JPH0616399Y2 - 電子線加速装置の照射窓 - Google Patents
電子線加速装置の照射窓Info
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- JPH0616399Y2 JPH0616399Y2 JP10869488U JP10869488U JPH0616399Y2 JP H0616399 Y2 JPH0616399 Y2 JP H0616399Y2 JP 10869488 U JP10869488 U JP 10869488U JP 10869488 U JP10869488 U JP 10869488U JP H0616399 Y2 JPH0616399 Y2 JP H0616399Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は電子線加速装置の照射窓、詳しくは照射窓箔の
冷却装置に関するものである。
冷却装置に関するものである。
電子線加速装置は、真空容器内で加速された電子線を照
射窓を透過して大気中に置かれた被照射物に照射するよ
うに構成されている。
射窓を透過して大気中に置かれた被照射物に照射するよ
うに構成されている。
第３図は、従来公知の電子線加速装置の照射窓部の構成
を示すもので同図(イ)は１部縦断側面図、(ロ)は矢印１１
からみた照射窓部の平面図を示すもので、１は加速管の
延長部で、端部開口部が照射窓２を形成し、この照射窓
２にはアルミ箔、チタニウム箔等からなる窓箔３が気密
に装着されて加速管内部は高真空に保たれている。４は
窓箔３を加速管延長部１の端部に装着するための押え
板、５はパツキング、６はその先端開口部が絞り込まれ
た吹出口６１から、空気、炭素ガス等の冷却ガスを窓箔
３に向けて吹きつけるためのガス吹出部、７は送気管、
８は被照射物である。
を示すもので同図(イ)は１部縦断側面図、(ロ)は矢印１１
からみた照射窓部の平面図を示すもので、１は加速管の
延長部で、端部開口部が照射窓２を形成し、この照射窓
２にはアルミ箔、チタニウム箔等からなる窓箔３が気密
に装着されて加速管内部は高真空に保たれている。４は
窓箔３を加速管延長部１の端部に装着するための押え
板、５はパツキング、６はその先端開口部が絞り込まれ
た吹出口６１から、空気、炭素ガス等の冷却ガスを窓箔
３に向けて吹きつけるためのガス吹出部、７は送気管、
８は被照射物である。
電子線は、図示しない加速管部で矢印９方向に加速され
て窓箔３を透過して被照射物８に照射されるが、高エネ
ルギーの電子線が窓箔を透過するため、電子線エネルギ
ーの１部がこの窓箔によつて吸収され、透過部が異常加
熱し、機械的強度が低下して真空壁を維持できなくなる
ことから、窓箔３を冷却することと、被照射物によつて
は塩素或は塩化水素等の腐蝕性ガスを発生し、この腐蝕
性ガスによる窓箔の腐蝕を避けるため、電子線照射時に
は矢印１０で示すように窓箔３に向けて冷却ガス吹出部
６の吹出口６１から冷却ガスを吹き付けるように構成さ
れている。
て窓箔３を透過して被照射物８に照射されるが、高エネ
ルギーの電子線が窓箔を透過するため、電子線エネルギ
ーの１部がこの窓箔によつて吸収され、透過部が異常加
熱し、機械的強度が低下して真空壁を維持できなくなる
ことから、窓箔３を冷却することと、被照射物によつて
は塩素或は塩化水素等の腐蝕性ガスを発生し、この腐蝕
性ガスによる窓箔の腐蝕を避けるため、電子線照射時に
は矢印１０で示すように窓箔３に向けて冷却ガス吹出部
６の吹出口６１から冷却ガスを吹き付けるように構成さ
れている。
第４図は第３図の冷却ガス吹出部の詳細図で、第４図中
第３図と同一符号の部分は第３図の部分と同一部分を示
す。冷却ガス吹出部は取付ボルト12，13，14によつて加
速管延長部１の端に設けられたフランジ１′並に押え板
４に吹出口６１が窓箔３に向けて冷却ガスが噴射される
ように取り付けられている。なお、１５は押え板４の締
付ボルト、１６は送気管７の取付ボルトである。
第３図と同一符号の部分は第３図の部分と同一部分を示
す。冷却ガス吹出部は取付ボルト12，13，14によつて加
速管延長部１の端に設けられたフランジ１′並に押え板
４に吹出口６１が窓箔３に向けて冷却ガスが噴射される
ように取り付けられている。なお、１５は押え板４の締
付ボルト、１６は送気管７の取付ボルトである。
第４図に示す構成によれば冷却ガス吹出部６の吹出口６
１が絞り込まれ、この部分の冷却ガスの流速が高められ
て窓箔３に対して冷却ガスが吹き付けられるため、冷却
ガスの吹き付けは極めて効果的に行なわれ、窓箔３の冷
却はもとより被照射物からの腐蝕性ガスの除去も効果的
に行なわれるが、吹出口６１で大巾に絞り込まれて冷却
