JPH06164007A - 圧電アクチェーター - Google Patents
圧電アクチェーターInfo
- Publication number
- JPH06164007A JPH06164007A JP43A JP34153192A JPH06164007A JP H06164007 A JPH06164007 A JP H06164007A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 34153192 A JP34153192 A JP 34153192A JP H06164007 A JPH06164007 A JP H06164007A
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- JP
- Japan
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- meandering
- actuator
- piezoelectric
- piece
- piezoelectric element
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2041—Beam type
- H10N30/2042—Cantilevers, i.e. having one fixed end
- H10N30/2044—Cantilevers, i.e. having one fixed end having multiple segments mechanically connected in series, e.g. zig-zag type
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、圧電アクチェーターにおける伸縮
運動量を大巾に増幅する構造にしたことを特徴とする。 【構成】蛇行形にしたアクチェーター本体1に伸縮形圧
電素子片2を添着し、同圧電素子片2の伸縮駆動によっ
て各蛇行片3を接近、離間方向に変位し、蛇行構造体
(アクチェーター本体1)の全体を蛇行方向に伸縮させ
るようにした。
運動量を大巾に増幅する構造にしたことを特徴とする。 【構成】蛇行形にしたアクチェーター本体1に伸縮形圧
電素子片2を添着し、同圧電素子片2の伸縮駆動によっ
て各蛇行片3を接近、離間方向に変位し、蛇行構造体
(アクチェーター本体1)の全体を蛇行方向に伸縮させ
るようにした。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電セラミック等の伸縮
形圧電素子片を使用した圧電アクチェーターに関する。
この圧電アクチェーターは例えば加振機等における振動
源として、或いは対称物体を上限位置と下限位置に制御
する場合等に使用される。
形圧電素子片を使用した圧電アクチェーターに関する。
この圧電アクチェーターは例えば加振機等における振動
源として、或いは対称物体を上限位置と下限位置に制御
する場合等に使用される。
【0002】
【従来の技術】従来、この種圧電アクチェーターは伸縮
形の圧電セラミックを多層に積み重ねて積層体にし、各
圧電セラミックを電圧駆動して伸縮させ、この伸縮の累
積により積層体全体を積層方向へ伸縮する構造等を採っ
ている。
形の圧電セラミックを多層に積み重ねて積層体にし、各
圧電セラミックを電圧駆動して伸縮させ、この伸縮の累
積により積層体全体を積層方向へ伸縮する構造等を採っ
ている。
【0003】
【発明が解決しようとする問題点】然るに、上記圧電ア
クチェーターは各圧電セラミックが収縮した時の厚み寸
法の増加により、アクチェーター全体の伸び量を得るよ
うにしたものであるが、圧電セラミックの収縮に伴う厚
み寸法の増加は極めて微小であり、アクチェーター全体
の充分な伸び量が得られない欠点を有している。
クチェーターは各圧電セラミックが収縮した時の厚み寸
法の増加により、アクチェーター全体の伸び量を得るよ
うにしたものであるが、圧電セラミックの収縮に伴う厚
み寸法の増加は極めて微小であり、アクチェーター全体
の充分な伸び量が得られない欠点を有している。
【0004】
【問題点を解決するための手段】本発明は上記アクチェ
ーター全体の伸縮量を充分に増幅できるようにした圧電
アクチェーターを提供するものであり、その手段として
蛇行形を呈するアクチェーター本体を形成し、該アクチ
ェーター本体に伸縮形圧電素子片を添設し、該伸縮形圧
電素子片をその伸縮駆動により上記蛇行形アクチェータ
ー本体の蛇行片を接近方向と離間方向に変位させるよう
配置し、該蛇行片の変位により同アクチェーター本体を
伸縮させる構成とした。
ーター全体の伸縮量を充分に増幅できるようにした圧電
アクチェーターを提供するものであり、その手段として
蛇行形を呈するアクチェーター本体を形成し、該アクチ
ェーター本体に伸縮形圧電素子片を添設し、該伸縮形圧
