JPH06148580A - ２次元電気光学レンズ装置 - Google Patents
２次元電気光学レンズ装置Info
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- JPH06148580A JPH06148580A JP4303548A JP30354892A JPH06148580A JP H06148580 A JPH06148580 A JP H06148580A JP 4303548 A JP4303548 A JP 4303548A JP 30354892 A JP30354892 A JP 30354892A JP H06148580 A JPH06148580 A JP H06148580A
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- optical lens
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/0305—Constructional arrangements
- G02F1/0322—Arrangements comprising two or more independently controlled crystals
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- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 同一構造の２つの１次元電気光学レンズを使
用可能としつつ、収差の小さい領域を利用し、高性能な
２次元電気光学レンズ装置を提供すること。 【構成】 電圧印加により光ビーム１５をｙ軸方向に収
束させるレンズ作用を示す第１電気光学レンズ３と、電
圧印加により光ビーム１５をｘ軸方向に収束させるレン
ズ作用を示す第２電気光学レンズ７と、これらの第１，
２電気光学レンズ３，７間の光軸１上に配設させた１／
２波長板４と、第１電気光学レンズ３の所望の位置に所
望のビーム形状で直線偏光した光ビーム１５を入射させ
る第１レンズ系２と、これらの第１電気光学レンズ３及
び１／２波長板４を透過した光ビーム１５を第２電気光
学レンズ７の所望の位置に所望のビーム形状で入射させ
る第２レンズ系６と、第２電気光学レンズ７からの出射
ビームを整形する第３レンズ系８とにより構成した。
用可能としつつ、収差の小さい領域を利用し、高性能な
２次元電気光学レンズ装置を提供すること。 【構成】 電圧印加により光ビーム１５をｙ軸方向に収
束させるレンズ作用を示す第１電気光学レンズ３と、電
圧印加により光ビーム１５をｘ軸方向に収束させるレン
ズ作用を示す第２電気光学レンズ７と、これらの第１，
２電気光学レンズ３，７間の光軸１上に配設させた１／
２波長板４と、第１電気光学レンズ３の所望の位置に所
望のビーム形状で直線偏光した光ビーム１５を入射させ
る第１レンズ系２と、これらの第１電気光学レンズ３及
び１／２波長板４を透過した光ビーム１５を第２電気光
学レンズ７の所望の位置に所望のビーム形状で入射させ
る第２レンズ系６と、第２電気光学レンズ７からの出射
ビームを整形する第３レンズ系８とにより構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、焦点距離を２次元方向
で独立して可変可能で、レーザ走査光学系、レーザ走査
画像記録機器等に利用される２次元電気光学レンズ装置
に関する。
で独立して可変可能で、レーザ走査光学系、レーザ走査
画像記録機器等に利用される２次元電気光学レンズ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の電気光学レンズとして
は、例えば特開平１−２３００１７号公報に示されるよ
うなものがある。これは、電気光学媒体、例えばＰＬＺ
Ｔの対向する両面に帯状の細長い電極対を形成し、入射
ビームを帯状電極の方向に沿って入射させるものであ
り、この際、帯状電極対間に駆動電圧を印加すると電極
対間に屈折率分布が生じレンズ作用が発揮されるという
ものである。よって、電極対の大きさ及び形状を適切に
定めることにより、ビームの収束方向をある一定方向に
決めることができ、１次元レンズ作用を持たせることが
できる。つまり、シリンダレンズと同等の作用を持つも
のである。また、このような１次元レンズ作用を持たせ
て２つの電気光学レンズを互いに直交する方向にレンズ
作用を持つように同一光軸上に配設すれば２次元レンズ
作用を持たせることができる。
は、例えば特開平１−２３００１７号公報に示されるよ
うなものがある。これは、電気光学媒体、例えばＰＬＺ
Ｔの対向する両面に帯状の細長い電極対を形成し、入射
ビームを帯状電極の方向に沿って入射させるものであ
り、この際、帯状電極対間に駆動電圧を印加すると電極
対間に屈折率分布が生じレンズ作用が発揮されるという
ものである。よって、電極対の大きさ及び形状を適切に
定めることにより、ビームの収束方向をある一定方向に
決めることができ、１次元レンズ作用を持たせることが
できる。つまり、シリンダレンズと同等の作用を持つも
のである。また、このような１次元レンズ作用を持たせ
て２つの電気光学レンズを互いに直交する方向にレンズ
作用を持つように同一光軸上に配設すれば２次元レンズ
作用を持たせることができる。
【０００３】このような電気光学レンズ装置によれば、
印加する電圧を可変することにより、焦点位置を電気的
に制御し得るものであり、ビームウエスト位置を高速で
可変する用途への応用が考えられる。例えば、レーザビ
ームを用いた画像記録機器等への応用である。このよう
な用途においては、電気光学レンズの収差を極力小さく
しなければならず、上記公報方式の電気光学レンズで
は、未だ、充分な収束性能を持っているとはいえないも
のである。
印加する電圧を可変することにより、焦点位置を電気的
に制御し得るものであり、ビームウエスト位置を高速で
可変する用途への応用が考えられる。例えば、レーザビ
ームを用いた画像記録機器等への応用である。このよう
な用途においては、電気光学レンズの収差を極力小さく
