JPH0615689A - 2ステップ射出成形プロセスとチャニホルド - Google Patents

2ステップ射出成形プロセスとチャニホルド

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JPH0615689A
JPH0615689A JP5066677A JP6667793A JPH0615689A JP H0615689 A JPH0615689 A JP H0615689A JP 5066677 A JP5066677 A JP 5066677A JP 6667793 A JP6667793 A JP 6667793A JP H0615689 A JPH0615689 A JP H0615689A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 インクジェット印字ヘッド用チャニホルドお
よびその製造プロセスにおいて、生産性を向上させかつ
総ステップ数を減少させること。 【構成】 インクマニホルド22は、2ステップ射出成
型プロセスによりエラストマーチャネルプレート21と
一体化形成されている。マニホルド22はヒートシンク
に取り付けるための柱22a,bを有することができ
る。ヒートシンク上にはエラストマーチャネルプレート
が対応するチャネル内に配置された複数のヒータ素子を
含むヒータプレート12が固着される。このエラストマ
ーチャネルプレート12によって、チャネルプレート2
1をマニホルド22及びヒータプレート14へ接着剤で
固着させる必要がなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット印刷ヘッ
ドに係り、特に、インクマニホルド及びチャネルプレー
トを有するインクジェット印刷ヘッド、並びにインクジ
ェット印刷ヘッドのためのマニホルドとチャネルプレー
トを製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、ドロップオンデマンド型インク
ジェット印刷装置は二つのタイプに分けることができ
る。ノズルから液滴を吐出する圧力パルスを生成するた
めにピエゾトランスドューサを用いるタイプか、又は液
滴を吐出するインク充填チャネル内に蒸気泡を生成する
ために熱エネルギーを用いるタイプである。後者のタイ
プはサーマルインクジェット印刷又はバブルインクジェ
ット印刷タイプと呼ばれる。現在のサーマルインクジェ
ット印刷においては、例えばアヤタらに付与された米国
特許第4, 463, 359号に開示されている(この開
示内容は本明細書に参照することによって組み込まれ
る)ように、印刷ヘッドが一つ以上のインク充填チャネ
ルを備え、一端で比較的小さなインク供給チャンバと連
絡し、反対端でノズルと呼ばれる開口部を具備してい
る。サーマルエネルギージェネレータ、通常、レジスタ
ー(抵抗器)が、所定距離だけ離間されてノズル付近の
チャネル内に配置される。抵抗器は個々に電流パルスが
アドレスされ、インクを瞬間的に気化させ、かつインク
液滴を吐出する気泡(バブル)を形成する。気泡が大き
くなるにつれ、インクはノズルから膨出し、かつインク
の表面張力によってメニスカス形状で吸収される。気泡
が崩壊し始めると、ノズルと気泡の間のチャネル内に残
存するインクは、崩壊しつつある気泡に向かって移動を
開始し、これによってノズルにおけるインクの容積収縮
が生じることとなり、結果的に液滴としての膨出インク
を分離させることになる。気泡が大きくなる間はノズル
から吐出されるインクの加速度によって、用紙等の記録
媒体へ向かってほぼ直線方向に進む液滴の運動量及び速
度が提供される。
【0003】米国特許第4, 463, 359号では、毛
管作用によって補充される一つ以上のインク充填チャネ
ルを有するサーマルインクジェットプリンタが開示され
ている。メニスカスは、インクが各ノズルから溢れない
ように、各ノズルにおいて形成される。抵抗器又はヒー
タはノズルから所定の距離だけ離間して各チャネル内に
配置される。データ信号を表す電流パルスが抵抗器に印
加され、抵抗器に接触しているインクを瞬時に気化させ
