JPH06148403A - 光学機器用部材 - Google Patents
光学機器用部材Info
- Publication number
- JPH06148403A JPH06148403A JP32467192A JP32467192A JPH06148403A JP H06148403 A JPH06148403 A JP H06148403A JP 32467192 A JP32467192 A JP 32467192A JP 32467192 A JP32467192 A JP 32467192A JP H06148403 A JPH06148403 A JP H06148403A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- black
- coating
- ticn
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高出力光に対して充分な耐熱性を有する黒色
被膜付き光学機器用部材を提供する。 【構成】 光学機器用部材表面にＴｉＣＮ膜を施す。
被膜付き光学機器用部材を提供する。 【構成】 光学機器用部材表面にＴｉＣＮ膜を施す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光の反射、散乱を防止
する膜が施された光学機器用部材に関し、特にその膜の
改善に関するものである。
する膜が施された光学機器用部材に関し、特にその膜の
改善に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光学機器において、その光路を構成する
部品の表面で光が反射、散乱した光がその支持部材、マ
スキング部材、光路をカバーする部材等でさらに反射、
散乱して光路に戻ることがあると逆光となり、目的の像
以外の像（これをゴースト像と称している）が生じた
り、目的とする像が不鮮明となる不具合が起こるので、
これら支持部材、マスキング部材、カバー部材等の表面
に光の反射、散乱を防止する黒色被膜を施すのが一般的
である。
部品の表面で光が反射、散乱した光がその支持部材、マ
スキング部材、光路をカバーする部材等でさらに反射、
散乱して光路に戻ることがあると逆光となり、目的の像
以外の像（これをゴースト像と称している）が生じた
り、目的とする像が不鮮明となる不具合が起こるので、
これら支持部材、マスキング部材、カバー部材等の表面
に光の反射、散乱を防止する黒色被膜を施すのが一般的
である。
【０００３】そのような皮膜として従来、艶消しの有機
高分子系塗料が用いられてきた。ところがこの膜は高温
環境に適さないことはもちろんであるが、用いる波長に
よっては高分子の結合が切断されて劣化するという問題
もある。
高分子系塗料が用いられてきた。ところがこの膜は高温
環境に適さないことはもちろんであるが、用いる波長に
よっては高分子の結合が切断されて劣化するという問題
もある。
【０００４】近年、有機高分子系塗料に替わる無機質の
被膜が種々試みられている。そのような被膜は例えば黒
色を有するアモルファスカーボン、黒色のアルマイト、
黒色Ｃｒめっき等である。
被膜が種々試みられている。そのような被膜は例えば黒
色を有するアモルファスカーボン、黒色のアルマイト、
黒色Ｃｒめっき等である。
【０００５】
【０００６】しかるに、上記例示の無機質被膜は何れも
高出力レーザ光に用いると光の吸収による発熱により酸
化が起こり、変色、劣化するという欠点がまだある。
高出力レーザ光に用いると光の吸収による発熱により酸
化が起こり、変色、劣化するという欠点がまだある。
【０００７】本発明の目的は高出力光に対して充分な耐
熱性を有する黒色被膜付き光学機器用部材を提供するこ
とにある。
熱性を有する黒色被膜付き光学機器用部材を提供するこ
とにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の光学機器用部材は、表面にＴｉＣＮ膜が施され
ている点に特徴がある。
本発明の光学機器用部材は、表面にＴｉＣＮ膜が施され
ている点に特徴がある。
【０００９】
【作用】ＴｉＮは金色を呈する物質として知られている
が、ＴｉＮの窒素の一部が炭素に置換したＴｉＣＮは紫
系の色を呈し、ＴｉＣＮについて炭素量が増えるに従い
紫色は濃くなり、黒色を呈するようになることから選択
された。
が、ＴｉＮの窒素の一部が炭素に置換したＴｉＣＮは紫
系の色を呈し、ＴｉＣＮについて炭素量が増えるに従い
紫色は濃くなり、黒色を呈するようになることから選択
された。
【００１０】この黒色膜は大気中にて５００℃までの加
熱試験を行っても色の変化は認められず比較的安定な被
膜と考えられる。また、この５００℃の加熱試験後の被
膜のＸ線回折測定により酸化物の相は認められなかっ
た。この耐熱性はレーザ光使用の光学機器にとって極め
て好ましい。
熱試験を行っても色の変化は認められず比較的安定な被