ガスの流速が極めて速くなつていることゝ、吹出口６１
を出た途端に急激に減圧されることから該部でガス流に
よる共鳴音を発し、これが高いところでは１３０dbを越
える場合があるが、この種の静止機器として、この共鳴
音は騒音として利用上大きな問題があつた。
１が絞り込まれ、この部分の冷却ガスの流速が高められ
て窓箔３に対して冷却ガスが吹き付けられるため、冷却
ガスの吹き付けは極めて効果的に行なわれ、窓箔３の冷
却はもとより被照射物からの腐蝕性ガスの除去も効果的
に行なわれるが、吹出口６１で大巾に絞り込まれて冷却
ガスの流速が極めて速くなつていることゝ、吹出口６１
を出た途端に急激に減圧されることから該部でガス流に
よる共鳴音を発し、これが高いところでは１３０dbを越
える場合があるが、この種の静止機器として、この共鳴
音は騒音として利用上大きな問題があつた。
長方形をした吹出口上壁の内側角部即ち、窓箔側の吹出
口内側角部に円弧を形成して、吹出口上側のガス流路の
平滑化を計つた。
口内側角部に円弧を形成して、吹出口上側のガス流路の
平滑化を計つた。
本考案によれば、吹出口上壁内側角部に円弧が設けら
れ、冷却ガスの流路が平滑化されて渦流の発生が少な
く、従つてガス流による共鳴を大巾に低減することがで
きると共に、吹出口の左右並に下側壁は角がそのまゝ残
され、ガスの吹付け方向は窓箔方向に向けられており、
該部ではガス流の吹き付け方向が窓箔面以外の方向に拡
大されることがないので、ガス流の活用効率を低減する
ことがない。
れ、冷却ガスの流路が平滑化されて渦流の発生が少な
く、従つてガス流による共鳴を大巾に低減することがで
きると共に、吹出口の左右並に下側壁は角がそのまゝ残
され、ガスの吹付け方向は窓箔方向に向けられており、
該部ではガス流の吹き付け方向が窓箔面以外の方向に拡
大されることがないので、ガス流の活用効率を低減する
ことがない。
この場合、吹出口の上方のガス流の方向は拡大するが、
加速管延長部の端部壁面によつて噴出したガス流の方向
が修正され、その殆んどが窓箔の冷却に有効に活用され
る。
加速管延長部の端部壁面によつて噴出したガス流の方向
が修正され、その殆んどが窓箔の冷却に有効に活用され
る。
第１図は、本考案の実施例を示す冷却ガス吹出部６の吹
出口６１部分の拡大断面図を示すもので、第４図と同一
符号を付した部分は第４図のものと同一部分を示してい
る。
出口６１部分の拡大断面図を示すもので、第４図と同一
符号を付した部分は第４図のものと同一部分を示してい
る。
第１図の実施例では冷却ガス吹出部６の吹出口６１の上
壁６２の内側角部に円弧Ｒを形成した点以外は第４図の
従来例と変らない。
壁６２の内側角部に円弧Ｒを形成した点以外は第４図の
従来例と変らない。
円弧Ｒの大きさは、上壁の厚さｔの1/2を半径とするの
が最も好ましく本考案者は上、下壁の厚さｔを４m/m、
円弧Ｒの半径を２m/m、吹出口６１の巾ｌを２m/mとして
実験を行つた。第５図はその結果を示すもので、縦軸に
騒音レベル(db)を、横軸に騒音測定位置を示しており、
Ａ１，Ａ２，Ａ３…Ａ５は第３図(ロ)に示す測定点
Ａ１，Ａ２，Ａ３…Ａ５を示している。
が最も好ましく本考案者は上、下壁の厚さｔを４m/m、
円弧Ｒの半径を２m/m、吹出口６１の巾ｌを２m/mとして
実験を行つた。第５図はその結果を示すもので、縦軸に
騒音レベル(db)を、横軸に騒音測定位置を示しており、
Ａ１，Ａ２，Ａ３…Ａ５は第３図(ロ)に示す測定点
Ａ１，Ａ２，Ａ３…Ａ５を示している。
このグラフで折線Ｄ１は本考案を実施した照射窓で、照
射窓部の風圧を0.15〜0.16kg/cm2とした場合の騒音測定
結果を示しており、騒音レベルの最も高いＡ４の点で１
０６db、最も低いＡ１点では９７dbであつた。
射窓部の風圧を0.15〜0.16kg/cm2とした場合の騒音測定
結果を示しており、騒音レベルの最も高いＡ４の点で１
０６db、最も低いＡ１点では９７dbであつた。
これに対し第４図の従来例による照射窓で、上下壁の厚
さｔを２m/m、吹出口の巾ｌを３m/m、照射窓部の風圧を
0.075kg/cm2として測定した結果を折線Ｄ２で示してい
るが、この従来例では実験条件が多少相違するとは云
え、照射窓部の風圧を1/2以下に制限しているにも拘わ
らず、最も低いＡ４点で１１３db、最も高いＡ１点では
１３９dbと本考案のものと比べ著るしく高く、本考案の
実施によつて明瞭に低騒音化が計れてたことがわかる。
さｔを２m/m、吹出口の巾ｌを３m/m、照射窓部の風圧を
0.075kg/cm2として測定した結果を折線Ｄ２で示してい
るが、この従来例では実験条件が多少相違するとは云
え、照射窓部の風圧を1/2以下に制限しているにも拘わ
らず、最も低いＡ４点で１１３db、最も高いＡ１点では
