JPH06150252A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH06150252A JPH06150252A JP4296835A JP29683592A JPH06150252A JP H06150252 A JPH06150252 A JP H06150252A JP 4296835 A JP4296835 A JP 4296835A JP 29683592 A JP29683592 A JP 29683592A JP H06150252 A JPH06150252 A JP H06150252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- head
- thin film
- substrate
- wear resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録再生装置に使用される薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、全部または一部のヘッドの耐摩耗性が悪い
という課題を解決し、全てのヘッドに於いて耐摩耗性が
良く、信頼性に優れた薄膜磁気ヘッドを実現する事を目
的とする。 【構成】 磁性基板を共通のヨークとして、磁性基板の
両側に、かつ磁性基板と接した磁気ギャップを有し、さ
らに該磁性基板に耐摩耗性に優れた磁性フェライトを使
用するという構成を備える。 【効果】 以上の構成により、全てのヘッドギャップが
磁性フェライトと接しているため、耐摩耗性、ひいては
信頼性に優れた薄膜磁気ヘッドが得られる。
ドにおいて、全部または一部のヘッドの耐摩耗性が悪い
という課題を解決し、全てのヘッドに於いて耐摩耗性が
良く、信頼性に優れた薄膜磁気ヘッドを実現する事を目
的とする。 【構成】 磁性基板を共通のヨークとして、磁性基板の
両側に、かつ磁性基板と接した磁気ギャップを有し、さ
らに該磁性基板に耐摩耗性に優れた磁性フェライトを使
用するという構成を備える。 【効果】 以上の構成により、全てのヘッドギャップが
磁性フェライトと接しているため、耐摩耗性、ひいては
信頼性に優れた薄膜磁気ヘッドが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生装置に使
用される薄膜磁気ヘッドに関する。
用される薄膜磁気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録装置の小型化や、信号の
高品質化あるいはデジタル化等の進行に伴い、狭トラッ
ク化、マルチトラック化された薄膜磁気ヘッドに対する
要求が大きくなっている。この薄膜磁気ヘッドとしては
バルクヘッドと同様にコイルを用いたインダクティブ型
ヘッドと、磁気抵抗効果（以下ＭＲ効果と呼ぶ）を利用
した再生用のＭＲヘッドが知られている。
高品質化あるいはデジタル化等の進行に伴い、狭トラッ
ク化、マルチトラック化された薄膜磁気ヘッドに対する
要求が大きくなっている。この薄膜磁気ヘッドとしては
バルクヘッドと同様にコイルを用いたインダクティブ型
ヘッドと、磁気抵抗効果（以下ＭＲ効果と呼ぶ）を利用
した再生用のＭＲヘッドが知られている。
【０００３】コイルを用いたインダクティブ型ヘッド
は、その出力がテープ／ヘッドの相対速度に比例するた
め、相対速度が小さい場合出力も小さくなり、良好な再
生が出来ない。これに対してＭＲ効果を利用したＭＲヘ
ッドは、磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と呼ぶ）に流
入する磁束に応じてその抵抗値が変化し、これにより電
磁変換を行うため、テープ／ヘッドの相対速度に無関係
に高出力が得られるという利点がある。その一方で記録
は出来ないためこれとは別に記録用のヘッドが必要であ
る。
は、その出力がテープ／ヘッドの相対速度に比例するた
め、相対速度が小さい場合出力も小さくなり、良好な再
生が出来ない。これに対してＭＲ効果を利用したＭＲヘ
ッドは、磁気抵抗効果素子（以下ＭＲ素子と呼ぶ）に流
入する磁束に応じてその抵抗値が変化し、これにより電
磁変換を行うため、テープ／ヘッドの相対速度に無関係
に高出力が得られるという利点がある。その一方で記録
は出来ないためこれとは別に記録用のヘッドが必要であ
る。
【０００４】図２に記録用ヘッドであるインダクティブ
型ヘッドと再生用ヘッドであるＭＲヘッドとを１チップ
上に構成した従来の複合型薄膜磁気ヘッドの断面図を示
す。
型ヘッドと再生用ヘッドであるＭＲヘッドとを１チップ
上に構成した従来の複合型薄膜磁気ヘッドの断面図を示
す。
【０００５】記録ヘッド部は、磁性基板３４と上部ヨー
ク３３とで形成された磁路にコイル３１を用いて磁気ギ
ャップ３０に漏れ磁束を発生させ、媒体に情報を記録す
るという構成になっている。
ク３３とで形成された磁路にコイル３１を用いて磁気ギ
ャップ３０に漏れ磁束を発生させ、媒体に情報を記録す
るという構成になっている。
【０００６】再生ヘッド部は上部ヨーク２１，２８と下
部ヨーク２３と磁気ギャップ２２とで形成された磁路を
介して、媒体からの漏れ磁束がＭＲ素子２５に伝達さ
れ、その磁束の変化によって誘起されるＭＲ素子の抵抗