しなければならず、上記公報方式の電気光学レンズで
は、未だ、充分な収束性能を持っているとはいえないも
のである。
【０００４】このような欠点を解消し、充分な収束性能
を持たせた電気光学レンズ装置として特開平２−２２２
９２２号公報に示されるものがある。これは、各々１次
元のレンズ作用を持ち収束方向を直交させた第１，２電
気光学レンズを各々入射ビームのビームウエスト位置に
配設させたものである。まず、固定レンズ（シリンダレ
ンズ）で第１電気光学レンズのビーム収束方向と直交す
る方向に入射ビームを絞り込んで入射させ、この第１電
気光学レンズからの出射ビームをシリンダレンズで平行
ビームに整形する。ついで、この平行ビームを固定レン
ズ（シリンダレンズ）で絞り込んで第２電気光学レンズ
に入射させ、この第２電気光学レンズからの出射ビーム
をシリンダレンズで平行ビームに整形する。ここに、こ
れらの第１，２電気光学レンズの電極対に電圧を印加
し、互いに直交する方向の収束パワーを変化させること
により焦点距離を独立して可変し得るものとなる。
を持たせた電気光学レンズ装置として特開平２−２２２
９２２号公報に示されるものがある。これは、各々１次
元のレンズ作用を持ち収束方向を直交させた第１，２電
気光学レンズを各々入射ビームのビームウエスト位置に
配設させたものである。まず、固定レンズ（シリンダレ
ンズ）で第１電気光学レンズのビーム収束方向と直交す
る方向に入射ビームを絞り込んで入射させ、この第１電
気光学レンズからの出射ビームをシリンダレンズで平行
ビームに整形する。ついで、この平行ビームを固定レン
ズ（シリンダレンズ）で絞り込んで第２電気光学レンズ
に入射させ、この第２電気光学レンズからの出射ビーム
をシリンダレンズで平行ビームに整形する。ここに、こ
れらの第１，２電気光学レンズの電極対に電圧を印加
し、互いに直交する方向の収束パワーを変化させること
により焦点距離を独立して可変し得るものとなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開平２−２２２９２
２号公報に示されるものは、要は、１次元の電気光学レ
ンズの収差の小さい領域のみを利用しようとするもので
あり、このために、電気光学レンズを入射ビームのビー
ムウエスト位置に配設させるとともに固定レンズで入射
ビームを絞り込んでこの電気光学レンズの中心部に入射
させるようにしたものである。しかし、このような１次
元の電気光学レンズを２個組合せて２次元の電気光学レ
ンズ装置を構成すると、レーザビームの偏光方向が２つ
の電気光学レンズを透過する時に同一方向になっている
ため、異なった収束作用を示す電気光学レンズを使用し
なければならない。ここに、異なる収束作用を持つ電気
光学レンズの組合せによると、方向により収束性能が異
なるため収差が生じやすいといった２次元電気光学レン
ズ特有の問題や、異なる収束性能の電気光学レンズを作
製しなければならず製造コストがかかるといった問題が
ある。
２号公報に示されるものは、要は、１次元の電気光学レ
ンズの収差の小さい領域のみを利用しようとするもので
あり、このために、電気光学レンズを入射ビームのビー
ムウエスト位置に配設させるとともに固定レンズで入射
ビームを絞り込んでこの電気光学レンズの中心部に入射
させるようにしたものである。しかし、このような１次
元の電気光学レンズを２個組合せて２次元の電気光学レ
ンズ装置を構成すると、レーザビームの偏光方向が２つ
の電気光学レンズを透過する時に同一方向になっている
ため、異なった収束作用を示す電気光学レンズを使用し
なければならない。ここに、異なる収束作用を持つ電気
光学レンズの組合せによると、方向により収束性能が異
なるため収差が生じやすいといった２次元電気光学レン
ズ特有の問題や、異なる収束性能の電気光学レンズを作
製しなければならず製造コストがかかるといった問題が
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、電圧印加により光ビームを第１方向に収束又は発散
させるレンズ作用を示す第１電気光学レンズと、電圧印
加により光ビームを第１方向に直交する第２方向に収束
又は発散させるレンズ作用を示す第２電気光学レンズ
と、これらの第１，２電気光学レンズ間の光軸上に配設
させた１／２波長板と、第１電気光学レンズの所望の位
置に所望のビーム形状で直線偏光した光ビームを入射さ
せる第１レンズ系と、これらの第１電気光学レンズ及び
１／２波長板を透過した光ビームを第２電気光学レンズ
の所望の位置に所望のビーム形状で入射させる第２レン
ズ系と、第２電気光学レンズからの出射ビームを整形す
る第３レンズ系とにより構成した。
は、電圧印加により光ビームを第１方向に収束又は発散
させるレンズ作用を示す第１電気光学レンズと、電圧印
加により光ビームを第１方向に直交する第２方向に収束
又は発散させるレンズ作用を示す第２電気光学レンズ
と、これらの第１，２電気光学レンズ間の光軸上に配設
させた１／２波長板と、第１電気光学レンズの所望の位
置に所望のビーム形状で直線偏光した光ビームを入射さ
せる第１レンズ系と、これらの第１電気光学レンズ及び
１／２波長板を透過した光ビームを第２電気光学レンズ
の所望の位置に所望のビーム形状で入射させる第２レン
ズ系と、第２電気光学レンズからの出射ビームを整形す
る第３レンズ系とにより構成した。
【０００７】この際、請求項２記載の発明では、第１，
２電気光学レンズの少なくとも一方を入射ビームのビー
ムウエスト位置又はその近傍位置に配設した。
２電気光学レンズの少なくとも一方を入射ビームのビー
ムウエスト位置又はその近傍位置に配設した。
【０００８】また、請求項３記載の発明では、第１，２
電気光学レンズの電気光学媒体をＰＬＺＴ電気光学セラ
ミックスとした。
電気光学レンズの電気光学媒体をＰＬＺＴ電気光学セラ
ミックスとした。
【０００９】
【作用】請求項１記載の発明においては、互いに直交す
る方向にレンズ作用を示す第１，２電気光学レンズに対
して各々第１，２レンズ系により所望の位置に所望のビ
ーム形状となるように絞って光ビームを入射させるの
