JPH06154683A - 吐出装置 - Google Patents
吐出装置Info
- Publication number
- JPH06154683A JPH06154683A JP4318825A JP31882592A JPH06154683A JP H06154683 A JPH06154683 A JP H06154683A JP 4318825 A JP4318825 A JP 4318825A JP 31882592 A JP31882592 A JP 31882592A JP H06154683 A JPH06154683 A JP H06154683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- sleeve
- discharge device
- fluid pressure
- shaft body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 微小の吐出量であっても、これを正確に設定
できると共にコンパクトに構成できる吐出装置を提供す
る。 【構成】 スリーブ１と、このスリーブ１に同心状に収
容された軸体２と、軸体２の外周面に設けられた螺旋溝
７ａと、螺旋溝形成部において軸体２とスリーブ１との
間に構成された流体圧送路８と、流体圧送路８の上流部
に流体を供給する流体供給手段９、１１と、流体圧送路
８の下流部に設けられたノズル３と、スリーブ１と軸体
２とを相対回転させる回転駆動手段６とを備えたことを
特徴とする。
できると共にコンパクトに構成できる吐出装置を提供す
る。 【構成】 スリーブ１と、このスリーブ１に同心状に収
容された軸体２と、軸体２の外周面に設けられた螺旋溝
７ａと、螺旋溝形成部において軸体２とスリーブ１との
間に構成された流体圧送路８と、流体圧送路８の上流部
に流体を供給する流体供給手段９、１１と、流体圧送路
８の下流部に設けられたノズル３と、スリーブ１と軸体
２とを相対回転させる回転駆動手段６とを備えたことを
特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示パネルの組立工
程において、基板上に液晶を吐出する装置などに利用さ
れる吐出装置に関するものである。
程において、基板上に液晶を吐出する装置などに利用さ
れる吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶表示パネルを作るためのプ
ロセスにおいて、互いに貼り合わされるべき２枚の基板
のギャップ面に液晶を封入する技術は、画質の均一性等
のパネル性能を高品質なものとするため、液晶をむらな
く基板内に封入することが必要である。
ロセスにおいて、互いに貼り合わされるべき２枚の基板
のギャップ面に液晶を封入する技術は、画質の均一性等
のパネル性能を高品質なものとするため、液晶をむらな
く基板内に封入することが必要である。
【０００３】このため基板上に液晶を均一に塗布するた
めの吐出装置が求められている。
めの吐出装置が求められている。
【０００４】図９は従来の吐出装置を示している。図９
において、３１は基板、３２は液晶（流体）、３３はノ
ズル、３４はシリンダ、３５はピストン、３６は加圧機
構である。加圧機構３６はボールネジ送り機構を備え、
ボールネジの回転によってピストン３５を降下させて、
シリンダ３４内の液晶３２をノズル３３より吐出し、基
板３１上に液晶３２を塗布する。基板３１又は吐出装置
はＸＹテーブル等の移動機構によって、滴下ポイントが
移動するように構成され、基板３１に均一に液晶３２が
滴下される。２枚の基板３１の夫々に液晶３２が塗布さ
れた後、これらを貼り合わせ、基板３１間のギャップに
液晶３２が均一に充満されるようにする。
において、３１は基板、３２は液晶（流体）、３３はノ
ズル、３４はシリンダ、３５はピストン、３６は加圧機
構である。加圧機構３６はボールネジ送り機構を備え、
ボールネジの回転によってピストン３５を降下させて、
シリンダ３４内の液晶３２をノズル３３より吐出し、基
板３１上に液晶３２を塗布する。基板３１又は吐出装置
はＸＹテーブル等の移動機構によって、滴下ポイントが
移動するように構成され、基板３１に均一に液晶３２が
滴下される。２枚の基板３１の夫々に液晶３２が塗布さ
れた後、これらを貼り合わせ、基板３１間のギャップに
液晶３２が均一に充満されるようにする。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記従来例で
は、加圧機構３６のボールネジの分解能に限界があり、
又バックラッシが存在することによって、流体の吐出量
にばらつきが生じ、正確な吐出量制御が困難であるとい
う問題があった。特に液晶表示パネルの製造に上記従来
例を用いると、基板３１間のギャップに充満される液晶
３２が均一層とならず、画質ムラが生ずるという問題が
あった。
は、加圧機構３６のボールネジの分解能に限界があり、
又バックラッシが存在することによって、流体の吐出量
にばらつきが生じ、正確な吐出量制御が困難であるとい
う問題があった。特に液晶表示パネルの製造に上記従来
例を用いると、基板３１間のギャップに充満される液晶
３２が均一層とならず、画質ムラが生ずるという問題が
あった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