るとともに各電流パルスごとに気泡を形成する。インク
液滴は、気泡が成長するにつれて各ノズルから吐出さ
れ、これによって、ノズルから大量のインクを膨出さ
せ、かつ気泡崩壊の開始時に大量のインクを液滴へ向か
ってインクを崩壊させつつ移動させる。電流パルスは、
各液滴が吐出された後に、メニスカスが破壊されたり、
かつチャネル内でメニスカスが後退し過ぎることを阻止
するように、形成される。ヒートシンク基板の頂面及び
底面に取り付けられた千鳥線形アレイを有するものや、
多色刷り印刷の異なるカラーインクを有するもののよう
な線形アレイ型サーマルインクジェットデバイスの種々
の実施例が示される。ある実施例では、当該チャネルの
両端にノズルを有する比較的短いチャネルの中心に抵抗
器が配置されている。他の通路は、開口端チャネルへ連
結され、かつT字型構造を形成するように当該通路は開
口端チャネルに対して垂直である。毛管作用によって、
インクは通路から開口端チャネルへ補充される。これに
より、気泡が開口端チャネル内で形成された時には二つ
の異なる記録媒体が同時にプリントされる。
【0004】サーマルインクジェット印刷ヘッドを製造
するための一つの好ましい技術が、ホーキンス(Hawkin
s )らに付与された米国再発行特許第32, 572号に
開示されている(この開示内容は本明細書に参照される
ことによって組み込まれている)。各印刷ヘッドは共に
位置合わせされかつ接着された二つの部品から構成され
る。第1の部品(ヒータプレートとして知られる)は、
表面上に発熱体及びアドレッシング電極の線形アレイを
含むほぼ平面状の基板である。第2の部品(チャネルプ
レートとして知られる)は、前記二つの部品が共に接着
された場合にインク補給リザーバとして作用するよう
に、基板内で異方性エッチングされる少なくとも一つの
凹部を有する基板である。第2の部品には平行溝の線形
アレイが形成されており、これによって、溝の一端はリ
ザーバ凹部と連絡し、溝の他端はインク液滴吐出ノズル
として使用するために開口されている。アドレッシング
電極とともに複数組の発熱体アレイ(ヒータプレート)
をシリコンウェハ上に製造し、かつシリコンウェハ上の
所定の位置で位置合わせマークを配置することによって
多数の印刷ヘッドを同時製造することができる。対応す
る複数組のチャネル及び対応するリザーバ(チャネルプ
レート)は第2のシリコンウェハ内に製造され、ある実
施例では、その上に位置合わせ開口部が所定の位置にエ
ッチングされる。2枚のウェハは前記位置合わせ開口部
と位置合わせマークを介して位置合わせされ、次いで共
に接着され、かつ多数の分離印刷ヘッドモジュールとな
るようにダイシング(方形切断)される。ページ幅印字
のために移動記録媒体に対向するページ幅形状で多数の
印刷ヘッドモジュールを固定的に設けることが可能であ
る。或いは、個々の印刷ヘッドモジュールは、米国再発
行特許第32, 572号の図1に示されるようなキャリ
ッジ型印刷ヘッドを形成するために使用されることがで
きる。
【0005】通常、これらの印刷ヘッドはヒートシンク
上に設けられ、これによってヒータプレートは当該ヒー
トシンクと物理的に接触することとなる。個々のアドレ
ッシング電極は、プリント配線板上の対応する電極にワ
イヤボンディングされる(米国再発行特許第32, 57
2号の図2乃至図4参照)。通常、インクマニホルドは
チャネルを有する表面の反対側のチャネルプレートの表
面にシール(密閉)されるため、インク供給チャンバ内
のインクは、このインクマニホルドを介してチャネルプ
レート内のリザーバへ補給され得る。
【0006】これらのインクマニホルドはハードプラス
チック材料を用いて1ステップの射出成形プロセスによ
って作成することができる。
【0007】図1は、図2に示される印刷ヘッド等のサ
ーマルインクジェット印刷ヘッドを製造するための従来
のプロセスに関するブロック図である。ハードプラスチ
ックマニホルド18が射出成形され(S1)、かつヒー
タプレート12及びチャネルプレート15がそれぞれシ
リコンウェハ内で製造される(S2、S3)。ヒータウ
ェハ及びチャネルウェハは赤外線で位置合わせされ、エ
ポキシ13を用いてチャネルウェハのチャネルプレート