で、特性の良好な領域を利用するものとなり、性能のよ
い焦点距離可変を２次元的に独立して行うことができ
る。この際、第１，２電気光学レンズ間の光軸上には１
／２波長板を介在させて偏光方向を９０°回転させるよ
うにしているので、レンズ作用方向が直交するこれらの
第１，２電気光学レンズに対する光ビームの偏光方向も
直交する方向となり、結局、第１，２電気光学レンズと
しては同一構造の電気光学レンズを方向を異ならせて配
設するだけでよく、２次元電気光学レンズ特有の収差が
生じやすいといった問題も回避される。
る方向にレンズ作用を示す第１，２電気光学レンズに対
して各々第１，２レンズ系により所望の位置に所望のビ
ーム形状となるように絞って光ビームを入射させるの
で、特性の良好な領域を利用するものとなり、性能のよ
い焦点距離可変を２次元的に独立して行うことができ
る。この際、第１，２電気光学レンズ間の光軸上には１
／２波長板を介在させて偏光方向を９０°回転させるよ
うにしているので、レンズ作用方向が直交するこれらの
第１，２電気光学レンズに対する光ビームの偏光方向も
直交する方向となり、結局、第１，２電気光学レンズと
しては同一構造の電気光学レンズを方向を異ならせて配
設するだけでよく、２次元電気光学レンズ特有の収差が
生じやすいといった問題も回避される。
【００１０】この際、請求項２記載の発明においては、
電気光学レンズを入射ビームのビームウエスト位置又は
その近傍位置に配設させているので、極めて収差の小さ
い領域のみを利用するものとなり、一層高性能な２次元
レンズ作用が得られる。
電気光学レンズを入射ビームのビームウエスト位置又は
その近傍位置に配設させているので、極めて収差の小さ
い領域のみを利用するものとなり、一層高性能な２次元
レンズ作用が得られる。
【００１１】また、請求項３記載の発明においては、電
気光学媒体としてＰＬＺＴ電気光学セラミックスを使用
しているので、電気光学効果による屈折率変化量が大き
いため、低電圧駆動で大きな焦点距離可変量が得られる
ものとなる。
気光学媒体としてＰＬＺＴ電気光学セラミックスを使用
しているので、電気光学効果による屈折率変化量が大き
いため、低電圧駆動で大きな焦点距離可変量が得られる
ものとなる。
【００１２】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図３に基
づいて説明する。本実施例の電気光学レンズ装置は、光
軸（ｚ軸方向）１上に、シリンダレンズ２、電気光学レ
ンズ３、１／２波長板４、シリンダレンズ５，６、電気
光学レンズ７及びシリンダレンズ８を順に配設させて構
成されている。
づいて説明する。本実施例の電気光学レンズ装置は、光
軸（ｚ軸方向）１上に、シリンダレンズ２、電気光学レ
ンズ３、１／２波長板４、シリンダレンズ５，６、電気
光学レンズ７及びシリンダレンズ８を順に配設させて構
成されている。
【００１３】ここに、電気光学レンズ３は第１電気光学
レンズとなるもので、例えばＰＬＺＴ電気光学セラミッ
クス等による矩形状の電気光学媒体（第１電気光学媒
体）９の光ビーム透過方向に沿って対向するｙ軸方向の
両面に光軸１方向にストライプ状とした電極対（第１電
極対）１０を形成し、この電極対１０間に駆動電源１１
によって印加電圧Ｖ1 を選択的に印加するように構成さ
れている。これにより、光ビームをｙ軸方向（第１方
向）に収束させるレンズ作用を持つものとされている。
一方、電気光学レンズ７は第２電気光学レンズとなるも
のであるが、構造的には、電気光学レンズ３と全く同一
とされその配設方向をｘ−ｙ軸方向で入替えたものとさ
れている。即ち、矩形状の電気光学媒体（第２電気光学
媒体）１２の光ビーム透過方向に沿って対向するｘ軸方
向の両面に光軸１方向にストライプ状とした電極対（第
２電極対）１３を形成し、この電極対１３間に駆動電源
１４によって印加電圧Ｖ2 を選択的に印加するように構
成されている。これにより、光ビームをｘ軸方向（第２
方向）に収束させるレンズ作用を持つものとされてい
る。
レンズとなるもので、例えばＰＬＺＴ電気光学セラミッ
クス等による矩形状の電気光学媒体（第１電気光学媒
体）９の光ビーム透過方向に沿って対向するｙ軸方向の
両面に光軸１方向にストライプ状とした電極対（第１電
極対）１０を形成し、この電極対１０間に駆動電源１１
によって印加電圧Ｖ1 を選択的に印加するように構成さ
れている。これにより、光ビームをｙ軸方向（第１方
向）に収束させるレンズ作用を持つものとされている。
一方、電気光学レンズ７は第２電気光学レンズとなるも
のであるが、構造的には、電気光学レンズ３と全く同一
とされその配設方向をｘ−ｙ軸方向で入替えたものとさ
れている。即ち、矩形状の電気光学媒体（第２電気光学
媒体）１２の光ビーム透過方向に沿って対向するｘ軸方
向の両面に光軸１方向にストライプ状とした電極対（第
２電極対）１３を形成し、この電極対１３間に駆動電源
１４によって印加電圧Ｖ2 を選択的に印加するように構
成されている。これにより、光ビームをｘ軸方向（第２
方向）に収束させるレンズ作用を持つものとされてい
る。
【００１４】前記シリンダレンズ２は、矢印Ａで示すよ
うにｙ軸方向に直線偏光したレーザビームをｘ方向に収
束させて前記電気光学レンズ３に入射させるもので、第
１レンズ系を構成する。より詳細には、図２に示すよう
に、電気光学レンズ３の電極対１０間なるレンズ作用領
域に対して収差が小さくなるような扁平なビーム形状で
光ビーム１５を入射させるためのものである。
うにｙ軸方向に直線偏光したレーザビームをｘ方向に収
束させて前記電気光学レンズ３に入射させるもので、第
１レンズ系を構成する。より詳細には、図２に示すよう
に、電気光学レンズ３の電極対１０間なるレンズ作用領
域に対して収差が小さくなるような扁平なビーム形状で
光ビーム１５を入射させるためのものである。
【００１５】前記１／２波長板４はレーザビームの偏光
方向を９０°回転（ｙ軸方向→ｘ軸方向）させるための
ものである。また、前記シリンダレンズ５は電気光学レ
ンズ３からの出射ビームをビーム整形するためのもので
ある。
方向を９０°回転（ｙ軸方向→ｘ軸方向）させるための
