JPS588694A - 光学的情報記録媒体の製造方法 - Google Patents
光学的情報記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS588694A JPS588694A JP56107033A JP10703381A JPS588694A JP S588694 A JPS588694 A JP S588694A JP 56107033 A JP56107033 A JP 56107033A JP 10703381 A JP10703381 A JP 10703381A JP S588694 A JPS588694 A JP S588694A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording
- information recording
- recording medium
- optical information
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B2007/24302—Metals or metalloids
- G11B2007/24316—Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B2007/24318—Non-metallic elements
- G11B2007/24322—Nitrogen
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B2007/24318—Non-metallic elements
- G11B2007/24328—Carbon
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/253—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates
- G11B7/2533—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of substrates comprising resins
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光、熱等のエネルギービームの照射により記録
層に穴もしくは凹部な形成することによって情報を記録
するようにした光学的情報記録媒体に係り、特に感度の
向上及び長力命化を図った光学的情報記録媒体に関する
。
層に穴もしくは凹部な形成することによって情報を記録
するようにした光学的情報記録媒体に係り、特に感度の
向上及び長力命化を図った光学的情報記録媒体に関する
。
基板上に形成された薄膜層にエネルギービームを照射し
、記録されるべき信号に対応したピット列を形成するよ
うにした光学的情報記録媒体において、従来より記録薄
膜としてテルル（Ｔｈ）を使用することが知られている
。Ｔｅ薄膜は、最も低いエネルギーで所望のビットを形
成できる材料であシこの種用途においては高感度材料と
して極めて有望である。ここで感度とは単位面８１当シ
のビット形成に要するエネルギー（７ｒＩＪ／７）で定
義される。
、記録されるべき信号に対応したピット列を形成するよ
うにした光学的情報記録媒体において、従来より記録薄
膜としてテルル（Ｔｈ）を使用することが知られている
。Ｔｅ薄膜は、最も低いエネルギーで所望のビットを形
成できる材料であシこの種用途においては高感度材料と
して極めて有望である。ここで感度とは単位面８１当シ
のビット形成に要するエネルギー（７ｒＩＪ／７）で定
義される。
しかしながら、Ｔｅは大気中に放置された場合、酸素や
水分により酸化され透明になる度合が早い。
水分により酸化され透明になる度合が早い。
記録薄膜として使用する場合、膜厚は７００５−位と極
めて薄いため、ビスマス薄膜の酸化で生じた透明度増加
に基因する膜の感度劣化、出力減少は著るしい。即ち、
膜が酸化されると融解、蒸発温度が上昇するため感度劣
化となシ、透明化するため反射率又は透過率が情報記録
されるピットの有無に敏感に対応しなくなってしまうた
めである。たとえば７０℃相対湿度８５チの雰囲気に放
置した場合約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時
間で約関チ低下してしまう。このため、Ｔｅ膜の酸化防
止のために種々の防止策がとられている。最も有効な手
段は無機ガラス体でおおう事だが、プロセスが複雑であ
り、高価なため実用化されていない。有機樹脂、例えば
透明プラスチックにすれば、安価でちゃ、熱伝導率もガ
ラスのＩＡのため感度も２倍となるだめ、プラスチック
を如何に使いこなすかが現状の最重点項目の１つとなっ
ている。ここでプラスチックには決定的な欠陥がある。
めて薄いため、ビスマス薄膜の酸化で生じた透明度増加
に基因する膜の感度劣化、出力減少は著るしい。即ち、
膜が酸化されると融解、蒸発温度が上昇するため感度劣
化となシ、透明化するため反射率又は透過率が情報記録
されるピットの有無に敏感に対応しなくなってしまうた
めである。たとえば７０℃相対湿度８５チの雰囲気に放
