JPH06155242A - 精密切削装置 - Google Patents
精密切削装置Info
- Publication number
- JPH06155242A JPH06155242A JP32627192A JP32627192A JPH06155242A JP H06155242 A JPH06155242 A JP H06155242A JP 32627192 A JP32627192 A JP 32627192A JP 32627192 A JP32627192 A JP 32627192A JP H06155242 A JPH06155242 A JP H06155242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- ball screw
- movement
- precision cutting
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 ダイシング装置等の精密切削装置において、
被制御体の移動量を短時間に且つ精密に制御できるよう
にする。 【構成】 スピンドル１５に装着されたブレードと、チ
ャックテーブルに保持されたウェーハ等の被加工物との
相対的位置関係を制御する制御手段を含むダイシング装
置等の精密切削装置において、制御手段はモーター５に
より回転されるボールスクリュー３とこのボールスクリ
ュー３に螺合するナット６を備え、このナット６とナッ
ト６の移動によって移動する被制御体との間に圧電素子
７等の微動体を介在させる。
被制御体の移動量を短時間に且つ精密に制御できるよう
にする。 【構成】 スピンドル１５に装着されたブレードと、チ
ャックテーブルに保持されたウェーハ等の被加工物との
相対的位置関係を制御する制御手段を含むダイシング装
置等の精密切削装置において、制御手段はモーター５に
より回転されるボールスクリュー３とこのボールスクリ
ュー３に螺合するナット６を備え、このナット６とナッ
ト６の移動によって移動する被制御体との間に圧電素子
７等の微動体を介在させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置等の精
密切削装置に関するものである。
密切削装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置等の精密切削装置におい
て、スピンドルに装着されたブレードと、チャックテー
ブルに保持されたウェーハ等の被加工物との相対的位置
関係を制御するには、従来図３に示すようにモーターａ
により回転されるボールスクリューｂとこのボールスク
リューｂに螺合したナットｃを備えた位置制御手段によ
っている。即ち、ナットｃにはスピンドル又はチャック
テーブル等の被制御体を取り付けるためのブロックｄが
固定されていて、このブロックｄのＹ軸方向の実際の移
動量を位置検出装置ｅで検出し、この検出値をＣＰＵ
（図略）にフィードバックし、その移動距離を適正に制
御して精密に位置決めできるようにしてある。
て、スピンドルに装着されたブレードと、チャックテー
ブルに保持されたウェーハ等の被加工物との相対的位置
関係を制御するには、従来図３に示すようにモーターａ
により回転されるボールスクリューｂとこのボールスク
リューｂに螺合したナットｃを備えた位置制御手段によ
っている。即ち、ナットｃにはスピンドル又はチャック
テーブル等の被制御体を取り付けるためのブロックｄが
固定されていて、このブロックｄのＹ軸方向の実際の移
動量を位置検出装置ｅで検出し、この検出値をＣＰＵ
（図略）にフィードバックし、その移動距離を適正に制
御して精密に位置決めできるようにしてある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の位置制御手
段によると、ナットｃがＹ軸方向に所定の距離だけ移動
するようにモーターａでボールスクリューｂを回転させ
るが、目標とする移動量と実際の移動量とに誤差が生じ
るため、前記位置検出装置ｅで実際の移動量をチェック
しながら目標とする移動量に達するまで何度もボールス
クリューｂを回転して移動操作を繰り返さねばならず、
時間が掛かって作業能率を低下させることになる。本発
明は、このような従来の問題点を解決するためになさ
れ、被制御体の目標とする移動量を短時間で且つ精密に
制御できるようにした精密切削装置を提供することを課
題としたものである。