ものである。また、前記シリンダレンズ５は電気光学レ
ンズ３からの出射ビームをビーム整形するためのもので
ある。
【００１６】前記シリンダレンズ６は、１／２波長板４
によりｘ軸方向の直線偏光に変換されたレーザビームを
ｙ方向に収束させて前記電気光学レンズ７に入射させる
もので、第２レンズ系を構成する。より詳細には、図３
に示すように、電気光学レンズ７の電極対１３間なるレ
ンズ作用領域に対して収差が小さくなるような扁平なビ
ーム形状で光ビーム１５を入射させるためのものであ
る。
によりｘ軸方向の直線偏光に変換されたレーザビームを
ｙ方向に収束させて前記電気光学レンズ７に入射させる
もので、第２レンズ系を構成する。より詳細には、図３
に示すように、電気光学レンズ７の電極対１３間なるレ
ンズ作用領域に対して収差が小さくなるような扁平なビ
ーム形状で光ビーム１５を入射させるためのものであ
る。
【００１７】前記シリンダレンズ８は電気光学レンズ７
からの出射ビームをビーム整形するためのものであり、
第３レンズ系を構成する。
からの出射ビームをビーム整形するためのものであり、
第３レンズ系を構成する。
【００１８】このような構成において、ｙ軸方向に直線
偏光したレーザビームはシリンダレンズ２によってｘ軸
方向に収束され、図２に示したように、レンズ作用領域
に収差が小さくなるようなビーム形状とされて電気光学
レンズ３に入射する。ここで、駆動電源１１によって電
極対１０間に電圧Ｖ1 を印加すると光ビーム１５をｙ軸
方向に収束させるレンズ作用が生ずる。このような電気
光学レンズ３からの出射ビームは１／２波長板４で偏光
方向が９０°回転されてｘ軸方向の直線偏光となり、シ
リンダレンズ５，６によるビーム変換を受ける。ここ
に、シリンダレンズ６によってｙ軸方向に収束されて、
図３に示したように、レンズ作用領域に収差が小さくな
るようなビーム形状とされて電気光学レンズ７に入射す
る。ここで、駆動電源１４によって電極対１３間に電圧
Ｖ2 を印加すると光ビーム１５をｘ軸方向に収束させる
レンズ作用が生ずる。このような電気光学レンズ７から
の出射ビームはシリンダレンズ８によりビーム整形され
て最終出力となる。
偏光したレーザビームはシリンダレンズ２によってｘ軸
方向に収束され、図２に示したように、レンズ作用領域
に収差が小さくなるようなビーム形状とされて電気光学
レンズ３に入射する。ここで、駆動電源１１によって電
極対１０間に電圧Ｖ1 を印加すると光ビーム１５をｙ軸
方向に収束させるレンズ作用が生ずる。このような電気
光学レンズ３からの出射ビームは１／２波長板４で偏光
方向が９０°回転されてｘ軸方向の直線偏光となり、シ
リンダレンズ５，６によるビーム変換を受ける。ここ
に、シリンダレンズ６によってｙ軸方向に収束されて、
図３に示したように、レンズ作用領域に収差が小さくな
るようなビーム形状とされて電気光学レンズ７に入射す
る。ここで、駆動電源１４によって電極対１３間に電圧
Ｖ2 を印加すると光ビーム１５をｘ軸方向に収束させる
レンズ作用が生ずる。このような電気光学レンズ７から
の出射ビームはシリンダレンズ８によりビーム整形され
て最終出力となる。
【００１９】よって、電気光学レンズ３，７を駆動電源
１１，１４により独立して駆動制御することにより、ｙ
軸及びｘ軸方向の焦点距離を独立して可変し得る２次元
電気光学レンズ装置となる。
１１，１４により独立して駆動制御することにより、ｙ
軸及びｘ軸方向の焦点距離を独立して可変し得る２次元
電気光学レンズ装置となる。
【００２０】つづいて、本発明の第二の実施例を図４に
より説明する。前記実施例で示した部分と同一部分は同
一符号を用いて示し、説明も省略する（以下の実施例で
も同様とする）。本実施例は、シリンダレンズ５，６に
代えて、これらと同等の機能を果たして第２レンズ系を
構成する１つのレンズ１６を設けたものである。本実施
例によれば、シリンダレンズ５，６の場合のように両者
間の相対位置関係を調整するといった作業が不要とな
る。
より説明する。前記実施例で示した部分と同一部分は同
一符号を用いて示し、説明も省略する（以下の実施例で
も同様とする）。本実施例は、シリンダレンズ５，６に
代えて、これらと同等の機能を果たして第２レンズ系を
構成する１つのレンズ１６を設けたものである。本実施
例によれば、シリンダレンズ５，６の場合のように両者
間の相対位置関係を調整するといった作業が不要とな
る。
【００２１】なお、これらの実施例では、電気光学レン
ズ３，７に対して入射する光ビーム１５のビーム形状を
図２や図３に示したように扁平としたが、電極対１０，
１３によるレンズ作用領域なる収差の小さな領域内に入
射させるものであれば扁平形状に限らず、例えば、円形
ビーム形状等のものであってもよい。よって、第１，２
レンズ系を構成する素子としてもシリンダレンズ２，６
等に限らず、要は、所望のビーム形状とし得るものであ
ればよい。
ズ３，７に対して入射する光ビーム１５のビーム形状を
図２や図３に示したように扁平としたが、電極対１０，
１３によるレンズ作用領域なる収差の小さな領域内に入
射させるものであれば扁平形状に限らず、例えば、円形
ビーム形状等のものであってもよい。よって、第１，２
レンズ系を構成する素子としてもシリンダレンズ２，６
等に限らず、要は、所望のビーム形状とし得るものであ
ればよい。
【００２２】さらに、本発明の第三の実施例を図５ない
し図７により説明する。本実施例は、入射させる光ビー
ムの直線偏光を矢印Ｂに示すようにｘ軸方向とした場合
に適用するようにしたものであり、電気光学レンズ３，
７に代えて、電気光学レンズ１７，１８を各々第１，２
電気光学レンズとして設けたものである。
し図７により説明する。本実施例は、入射させる光ビー
ムの直線偏光を矢印Ｂに示すようにｘ軸方向とした場合
に適用するようにしたものであり、電気光学レンズ３，
７に代えて、電気光学レンズ１７，１８を各々第１，２
電気光学レンズとして設けたものである。
【００２３】ここに、電気光学レンズ１７は、電気光学
レンズ３における電極対１０に代えて、電気光学媒体９
のｘ軸方向の両面に２本ずつストライプ状に形成した電
