JPH06160618A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH06160618A JPH06160618A JP31733392A JP31733392A JPH06160618A JP H06160618 A JPH06160618 A JP H06160618A JP 31733392 A JP31733392 A JP 31733392A JP 31733392 A JP31733392 A JP 31733392A JP H06160618 A JPH06160618 A JP H06160618A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】無機物を含むペーストを印刷した後に焼成を経
て着色層を形成するカラーフィルタの製造方法に関し
て、得られるカラーフィルタは耐熱性の高さは維持され
ているうえに、着色層の平坦性が良く、形状も精度良く
得られてあり、位置精度も高く、さらにはコントラスト
も良好である、という優れた品質を有するカラーフィル
タの製造方法を提供する。 【構成】基板上に感光性樹脂層を形成してフォトリソグ
ラフィ法を施し、ある色の着色層を形成する部分を除去
し且つ他の部分は硬化させ、前記除去した部分へ無機物
を含むペーストを充填し、焼成を施すこと、少なくとも
以上を具備することを特徴とする。
て着色層を形成するカラーフィルタの製造方法に関し
て、得られるカラーフィルタは耐熱性の高さは維持され
ているうえに、着色層の平坦性が良く、形状も精度良く
得られてあり、位置精度も高く、さらにはコントラスト
も良好である、という優れた品質を有するカラーフィル
タの製造方法を提供する。 【構成】基板上に感光性樹脂層を形成してフォトリソグ
ラフィ法を施し、ある色の着色層を形成する部分を除去
し且つ他の部分は硬化させ、前記除去した部分へ無機物
を含むペーストを充填し、焼成を施すこと、少なくとも
以上を具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプラズマディスプレイ
（ＰＤＰ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などの各種表
示装置用や固体撮像素子用として、反射率低減、色合
成、あるいは色分解等の為に用いられ、特には耐熱性に
も優れたカラーフィルタに関するものであり、特にはそ
のカラーフィルタの製造方法に関する。
（ＰＤＰ）や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などの各種表
示装置用や固体撮像素子用として、反射率低減、色合
成、あるいは色分解等の為に用いられ、特には耐熱性に
も優れたカラーフィルタに関するものであり、特にはそ
のカラーフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高い耐熱性を必要とする（例え
ば、特に前記ＰＤＰに反射率低減用として使用する場合
の）カラーフィルタを得ようとする場合、一般に無機物
を用いて着色層を形成している。そしてこの着色層が無
機物からなるカラーフィルタを印刷法を用いて製造する
場合には、着色層を形成する無機物と主に有機物からな
るバインダ成分とを混合してペースト化したのち、これ
を所定のガラス基板上に印刷し、それを焼成することに
より着色層を形成する。そしてこの工程を求める色数だ
け繰り返す事によりカラーフィルタを作製している。
ば、特に前記ＰＤＰに反射率低減用として使用する場合
の）カラーフィルタを得ようとする場合、一般に無機物
を用いて着色層を形成している。そしてこの着色層が無
機物からなるカラーフィルタを印刷法を用いて製造する
場合には、着色層を形成する無機物と主に有機物からな
るバインダ成分とを混合してペースト化したのち、これ
を所定のガラス基板上に印刷し、それを焼成することに
より着色層を形成する。そしてこの工程を求める色数だ
け繰り返す事によりカラーフィルタを作製している。
【０００３】ここで用いられるペーストは、赤色の場合
には、例えば着色成分の酸化銅や酸化スズ等をガラスフ
リット（粒子状をなした一種の低融点ガラス）と混合
し、エチルセルロースやアクリル樹脂等をエチルカルビ
トールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に分散
しペースト化したものなどが用いられている。
には、例えば着色成分の酸化銅や酸化スズ等をガラスフ
リット（粒子状をなした一種の低融点ガラス）と混合
し、エチルセルロースやアクリル樹脂等をエチルカルビ
トールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に分散
しペースト化したものなどが用いられている。
【０００４】また、緑色の場合については、（前記赤色
の場合とほぼ同様に）着色成分として酸化銅やクロム酸
等をガラスフリットと混合し、これを赤色用ペーストと
同様、エチルセルロースやアクリル樹脂等をエチルカル
ビトールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に分
散したものなどが用いられている。
の場合とほぼ同様に）着色成分として酸化銅やクロム酸