置した場合約５時間で感度が約２０％低下し、約１５時
間で約関チ低下してしまう。このため、Ｔｅ膜の酸化防
止のために種々の防止策がとられている。最も有効な手
段は無機ガラス体でおおう事だが、プロセスが複雑であ
り、高価なため実用化されていない。有機樹脂、例えば
透明プラスチックにすれば、安価でちゃ、熱伝導率もガ
ラスのＩＡのため感度も２倍となるだめ、プラスチック
を如何に使いこなすかが現状の最重点項目の１つとなっ
ている。ここでプラスチックには決定的な欠陥がある。
即ち大気中の酸素、水分を自由に通過させてしまうこと
であシ、上述のＴｅ薄膜の基板としては使えないという
ことである。
であシ、上述のＴｅ薄膜の基板としては使えないという
ことである。
本発明はこの問題点に鑑みなされたもので、有機樹脂基
板を使用しながら、高感度でかつ長寿命の光学的情報記
録媒体を提供することを目的とする０ 本発明の光学的情報記録媒体は、記録膜を炭素（Ｃ）並
びに窃素（Ｎ）並びに水素（Ｈ）を含有するＴｅ膜によ
って形成したことを特徴としておシ、炭化水素基（−０
ｙｉＦｎ）をも含有するＴｅ膜も対象とし、これによっ
て高感度と長寿命とを兼ね備えたものである。
板を使用しながら、高感度でかつ長寿命の光学的情報記
録媒体を提供することを目的とする０ 本発明の光学的情報記録媒体は、記録膜を炭素（Ｃ）並
びに窃素（Ｎ）並びに水素（Ｈ）を含有するＴｅ膜によ
って形成したことを特徴としておシ、炭化水素基（−０
ｙｉＦｎ）をも含有するＴｅ膜も対象とし、これによっ
て高感度と長寿命とを兼ね備えたものである。
以下、図面を参照にして本発明の実施例につき詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の一実施例を示す断面構成図である。図
において（１）は基板で本実施例では合成樹脂の１つで
あるアクリル板を用いた。しかし他のどの様なプラスチ
ック板、又はガラス板であっても作用効果は同じであり
、ただ情報記録の書き込み、読み出し、方法によって適
宜選択すれば良い。
において（１）は基板で本実施例では合成樹脂の１つで
あるアクリル板を用いた。しかし他のどの様なプラスチ
ック板、又はガラス板であっても作用効果は同じであり
、ただ情報記録の書き込み、読み出し、方法によって適
宜選択すれば良い。
（２）はＣ，Ｎ、Ｈを含む情報記録用低融点金属並びに
金属合金膜であシ、その厚さは十分な光反射率を得る程
度に厚く、かつ感度を損なわない程度に薄いことが必要
で、２００Ｘ〜１μｍ程度が適当である。
金属合金膜であシ、その厚さは十分な光反射率を得る程
度に厚く、かつ感度を損なわない程度に薄いことが必要
で、２００Ｘ〜１μｍ程度が適当である。
ＣとＮとＨを含む情報記録用Ｔａ薄膜（２）は、Ｔｏを
ターゲットとし、ＣとＨとを含むガス、例えばＣＨ４ガ
スとＮ２との混合ガス中でスパッターするととによシ得
られる。ここでＴｅ膜中のＣとＨとＮの含有量はＮ２と
ＣＨ４との混合比、並びに印加高周波電力により自由に
制御でき、例えば、Ｎ２／ＣＨ４＝１の混合比で、約３
ｍＷ／ｃＴｉのＲＦ （１３，５６ＭＨｚ ）電力をＴ
ｅターゲットと基板との間に印加すると、約加原子チの
Ｃと約１０原子俤のＨと約１０原子係のＮを含有した膜
を形成させることができる。
ターゲットとし、ＣとＨとを含むガス、例えばＣＨ４ガ
スとＮ２との混合ガス中でスパッターするととによシ得
られる。ここでＴｅ膜中のＣとＨとＮの含有量はＮ２と
ＣＨ４との混合比、並びに印加高周波電力により自由に
制御でき、例えば、Ｎ２／ＣＨ４＝１の混合比で、約３
ｍＷ／ｃＴｉのＲＦ （１３，５６ＭＨｚ ）電力をＴ
ｅターゲットと基板との間に印加すると、約加原子チの
Ｃと約１０原子俤のＨと約１０原子係のＮを含有した膜
を形成させることができる。
膜厚はスパッタ一時間をかえることに得られる。
膜の光学定数はＣとＨとＮとの含有量によって異なるが
、情報記録用として活用するには、反射率ならびに消衰
係数に制限があシ、我々の実験結果では、前記の蒸着条
件で約１０００Ｘの膜厚の時に最良の膜が得られた。こ
の条件で作成した膜は非晶質であシ、多結晶Ｔｅ膜に比
べて記録状態のピット周辺エッヂ部がなめらかとなυ情
報読み出し時のノイズレベルを低くおさえることができ
る。
、情報記録用として活用するには、反射率ならびに消衰
係数に制限があシ、我々の実験結果では、前記の蒸着条
件で約１０００Ｘの膜厚の時に最良の膜が得られた。こ
の条件で作成した膜は非晶質であシ、多結晶Ｔｅ膜に比
べて記録状態のピット周辺エッヂ部がなめらかとなυ情
報読み出し時のノイズレベルを低くおさえることができ
る。
第２図は７０℃、相対湿度８５チの雰囲気中での時間経
過に対する感度の劣化を、従来のＴｅ単体のものと本発
明のものとで比較ｌ−だ図である。
過に対する感度の劣化を、従来のＴｅ単体のものと本発
明のものとで比較ｌ−だ図である。
本図における感度の劣化は、記録に必要なエネルギーの
逆数の初期値に対する変化として表わしてお］、Ｔｅ単
体からなる従来の記録膜、本発明による記録膜共にアク
リル基板上に形成された場合を示す。
逆数の初期値に対する変化として表わしてお］、Ｔｅ単
体からなる従来の記録膜、本発明による記録膜共にアク
リル基板上に形成された場合を示す。
本図かられかるようにＴｅ単体からなる記録膜の場合は
