動作を説明するためのタ
イムチャートである。

【図５】溶融石英のＶ(z) 曲線を示す図である。

【図６】内部反射除去を行なった場合のＶ(z) 曲線を示
す図である。

【図７】試料からの反射以外の音響レンズ内の反射を説
明するための図である。

【符号の説明】

６…音響レンズ、１０ａ，１０ｂ，１２ａ，１２ｂ…位
相検波手段、１８…減算手段、２３…記憶手段。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】高周波バースト波を発生する高周波バー
スト波手段と、発生させた高周波バースト波を超音波に変換すると共
に、反射した超音波を電気信号に変換する電気音響変換
器と、この電気音響変換器が取り付けられていると共に、超音
波を試料に入射させる音響レンズとを備えた超音波測定
装置において、前記音響レンズの受信信号を位相検波する位相検波手段
と、試料反射が無い状態で前記位相検波手段によって位相検
波して得られた第１の複素データを時間の関数として記
憶する記憶手段と、前記試料からの反射信号を前記位相検波手段によって位
相検波して得られた第２の複素データから、この第２の
複素データと時間が一致する前記第１の複素データを減
算する減算手段と、を具備したことを特徴とする超音波測定装置。
【請求項２】前記高周波バースト波発生手段が、周波
数可変であることを特徴とする請求項１記載の超音波測
定装置。
【請求項３】連続波を発生する周波数可変の発振手段
と、この発振手段の発生した基準信号の一部を切り取り高周
波バースト波とする高周波バースト波発生手段と、発生させた高周波バースト波を超音波に変換すると共
に、反射した超音波を電気信号に変換する電気音響変換
器と、この電気音響変換器の出力する超音波を試料に入射させ
る音響レンズと、前記発振手段の基準信号を参照波として受信信号を位相
検波する位相検波手段と、試料反射が無い状態で前記位相検波手段によって位相検
波して得られた第１の複素データを時間の関数として記
憶する記憶手段と、前記試料からの反射信号を前記位相検波手段によって位
相検波して得られた第２の複素データから、この第２の
複素データと時間が一致する前記第１の複素データを減
算する減算手段と、を具備したことを特徴とする超音波測定装置。