15をヒータウェハのヒータプレート12へ接着してウ
ェハアセンブリを形成する(S4、S5、S6)。前記
ウェハ部品は、ダイシングブレードを用いて多数の個別
の印刷ヘッドモジュール17へダイシングされ、かつウ
ェハ部品は超音波により洗浄される。これによって個々
の印刷ヘッドモジュール17がダイシングされたウェハ
部品から分離される(S7〜S9)。この製造プロセス
についてさらに詳細に知るためには、例えば、カンパネ
ッリ(Campanelli)らに付与された米国特許第4, 78
6, 357号等を参照されたい。
【0008】各印刷ヘッドモジュールのノズル付きフロ
ント面を疎水性物質で被覆した後、各チャネルプレート
を各対応するヒータプレートへ接着する接着剤が全体的
に硬化処理される(S10)。次いで、印刷ヘッドモジ
ュール17はキャリッジ型サーマルインクジェット印刷
ヘッドあるいは全幅サーマルインクジェット印刷ヘッド
のいづれかを作るために使用される。全幅サーマルイン
クジェット印刷ヘッドは、個別印刷ヘッドモジュールの
突合せアレイ又は千鳥状アレイとして形成され得るが、
キャリッジ型印刷ヘッドを形成するには、一つだけのダ
イシングされた印刷ヘッドモジュールが必要とされる
(レザンカ(Rezanka )に付与された米国特許第4, 8
33, 491号に開示されているように、キャリッジ型
印刷ヘッドで解像度を向上させるか又は多色性を提供す
るために、複数の印刷ヘッドモジュールをスタックする
ことは可能であるが)。
【0009】図2に示されるように、印刷ヘッドモジュ
ール17(そのサブパーツとともに図示される)は、マ
ニホルド18及びヒートシンク16へ接着され、サーマ
ルインクジェット印刷ヘッドの製造を完了させる。シル
バーエポキシ等の接着剤14がヒートシンク16に塗布
され、接着剤14を硬化処理することによって印刷ヘッ
ドモジュール17がヒートシンク16へ接着される(S
11〜S13)。プリント配線板(PWB)はヒートシ
ンクへ用いられ(S14)、かつヒータプレートのアド
レッシング電極へワイヤボンディングされる(S1
5)。最後に、マニホルド18は、例えば、RTVシー
ル材19を用いることによって印刷ヘッドモジュール1
7へ密閉され、次いでマニホルド18は、またエポキシ
を用いてヒートシンク16へ固着される(S16〜S1
8)。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記製造方法は以下の
理由によって不利である。(1)ウェハアセンブリの正
確な位置合わせ及びダイシングが困難である。(2)チ
ャネルプレート15をヒータプレート12へ接着するた
めに接着剤13を使用することによって、製造中に接着
剤によってチャネルが詰まる公算が大きくなる。(3)
製造ステップの数が多く、しかも細心な接着剤塗布プロ
セスが含まれているので、プロセス全体に時間がかかる
上に経費がかさむ。
【0011】
【課題を解決するための手段】インクマニホルド及びチ
ャネルプレートは2ステップの射出成形プロセスを用い
て製造される。チャネルプレートとマニホルドとヒータ
プレートとの間に密閉材が必要とされないように、イン
クマニホルドはハードプラスチック材から製造され、か
つチャネルプレートがエラストマ材料から製造されるの
が好ましい。すなわち、エラストマチャネルプレート
は、マニホルド及びヒータプレートに対して自己密閉す
る。
【0012】結合されたマニホルドとチャネルプレート
は、ドロップオンデマンド式のサーマルインクジェット
印刷ヘッド及びピエゾインクジェット印刷ヘッド、並び
に非偏向型液滴によって印刷媒体にマークを付けるため
の連続流の液滴からの液滴を選択的にガッタ内へ偏向さ
せるために静電引力を利用するインクジェット印刷ヘッ
ドを含む種々のインクジェット印刷ヘッドにおいて使用
されることができる。結合されたマニホルドとチャネル
プレートから作られた印刷ヘッドはキャリッジ型印刷ヘ
ッド又は全幅千鳥状アレイ印刷ヘッドに使用できる。
【0013】本発明によるサーマルインクジェット印刷
ヘッドを製造する時には、複数のヒータプレートは、例
えばシリコンウェハ内で従来の方法によって製造され