消するため、スリーブと、このスリーブに同心状に収容
された軸体と、軸体の外周面又はスリーブの内周面に設
けられた螺旋溝と、螺旋溝形成部において軸体とスリー
ブとの間に構成された流体圧送路と、流体圧送路の上流
部に流体を供給する流体供給手段と、流体圧送路の下流
部に設けられたノズルと、スリーブと軸体とを相対回転
させる回転駆動手段とを備えたことを特徴とする。
消するため、スリーブと、このスリーブに同心状に収容
された軸体と、軸体の外周面又はスリーブの内周面に設
けられた螺旋溝と、螺旋溝形成部において軸体とスリー
ブとの間に構成された流体圧送路と、流体圧送路の上流
部に流体を供給する流体供給手段と、流体圧送路の下流
部に設けられたノズルと、スリーブと軸体とを相対回転
させる回転駆動手段とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明によれば、軸体とスリーブとの間の相対
回転により、流体圧送路内の流体は円周方向速度を与え
られ、撹拌されつつ螺旋溝に沿ってノズルに向け移動
し、ノズルから吐出される。そしてこの際の吐出量は前
記回転の速度により微妙に定めることができ、微小の吐
出量であっても正確な吐出量に設定することができる。
回転により、流体圧送路内の流体は円周方向速度を与え
られ、撹拌されつつ螺旋溝に沿ってノズルに向け移動
し、ノズルから吐出される。そしてこの際の吐出量は前
記回転の速度により微妙に定めることができ、微小の吐
出量であっても正確な吐出量に設定することができる。
【０００８】又本発明によると、前記回転の速度を変化
させることにより、ノズルからの吐出量を任意に設定で
きる。
させることにより、ノズルからの吐出量を任意に設定で
きる。
【０００９】更に本発明によると、吐出装置のコンパク
ト化が可能である。
ト化が可能である。
【００１０】
【実施例】図１及び図２に示す第１実施例は、液晶パネ
ルの組立工程において、基板に液晶を吐出する吐出装置
に係るものである。
ルの組立工程において、基板に液晶を吐出する吐出装置
に係るものである。
【００１１】図１に示す吐出装置は、上端に鍔状円板部
１ａを備えた円筒状のスリーブ１と、このスリーブ１に
同心状に収容された軸体２と、ノズル３を有するカバー
板４と、軸体２を支持すると共にスリーブ１を回転自在
に支持するハウジング５と、ハウジング５とスリーブ１
の鍔状円板部１ａとの間に組込まれたモータ６とを備え
ている。軸体２の下半分外周には、図２に示すように、
螺旋溝７ａが形成され、この螺旋溝７ａとスリーブ１の
内周面との間に流体圧送路８が構成されている。流体圧
送路８には配管９より送られてくる流体（液晶）１０
が、軸体２に設けた流入口１１を介して供給される。軸
体２はその上部において軸受１２を介してスリーブ１を
回転自在に支持する。又前記カバー板４はパッキン１３
を介してスリーブ１の下端面に取付けられている。
１ａを備えた円筒状のスリーブ１と、このスリーブ１に
同心状に収容された軸体２と、ノズル３を有するカバー
板４と、軸体２を支持すると共にスリーブ１を回転自在
に支持するハウジング５と、ハウジング５とスリーブ１
の鍔状円板部１ａとの間に組込まれたモータ６とを備え
ている。軸体２の下半分外周には、図２に示すように、
螺旋溝７ａが形成され、この螺旋溝７ａとスリーブ１の
内周面との間に流体圧送路８が構成されている。流体圧
送路８には配管９より送られてくる流体（液晶）１０
が、軸体２に設けた流入口１１を介して供給される。軸
体２はその上部において軸受１２を介してスリーブ１を
回転自在に支持する。又前記カバー板４はパッキン１３
を介してスリーブ１の下端面に取付けられている。
【００１２】基板１４はＸＹテーブル１５上に載置さ
れ、ＸＹテーブル１５の移動によって、ノズル３から吐
出される流体１０を基板１４上に均一に塗布しうるよう
に構成されている。
れ、ＸＹテーブル１５の移動によって、ノズル３から吐
出される流体１０を基板１４上に均一に塗布しうるよう
に構成されている。
【００１３】次に上記構成の吐出装置の動作を説明す
る。図１において、スリーブ１が回転しない状態の場合
は、ノズル３から流体１０は吐出されない状態にある。
次にモータ６によってスリーブ１を回転させた場合、軸
体２の螺旋溝７ａに案内されて、流体１０は流体圧送路
８内をノズル３に向け移動し、ノズル３より基板１４に
向け吐出される。
る。図１において、スリーブ１が回転しない状態の場合
は、ノズル３から流体１０は吐出されない状態にある。
次にモータ６によってスリーブ１を回転させた場合、軸
体２の螺旋溝７ａに案内されて、流体１０は流体圧送路
８内をノズル３に向け移動し、ノズル３より基板１４に
向け吐出される。
【００１４】このように流体１０はスリーブ１の回転に
よって、撹拌されながら吐出される。なお、螺旋溝７ａ
の深さは、数ミクロン〜数十ミクロンに設定される。又
流体１０の吐出量は、スリーブ１の回転速度を変えるこ
とによって、任意に調整することができる。又螺旋溝７
ａの溝形状や角度を変えることによっても、吐出量を調
整することができる。
よって、撹拌されながら吐出される。なお、螺旋溝７ａ
の深さは、数ミクロン〜数十ミクロンに設定される。又
流体１０の吐出量は、スリーブ１の回転速度を変えるこ
とによって、任意に調整することができる。又螺旋溝７