等をガラスフリットと混合し、これを赤色用ペーストと
同様、エチルセルロースやアクリル樹脂等をエチルカル
ビトールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に分
散したものなどが用いられている。
【０００５】そして、青色の場合については、（前記赤
色や緑色の場合とほぼ同様に）着色成分としての酸化コ
バルト等をガラスフリットと混合し、これも赤や緑の場
合と同様にエチルセルロースやアクリル樹脂をエチルカ
ルビトールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に
分散したものなどが用いられている。
色や緑色の場合とほぼ同様に）着色成分としての酸化コ
バルト等をガラスフリットと混合し、これも赤や緑の場
合と同様にエチルセルロースやアクリル樹脂をエチルカ
ルビトールなどの有機溶剤に溶解した有機バインダ中に
分散したものなどが用いられている。
【０００６】これらのペーストを所定のガラス基板上に
印刷する。印刷方法としては種々の方式を用いることが
でき、身近な例ではスクリーン印刷法や平版オフセット
印刷法などが好適に用いられる。
印刷する。印刷方法としては種々の方式を用いることが
でき、身近な例ではスクリーン印刷法や平版オフセット
印刷法などが好適に用いられる。
【０００７】たとえば、スクリーン印刷を用いる場合、
２５０から４５０メッシュ等のスクリーン印刷版を用い
これらのペーストをガラス基板上に印刷すれば良い。
２５０から４５０メッシュ等のスクリーン印刷版を用い
これらのペーストをガラス基板上に印刷すれば良い。
【０００８】このペーストが印刷された基板を５００乃
至６００℃程度で数分間焼成することにより各色の着色
層を形成する。ここで、各色のペースト中に含まれるガ
ラスフリットは焼成により融解し、着色成分を基板上に
接着する役割がある。
至６００℃程度で数分間焼成することにより各色の着色
層を形成する。ここで、各色のペースト中に含まれるガ
ラスフリットは焼成により融解し、着色成分を基板上に
接着する役割がある。
【０００９】また、これらのペースト中に含まれている
有機バインダや有機溶剤はこのような高温では燃焼除去
される。したがって、基板上には無機物のみ残り、無機
質からなるカラーフィルタが形成される。
有機バインダや有機溶剤はこのような高温では燃焼除去
される。したがって、基板上には無機物のみ残り、無機
質からなるカラーフィルタが形成される。
【００１０】ところで、一般に表示装置に使われるカラ
ーフィルタは赤、緑、青の３色が目的に応じたマトリク
ス状に配置されている。したがって、本発明においても
前記の印刷及び焼成からなる工程をこれら３色について
繰り返し行うことにより、一般の表示装置に用いられる
カラーフィルタを製造することができる。
ーフィルタは赤、緑、青の３色が目的に応じたマトリク
ス状に配置されている。したがって、本発明においても
前記の印刷及び焼成からなる工程をこれら３色について
繰り返し行うことにより、一般の表示装置に用いられる
カラーフィルタを製造することができる。
【００１１】しかしながら、前記印刷法によりパターン
形成を行う場合、印刷時のペーストのレベリング等の要
因のためそのパターンの平坦性を得ることは難しく、従
って完成品の着色層の平坦性も悪いのが通常である。
形成を行う場合、印刷時のペーストのレベリング等の要
因のためそのパターンの平坦性を得ることは難しく、従
って完成品の着色層の平坦性も悪いのが通常である。
【００１２】また、同様の理由により、印刷されたパタ
ーンは濡れ広がるため、特に微細なパターンの形成はい
たって困難である。
ーンは濡れ広がるため、特に微細なパターンの形成はい
たって困難である。
【００１３】さらには、例えばスクリーン印刷法では、
印刷時のスクリーン版の歪みに主に起因する印刷位置ず
れが発生するため、高い位置精度をもつ印刷パターンを
得ることが困難である。
印刷時のスクリーン版の歪みに主に起因する印刷位置ず
れが発生するため、高い位置精度をもつ印刷パターンを
得ることが困難である。
【００１４】そして、着色層が前記のように平坦性が悪
いこと、所定のパターン形状が得られていないこと、あ
るいは位置精度が低いことは、発生していた場合にはコ
ントラスト低下等を招く原因にもなる。
いこと、所定のパターン形状が得られていないこと、あ
るいは位置精度が低いことは、発生していた場合にはコ
ントラスト低下等を招く原因にもなる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点に
鑑みなされたものであり、その目的とするところは、無
機物を含むペーストを印刷した後に焼成を経て着色層を
形成するカラーフィルタの製造方法に関して、得られる
カラーフィルタは耐熱性の高さは維持されているうえ
に、着色層の平坦性が良く、形状も精度良く得られてあ
り、位置精度も高く、さらにはコントラストも良好であ
る、という優れた品質を有するカラーフィルタの製造方
法を提供することにある。
鑑みなされたものであり、その目的とするところは、無
機物を含むペーストを印刷した後に焼成を経て着色層を
形成するカラーフィルタの製造方法に関して、得られる
カラーフィルタは耐熱性の高さは維持されているうえ
に、着色層の平坦性が良く、形状も精度良く得られてあ