変化をバイアス２６およびリード２４を用いて電圧の変
化に変換して、媒体から情報を読み出すという構成にな
っている。
部ヨーク２３と磁気ギャップ２２とで形成された磁路を
介して、媒体からの漏れ磁束がＭＲ素子２５に伝達さ
れ、その磁束の変化によって誘起されるＭＲ素子の抵抗
変化をバイアス２６およびリード２４を用いて電圧の変
化に変換して、媒体から情報を読み出すという構成にな
っている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の構
成では、記録ヘッドのギャップの片側には耐摩耗性の良
いフェライトが存在している反面、再生ヘッドのギャッ
プの両側は双方ともアモルファスで、更にこのアモルフ
ァスはアルミナのスパッタ膜に挟まれている。通常アル
ミナは耐摩耗性が良いが、そのスパッタ膜では十分な耐
摩耗性を得るのはむずかしく、フェライトとの耐摩耗性
の差から偏摩耗が生じて、信頼性に欠けるという課題を
有している。また薄膜が基板の片側のみに存在している
ために、基板に反りが発生するため小面積でしか製造で
きず、量産に適さないと言う課題を有している。
成では、記録ヘッドのギャップの片側には耐摩耗性の良
いフェライトが存在している反面、再生ヘッドのギャッ
プの両側は双方ともアモルファスで、更にこのアモルフ
ァスはアルミナのスパッタ膜に挟まれている。通常アル
ミナは耐摩耗性が良いが、そのスパッタ膜では十分な耐
摩耗性を得るのはむずかしく、フェライトとの耐摩耗性
の差から偏摩耗が生じて、信頼性に欠けるという課題を
有している。また薄膜が基板の片側のみに存在している
ために、基板に反りが発生するため小面積でしか製造で
きず、量産に適さないと言う課題を有している。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の薄膜磁気ヘッド
は、上記課題を解決するために、磁性基板を共通のヨー
クとして、磁性基板の両側に、かつ磁性基板と接した磁
気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗性に優れ
た磁性フェライトを使用するという構成を備えたもので
ある。
は、上記課題を解決するために、磁性基板を共通のヨー
クとして、磁性基板の両側に、かつ磁性基板と接した磁
気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗性に優れ
た磁性フェライトを使用するという構成を備えたもので
ある。
【０００９】
【作用】この構成により、本発明の薄膜磁気ヘッドは全
てのヘッドギャップが磁性フェライトと接しているた
め、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れ、また基板の両側
に同程度の厚さの薄膜が存在するため、応力による反り
が小さく、量産性に優れた大面積での製造に適してい
る。
てのヘッドギャップが磁性フェライトと接しているた
め、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れ、また基板の両側
に同程度の厚さの薄膜が存在するため、応力による反り
が小さく、量産性に優れた大面積での製造に適してい
る。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の第一の実施例に関して、図１
を使用して説明する。
を使用して説明する。
【００１１】磁性フェライト（Ｎｉ−Ｚｎ−Ｆｅ−Ｏ）
基板上に記録ヘッド、即ち０．３μｍ厚のＳｉＯ2から
なる磁気ギャップ１０、３０００μｍのＡｕからなるコ
イル１１、ＳｉＯ2からなる絶縁層１２、６μｍ厚のＣ
ｏＮｂＺｒからなる上部ヨーク１３、Ａｌ2Ｏ3からなる
保護層１５で構成されるインダクティブ型の薄膜ヘッド
を形成する。
基板上に記録ヘッド、即ち０．３μｍ厚のＳｉＯ2から
なる磁気ギャップ１０、３０００μｍのＡｕからなるコ
イル１１、ＳｉＯ2からなる絶縁層１２、６μｍ厚のＣ
ｏＮｂＺｒからなる上部ヨーク１３、Ａｌ2Ｏ3からなる
保護層１５で構成されるインダクティブ型の薄膜ヘッド
を形成する。
【００１２】次にその背面に再生ヘッド、即ち１μｍ厚
のＣｏＮｂＺｒからなる上部ヨーク１および８、０．３
μｍ厚のＳｉＯ2からなる磁気ギャップ２、３０００μ
ｍのＡｕからなるリード４、３５ｎｍ厚のＮｉＦｅから
なるＭＲ素子５、３０００μｍのＡｕからなるバイアス
６、Ａｌ2Ｏ3からなる保護層７、ＳｉＯ2からなる絶縁
層９で構成されるＭＲヘッドを形成する。
のＣｏＮｂＺｒからなる上部ヨーク１および８、０．３
μｍ厚のＳｉＯ2からなる磁気ギャップ２、３０００μ
ｍのＡｕからなるリード４、３５ｎｍ厚のＮｉＦｅから
なるＭＲ素子５、３０００μｍのＡｕからなるバイアス
６、Ａｌ2Ｏ3からなる保護層７、ＳｉＯ2からなる絶縁
層９で構成されるＭＲヘッドを形成する。
【００１３】このヘッドと基板の片側に記録再生の両ヘ
ッドとも形成した従来のヘッドとを高温高湿（４０℃８
０％ＲＨ）で１０００時間ＢＡＳＦ社のＣｒＯ2テープ
をそれぞれ３、および３６の磁気テープ摺動面に摺動さ
せて、耐摩耗性の実験を行った。実験の後で両ヘッドを
それぞれ２チップずつ切断し、ギャップデプスを測定し
た結果の平均値を表１に示す。なお比較のために磁気テ