段によると、ナットｃがＹ軸方向に所定の距離だけ移動
するようにモーターａでボールスクリューｂを回転させ
るが、目標とする移動量と実際の移動量とに誤差が生じ
るため、前記位置検出装置ｅで実際の移動量をチェック
しながら目標とする移動量に達するまで何度もボールス
クリューｂを回転して移動操作を繰り返さねばならず、
時間が掛かって作業能率を低下させることになる。本発
明は、このような従来の問題点を解決するためになさ
れ、被制御体の目標とする移動量を短時間で且つ精密に
制御できるようにした精密切削装置を提供することを課
題としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、スピンドルに装着さ
れたブレードと、チャックテーブルに保持されたウェー
ハ等の被加工物との相対的位置関係を制御する制御手段
を含むダイシング装置等の精密切削装置において、前記
制御手段はモーターにより回転されるボールスクリュー
とこのボールスクリューに螺合するナットを備え、この
ナットとナットの移動によって移動する被制御体との間
に圧電素子等の微動体を介在させたことを要旨とするも
のである。
するための手段として、本発明は、スピンドルに装着さ
れたブレードと、チャックテーブルに保持されたウェー
ハ等の被加工物との相対的位置関係を制御する制御手段
を含むダイシング装置等の精密切削装置において、前記
制御手段はモーターにより回転されるボールスクリュー
とこのボールスクリューに螺合するナットを備え、この
ナットとナットの移動によって移動する被制御体との間
に圧電素子等の微動体を介在させたことを要旨とするも
のである。
【０００５】
【作 用】目標とする移動量と実際の移動量とに誤差が
生じても、圧電素子をＹ軸方向に伸縮させることにより
その誤差を補正することができ、被制御体を短時間で且
つ精密に位置決めすることができる。
生じても、圧電素子をＹ軸方向に伸縮させることにより
その誤差を補正することができ、被制御体を短時間で且
つ精密に位置決めすることができる。
【０００６】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１は位置決め装置の基盤とな
るＹ軸ベースであり、被制御体であるスライドテーブル
２がＹ軸方向に摺動自在に設けられている。
詳説する。図１において、１は位置決め装置の基盤とな
るＹ軸ベースであり、被制御体であるスライドテーブル
２がＹ軸方向に摺動自在に設けられている。
【０００７】３はボールスクリューであって、前記Ｙ軸
ベース１に立設された軸受部４、４′によって両端部が
支持されると共に、軸受部４′側に取り付けたモーター
５により正逆回転させられる。
ベース１に立設された軸受部４、４′によって両端部が
支持されると共に、軸受部４′側に取り付けたモーター
５により正逆回転させられる。
【０００８】６は前記ボールスクリュー３に螺合したナ
ットであり、ボールスクリュー３の回転によってＹ軸方
向に移動させられ、このナット６には微動体としての圧
電素子７及び予圧負荷部材としてのスプリング８を介し
てブロック９が取り付けられ、このブロック９は前記ス
ライドテーブル２上に固定されている。従って、ボール
スクリュー３の回転によってナット６が移動すると、こ
のナット６の移動に伴なってスライドテーブル２がＹ軸
方向に動かされる。
ットであり、ボールスクリュー３の回転によってＹ軸方
向に移動させられ、このナット６には微動体としての圧
電素子７及び予圧負荷部材としてのスプリング８を介し
てブロック９が取り付けられ、このブロック９は前記ス
ライドテーブル２上に固定されている。従って、ボール
スクリュー３の回転によってナット６が移動すると、こ
のナット６の移動に伴なってスライドテーブル２がＹ軸
方向に動かされる。
【０００９】１０はスライドテーブル２上に設けられた
Ｚ軸移動機構であり、Ｚ軸駆動用モーター１１で垂直ね
じ棒１２を回転させることによりこの垂直ねじ棒１２に
螺合しているナット１３を移動させ、このナット１３に
はスピンドルホルダー１４が固定されており、このスピ
ンドルホルダー１４には回転ブレードを装着するための
マウンター１６が形成されているスピンドル１５が保持
されているため、結局Ｚ軸移動機構１０によってスピン
ドル１５をＺ軸方向に基準軸１４′を基準として円弧移
動することができる。
Ｚ軸移動機構であり、Ｚ軸駆動用モーター１１で垂直ね
じ棒１２を回転させることによりこの垂直ねじ棒１２に
螺合しているナット１３を移動させ、このナット１３に