極による電極対１９を設けて、駆動電源１１に接続した
もので、駆動電源１１により電極対１９に電圧Ｖ1 を印
加すると、光ビーム１５をｙ軸方向に収束させるレンズ
作用を持つものとされている。電気光学レンズ１８は構
造的には電気光学レンズ１７と全く同一とされその配設
方向をｘ−ｙ軸方向で入替えたものとされている。即
ち、電気光学レンズ７における電極対１３に代えて、電
気光学媒体１２のｙ軸方向の両面に２本ずつストライプ
状に形成した電極による電極対２０を設けて、駆動電源
１４に接続したもので、駆動電源１４により電極対２０
に電圧Ｖ2を印加すると、光ビームをｘ軸方向に収束さ
せるレンズ作用を持つものとされている。
レンズ３における電極対１０に代えて、電気光学媒体９
のｘ軸方向の両面に２本ずつストライプ状に形成した電
極による電極対１９を設けて、駆動電源１１に接続した
もので、駆動電源１１により電極対１９に電圧Ｖ1 を印
加すると、光ビーム１５をｙ軸方向に収束させるレンズ
作用を持つものとされている。電気光学レンズ１８は構
造的には電気光学レンズ１７と全く同一とされその配設
方向をｘ−ｙ軸方向で入替えたものとされている。即
ち、電気光学レンズ７における電極対１３に代えて、電
気光学媒体１２のｙ軸方向の両面に２本ずつストライプ
状に形成した電極による電極対２０を設けて、駆動電源
１４に接続したもので、駆動電源１４により電極対２０
に電圧Ｖ2を印加すると、光ビームをｘ軸方向に収束さ
せるレンズ作用を持つものとされている。
【００２４】このような構成において、ｘ軸方向に直線
偏光したレーザビームはシリンダレンズ２によってｘ軸
方向に収束され、図６に示すように２本ずつのストライ
プ状電極による電極対１９間の収差が小さく領域に扁平
ビーム形状とされて電気光学レンズ１７に入射する。こ
こで、駆動電源１１によって電極対１９間に電圧Ｖ１を
印加すると光ビーム１５をｙ軸方向に収束させるレンズ
作用が生ずる。このような電気光学レンズ１７からの出
射ビームは１／２波長板４で偏光方向が９０°回転され
てｙ軸方向の直線偏光となり、シリンダレンズ５，６に
よるビーム変換を受ける。ここに、シリンダレンズ６に
よってｙ軸方向に収束されて、図７に示すように、電極
対２０によるレンズ作用領域に収差が小さくなるような
ビーム形状とされて電気光学レンズ１８に入射する。こ
こで、駆動電源１４によって電極対２０間に電圧Ｖ２
を印加すると光ビーム１５をｘ軸方向に収束させるレン
ズ作用が生ずる。このような電気光学レンズ１８からの
出射ビームはシリンダレンズ８によりビーム整形されて
最終出力となる。よって、電気光学レンズ１７，１８を
駆動電源１１，１４により独立して駆動制御することに
より、ｙ軸及びｘ軸方向の焦点距離を独立して可変し得
る２次元電気光学レンズ装置となる。
偏光したレーザビームはシリンダレンズ２によってｘ軸
方向に収束され、図６に示すように２本ずつのストライ
プ状電極による電極対１９間の収差が小さく領域に扁平
ビーム形状とされて電気光学レンズ１７に入射する。こ
こで、駆動電源１１によって電極対１９間に電圧Ｖ１を
印加すると光ビーム１５をｙ軸方向に収束させるレンズ
作用が生ずる。このような電気光学レンズ１７からの出
射ビームは１／２波長板４で偏光方向が９０°回転され
てｙ軸方向の直線偏光となり、シリンダレンズ５，６に
よるビーム変換を受ける。ここに、シリンダレンズ６に
よってｙ軸方向に収束されて、図７に示すように、電極
対２０によるレンズ作用領域に収差が小さくなるような
ビーム形状とされて電気光学レンズ１８に入射する。こ
こで、駆動電源１４によって電極対２０間に電圧Ｖ２
を印加すると光ビーム１５をｘ軸方向に収束させるレン
ズ作用が生ずる。このような電気光学レンズ１８からの
出射ビームはシリンダレンズ８によりビーム整形されて
最終出力となる。よって、電気光学レンズ１７，１８を
駆動電源１１，１４により独立して駆動制御することに
より、ｙ軸及びｘ軸方向の焦点距離を独立して可変し得
る２次元電気光学レンズ装置となる。
【００２５】また、本発明の第四の実施例を図８により
説明する。前述した実施例では、第１，２電気光学レン
ズを何れも同一構造のものとし、その配設状態を異なら
せて用いるようにしたが、本実施例では、第１，２電気
光学レンズとして互いに異なる収束特性を持つ別構造の
ものを用いるようにしたものである。具体的には、例え
ば図５に示した前記実施例における電気光学レンズ１８
に代えて、電気光学レンズ１７とは異なる構造の電気光
学レンズ２１を第２電気光学レンズとして用いるように
したものである。即ち、電気光学媒体１２のｙ軸方向の
両面に電極対（第２電極対）２２を形成するが、その電
極パターン形状として、一旦四角形状に形成した後でそ
の中心部から互いに逆向きの円弧状の曲線により囲まれ
た部分（凸レンズ形状部分）を除去した形状としたもの
で、このような電極対２２に電圧Ｖ2 を印加することに
より、ｘ軸方向に収束するレンズ作用を持たせたもので
ある。よって、動作的には、前記実施例の場合と同様と
なる。もっとも、本実施例による場合、電気光学レンズ
１７，２１のレンズ作用が異なるため、一方のレンズで
他方のレンズの収差を補正することも可能となる。
説明する。前述した実施例では、第１，２電気光学レン
ズを何れも同一構造のものとし、その配設状態を異なら
せて用いるようにしたが、本実施例では、第１，２電気
光学レンズとして互いに異なる収束特性を持つ別構造の
ものを用いるようにしたものである。具体的には、例え
ば図５に示した前記実施例における電気光学レンズ１８
に代えて、電気光学レンズ１７とは異なる構造の電気光
学レンズ２１を第２電気光学レンズとして用いるように
したものである。即ち、電気光学媒体１２のｙ軸方向の
両面に電極対（第２電極対）２２を形成するが、その電
極パターン形状として、一旦四角形状に形成した後でそ
の中心部から互いに逆向きの円弧状の曲線により囲まれ
た部分（凸レンズ形状部分）を除去した形状としたもの
で、このような電極対２２に電圧Ｖ2 を印加することに
より、ｘ軸方向に収束するレンズ作用を持たせたもので
ある。よって、動作的には、前記実施例の場合と同様と