ープと摺動させていない両ヘッドをそれぞれ２チップず
つ切断し、ギャップデプスを測定した結果の平均値を初
期の値として表１に示す。
ッドとも形成した従来のヘッドとを高温高湿（４０℃８
０％ＲＨ）で１０００時間ＢＡＳＦ社のＣｒＯ2テープ
をそれぞれ３、および３６の磁気テープ摺動面に摺動さ
せて、耐摩耗性の実験を行った。実験の後で両ヘッドを
それぞれ２チップずつ切断し、ギャップデプスを測定し
た結果の平均値を表１に示す。なお比較のために磁気テ
ープと摺動させていない両ヘッドをそれぞれ２チップず
つ切断し、ギャップデプスを測定した結果の平均値を初
期の値として表１に示す。
【００１４】
【表１】 表１から明らかなように、従来例のヘッドでは特に再生
ヘッドのギャップがフェライトと接していないため、摩
耗量が大きくなっている。それに対して本実施例のヘッ
ドでは記録、再生両ヘッドともギャップがフェライトに
接しているため摩耗量が小さくなっている。
ヘッドのギャップがフェライトと接していないため、摩
耗量が大きくなっている。それに対して本実施例のヘッ
ドでは記録、再生両ヘッドともギャップがフェライトに
接しているため摩耗量が小さくなっている。
【００１５】以上のように本実施例では、磁性基板を共
通のヨークとして、磁性基板の両側に、かつ磁性基板と
接した磁気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗
性に優れた磁性フェライトを使用するという構成を備え
ることにより、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れた薄膜
磁気ヘッドを提供する事ができる。
通のヨークとして、磁性基板の両側に、かつ磁性基板と
接した磁気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗
性に優れた磁性フェライトを使用するという構成を備え
ることにより、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れた薄膜
磁気ヘッドを提供する事ができる。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から本発明は、磁性基板を共
通のヨークとして磁性基板の両側に、かつ磁性基板と接
した磁気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗性
に優れた磁性フェライトを使用するという構成を備える
ことにより、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れた薄膜磁
気ヘッドを提供する事ができる。
通のヨークとして磁性基板の両側に、かつ磁性基板と接
した磁気ギャップを有し、さらに該磁性基板に耐摩耗性
に優れた磁性フェライトを使用するという構成を備える
ことにより、耐摩耗性、ひいては信頼性に優れた薄膜磁
気ヘッドを提供する事ができる。
【図１】本発明の実施例における薄膜磁気ヘッドの断面
図
図
【図２】従来の複合型薄膜磁気ヘッドの断面図 １ 上部ヨーク ２ 磁気ギャップ ４ リード ５ ＭＲ素子 ６ バイアス ７ 保護膜 ８ 上部ヨーク ９ 絶縁層 １０ 磁気ギャップ １１ コイル １２ 絶縁層 １３ 上部ヨーク １４ 磁性基板 １５ 保護膜 ２１ 上部ヨーク ２２ 磁気ギャップ ２３ 下部ヨーク ２４ リード ２５ ＭＲ素子 ２６ バイアス ２７ 保護膜 ２８ 上部ヨーク ２９ 絶縁層 ３０ 磁気ギャップ ３１ コイル ３２ 絶縁層 ３３ 上部ヨーク ３４ 磁性基板
Claims (2)
- 【請求項１】 磁性基板を共通のヨークとして、磁性基
板の両側に、かつ磁性基板と接した磁気ギャップを有す
る事を特徴とした薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 磁性基板が磁性フェライトである事を特
徴とする、請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296835A JPH06150252A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4296835A JPH06150252A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06150252A true JPH06150252A (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=17838777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4296835A Pending JPH06150252A (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06150252A (ja) |
-
1992
- 1992-11-06 JP JP4296835A patent/JPH06150252A/ja active Pending
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