、図中（Ａ）で示すように時間経過とともに感度が劣化
する。これは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が
発生するためで約１７０時間経過後には全面にわたって
劣化してしまう。
、図中（Ａ）で示すように時間経過とともに感度が劣化
する。これは時間とともに局部的な透明領域（シミ）が
発生するためで約１７０時間経過後には全面にわたって
劣化してしまう。
一方、本発明によるＣとＨとＮとを含有するＴｅ薄膜の
場合は、同図中（Ｂ）で示すように１０００時間経過後
もＴｅ薄膜に見られた様なシミは全く認められず、常に
ほぼ一定の感度を保持しておυ、長寿命化を達成してい
ることがわかる。
場合は、同図中（Ｂ）で示すように１０００時間経過後
もＴｅ薄膜に見られた様なシミは全く認められず、常に
ほぼ一定の感度を保持しておυ、長寿命化を達成してい
ることがわかる。
以上述べた様に本発明によるＣとＨとＮとを含有するＴ
ｅ薄膜を用いた記録媒体では優れた感度と非常に長い寿
命を得ることが出来る。但し、５ａｔ ％以下のＣ含有
量膜ではＴｅ膜との有意義はみられずまた４０ａｔ％’
以上では感度の低下がみられた。又、５ａｔ％以下のＨ
含有量膜では感度の低下となシ、４Ｑａｔ％以上では膜
の反射率が低下し、記録用薄膜としては不適当であった
。又、５原子チ以下のＮ含有量ではＴｅ膜との有意義は
みとめられず、Ｉ原子チ以上では膜の剥離がみられた。
ｅ薄膜を用いた記録媒体では優れた感度と非常に長い寿
命を得ることが出来る。但し、５ａｔ ％以下のＣ含有
量膜ではＴｅ膜との有意義はみられずまた４０ａｔ％’
以上では感度の低下がみられた。又、５ａｔ％以下のＨ
含有量膜では感度の低下となシ、４Ｑａｔ％以上では膜
の反射率が低下し、記録用薄膜としては不適当であった
。又、５原子チ以下のＮ含有量ではＴｅ膜との有意義は
みとめられず、Ｉ原子チ以上では膜の剥離がみられた。
上記の例ではＮ２ガスとＣＨ４ガス中の反応性スパッタ
リングによる薄膜形成法についてのべた。
リングによる薄膜形成法についてのべた。
従って膜内にＣとＨとがまったく別個に存在しているわ
けではない。ＣＨ４ガスは電界解離によシｃＨ３（ラジ
カル）ＣＨ２（ラジカル）ＣＨ（ラジカル）、ソシて、
ＣとＨのラジカル基に順次分解しており、そこにＴｅ原
子が介在して任意の（ＣＨｍ ） ｎ基とＴｏとが重合
してネットを形成する。従って形成された膜は非結晶で
あシ、ラマン散乱、示差熱分析、赤外線吸収解析等の結
果からも結論出来る。このＴ６とＣとＨとＣｍＨｎとに
よる半有機的非晶質構造のためＴｅ単体膜と同一の高感
度特性をもち、酸化となるタンクリングボンド（未結合
基）が存在しないため、長寿命特性をもつこととなる。
けではない。ＣＨ４ガスは電界解離によシｃＨ３（ラジ
カル）ＣＨ２（ラジカル）ＣＨ（ラジカル）、ソシて、
ＣとＨのラジカル基に順次分解しており、そこにＴｅ原
子が介在して任意の（ＣＨｍ ） ｎ基とＴｏとが重合
してネットを形成する。従って形成された膜は非結晶で
あシ、ラマン散乱、示差熱分析、赤外線吸収解析等の結
果からも結論出来る。このＴ６とＣとＨとＣｍＨｎとに
よる半有機的非晶質構造のためＴｅ単体膜と同一の高感
度特性をもち、酸化となるタンクリングボンド（未結合
基）が存在しないため、長寿命特性をもつこととなる。
ここでＮ原子の役割は膜の高感度化に寄与する。
ＴｅＮという物質は爆発性がある。従ってＴｅＮ膜はＴ
ｅ単体膜よりもレーザービームパワーが少なくてビット
を形成できる。例えば、加原子％Ｎａ、Ｔｅ膜では単位
Ｔｅ膜の約２倍の感度を示すが微結晶質のために寿命は
短かい。これらＣｍＨｎによる非晶質構造とＮによる爆
発性とで従来にない、高感度、長寿命の膜を作成するこ
とができた。
ｅ単体膜よりもレーザービームパワーが少なくてビット
を形成できる。例えば、加原子％Ｎａ、Ｔｅ膜では単位
Ｔｅ膜の約２倍の感度を示すが微結晶質のために寿命は
短かい。これらＣｍＨｎによる非晶質構造とＮによる爆
発性とで従来にない、高感度、長寿命の膜を作成するこ
とができた。
この様な膜の形成は反応スパッタ法だけで形成されるも
のではない。例えばＮ２ガスとＣＨ４ガスの混合ガス中
にＴａの蒸着をイオンブレーティング法で形成する手段
、又はイオンクラスターで形成する手段、それらガスを
もっとイオン化して行なう反応性イオンクラスター法に
形成手段、又はイオンビーム法で形、成する手段等も適
する。又、Ｔｅ金属を母体として使用するのではなく、
ＴｅＦｚ、ＴｅＣ１ｚ等のガスとＨ２とＮ２とＧ（４ガ
ス等のキャリアガスを反応させ膜を形成させるプラズマ
重合法、その場に電場を印加して形成させるプラズマＣ
ＶＤ法等でも同一性能をもった膜を形成させることが出
来る。別にＣ２Ｈ４（エチレン） Ｃ２Ｈ２（アセチレ
ン）等のガスもＣＨ４ガスのかわりに使用できる。
のではない。例えばＮ２ガスとＣＨ４ガスの混合ガス中
にＴａの蒸着をイオンブレーティング法で形成する手段
、又はイオンクラスターで形成する手段、それらガスを
もっとイオン化して行なう反応性イオンクラスター法に
形成手段、又はイオンビーム法で形、成する手段等も適
する。又、Ｔｅ金属を母体として使用するのではなく、