ａの溝形状や角度を変えることによっても、吐出量を調
整することができる。
【００１５】図３に示す第２実施例は、第１実施例と基
本的には同様に構成されるが、螺旋溝７ｂをスリーブ１
の内周面に形成したことが、第１実施例と異なってい
る。
本的には同様に構成されるが、螺旋溝７ｂをスリーブ１
の内周面に形成したことが、第１実施例と異なってい
る。
【００１６】図４に示す第３実施例は、第１実施例に示
す吐出装置を複数組有し、共通の配管９を用いて、流体
１０を各吐出装置に分配供給するように構成したもので
ある。
す吐出装置を複数組有し、共通の配管９を用いて、流体
１０を各吐出装置に分配供給するように構成したもので
ある。
【００１７】図５及び図６に示す第４実施例は、第１実
施例と基本的には同様に形成されるが、流体１０の温度
を検出する温度センサ１６を有すると共に、温度センサ
１６で検出した温度に基きモータ６の回転数を制御する
回転数制御手段１７を有する点で異なっている。
施例と基本的には同様に形成されるが、流体１０の温度
を検出する温度センサ１６を有すると共に、温度センサ
１６で検出した温度に基きモータ６の回転数を制御する
回転数制御手段１７を有する点で異なっている。
【００１８】温度センサ１６は熱電対で構成され、軸体
２の下端に埋込まれ、ノズル３近傍の流体１０の温度を
検出する。回転数制御手段１７は図６の制御ブロック図
に示すような構成を有し、温度に基いてモータ６の回転
数を制御する。流体１０の粘度は温度により変化し、ス
リーブ１の回転数が同一でも流体１０の吐出量は変化す
るので、吐出量を一定にするためには、温度に対応した
回転数をモータ６に指令する必要がある。このため、温
度センサ１６で検出した温度の情報を回転数制御手段１
７に与え、図６に示すようなフィードバック制御で、モ
ータ６の回転数を制御して、温度変化に関係なく、常に
一定の吐出量が得られるようにしている。
２の下端に埋込まれ、ノズル３近傍の流体１０の温度を
検出する。回転数制御手段１７は図６の制御ブロック図
に示すような構成を有し、温度に基いてモータ６の回転
数を制御する。流体１０の粘度は温度により変化し、ス
リーブ１の回転数が同一でも流体１０の吐出量は変化す
るので、吐出量を一定にするためには、温度に対応した
回転数をモータ６に指令する必要がある。このため、温
度センサ１６で検出した温度の情報を回転数制御手段１
７に与え、図６に示すようなフィードバック制御で、モ
ータ６の回転数を制御して、温度変化に関係なく、常に
一定の吐出量が得られるようにしている。
【００１９】図７に示す第５実施例は、第１実施例と基
本的には同様に形成されるが、軸体２に循環経路１８及
び開閉弁１９を設けた点で異なっている。
本的には同様に形成されるが、軸体２に循環経路１８及
び開閉弁１９を設けた点で異なっている。
【００２０】開閉弁１９を閉じた状態で、スリーブ１を
回転させると、第１実施例と同様に流体１０はノズル３
から吐出される。これに対し開閉弁１９を開いた状態と
すると、流体圧送路８によってノズル３の近傍まで送ら
れた流体１０は、循環経路１８を通って上部に還流され
るため、ノズル３からの流体１０の吐出は行われない。
従って、開閉弁１９をオン−オフ制御することによっ
て、流体１０の吐出量を制御することができる。
回転させると、第１実施例と同様に流体１０はノズル３
から吐出される。これに対し開閉弁１９を開いた状態と
すると、流体圧送路８によってノズル３の近傍まで送ら
れた流体１０は、循環経路１８を通って上部に還流され
るため、ノズル３からの流体１０の吐出は行われない。
従って、開閉弁１９をオン−オフ制御することによっ
て、流体１０の吐出量を制御することができる。
【００２１】なお、循環経路１８及び開閉弁１９をスリ
ーブ１側に設けることも可能である。
ーブ１側に設けることも可能である。
【００２２】図８に示す第６実施例は、第１実施例と基
本的には同様に形成されるが、軸受１２と流体圧送路８
との間に流体１０に不純物が侵入するのを遮断するため
のシール手段２０を設けた点が異なっている。
本的には同様に形成されるが、軸受１２と流体圧送路８
との間に流体１０に不純物が侵入するのを遮断するため
のシール手段２０を設けた点が異なっている。
【００２３】具体的には軸受１２と流体圧送路８との間
の空間に圧縮Ｎ2 ガスを、軸体２に設けたガス供給路２
１を通じて供給し、前記シール手段２０としている。こ
れによって、不純物の混入しない流体１０をノズル３よ
り吐出することができる。
の空間に圧縮Ｎ2 ガスを、軸体２に設けたガス供給路２
１を通じて供給し、前記シール手段２０としている。こ
れによって、不純物の混入しない流体１０をノズル３よ
り吐出することができる。
【００２４】本発明は上記実施例に示す外、種々の態様
に構成することができる。例えば上記実施例では軸体２
を固定し、スリーブ１を回転させているが、逆にスリー
ブ１を固定し、軸体２を回転させるように構成すること
も可能である。
に構成することができる。例えば上記実施例では軸体２
を固定し、スリーブ１を回転させているが、逆にスリー
ブ１を固定し、軸体２を回転させるように構成すること
も可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明によると、微小の吐出量であって
も、これを正確に設定できると共にコンパクトに構成で
きる吐出装置を提供することができる。