はスピンドルホルダー１４が固定されており、このスピ
ンドルホルダー１４には回転ブレードを装着するための
マウンター１６が形成されているスピンドル１５が保持
されているため、結局Ｚ軸移動機構１０によってスピン
ドル１５をＺ軸方向に基準軸１４′を基準として円弧移
動することができる。
【００１０】図示は省略したが、ウェーハを保持してマ
ウンター１６に装着される回転ブレードによってダイシ
ングを遂行するチャックテーブルがＹ軸ベース１と相対
的にＸ軸方向に移動可能に形成されている。
ウンター１６に装着される回転ブレードによってダイシ
ングを遂行するチャックテーブルがＹ軸ベース１と相対
的にＸ軸方向に移動可能に形成されている。
【００１１】本発明に係る精密切削装置の位置制御手段
は上記のように構成され、ダイシング装置等においては
スライドテーブル２の移動によってスピンドル１５をＹ
軸方向に移動させて回転ブレードをウェーハ（図略）の
切断線に合わせ、スピンドル１５をＺ軸方向に移動させ
て回転ブレードの切り込み量を調整し、次いでウェーハ
を保持したチャックテーブルをＸ軸方向に移動させるこ
とによりダイシングするが、このダイシング時で特に重
要なＹ軸方向の位置合わせを短時間でしかも精密に行う
ことができる。
は上記のように構成され、ダイシング装置等においては
スライドテーブル２の移動によってスピンドル１５をＹ
軸方向に移動させて回転ブレードをウェーハ（図略）の
切断線に合わせ、スピンドル１５をＺ軸方向に移動させ
て回転ブレードの切り込み量を調整し、次いでウェーハ
を保持したチャックテーブルをＸ軸方向に移動させるこ
とによりダイシングするが、このダイシング時で特に重
要なＹ軸方向の位置合わせを短時間でしかも精密に行う
ことができる。
【００１２】この場合、先ず第１段階の位置合わせがな
され、これは図示を省略したＣＰＵの指令によりモータ
ー５をブロック９の移動距離に見合う分だけ回転させ、
このモーター５の回転が図２に示すようにカップリング
１７を介してボールスクリュー３に伝わり、ナット６が
直線運動しそれに伴いブロック９をＹ軸方向に移動させ
る。この時、圧電素子７は固定のままで保持される。ブ
ロック９の移動後に、そのＹ軸移動距離が位置検出装置
１８からＣＰＵにフィードバックされて、第２段階の位
置合わせがなされる。
され、これは図示を省略したＣＰＵの指令によりモータ
ー５をブロック９の移動距離に見合う分だけ回転させ、
このモーター５の回転が図２に示すようにカップリング
１７を介してボールスクリュー３に伝わり、ナット６が
直線運動しそれに伴いブロック９をＹ軸方向に移動させ
る。この時、圧電素子７は固定のままで保持される。ブ
ロック９の移動後に、そのＹ軸移動距離が位置検出装置
１８からＣＰＵにフィードバックされて、第２段階の位
置合わせがなされる。
【００１３】即ち、フィードバック値と最初の指令値と
が異なる場合には、ＣＰＵから補正指令が発せられ圧電
素子７を伸縮させ、ブロック９を適正位置に補正する。
この圧電素子７は０．１μｍ以下の分解能で微調整が可
能であり、応答速度も１０μｓと超高速であるからブロ
ック９を短時間でしかも精密に位置決めすることができ
る。
が異なる場合には、ＣＰＵから補正指令が発せられ圧電
素子７を伸縮させ、ブロック９を適正位置に補正する。
この圧電素子７は０．１μｍ以下の分解能で微調整が可
能であり、応答速度も１０μｓと超高速であるからブロ
ック９を短時間でしかも精密に位置決めすることができ
る。
【００１４】尚、前記実施例では微動体として圧電素子
を用いたが、これに限定されずに例えば電歪素子を用い
ても良く、電歪素子は圧電素子に比べてヒステリシスが
極小のためサーボ駆動用に向いている。そのため電歪素
子を精密位置決め機構の微動駆動用に使用すると、ソフ
ト等によるヒステリシス補正が不要である。又、微動体
を被制御体の重心付近に対応させ且つボールスクリュー
に近接させて配設すると、微動時の被制御体の応答性が
良くなり、予圧負荷部材としてのスプリングが無くても
充分な微動精度を確保することが可能である。
を用いたが、これに限定されずに例えば電歪素子を用い
ても良く、電歪素子は圧電素子に比べてヒステリシスが
極小のためサーボ駆動用に向いている。そのため電歪素
子を精密位置決め機構の微動駆動用に使用すると、ソフ
ト等によるヒステリシス補正が不要である。又、微動体
を被制御体の重心付近に対応させ且つボールスクリュー
に近接させて配設すると、微動時の被制御体の応答性が