り、位置精度も高く、さらにはコントラストも良好であ
る、という優れた品質を有するカラーフィルタの製造方
法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明が提供する手段とは、すなわち、無機物を含ん
だペーストを印刷し焼成を経ることにより無機物からな
る着色層を形成するカラーフィルタの製造方法におい
て、以下に示す工程、すなわち、（イ）基板上に感光性
樹脂層を形成する工程、（ロ）該感光性樹脂層に対して
フォトリソグラフィ法を施し、ある色の着色層を形成す
る部分を除去し且つ他の部分は硬化させる工程、（ハ）
該感光性樹脂層を除去した部分に、着色層を形成する無
機物を含むペーストを充填する工程、（ニ）該ペースト
を充填した基板に対して、焼成を施す工程、以上、少な
くとも（イ）乃至（ニ）を具備することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法である。
に本発明が提供する手段とは、すなわち、無機物を含ん
だペーストを印刷し焼成を経ることにより無機物からな
る着色層を形成するカラーフィルタの製造方法におい
て、以下に示す工程、すなわち、（イ）基板上に感光性
樹脂層を形成する工程、（ロ）該感光性樹脂層に対して
フォトリソグラフィ法を施し、ある色の着色層を形成す
る部分を除去し且つ他の部分は硬化させる工程、（ハ）
該感光性樹脂層を除去した部分に、着色層を形成する無
機物を含むペーストを充填する工程、（ニ）該ペースト
を充填した基板に対して、焼成を施す工程、以上、少な
くとも（イ）乃至（ニ）を具備することを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法である。
【００１７】尚、本発明を適用する場合、通常は前記感
光性樹脂層の厚さは前記ペースト中の無機物粒子の径の
寸法よりも大きくしておくことが好ましい。また、前記
感光性樹脂層の厚さの方が小さい場合でも、硬化した前
記感光性樹脂層のみを除去出来る薬剤を使用することに
より、やはり好適に適用出来る。
光性樹脂層の厚さは前記ペースト中の無機物粒子の径の
寸法よりも大きくしておくことが好ましい。また、前記
感光性樹脂層の厚さの方が小さい場合でも、硬化した前
記感光性樹脂層のみを除去出来る薬剤を使用することに
より、やはり好適に適用出来る。
【００１８】
【作用】本発明によると、基板上にもうけられた感光性
樹脂層領域中に感光性樹脂が選択的に除去された部分
に、着色層となるべきペーストを充填し、その後に焼成
することを繰り返し（通常は三色の）着色層をもつカラ
ーフィルタを得る。このとき、前記ペーストが充填され
る部分はフォトリソグラフィ法により形成されてあり、
充填されたペーストは良好な形状と位置精度を（フォト
リソグラフィ法の能力により）得られる。
樹脂層領域中に感光性樹脂が選択的に除去された部分
に、着色層となるべきペーストを充填し、その後に焼成
することを繰り返し（通常は三色の）着色層をもつカラ
ーフィルタを得る。このとき、前記ペーストが充填され
る部分はフォトリソグラフィ法により形成されてあり、
充填されたペーストは良好な形状と位置精度を（フォト
リソグラフィ法の能力により）得られる。
【００１９】そして、前記ペーストは前記感光性樹脂層
が選択的に除去されることにより設けられた窪みにやは
り選択的に充填されるので、ペーストはフォトリソグラ
フィ法により形成された所定のパターン形状を付与され
ることによる。
が選択的に除去されることにより設けられた窪みにやは
り選択的に充填されるので、ペーストはフォトリソグラ
フィ法により形成された所定のパターン形状を付与され
ることによる。
【００２０】このため、カラーフィルタを形成する着色
層の高い位置精度を確保し、かつまた個々の着色層が良
好な形状を保つ高性能のカラーフィルタを製造すること
が出来る。なお、焼成時に感光性樹脂は燃焼除去され
る。
層の高い位置精度を確保し、かつまた個々の着色層が良
好な形状を保つ高性能のカラーフィルタを製造すること
が出来る。なお、焼成時に感光性樹脂は燃焼除去され
る。
【００２１】
【実施例】（図１）は、本発明によるカラーフィルタの
製造方法の工程の概要を示したフローチャート図であ
り、（図２）は従来行われているカラーフィルタの製造
方法の概要を示したフローチャート図である。そして
（図３）から（図１４）は本発明によるカラーフィルタ
の製造方法の各工程を示した図である。
製造方法の工程の概要を示したフローチャート図であ
り、（図２）は従来行われているカラーフィルタの製造
方法の概要を示したフローチャート図である。そして
（図３）から（図１４）は本発明によるカラーフィルタ
の製造方法の各工程を示した図である。
【００２２】なお、（図１４）に示すように、本実施例
のカラーフィルタは赤色着色層14、緑色着色層16、青色
着色層18からなる３色の着色層を一組としたものを配列
させることにより構成されているものである。
のカラーフィルタは赤色着色層14、緑色着色層16、青色
着色層18からなる３色の着色層を一組としたものを配列
させることにより構成されているものである。
【００２３】まずメチルメタクリレートを主成分とする
感光性樹脂をブレードコーターを用い、３０μｍの厚さ
になるようにガラス基板10上に塗布、乾燥させ（図３）