膜と考えられる。また、この５００℃の加熱試験後の被
膜のＸ線回折測定により酸化物の相は認められなかっ
た。この耐熱性はレーザ光使用の光学機器にとって極め
て好ましい。
【００１１】このような黒色のＴｉＣＮ膜の形成はイオ
ンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法など
の公知の方法を用いて成膜しても良いが、強固な付着力
の被膜が作製可能なイオンプレーティング法が特に望ま
しい。
ンプレーティング法、ＣＶＤ法、スパッタリング法など
の公知の方法を用いて成膜しても良いが、強固な付着力
の被膜が作製可能なイオンプレーティング法が特に望ま
しい。
【００１２】イオンプレーティング法によるＴｉＣＮ膜
の製法としては、例えば真空アーク放電型イオンプレー
ティング装置を用い、Ｔｉ金属をターゲットとし、反応
ガスとしてメタン、エチレン及びアセチレンのうち一種
類またはこれらの混合ガスと窒素ガスとの混合ガスを原
料とし、これらの混合ガスを流量比（ＣＨ4 またはＣ2
Ｈ4 またはＣ2 Ｈ2 またはこれらの混合ガス）／Ｎ2 ＝
０．２〜０．７で、反応槽に導入し、反応ガス圧を１×
１０-3から１×１０-1Ｔｏｒｒとし、被処理物に０〜−
２０Ｖのバイアス電圧を印加し、０．０５〜１０μｍ製
膜する方法が適用できる。
の製法としては、例えば真空アーク放電型イオンプレー
ティング装置を用い、Ｔｉ金属をターゲットとし、反応
ガスとしてメタン、エチレン及びアセチレンのうち一種
類またはこれらの混合ガスと窒素ガスとの混合ガスを原
料とし、これらの混合ガスを流量比（ＣＨ4 またはＣ2
Ｈ4 またはＣ2 Ｈ2 またはこれらの混合ガス）／Ｎ2 ＝
０．２〜０．７で、反応槽に導入し、反応ガス圧を１×
１０-3から１×１０-1Ｔｏｒｒとし、被処理物に０〜−
２０Ｖのバイアス電圧を印加し、０．０５〜１０μｍ製
膜する方法が適用できる。
【００１３】
【実施例】実施例…エキシマレーザの光学系で使用され
るＳＫＳ３１−Ｐ製のマスキングブレードの表面に、真
空アーク放電式にてＴｉＣＮ被膜を形成させた。被膜の
形成は、Ｔｉを蒸発源とし、反応ガスとして窒素ガスと
エチレンを用い、Ｎ2 ：Ｃ2 Ｈ2 ＝５：１の流量比で、
圧力が３０×１０-3Ｔｏｒｒとなるように全流量を調節
した。蒸発源のＴｉターゲットには７０Ａのアーク放電
電力を流し、基材のマスキングブレードに印加するバイ
アス電圧はＯＶとした。この条件にて、ＴｉＣＮの被覆
を１時間行い、３μｍの膜厚の黒色被膜を得た。この被
膜の組成分析では、原子比でＴｉ＝５０％、Ｃ＝１２
％、Ｎ＝３８％であった。ＴｉＣＮ被覆マスキングブレ
ードの、エキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）でのＯ次
の散乱光の反射率を測定したところ、５％となった。
るＳＫＳ３１−Ｐ製のマスキングブレードの表面に、真
空アーク放電式にてＴｉＣＮ被膜を形成させた。被膜の
形成は、Ｔｉを蒸発源とし、反応ガスとして窒素ガスと
エチレンを用い、Ｎ2 ：Ｃ2 Ｈ2 ＝５：１の流量比で、
圧力が３０×１０-3Ｔｏｒｒとなるように全流量を調節
した。蒸発源のＴｉターゲットには７０Ａのアーク放電
電力を流し、基材のマスキングブレードに印加するバイ
アス電圧はＯＶとした。この条件にて、ＴｉＣＮの被覆
を１時間行い、３μｍの膜厚の黒色被膜を得た。この被
膜の組成分析では、原子比でＴｉ＝５０％、Ｃ＝１２
％、Ｎ＝３８％であった。ＴｉＣＮ被覆マスキングブレ
ードの、エキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）でのＯ次
の散乱光の反射率を測定したところ、５％となった。
【００１４】この、マスキングブレードをエキシマレー
ザ光を使用したレジストパターン焼付装置に組み込み、
２４時間使用した。この時のマスキングブレードに照射
される紫外線エネルギー密度は、１５ｍＪ／ｃｍ2 とな
る。
ザ光を使用したレジストパターン焼付装置に組み込み、
２４時間使用した。この時のマスキングブレードに照射
される紫外線エネルギー密度は、１５ｍＪ／ｃｍ2 とな
る。
【００１５】使用後の反射率を再度測定したところ、使
用前と同じ５％となり、熱による変質の殆ど無いことが
示された。
用前と同じ５％となり、熱による変質の殆ど無いことが
示された。
【００１６】比較例…実施例と同じマスキングブレード
に黒色Ｃｒめっきを施して、２４８ｎｍでのＯ次の散乱
光の反射率を測定したところ０．１％となった。
に黒色Ｃｒめっきを施して、２４８ｎｍでのＯ次の散乱
光の反射率を測定したところ０．１％となった。
【００１７】この、マスキングブレードを実施例で用い
たエキシマレーザ光を使用したレジストパターン焼付装
置に組み込み、２４時間、使用した。使用後のマスキン
グブレードの表面被膜は変色し、一部剥離が発生してい
た。
たエキシマレーザ光を使用したレジストパターン焼付装