る。個々のヒータプレートは、複数のチャネルプレート
を有する他のシリコンウェハへシリコンウェハを最初に
接着せずに、当該シリコンウェハから(例えば、ダイシ
ング等によって)分離される。各個別のヒータプレート
は、従来の方法によってヒートシンクへ取り付けられ
る。一体式マニホルド/チャネルプレート(チャニホル
ドとも呼ばれる)が、ヒータプレート上の各ヒータ素子
がチャネルプレート内の対応するチャネルと協働するよ
うに、ヒータプレートと位置合わせされる。。チャニホ
ルド上の固定素子は、チャネルプレートとヒータプレー
トが接触し、かつ互いに密閉されるように、ヒートシン
クに取り付けられる。
【0014】必要とされるプロセスの総数は、従来のイ
ンクジェット製造プロセスで必要とされたプロセス数よ
りも実質的に少ない。
【0015】本発明は、インクマニホルドに取り付けら
れたチャネルプレートを有するインクジェット印刷ヘッ
ドのいかなるタイプに対しても適用可能である。すなわ
ち、本発明においては、耐熱性素子以外のチャネルから
インク液滴を射出するための作動手段も使用されること
ができる。
【0016】本発明の一つの態様は、インクジェット印
刷ヘッドにおいて使用されるための、結合されたマニホ
ルド及びチャネルプレートを製造するための2ステップ
射出成形プロセスであって、a)吸引口と、吐出口と、
前記吸引口及び前記吐出口を連結する通路と、を有する
マニホルドを射出成形するステップと、b)前記マニホ
ルドにおいて、複数のチャネルと、前記複数のチャネル
及び前記マニホルド吐出口と連絡するリザーバとを有す
るチャネルプレートを射出成形するステップであって、
前記マニホルド及び前記チャネルプレートが異なる物理
特性を有する材料から射出成形されているステップと、
を備える2ステップ射出成形プロセスである。
【0017】本発明の他の態様は、インク吸引口と、イ
ンク吐出口と、前記インク吸引口及び前記インク吐出口
を連結する通路と、を有するマニホルドと、エラストマ
チャネルプレートであって、前記エラストマチャネルプ
レートの第1表面上の複数のチャネルと、前記エラスト
マチャネルプレートの第2表面上に形成されたインクリ
ザーバとを有しており、かつ前記リザーバが前記複数の
チャネルと連絡しており、前記エラストマチャネルプレ
ートの前記第2表面が、前記リザーバが前記インク吐出
口と連絡するように、前記マニホルドに取り付けられて
いるエラストマチャネルプレートと、を備えるインクジ
ェット印刷ヘッドのためのチャニホルドである。
【0018】
【実施例】図3乃至図5は本発明の図示による実施例に
係るチャニホルド20を形成するために内部に射出成形
されたチャネルプレート21を有する射出成形されたイ
ンクマニホルド222を示す図である。マニホルド22
は外部のインク供給装置(図示せず)からインクを受け
取るためのインク吸引口24と、インクをチャネルプレ
ート21へ供給するためのインク吐出口26とを有す
る。インクマニホルド22内のインク通路28を介して
インク吸引口24はインク吐出口26と流体連絡され
る。さらに、マニホルド22はチャニホルド20をヒー
トシンク上に取り付けるための手段として作動する二つ
のポスト(柱)22a、22bを有する。また、マニホ
ルド22は支持柱22cを有し、その機能については後
述する。マニホルド22は、ユニオン・カーバイド社
(Union Carbide )のポリスルホン(Polysulfone )
(登録マーク)、ゼネラル・エレクトリック社(Gneral
Electric )のウルテム(Ultem )(登録マーク)ある
いは適当な液晶ポリマー等のハードプラスチック材料で
製造するのが好ましい。
【0019】チャネルプレート21はインク吐出口26
に隣接したマニホルド22内へ射出成形される。チャネ
ルプレート21はチャネルプレートの従来の構造を有す
ることが可能であり、さらにマニホルド22のインク吐
出口26からインクを受け取る一つの表面上にリザーバ
23を形成する開口凹部を有する。リザーバ23は、チ
ャネル25の端部に形成されたノズル27へインクを方
向づける複数のチャネル25へ連結される。チャネル2