に示すように感光性樹脂層（未硬化）11を形成した。
感光性樹脂をブレードコーターを用い、３０μｍの厚さ
になるようにガラス基板10上に塗布、乾燥させ（図３）
に示すように感光性樹脂層（未硬化）11を形成した。
【００２４】次に、このガラス基板10の感光性樹脂層
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図４）に示すように赤色着色層を形
成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成し
た。
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図４）に示すように赤色着色層を形
成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成し
た。
【００２５】これに（図５）に示すように赤色ガラスペ
ースト13をスキージを用い赤色着色層を形成する部分に
充填した。
ースト13をスキージを用い赤色着色層を形成する部分に
充填した。
【００２６】なお、ここで用いた赤色ガラスペースト
は、酸化クロム５重量部及び酸化銅５重量部をガラスフ
リット（日本電気硝子製、商品名：ＬＳ０１００）１１
５重量部と混合し、これを１２００℃で溶融し、室温ま
で冷却した後、ボールミルを用い平均粒径１０μｍ以下
になるまで粉砕して作製された着色ガラス成分を、エチ
ルセルロース５重量部にエチルカルビトール４０重量部
を加え混合したバインダ成分と重量比として３対１とな
るように混練することにより調製したものを用いた。
は、酸化クロム５重量部及び酸化銅５重量部をガラスフ
リット（日本電気硝子製、商品名：ＬＳ０１００）１１
５重量部と混合し、これを１２００℃で溶融し、室温ま
で冷却した後、ボールミルを用い平均粒径１０μｍ以下
になるまで粉砕して作製された着色ガラス成分を、エチ
ルセルロース５重量部にエチルカルビトール４０重量部
を加え混合したバインダ成分と重量比として３対１とな
るように混練することにより調製したものを用いた。
【００２７】このように赤色ガラスペースト13が充填さ
れたガラス基板10を空気中で５８０℃で１０分焼成する
ことにより（図６）に示すようにガラス基板10上に赤色
着色層14を形成した。
れたガラス基板10を空気中で５８０℃で１０分焼成する
ことにより（図６）に示すようにガラス基板10上に赤色
着色層14を形成した。
【００２８】次に、（図７）に示すようにこの赤色着色
層14が形成されたガラス基板10上に、メチルメタクリレ
ートを主成分とする感光性樹脂をブレードコーターを用
い、３０μｍの厚さになるようにガラス基板10上に塗
布、乾燥させ感光性樹脂層（未硬化）11を形成した。
層14が形成されたガラス基板10上に、メチルメタクリレ
ートを主成分とする感光性樹脂をブレードコーターを用
い、３０μｍの厚さになるようにガラス基板10上に塗
布、乾燥させ感光性樹脂層（未硬化）11を形成した。
【００２９】次に、このガラス基板10の感光性樹脂層
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図８）に示すように緑色着色層を形
成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成し
た。
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図８）に示すように緑色着色層を形
成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成し
た。
【００３０】これに（図９）に示すように緑色ガラスペ
ースト15をスキージを用い緑色着色層を形成する部分に
充填した。
ースト15をスキージを用い緑色着色層を形成する部分に
充填した。
【００３１】なお、ここで用いた緑色ガラスペースト15
は、酸化銅１０重量部及びクロム酸２重量部をガラスフ
リット（日本電気硝子製、前記と同じ）１１５重量部と
混合し、これを１２００℃で溶融し、室温まで冷却した
後、ボールミルを用い平均粒径１０μｍ以下になるまで
粉砕して作製された着色ガラス成分を、エチルセルロー
ス５重量部にエチルカルビトール４０重量部を加え混合
したバインダ成分と重量比として３対１となるように混
練することにより調製したものを用いた。
は、酸化銅１０重量部及びクロム酸２重量部をガラスフ
リット（日本電気硝子製、前記と同じ）１１５重量部と
混合し、これを１２００℃で溶融し、室温まで冷却した
後、ボールミルを用い平均粒径１０μｍ以下になるまで
粉砕して作製された着色ガラス成分を、エチルセルロー
ス５重量部にエチルカルビトール４０重量部を加え混合
したバインダ成分と重量比として３対１となるように混
練することにより調製したものを用いた。
【００３２】このように緑色ガラスペースト15が充填さ
れたガラス基板10を空気中５８０℃で１０分焼成するこ
とにより（図１０）に示すようにガラス基板10上に緑色
着色層16を形成した。
れたガラス基板10を空気中５８０℃で１０分焼成するこ
とにより（図１０）に示すようにガラス基板10上に緑色
着色層16を形成した。
【００３３】次に、（図１１）に示すようにこの緑色着
色層16および先に形成した赤色着色層14が形成されたガ
ラス基板10上に、メチルメタクリレートを主成分とする