良くなり、予圧負荷部材としてのスプリングが無くても
充分な微動精度を確保することが可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置等の精密切削装置において、モーターに
より回転されるボールスクリューに螺合したナットと、
このナットの移動によって移動する被制御体との間に圧
電素子等の微動体を介在させたので、目標とする移動量
と実際の移動量とに誤差が生じても、圧電素子を伸縮さ
せることによりその誤差を瞬時に補正することができ、
被制御体を短時間で精密に位置決めできる効果を奏す
る。
ダイシング装置等の精密切削装置において、モーターに
より回転されるボールスクリューに螺合したナットと、
このナットの移動によって移動する被制御体との間に圧
電素子等の微動体を介在させたので、目標とする移動量
と実際の移動量とに誤差が生じても、圧電素子を伸縮さ
せることによりその誤差を瞬時に補正することができ、
被制御体を短時間で精密に位置決めできる効果を奏す
る。
【図１】 本発明の実施例を示す要部の斜視図である。
【図２】 圧電素子等の微動体を設けた部分の説明図で
ある。
ある。
【図３】 従来例の説明図である。
１…Ｙ軸ベース ２…スライドテーブル ３…ボー
ルスクリュー ４、４′…軸受部 ５…モーター
６…ナット ７…圧電素子 ８…スプリング
９…ブロック １０…Ｚ軸移動機構 １１…Ｚ軸駆
動用モーター １２…垂直ねじ棒 １３…ナット １４…スピンド
ルホルダー １４′…基準軸 １５…スピンドル
１６…マウンター １７…カップリング １８…位置検出装置
ルスクリュー ４、４′…軸受部 ５…モーター
６…ナット ７…圧電素子 ８…スプリング
９…ブロック １０…Ｚ軸移動機構 １１…Ｚ軸駆
動用モーター １２…垂直ねじ棒 １３…ナット １４…スピンド
ルホルダー １４′…基準軸 １５…スピンドル
１６…マウンター １７…カップリング １８…位置検出装置
Claims (1)
- 【請求項１】 スピンドルに装着されたブレードと、チ
ャックテーブルに保持されたウェーハ等の被加工物との
相対的位置関係を制御する制御手段を含むダイシング装
置等の精密切削装置において、前記制御手段はモーター
により回転されるボールスクリューとこのボールスクリ
ューに螺合するナットを備え、このナットとナットの移
動によって移動する被制御体との間に圧電素子等の微動
体を介在させたことを特徴とする精密切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32627192A JPH06155242A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32627192A JPH06155242A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06155242A true JPH06155242A (ja) | 1994-06-03 |
Family
ID=18185907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32627192A Pending JPH06155242A (ja) | 1992-11-12 | 1992-11-12 | 精密切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06155242A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101887218A (zh) * | 2010-06-09 | 2010-11-17 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种光刻机掩模刀口移动装置 |
-
1992
- 1992-11-12 JP JP32627192A patent/JPH06155242A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101887218A (zh) * | 2010-06-09 | 2010-11-17 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种光刻机掩模刀口移动装置 |
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