1は、シェル・ケミカル社(Shell Chemical)のクレイ
トン(Kraton)(登録マーク)等のオレフィン熱塑性プ
ラスチックエラストマ(olefinic thermo plastic elas
tomer )のようなエラストマ材料で製造するのが好まし
い。
【0020】二重射出成形プロセスは、チャニホルド2
0を製造するために用いられる。二重射出成形プロセス
は周知であるため、以下に簡単に説明する。射出成形プ
ロセスは、(親ネジラム、水圧ラムあるいは電気ラムを
介して)高熱溶融ポリマー樹脂を、共にクランプ(挟
持)された組型(スプリットダイ)又はモルド内へ圧力
射出する。スプリットダイは、成形される部品(つま
り、マニホルド22及びチャネルプレート21)の負性
型穴(impressions )を形成するため硬化した工具鋼板
から機械加工された一つの空洞(キャビティ)又はキャ
ビティの群を有する。周知のように、プログラマブル制
御装置は、射出成形プロセス中に用いられる過熱及び冷
却ライン、プロセス制御センサ、インジェクタ、位置合
わせピン及びゲートデバイス等のさまざまな機械的取り
付け部品特性を自動制御する。
【0021】チャニホルド20を製造するため、マニホ
ルド22とチャネルプレート21のためのそれぞれ異な
る組成の2種類の溶融物からなる二つの異なる成形サイ
クルが発生する。第1の成形サイクルでは、チャネルプ
レート21の鋳型が組型の負性型穴内へ挿入される。最
初に説明したように、通常、モルドを形成するため水圧
シリンダがスプリットダイをクランプする。さらに、そ
のモルド内へポリスルホン(登録マーク)等の高熱溶解
プラスチックが圧力射出成形される。
【0022】モルド内の高熱溶解プラスチックの流れを
制御するため、従来の方法で二つの異なる射出システム
の間でモルドを回転及び/又は漸進させることができ
る。さらに、高熱溶解プラスチックをマニホルド22の
負性型穴へ方向づけるために、内部ゲート及びモルドの
外部弁を開口又は閉口する。また、内部ゲート及び外部
弁により溶解プラスチックの過熱及び冷却が容易とな
り、さらに水圧シリンダによる適度なクランプ圧力の維
持が容易となる。モルド内に配置されたチャネルプレー
ト21の鋳型により、マニホルド用の溶解プラスチック
がチャネルプレート21を形成する領域に流れ込むのを
阻止する。高温モルド及び高熱溶解プラスチックが、ハ
ードプラスチックマニホルド22を形成するために冷却
される。その後、チャネルプレート21の鋳型が取り除
かれる。
【0023】第2の成形サイクルでは、クレイトン(Kr
aton)(登録マーク)等の溶解エラストマをチャネルプ
レート21の負性型穴へ圧力射出されるのが好ましい。
射出成形されたマニホルド22がマニホルド型穴の空間
を占有するので、溶解エラストマはチャネルプレート2
1の型穴内に含まれる。チャネルプレート21の型穴は
マニホルド22の凹部内へ延出する一つ以上の突起物2
1a(図6参照)を有するので、これによりチャネルプ
レート21とマニホルド22が絡み合う。エラストマチ
ャネルプレート21の型穴がプラスチックマニホルド2
2の型穴と結合するため、溶解エラストマが冷却されモ
ルドをスプリット開口された時、エラストマチャネルプ
レート21は確実にマニホルド22へ取り付けられる。
したがって、エラストマチャネルプレート21は射出成
形マニホルド22内へ射出成形される。二重射出成形に
よって、キャリッジ型プリンタ又は全幅千鳥状アレイ型
プリンタに適した印刷ヘッドを製造することができる。
【0024】チャニホルド製造に用いられるモルドの特
定形状は、形成されるマニホルド及びチャネルプレート
の形状に応じて変動し、この特定形状は、主に印刷ヘッ
ドが用いられるプリンタの型に依存する。
【0025】図6、図7及び図8は、サーマルインクジ
ェット印刷ヘッドと、本発明の一つの実施例によるサー
マルインクジェット印刷ヘッドの製造プロセスとを示
す。エラストマチャネルプレート21を有するインクマ
ニホルド22が射出成形され(S101)、複数のヒー
タプレート12を含むシリコンウェハが製造され、ダイ
シングされ、洗浄され、かつヒータプレートがダイシン
グされたウェハから分離された(S102〜S105)