感光性樹脂をブレードコーターを用い、３０μｍの厚さ
になるようにガラス基板10上に塗布、乾燥させ感光性樹
脂層（未硬化）11を形成した。
色層16および先に形成した赤色着色層14が形成されたガ
ラス基板10上に、メチルメタクリレートを主成分とする
感光性樹脂をブレードコーターを用い、３０μｍの厚さ
になるようにガラス基板10上に塗布、乾燥させ感光性樹
脂層（未硬化）11を形成した。
【００３４】次に、このガラス基板10の感光性樹脂層
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図１２）に示すように青色着色層を
形成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成
した。
（未硬化）11にフォトマスクを密着させ露光、現像を行
いガラス基板上に（図１２）に示すように青色着色層を
形成する部分以外にのみ感光性樹脂層（硬化）12を形成
した。
【００３５】これに（図１３）に示すように青色ガラス
ペースト17をスキージを用い青色着色層を形成する部分
に充填した。
ペースト17をスキージを用い青色着色層を形成する部分
に充填した。
【００３６】なお、ここで用いた青色ガラスペースト17
は、酸化コバルト５重量部をガラスフリット（日本電気
硝子製、前記と同じ）１１５重量部と混合し、これを１
２００℃で溶融し、室温まで冷却した後、ボールミルを
用い平均粒径１０μｍ以下になるまで粉砕して作製され
た着色ガラス成分を、エチルセルロース５重量部にエチ
ルカルビトール４０重量部を加え混合したバインダ成分
と重量比として３対１となるように混練することにより
調製したものを用いた。
は、酸化コバルト５重量部をガラスフリット（日本電気
硝子製、前記と同じ）１１５重量部と混合し、これを１
２００℃で溶融し、室温まで冷却した後、ボールミルを
用い平均粒径１０μｍ以下になるまで粉砕して作製され
た着色ガラス成分を、エチルセルロース５重量部にエチ
ルカルビトール４０重量部を加え混合したバインダ成分
と重量比として３対１となるように混練することにより
調製したものを用いた。
【００３７】このように青色ガラスペースト17が印刷さ
れたガラス基板10を空気中５８０℃で１０分焼成するこ
とにより（図１４）に示すようにガラス基板10上に青色
着色層18を形成した。
れたガラス基板10を空気中５８０℃で１０分焼成するこ
とにより（図１４）に示すようにガラス基板10上に青色
着色層18を形成した。
【００３８】この結果、各色着色層の位置及び形状の優
れた３色の組み合わせからなるカラーフィルタを得た。
れた３色の組み合わせからなるカラーフィルタを得た。
【００３９】
【発明の効果】本発明に係わるカラーフィルタの製造方
法によれば、ガラス基板上に作製された感光性樹脂に形
成された所定パターンを有する欠落部分へ、着色層とな
るべきペーストが充填され、その後に焼成されることに
よりカラーフィルタを得る。
法によれば、ガラス基板上に作製された感光性樹脂に形
成された所定パターンを有する欠落部分へ、着色層とな
るべきペーストが充填され、その後に焼成されることに
よりカラーフィルタを得る。
【００４０】その結果、無機物を含むペーストを印刷し
た後に焼成を経て着色層を形成するカラーフィルタの製
造方法に関して、得られるカラーフィルタは耐熱性の高
さは維持されているうえに、着色層の平坦性が良く、形
状も精度良く得られてあり、位置精度も高く、さらには
コントラストも良好である、という優れた品質を有する
カラーフィルタの製造方法を提供することが出来た。
た後に焼成を経て着色層を形成するカラーフィルタの製
造方法に関して、得られるカラーフィルタは耐熱性の高
さは維持されているうえに、着色層の平坦性が良く、形
状も精度良く得られてあり、位置精度も高く、さらには
コントラストも良好である、という優れた品質を有する
カラーフィルタの製造方法を提供することが出来た。
【図１】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、工程の概略を示したフローチャートで
ある。
実施例について、工程の概略を示したフローチャートで
ある。
【図２】従来のカラーフィルタの製造方法の一例につい
て、工程の概略を示したフローチャートである。
て、工程の概略を示したフローチャートである。
【図３】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
【図４】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層のパターニング）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層のパターニング）
【図５】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（赤色ガラスペースト充填）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（赤色ガラスペースト充填）
【図６】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（赤色着色層形成）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（赤色着色層形成）