置に組み込み、２４時間、使用した。使用後のマスキン
グブレードの表面被膜は変色し、一部剥離が発生してい
た。
【００１８】
【発明の効果】本発明によるＴｉＣＮ膜付き光学機器用
部材を使用すると、エキシマレーザなどの高出力レーザ
を使用する光学系でも、被膜の変質が進行せず、長時間
にわたって光の散乱防止の効果が得られる。
部材を使用すると、エキシマレーザなどの高出力レーザ
を使用する光学系でも、被膜の変質が進行せず、長時間
にわたって光の散乱防止の効果が得られる。
Claims (1)
- 【請求項１】 表面にＴｉＣＮ膜が施されてなる光学機
器用部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32467192A JPH06148403A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光学機器用部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32467192A JPH06148403A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光学機器用部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148403A true JPH06148403A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=18168436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32467192A Pending JPH06148403A (ja) | 1992-11-11 | 1992-11-11 | 光学機器用部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06148403A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008121440A3 (en) * | 2007-03-30 | 2008-12-04 | Gen Electric | Thermo-optically functional compositions, systems and methods of making |
| US8278823B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-10-02 | General Electric Company | Thermo-optically functional compositions, systems and methods of making |
| CN102995008A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-03-27 | 常州大学 | 以TiO2、二甲胺、炭黑和甲烷、氮气为组元的激光诱导金属表层复合TiCN强化方法 |
| CN102995007A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-03-27 | 常州大学 | 以TiO2、异丙胺、炭黑、乙炔和氮气为组元的激光诱导金属表层复合TiCN强化方法 |
-
1992
- 1992-11-11 JP JP32467192A patent/JPH06148403A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008121440A3 (en) * | 2007-03-30 | 2008-12-04 | Gen Electric | Thermo-optically functional compositions, systems and methods of making |
| US8278823B2 (en) | 2007-03-30 | 2012-10-02 | General Electric Company | Thermo-optically functional compositions, systems and methods of making |
| CN102995008A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-03-27 | 常州大学 | 以TiO2、二甲胺、炭黑和甲烷、氮气为组元的激光诱导金属表层复合TiCN强化方法 |
| CN102995007A (zh) * | 2012-12-24 | 2013-03-27 | 常州大学 | 以TiO2、异丙胺、炭黑、乙炔和氮气为组元的激光诱导金属表层复合TiCN强化方法 |
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