後で、ヒータプレート12が、例えばシルバーエポキシ
14を用いてヒートシンク16に接着剤で接着される
(S106〜S108)。プリント配線板(PWB)
は、ヒートシンクへ取り付けられ、ヒータプレート12
へワイヤボンディングされる(S109〜S110)。
マニホルド22の各端部に配置されたポスト(柱)22
a、22bを、ヒートシンク16内に形成された開口1
6a、16bへ挿入し、次にチャニホルド20をヒート
シンク16へ取り付けるためにポスト22a、22bの
端部を溶融することによって、製造プロセスが完了する
(S111〜S113)。ヒータプレート12はヒート
シンク16とチャネルプレート21との間にクランプさ
れる。チャネルプレート21がエラストマから製造され
た時には、チャネルプレート21とヒータプレート12
の間には液体密着密閉が行われ、これによって接着剤は
不要となる。
【0026】図9及び図10は、完成したサーマルイン
クジェット印刷ヘッド30を示す。図10に示されるよ
うに、ヒータプレート12は配線34を用いてヒータプ
レート12上で発熱体を制御するためのプリント配線板
(PWB)32に連結される。PWB32は、マニホル
ド22とヒートシンク16の間に形成されたスペース内
に配置される。柱22cはこのスペースを維持すること
を補助し、かつチャニホルドのための安定化サポートと
して作用する。
【0027】図9に示されるように、ノズル27はほぼ
矩形状である。三角形の形状あるいは他の形状を有する
ノズルであってもよい。さらに、均等でないプロファイ
ル(輪郭)を有するチャネルが形成されることができる
(例えば、インクチャネル吸引口はインクチャネル吐出
口とは異なる断面を有し得る)。
【0028】従来の製造方法と比較すると、サーマルイ
ンクジェット印刷ヘッドを形成するのに必要なステップ
数が大幅に減ることになる。ステップ数が減ることによ
り、組み立て(アセンブリ)時間、製造コストも削減さ
れる。さらに、エポキシ13及びRTVシール材19は
製造プロセスから削除されることから、チャネルプレー
トのチャネルがそれぞれヒータプレートとマニホルドの
接着の間に、エポキシ、RTVシール材によって詰まる
可能性が少なくなるので、サーマルインクジェット印刷
ヘッドのこのプロセスの歩留りは増大する。
【0029】エラストマチャネルプレートを有する上記
マニホルド並びにその製造方法を用いて、サーマルイン
クジェット印刷ヘッドの製造するためのステップ数が低
減される。さらに、高価な半導体ウェハが、サーマルイ
ンクジェット印刷ヘッドのチャネルプレートを製造する
ために使用される必要がなくなる。さらにまた、チャネ
ルとヒータプレートが接着剤を使用せずに互いに取り付
けられる。さらに、チャネルプレートの最底面がマニホ
ルドの最底面と完全に同一面上になるようにエラストマ
チャネルプレートが形成され得ることが理解されよう。
【0030】図11及び図12は、ヒータプレートに取
り付けられた後に、本発明のさらなる変更によるチャネ
ルプレートの断面図である。図11及び12におけるチ
ャネルプレート21はマニホルドと一体的に形成される
か、又は1ステップ射出成形プロセスによってマニホル
ドから離間して形成されることができる。図11及び図
12におけるチャネルプレート21は、マニホルドと共
に製造される場合、エラストマ材料から作られるのが好
ましいが、マニホルドと一体的に形成されない場合には
セラミックグリーンテープ(Green Tape)等の非エラス
トマ材料で製造することも可能である。
【0031】図11及び12におけるチャネルプレート
21は、ピット29がチャネルプレート21の各チャネ
ル25内で形成された点において上記のチャネルプレー
トとは異なる。ピット29は、ヒータプレート12上の
ヒータ素子12aに対応するチャネル25の部分内に配
置される。ピット29を設けることによってポリイミド
保護層12b内にピットを設ける必要がなくなる。ポリ
イミド保護層12bはヒータプレート12の上部表面上
に設けられ、チャネル25内のインクの腐食影響からヒ
ータプレート12上の回路12cを保護する。これによ
ってポリイミド保護層12bを非常に薄い層として形成