【図７】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
【図８】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層のパターニング）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（感光性樹脂層のパターニング）
【図９】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の一
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（緑色ガラスペースト充填）
実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説明
図である。（緑色ガラスペースト充填）
【図１０】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（緑色着色層形成）
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（緑色着色層形成）
【図１１】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（感光性樹脂層（未硬化）の形成）
【図１２】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（感光性樹脂層のパターニング）
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（感光性樹脂層のパターニング）
【図１３】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（青色ガラスペースト充填）
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（青色ガラスペースト充填）
【図１４】本発明に係わるカラーフィルタの製造方法の
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（青色着色層形成）
一実施例について、断面図を用いて工程の概略を示す説
明図である。（青色着色層形成）
10・・・ガラス基板 11・・・感光性樹脂層（未硬化） 12・・・感光性樹脂層（硬化） 13・・・赤色ガラスペースト 14・・・赤色着色層 15・・・緑色ガラスペースト 16・・・緑色着色層 17・・・青色ガラスペースト 18・・・青色着色層
Claims (1)
- 【請求項１】無機物を含んだペーストを印刷し焼成を経
ることにより無機物からなる着色層を形成するカラーフ
ィルタの製造方法において、以下に示す工程、すなわ
ち、（イ）基板上に感光性樹脂層を形成する工程、
（ロ）該感光性樹脂層に対してフォトリソグラフィ法を
施し、ある色の着色層を形成する部分を除去し且つ他の
部分は硬化させる工程、（ハ）該感光性樹脂層を除去し
た部分に、着色層を形成する無機物を含むペーストを充
填する工程、（ニ）該ペーストを充填した基板に対し
て、焼成を施す工程、以上、少なくとも（イ）乃至
（ニ）を具備することを特徴とするカラーフィルタの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31733392A JPH06160618A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31733392A JPH06160618A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06160618A true JPH06160618A (ja) | 1994-06-07 |
Family
ID=18087044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31733392A Pending JPH06160618A (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06160618A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247782A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-13 | Boe Technology Group Co Ltd | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-11-26 JP JP31733392A patent/JPH06160618A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012247782A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-13 | Boe Technology Group Co Ltd | カラーフィルタ基板及びその製造方法 |
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