１３９dbと本考案のものと比べ著るしく高く、本考案の
実施によつて明瞭に低騒音化が計れてたことがわかる。
第２図は、他の実施例を示すもので、この実施例は送気
管７から冷却ガス吹出部６′の吹出口６１に至るガス流
路の凹凸をなくし、吹出口までの絞り込みを連続的に行
ない、ガス流の乱れの発生を回避するようにしたもの
で、この構成によれば、本考案の実施と相俟つて更に低
騒音化を計ることができる。
管７から冷却ガス吹出部６′の吹出口６１に至るガス流
路の凹凸をなくし、吹出口までの絞り込みを連続的に行
ない、ガス流の乱れの発生を回避するようにしたもの
で、この構成によれば、本考案の実施と相俟つて更に低
騒音化を計ることができる。
なお、第２図に於て、第４図と同一符号を付した部分は
第４図の部分と同一部分を示している。
第４図の部分と同一部分を示している。
本考案によれば、冷却ガスの使用効率を低減することが
なく、冷却ガスによる共鳴音を著るしく低減することが
でき、低騒音化された照射窓を得ることができる。
なく、冷却ガスによる共鳴音を著るしく低減することが
でき、低騒音化された照射窓を得ることができる。
第１図は本考案の実施例を示す冷却ガス吹出部の吹出口
部分の拡大断面図、第２図は他の実施例を示す照射窓の
冷却装置部の１部断面図、第３図(イ)は従来の照射窓部
の概略断面図、(ロ)は照射窓の平面図、第４図は照射窓
の冷却装置部の従来例を示す１部縦断面図、第５図は照
射窓部の騒音レベルの測定結果を示すグラフである。 １：加速管延長部、２：照射窓、３：窓箔、４：押え
板、５：パツキン、６：吹出部、６１：吹出口、７：送
気管。
部分の拡大断面図、第２図は他の実施例を示す照射窓の
冷却装置部の１部断面図、第３図(イ)は従来の照射窓部
の概略断面図、(ロ)は照射窓の平面図、第４図は照射窓
の冷却装置部の従来例を示す１部縦断面図、第５図は照
射窓部の騒音レベルの測定結果を示すグラフである。 １：加速管延長部、２：照射窓、３：窓箔、４：押え
板、５：パツキン、６：吹出部、６１：吹出口、７：送
気管。
Claims (1)
- 【請求項１】加速管延長部の下端開口部に窓箔を気密に
装着してなる照射窓、この照射窓の大気側に長方形の吹
出口を有し、該吹出口が前記照射窓の一側から前記窓箔
に向けて開口するように設けられた冷却ガス吹出部から
なる電子線加速装置の照射窓に於て、前記長方形の吹出
口の上壁内側角部に円弧を形成せしめたことを特徴とす
る電子線加速装置の照射窓
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10869488U JPH0616399Y2 (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | 電子線加速装置の照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10869488U JPH0616399Y2 (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | 電子線加速装置の照射窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0230098U JPH0230098U (ja) | 1990-02-26 |
| JPH0616399Y2 true JPH0616399Y2 (ja) | 1994-04-27 |
Family
ID=31344271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10869488U Expired - Lifetime JPH0616399Y2 (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | 電子線加速装置の照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0616399Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4727389B2 (ja) * | 2005-11-01 | 2011-07-20 | 三菱重工業株式会社 | 電子線殺菌装置 |
-
1988
- 1988-08-18 JP JP10869488U patent/JPH0616399Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0230098U (ja) | 1990-02-26 |
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