なる。もっとも、本実施例による場合、電気光学レンズ
１７，２１のレンズ作用が異なるため、一方のレンズで
他方のレンズの収差を補正することも可能となる。
【００２６】ちなみに、本実施例において、電気光学レ
ンズ２１における電極対形状を反転（即ち、凸レンズ形
状の電極パターンとし、周囲を除去）させれば、ｘ軸方
向に発散するレンズ作用を持たせることができる。
ンズ２１における電極対形状を反転（即ち、凸レンズ形
状の電極パターンとし、周囲を除去）させれば、ｘ軸方
向に発散するレンズ作用を持たせることができる。
【００２７】さらに、本発明の第五の実施例を図９によ
り説明する。前述した実施例では、何れも第１，２電気
光学レンズに光ビーム１５をｘ又はｙ軸方向に収束させ
るレンズ作用を持たせたが、本実施例では第１，２電気
光学レンズとして光ビームをｘ又はｙ軸方向に発散させ
るレンズ作用を持つ電気光学レンズ２３，２４を用いる
ようにしたものである。
り説明する。前述した実施例では、何れも第１，２電気
光学レンズに光ビーム１５をｘ又はｙ軸方向に収束させ
るレンズ作用を持たせたが、本実施例では第１，２電気
光学レンズとして光ビームをｘ又はｙ軸方向に発散させ
るレンズ作用を持つ電気光学レンズ２３，２４を用いる
ようにしたものである。
【００２８】まず、電気光学レンズ２３は電気光学媒体
９のｘ軸方向の両面に半円形状の２個の電極を円弧部分
が光軸１の方向に対向するようにして形成することで、
電極対（第１電極対）２５を構成し、駆動電源１１によ
る電圧Ｖ1 の印加により光ビーム１５をｙ軸方向に発散
させるレンズ作用を持つようにしたものである。電気光
学レンズ２４は電気光学レンズ２３と全く同一構造のも
のであり、その配設方向をｘ−ｙ軸方向で異ならせたも
のであり、電極対２５に相当する電極対（第２電極対）
２６が形成され、駆動電源１４による電圧Ｖ2 の印加に
より光ビーム１５をｘ軸方向に発散させるレンズ作用を
持つようにしたものである。
９のｘ軸方向の両面に半円形状の２個の電極を円弧部分
が光軸１の方向に対向するようにして形成することで、
電極対（第１電極対）２５を構成し、駆動電源１１によ
る電圧Ｖ1 の印加により光ビーム１５をｙ軸方向に発散
させるレンズ作用を持つようにしたものである。電気光
学レンズ２４は電気光学レンズ２３と全く同一構造のも
のであり、その配設方向をｘ−ｙ軸方向で異ならせたも
のであり、電極対２５に相当する電極対（第２電極対）
２６が形成され、駆動電源１４による電圧Ｖ2 の印加に
より光ビーム１５をｘ軸方向に発散させるレンズ作用を
持つようにしたものである。
【００２９】さらに、本発明の第六の実施例について説
明する。本実施例は、前述したような各実施例をより効
果的なものとするため、第１，２電気光学レンズの配設
箇所を工夫したものである。例えば、図１に示した実施
例において、ｙ軸方向に直線偏光したレーザビームはシ
リンダレンズ２により絞り込まれて電気光学レンズ３に
入射されるが、このようなシリンダレンズ２によるビー
ムウエスト位置（又は、その近傍位置）に電気光学レン
ズ３を配設させるようにしたものである。電気光学レン
ズ７も同様にシリンダレンズ６によるビームウエスト位
置（又は、その近傍位置）に配設される。
明する。本実施例は、前述したような各実施例をより効
果的なものとするため、第１，２電気光学レンズの配設
箇所を工夫したものである。例えば、図１に示した実施
例において、ｙ軸方向に直線偏光したレーザビームはシ
リンダレンズ２により絞り込まれて電気光学レンズ３に
入射されるが、このようなシリンダレンズ２によるビー
ムウエスト位置（又は、その近傍位置）に電気光学レン
ズ３を配設させるようにしたものである。電気光学レン
ズ７も同様にシリンダレンズ６によるビームウエスト位
置（又は、その近傍位置）に配設される。
【００３０】このような配設構成によれば、ビームウエ
スト位置又はその近傍位置で電気光学レンズ３，７を使
用するので、収差の極めて小さい領域のみを使用できる
ものとなり、より収束性能の高い２次元電気光学レンズ
装置となる。
スト位置又はその近傍位置で電気光学レンズ３，７を使
用するので、収差の極めて小さい領域のみを使用できる
ものとなり、より収束性能の高い２次元電気光学レンズ
装置となる。
【００３１】なお、例えば第１，２電気光学レンズとし
て図８の場合のように異なる構造のものを用いその収束
性能が異なる場合、或いは、構造に関係なく１方向（ｘ
軸方向又はｙ軸方向）のみの収束性が重要視されるよう
な場合には、第１，２電気光学レンズをともにビームウ
エスト位置に配設する必要はなく、少なくとも一方をビ
ームウエスト位置に配設すればよく、要は、使用形態等
に応じて選択すればよい。
て図８の場合のように異なる構造のものを用いその収束
性能が異なる場合、或いは、構造に関係なく１方向（ｘ
軸方向又はｙ軸方向）のみの収束性が重要視されるよう
な場合には、第１，２電気光学レンズをともにビームウ
エスト位置に配設する必要はなく、少なくとも一方をビ
ームウエスト位置に配設すればよく、要は、使用形態等
に応じて選択すればよい。
【００３２】なお、前述した各実施例の電気光学媒体と
しては、２次電気効果を示すＰＬＺＴ電気光学セラミッ
クスを用い得るが、これに限らず、例えば１次電気光学
効果（いわゆる、ポッケルス効果）を示すＬｉＮｂＯ
3 ，ＬｉＴａＯ3 等の１次電気光学結晶であってもよ
い。もっとも、ＰＬＺＴ電気光学セラミックスを用いた
場合には同じ電界強度で比較した場合に、電気光学効果
によって生ずる結晶中の屈折率変化が１次電気光学結晶
よりも１桁程度大きいので、低駆動電圧で大きなレンズ
効果（大きな焦点距離可変効果）を得る上では有利とな
る。
しては、２次電気効果を示すＰＬＺＴ電気光学セラミッ
クスを用い得るが、これに限らず、例えば１次電気光学
効果（いわゆる、ポッケルス効果）を示すＬｉＮｂＯ
3 ，ＬｉＴａＯ3 等の１次電気光学結晶であってもよ
い。もっとも、ＰＬＺＴ電気光学セラミックスを用いた
場合には同じ電界強度で比較した場合に、電気光学効果
によって生ずる結晶中の屈折率変化が１次電気光学結晶
よりも１桁程度大きいので、低駆動電圧で大きなレンズ