ＴｅＦｚ、ＴｅＣ１ｚ等のガスとＨ２とＮ２とＧ（４ガ
ス等のキャリアガスを反応させ膜を形成させるプラズマ
重合法、その場に電場を印加して形成させるプラズマＣ
ＶＤ法等でも同一性能をもった膜を形成させることが出
来る。別にＣ２Ｈ４（エチレン） Ｃ２Ｈ２（アセチレ
ン）等のガスもＣＨ４ガスのかわりに使用できる。
本発明の光学的情報記録媒体は１μφ以下にしぼったレ
ーザ光に敏感に作用するため微細なパターンを任意に形
成できるという性質をもつ。この性質を利用した他の用
い方も可能である。たとえばＩＣ用として使われている
フォトレジスト的に使用できる。現在のフォトレジスト
はウェットプロセスを必要とするが、本発明の膜を用い
れば、ドライプロセスですむという大きな利点がある。
ーザ光に敏感に作用するため微細なパターンを任意に形
成できるという性質をもつ。この性質を利用した他の用
い方も可能である。たとえばＩＣ用として使われている
フォトレジスト的に使用できる。現在のフォトレジスト
はウェットプロセスを必要とするが、本発明の膜を用い
れば、ドライプロセスですむという大きな利点がある。
又水、湿１気に強い事を利用して、各種部品の保護層と
して使える。例えば、従来の情報記録膜であるＴｅ膜の
保護膜として、ＩＣ等の保護層として、ダイオードのｐ
−ｎ接合面保護層等として、又、絶縁層としてＩＣ用多
層配線の絶縁層、電気的絶縁層等として使用できる。
して使える。例えば、従来の情報記録膜であるＴｅ膜の
保護膜として、ＩＣ等の保護層として、ダイオードのｐ
−ｎ接合面保護層等として、又、絶縁層としてＩＣ用多
層配線の絶縁層、電気的絶縁層等として使用できる。
第１図は本発明の実施例を示す断面構成図、第２図は第
１図に示１〜だ記録媒体と従来の記録媒体との寿命につ
いての比較図である。 １・・・基板、 ２・・・’ｒｅ−Ｃ−’［（−Ｎ膜
。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日 ６７．８．１２ 特許庁長官 若 杉 和犬 殿 １、事件の表示 昭和５６年特願第１０７０３３号 ２、発明の名称 光学的情報記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ ６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとうり補正する。 （２）明細書第２頁第５行目の「四部」を［例えば凹部
等の変形部」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくは変形部を形成して情報を
記録する光学的記録用部材において、前記記録膜がテル
ル及び炭素及び窒素及び水素を含有することを特徴とす
る光学的情報記録媒体。 （２）基板はガラスもしくは合成樹脂であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体
。 （３）記録膜は炭化水素基を含むことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （４）記録膜は非晶質であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （５）記録膜様の炭素の含有量は５〜４０原子パーセン
ト、窒素の含有量は５〜３０原子チ、水素の含有量は５
〜４０原子チであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の光学的情報記録媒体。 （６）記録膜の厚さは２００人乃至１μｍであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。
１図に示１〜だ記録媒体と従来の記録媒体との寿命につ
いての比較図である。 １・・・基板、 ２・・・’ｒｅ−Ｃ−’［（−Ｎ膜
。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名） 手続補正書（自発） 昭和 年 月 日 ６７．８．１２ 特許庁長官 若 杉 和犬 殿 １、事件の表示 昭和５６年特願第１０７０３３号 ２、発明の名称 光学的情報記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１−１−６ ６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとうり補正する。 （２）明細書第２頁第５行目の「四部」を［例えば凹部
等の変形部」と訂正する。 以上 特許請求の範囲 （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくは変形部を形成して情報を
記録する光学的記録用部材において、前記記録膜がテル
ル及び炭素及び窒素及び水素を含有することを特徴とす
る光学的情報記録媒体。 （２）基板はガラスもしくは合成樹脂であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体
。 （３）記録膜は炭化水素基を含むことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （４）記録膜は非晶質であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の光学的情報記録媒体。 （５）記録膜様の炭素の含有量は５〜４０原子パーセン