されることが可能となる。ポリイミド保護層内に形成さ
れた従来のピットの例については、ホーキンス( Hawki
ns)に付与された米国特許第4, 774, 530号の図
2を参照されたい。
【0032】
【発明の効果】ポリイミドの節約の他に、チャネルプレ
ート21内にピット29を形成することによって、時間
が節約され、ヒータウェハの歩留り(ポリイミド層を形
成するための現在のプロセスはプロセスに課される剛的
耐性に応じて高価である)が改善され、かつプロセスス
テップ総数が減らされる。また、ポリイミドにおいては
実現不可能な、例えば、側壁プロファイルやキャビティ
形状などのピット形状変化が実行されることができる。
【0033】本発明はまた、ノズルを介して液滴を吐出
するために熱以外の手段を利用するインクジェットプリ
ンタにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】サーマルインクジェット印刷ヘッドを製造する
ための従来のプロセスのブロック図である。
【図2】ヒートシンク上に設けられた従来のサーマルイ
ンクジェット印刷ヘッドの分解正面図である。
【図3】本発明の一実施例に係るチャニホルドの正面図
である。
【図4】図3のチャニホルドの側面図である。
【図5】図3の線5−5に沿ったチャニホルドの断面図
である。
【図6】本発明の一実施例に係るチャニホルドにより製
造した印刷ヘッドの正面図であって、かつ印刷ヘッドの
分解図である。
【図7】本発明の一実施例に係るチャニホルドにより製
造した印刷ヘッドの正面図である。
【図8】本発明の実施例に係るサーマルインクジェット
印刷ヘッドの製造プロセスのブロック図である。
【図9】本発明の実施例に係るチャニホルドを有するサ
ーマルインクジェット印刷ヘッドの正面図である。
【図10】図8の線9−9に沿った図8のサーマルイン
クジェット印刷ヘッドの断面図である。
【図11】ピット特性を有する変更されたチャネルプレ
ートの断面図である。
【図12】図11の線11−11に沿った断面図であ
る。
【符号の説明】
12 ヒータプレート 16 ヒートシンク 20 チャニホルド 21 チャネルプレート 22 インクマニホルド 23 リザーバ 24 インク吸収口 25 チャネル 26 インク吐出口 27 ノズル 28 インク通路

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクジェット印刷ヘッドにおいて使用
    されるための、結合されたマニホルド及びチャネルプレ
    ートを製造するための2ステップ射出成形プロセスであ
    って、 a)吸引口と、吐出口と、前記吸引口及び前記吐出口を
    連結する通路と、を有するマニホルドを射出成形するス
    テップと、 b)前記マニホルドにおいて、複数のチャネルと、前記
    複数のチャネル及び前記マニホルド吐出口と連絡するリ
    ザーバとを有するチャネルプレートを射出成形するステ
    ップであって、前記マニホルド及び前記チャネルプレー
    トが異なる物理特性を有する材料から射出成形されてい
    るステップと、 を備える2ステップ射出成形プロセス。
  2. 【請求項2】 インク吸引口及びインク吐出口、並びに
    前記インク吸引口及び前記インク吐出口を連結する通路
    を有するマニホルドと、 エラストマチャネルプレートと、 を備えるインクジェット印刷ヘッドのためのチャニホル
    ドであって、 前記エラストマチャネルプレートが、該エラストマチャ
    ネルプレートの第1表面上に複数のチャネルと、前記エ
    ラストマチャネルプレートの第2表面上に形成されたイ
    ンクリザーバとを有しており、前記リザーバが前記複数
    のチャネルと連絡しており、前記エラストマチャネルプ
    レートの前記第2表面が前記リザーバが前記インク吐出
    口と連絡するように前記マニホルドに取り付けられてい
    ることよりなるインクジェット印刷ヘッドのためのチャ
    ニホルド。
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