効果（大きな焦点距離可変効果）を得る上では有利とな
る。
【００３３】そこで、電気光学媒体として２次電気光学
効果を持つＰＬＺＴ電気光学セラミックスを用いた場合
の電気光学レンズ構造及びその動作原理について、前述
した実施例を参照して説明する。まず、ＰＬＺＴの組成
としては、９／６５／３５なる比率が好ましいが、他の
組成であってもよい。レーザビームが透過する光軸１に
沿って媒体の対向する両面に電極膜を形成する。電極膜
はＡｕ，Ａｌ等を材料とし、蒸着法等により形成すれば
よい。電極形状としては、前述したようなストライプ状
のもの、円弧状のもの、或いは、半円状のものなどを、
収束又は発散作用を持たせるか否かといった用途に応じ
て使い分ければよい。
効果を持つＰＬＺＴ電気光学セラミックスを用いた場合
の電気光学レンズ構造及びその動作原理について、前述
した実施例を参照して説明する。まず、ＰＬＺＴの組成
としては、９／６５／３５なる比率が好ましいが、他の
組成であってもよい。レーザビームが透過する光軸１に
沿って媒体の対向する両面に電極膜を形成する。電極膜
はＡｕ，Ａｌ等を材料とし、蒸着法等により形成すれば
よい。電極形状としては、前述したようなストライプ状
のもの、円弧状のもの、或いは、半円状のものなどを、
収束又は発散作用を持たせるか否かといった用途に応じ
て使い分ければよい。
【００３４】しかして、例えば図１に示した構成におい
て、電気光学レンズ３，７の電極対１０，１３に電圧が
印加されていない場合には、光ビーム１５は電気光学媒
体９，１２で何らの変化も受けずに透過してそのまま出
射する。一方、電極対１０，１３に電圧を印加すると、
電気光学媒体９，１２中の電極対１０，１３で挾まれた
領域に、電極付近で強く中央付近で弱くなる電界分布が
生ずる。この結果、ＰＬＺＴの２次電気光学効果により
電気光学媒体９，１２中には屈折率分布が生ずる。この
結果、例えば、図２において、電界の方向をｙ軸方向、
光ビーム１５の入射方向をｚ軸方向、入射する光ビーム
１５の偏光方向をｙ軸方向とすると、屈折率分布ｎ
y は、 ｎy ＝ｎ0 ｛１−（１／２）ｎ0 2Ｒ33Ｅy 2｝ ………
…（１） となる。ただし、ｎ0 はＥ＝０でのＰＬＺＴの屈折率、
Ｒ33は２次電気光学係数である。
て、電気光学レンズ３，７の電極対１０，１３に電圧が
印加されていない場合には、光ビーム１５は電気光学媒
体９，１２で何らの変化も受けずに透過してそのまま出
射する。一方、電極対１０，１３に電圧を印加すると、
電気光学媒体９，１２中の電極対１０，１３で挾まれた
領域に、電極付近で強く中央付近で弱くなる電界分布が
生ずる。この結果、ＰＬＺＴの２次電気光学効果により
電気光学媒体９，１２中には屈折率分布が生ずる。この
結果、例えば、図２において、電界の方向をｙ軸方向、
光ビーム１５の入射方向をｚ軸方向、入射する光ビーム
１５の偏光方向をｙ軸方向とすると、屈折率分布ｎ
y は、 ｎy ＝ｎ0 ｛１−（１／２）ｎ0 2Ｒ33Ｅy 2｝ ………
…（１） となる。ただし、ｎ0 はＥ＝０でのＰＬＺＴの屈折率、
Ｒ33は２次電気光学係数である。
【００３５】（１）式より、電界Ｅy による屈折率変化
Δｎy は、 Δｎy ＝−（１／２）ｎ0 3Ｒ33Ｅy 2 ………………
…（２） となり、電界強度の２乗に比例することが分かる。そし
て、電界の強い箇所では屈折率が小さくなり、図２の場
合であれば光収束作用がｙ軸方向に起り、図７の場合で
あればｘ軸方向に起り、前述した各実施例のような作用
が得られる。
Δｎy は、 Δｎy ＝−（１／２）ｎ0 3Ｒ33Ｅy 2 ………………
…（２） となり、電界強度の２乗に比例することが分かる。そし
て、電界の強い箇所では屈折率が小さくなり、図２の場
合であれば光収束作用がｙ軸方向に起り、図７の場合で
あればｘ軸方向に起り、前述した各実施例のような作用
が得られる。
【００３６】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、互いに直
交する方向にレンズ作用を示す第１，２電気光学レンズ
に対して各々第１，２レンズ系により所望の位置に所望
のビーム形状となるように絞って光ビームを入射させる
ようにしたので、特性の良好な領域を利用するものとな
り、性能のよい焦点距離可変を２次元的に独立して行う
ことができ、この際、第１，２電気光学レンズ間の光軸
上には１／２波長板を介在させて偏光方向を９０°回転
させるようにしたので、レンズ作用方向が直交するこれ
らの第１，２電気光学レンズに対する光ビームの偏光方
向も直交する方向となり、結局、第１，２電気光学レン
ズとしては同一構造の電気光学レンズを方向を異ならせ
て配設するだけでよく、２次元電気レンズ特有の収差が
生じやすいといった問題も回避でき、さらには、第１，
２電気光学レンズとして異なる収束特性を持つものを用
いることにより一方のレンズで他方のレンズの収差を補
正する機能を持たせることも可能となる。
交する方向にレンズ作用を示す第１，２電気光学レンズ
に対して各々第１，２レンズ系により所望の位置に所望
のビーム形状となるように絞って光ビームを入射させる
ようにしたので、特性の良好な領域を利用するものとな
り、性能のよい焦点距離可変を２次元的に独立して行う
ことができ、この際、第１，２電気光学レンズ間の光軸
上には１／２波長板を介在させて偏光方向を９０°回転
させるようにしたので、レンズ作用方向が直交するこれ
らの第１，２電気光学レンズに対する光ビームの偏光方
向も直交する方向となり、結局、第１，２電気光学レン
ズとしては同一構造の電気光学レンズを方向を異ならせ
て配設するだけでよく、２次元電気レンズ特有の収差が
生じやすいといった問題も回避でき、さらには、第１，
２電気光学レンズとして異なる収束特性を持つものを用
いることにより一方のレンズで他方のレンズの収差を補
正する機能を持たせることも可能となる。
【００３７】この際、請求項２記載の発明によれば、電
気光学レンズを入射ビームのビームウエスト位置又はそ
の近傍位置に配設させたので、極めて収差の小さい領域
のみを利用するものとなり、一層高性能な２次元レンズ