ト、窒素の含有量は５〜３０原子チ、水素の含有量は５
〜４０原子チであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の光学的情報記録媒体。 （６）記録膜の厚さは２００人乃至１μｍであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）基板上に記録膜を形成し、前記記録膜にエネルギ
ービームを照射し、穴もしくは凹部を形成して情報を記
録する光学的記録用部材において、前記記録膜がテルル
及び炭素及び窒素及び水素を含有することを特徴とする
光学的情報記録媒体。 （２）基板はガラスもしくは合成樹脂であることを（５
）記録膜様の炭素の含有量は５〜４０原子パーセント、
窒素の含有量は５〜３０原子チ、水素の含有量は５〜４
０原子優であることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光学的情報記録媒体。 （６）記録膜の厚さは２００又乃至１μｍであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の光学的情報記録
媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107033A JPS588694A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56107033A JPS588694A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS588694A true JPS588694A (ja) | 1983-01-18 |
| JPH046559B2 JPH046559B2 (ja) | 1992-02-06 |
Family
ID=14448808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56107033A Granted JPS588694A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 光学的情報記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS588694A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134741A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-19 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 情報蓄積用媒体 |
| JPS61158051A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Pioneer Electronic Corp | 光学式情報記録媒体及びその記録再生装置 |
| JP2002127985A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Nkk Corp | 砕氷船及び船型改良法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52115202A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Recording member for information |
| JPS5354036A (en) * | 1976-10-22 | 1978-05-17 | Thomson Brandt | Heat sensitive data carrier and method of recording information on this carrier |
| JPS563625A (en) * | 1979-06-23 | 1981-01-14 | Noboru Tsuya | Thin sheet of high silicon steel nondirectional in (100) plane and very low in coercive force and its manufacture |
| JPS5662192A (en) * | 1979-10-29 | 1981-05-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Medium for optical recording use and preparation thereof |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP56107033A patent/JPS588694A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52115202A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Recording member for information |