も、これを正確に設定できると共にコンパクトに構成で
きる吐出装置を提供することができる。
【図１】本発明の第１実施例の一部切欠概念図。
【図２】その要部の断面図。
【図３】本発明の第２実施例の要部の断面図。
【図４】本発明の第３実施例の概念図。
【図５】本発明の第４実施例の断面図。
【図６】そのブロック図。
【図７】本発明の第５実施例の断面図。
【図８】本発明の第６実施例の要部の断面図。
【図９】従来例の概念図。
１ スリーブ ２ 軸体 ３ ノズル ６ モータ（回転駆動手段） ７ａ、７ｂ 螺旋溝 ８ 流体圧送路 ９ 配管（流体供給手段） １１ 流入口（流体供給手段） １６ 温度センサ １７ 回転数制御手段 １８ 循環経路 １９ 開閉弁 ２０ シール手段
Claims (7)
- 【請求項１】 スリーブと、このスリーブに同心状に収
容された軸体と、軸体の外周面又はスリーブの内周面に
設けられた螺旋溝と、螺旋溝形成部において軸体とスリ
ーブとの間に構成された流体圧送路と、流体圧送路の上
流部に流体を供給する流体供給手段と、流体圧送路の下
流部に設けられたノズルと、スリーブと軸体とを相対回
転させる回転駆動手段とを備えたことを特徴とする吐出
装置。 - 【請求項２】 軸体が固定され、スリーブが回転駆動手
段によって回転駆動される請求項１記載の吐出装置。 - 【請求項３】 複数組の吐出装置が共通の配管によって
流体が供給されるように構成した請求項１又は２記載の
吐出装置。 - 【請求項４】 流体圧送路内の流体の温度を検出する温
度センサと、検出された流体の温度に基き回転駆動手段
の回転数を制御する回転数制御手段を備えた請求項１、
２又は３記載の吐出装置。 - 【請求項５】 流体圧送路の下流部から上流部へ流体を
還流させる循環経路と、循環経路を開閉する開閉弁とを
備えた請求項１、２、３又は４記載の吐出装置。 - 【請求項６】 流体圧送路への不純物流入を遮断するシ
ール手段を設けた請求項１、２、３、４又は５記載の吐
出装置。 - 【請求項７】 シール手段は、圧縮気体の遮断層で構成
された請求項６記載の吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4318825A JPH06154683A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4318825A JPH06154683A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 吐出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06154683A true JPH06154683A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18103380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4318825A Pending JPH06154683A (ja) | 1992-11-27 | 1992-11-27 | 吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06154683A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489654B1 (ko) * | 1998-05-25 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 케미컬 분사노즐용 세정 장치 |
| KR100518268B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2005-10-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐에 홈이 형성된 액정적하장치 |
| KR101340899B1 (ko) * | 2006-01-06 | 2013-12-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 소자용 노즐장치 |
-
1992
- 1992-11-27 JP JP4318825A patent/JPH06154683A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100489654B1 (ko) * | 1998-05-25 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 케미컬 분사노즐용 세정 장치 |
| KR100518268B1 (ko) * | 2002-03-21 | 2005-10-04 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 노즐에 홈이 형성된 액정적하장치 |
| KR101340899B1 (ko) * | 2006-01-06 | 2013-12-13 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기 발광 소자용 노즐장치 |
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