作用を得ることができる。
気光学レンズを入射ビームのビームウエスト位置又はそ
の近傍位置に配設させたので、極めて収差の小さい領域
のみを利用するものとなり、一層高性能な２次元レンズ
作用を得ることができる。
【００３８】また、請求項３記載の発明によれば、電気
光学媒体としてＰＬＺＴ電気光学セラミックスを使用す
るようにしたので、電気光学効果による屈折率変化量が
大きなものとなり、低電圧駆動で大きな焦点距離可変量
を得ることができる。
光学媒体としてＰＬＺＴ電気光学セラミックスを使用す
るようにしたので、電気光学効果による屈折率変化量が
大きなものとなり、低電圧駆動で大きな焦点距離可変量
を得ることができる。
【図１】本発明の第一の実施例を示す斜視図である。
【図２】第１電気光学レンズに対する入射ビーム状態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図３】第２電気光学レンズに対する入射ビーム状態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図４】本発明の第二の実施例を示す斜視図である。
【図５】本発明の第三の実施例を示す斜視図である。
【図６】第１電気光学レンズに対する入射ビーム状態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図７】第２電気光学レンズに対する入射ビーム状態を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図８】本発明の第四の実施例を示す斜視図である。
【図９】本発明の第五の実施例を示す斜視図である。
１ 光軸 ２ 第１レンズ系 ３ 第１電気光学レンズ ４ １／２波長板 ６ 第２レンズ系 ７ 第２電気光学レンズ ８ 第３レンズ系 ９ 第１電気光学媒体 １０ 第１電極対 １１ 第１駆動電源 １２ 第２電気光学媒体 １３ 第２電極対 １４ 第２駆動電源 １５ 光ビーム １６ 第２レンズ系 １７ 第１電気光学レンズ １８ 第２電気光学レンズ １９ 第１電極対 ２０ 第２電極対 ２１ 第２電気光学レンズ ２２ 第２電極対 ２３ 第１電気光学レンズ ２４ 第２電気光学レンズ ２５ 第１電極対 ２６ 第２電極対
Claims (3)
- 【請求項１】 第１電気光学媒体とこの第１電気光学媒
体の光ビーム透過方向に沿って対向する両面に形成され
て電圧印加により前記光ビームを第１方向に収束又は発
散させるレンズ作用を付与する所定の大きさ及び形状の
第１電極対とこれらの第１電極対に電圧を印加する第１
駆動電源とを有する第１電気光学レンズと、第２電気光
学媒体とこの第２電気光学媒体の光ビーム透過方向に沿
って対向する両面に形成されて電圧印加により前記光ビ
ームを前記第１方向に直交する第２方向に収束又は発散
させるレンズ作用を付与する所定の大きさ及び形状の第
２電極対とこれらの第２電極対に電圧を印加する第２駆
動電源とを有する第２電気光学レンズと、これらの第
１，２電気光学レンズ間の光軸上に配設させた１／２波
長板と、前記第１電気光学レンズの所望の位置に所望の
ビーム形状で直線偏光した光ビームを入射させる第１レ
ンズ系と、これらの第１電気光学レンズ及び１／２波長
板を透過した光ビームを前記第２電気光学レンズの所望
の位置に所望のビーム形状で入射させる第２レンズ系
と、前記第２電気光学レンズからの出射ビームを整形す
る第３レンズ系とよりなることを特徴とする２次元電気
光学レンズ装置。 - 【請求項２】 第１，２電気光学レンズの少なくとも一
方を入射ビームのビームウエスト位置又はその近傍位置
に配設したことを特徴とする請求項１記載の２次元電気
光学レンズ装置。 - 【請求項３】 第１，２電気光学媒体をＰＬＺＴ電気光
学セラミックスとしたことを特徴とする請求項１又は２
記載の２次元電気光学レンズ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4303548A JPH06148580A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | ２次元電気光学レンズ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4303548A JPH06148580A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | ２次元電気光学レンズ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06148580A true JPH06148580A (ja) | 1994-05-27 |
Family
ID=17922334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4303548A Pending JPH06148580A (ja) | 1992-11-13 | 1992-11-13 | ２次元電気光学レンズ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06148580A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009014793A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Sunx Ltd | 焦点距離調整装置、レーザ加工装置、レーザ変位計及び電気光学素子 |
-
1992
- 1992-11-13 JP JP4303548A patent/JPH06148580A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009014793A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Sunx Ltd | 焦点距離調整装置、レーザ加工装置、レーザ変位計及び電気光学素子 |
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