| JPS5354036A (en) * | 1976-10-22 | 1978-05-17 | Thomson Brandt | Heat sensitive data carrier and method of recording information on this carrier |
| JPS563625A (en) * | 1979-06-23 | 1981-01-14 | Noboru Tsuya | Thin sheet of high silicon steel nondirectional in (100) plane and very low in coercive force and its manufacture |
| JPS5662192A (en) * | 1979-10-29 | 1981-05-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Medium for optical recording use and preparation thereof |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6134741A (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-19 | アメリカン テレフォン アンド テレグラフ カムパニー | 情報蓄積用媒体 |
| JPS61158051A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Pioneer Electronic Corp | 光学式情報記録媒体及びその記録再生装置 |
| JP2002127985A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Nkk Corp | 砕氷船及び船型改良法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH046559B2 (ja) | 1992-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5933320B2 (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS6034897A (ja) | 書替可能光記録媒体 | |
| JPS588694A (ja) | 光学的情報記録媒体の製造方法 | |
| US4640860A (en) | Optical recording coating | |
| JPH0734271B2 (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH01196743A (ja) | 情報記録媒体 | |
| JPS589233A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS589231A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS5871193A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS5871194A (ja) | 情報記録再生方法 | |
| JP2000067466A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
| Ohkawa et al. | Tellurium-carbon (Te C: H) films for a write-once read many (WORM) optical disk memory | |
| JPS589232A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS62290734A (ja) | 光記録媒体用基体およびその製法 | |
| JPS589236A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPH06148403A (ja) | 光学機器用部材 | |
| JPS5871195A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS6232087A (ja) | 光記録媒体の製造法 | |
| JPS58189850A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH0444812B2 (ja) | ||
| JPH0355293A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH0254441A (ja) | 光学情報記録部材 | |
| JP2508055B2 (ja) | 光記録媒体製造方法 | |
| JPS6221589A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPH01224956A (ja) | 光記録媒体の製造方法 |