電素子片をその伸縮駆動により上記蛇行形アクチェータ
ー本体の蛇行片を接近方向と離間方向に変位させるよう
配置し、該蛇行片の変位により同アクチェーター本体を
伸縮させる構成とした。
【0005】
【作用】この発明はアクチェーター本体の蛇行構造と、
これに添着した伸縮形圧電素子片の協働により、各蛇行
片の変位量を大巾に拡大でき、この変位量を累積して充
分に増幅されたアクチェーター全体の伸縮量を得ること
ができる。
これに添着した伸縮形圧電素子片の協働により、各蛇行
片の変位量を大巾に拡大でき、この変位量を累積して充
分に増幅されたアクチェーター全体の伸縮量を得ること
ができる。
【0006】このアクチェーターの対を軸対称に配置す
ることによって、これに支持された対象物体を充分な運
動量を以って水平に平行シフトさせることができる。
ることによって、これに支持された対象物体を充分な運
動量を以って水平に平行シフトさせることができる。
【0007】
【実施例】図1乃至図4は第1実施例を示し、図5乃至
図8は第2実施例を示し、先ず両実施例の共通構造につ
いて説明し、次で各実施例固有の実施例について説明す
る。
図8は第2実施例を示し、先ず両実施例の共通構造につ
いて説明し、次で各実施例固有の実施例について説明す
る。
【0008】第1、第2実施例において、1はアクチェ
ーター本体、2は伸縮形圧電素子片を示し、上記アクチ
ェーター本体1は蛇行形構造とする。この蛇行構造体は
横方向に延在する複数の蛇行片3を有し、各蛇行片3の
端部を交互に連結し、各蛇行片3が該連結部4を起点と
して接近、離間方向に変位し、よって全体を縦方向に伸
縮可能な弾性を有する。
ーター本体、2は伸縮形圧電素子片を示し、上記アクチ
ェーター本体1は蛇行形構造とする。この蛇行構造体は
横方向に延在する複数の蛇行片3を有し、各蛇行片3の
端部を交互に連結し、各蛇行片3が該連結部4を起点と
して接近、離間方向に変位し、よって全体を縦方向に伸
縮可能な弾性を有する。
【0009】第1実施例においては、上記蛇行片3の連
結部4の外端面に伸縮形圧電素子片2を添着する。この
伸縮形圧電素子片2は圧電セラミック等から形成され、
その表裏面に形成した電極層に電圧を印加することによ
り伸縮する。
結部4の外端面に伸縮形圧電素子片2を添着する。この
伸縮形圧電素子片2は圧電セラミック等から形成され、
その表裏面に形成した電極層に電圧を印加することによ
り伸縮する。
【0010】この伸縮形圧電素子片2を上記の如く蛇行
片連結部4の外端面に添設することにより同所に一種の
圧電バイモルフ構造を形成する。これにより、図3に示
すように伸縮形圧電素子片2を電圧駆動により収縮させ
ると、連結部4がベンディングを惹起し、このベンディ
ングに伴ない各蛇行片3は互いに離間する方向に変位
し、この変位が各蛇行片3においてなされるため、図4
に示すようにその累積にて蛇行構造体、即ちアクチェー
ター本体1が蛇行方向(縦方向)へ増幅されて伸長す
る。
片連結部4の外端面に添設することにより同所に一種の
圧電バイモルフ構造を形成する。これにより、図3に示
すように伸縮形圧電素子片2を電圧駆動により収縮させ
ると、連結部4がベンディングを惹起し、このベンディ
ングに伴ない各蛇行片3は互いに離間する方向に変位
し、この変位が各蛇行片3においてなされるため、図4
に示すようにその累積にて蛇行構造体、即ちアクチェー
ター本体1が蛇行方向(縦方向)へ増幅されて伸長す
る。
【0011】又逆に伸縮形圧電素子片2が電圧駆動によ
り伸長すると、各蛇行片3が互いに接近する方向に変位
しアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)に収縮す
る。
り伸長すると、各蛇行片3が互いに接近する方向に変位
しアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)に収縮す
る。
【0012】又第2実施例においては、上記アクチェー
ター本体1を形成する蛇行構造体の隣接する蛇行片3の
対向面に、上記伸縮形圧電素子片2を一体に添設する。
ター本体1を形成する蛇行構造体の隣接する蛇行片3の
対向面に、上記伸縮形圧電素子片2を一体に添設する。
【0013】この伸縮形圧電素子片2は一端が上記連結
部4の側面に達し、他端が蛇行片3の略中央部に達する
ように添設する。又図示しないが、第1実施例に鑑み、
上記伸縮形圧電素子片2を連結部4の後端面と、蛇行片
3の対向面とに貼付することを妨げない。又は、伸縮形
圧電素子片2の各蛇行片3の対向面たる上面にその略全
長に亘って貼付する。
部4の側面に達し、他端が蛇行片3の略中央部に達する
ように添設する。又図示しないが、第1実施例に鑑み、
上記伸縮形圧電素子片2を連結部4の後端面と、蛇行片
3の対向面とに貼付することを妨げない。又は、伸縮形
圧電素子片2の各蛇行片3の対向面たる上面にその略全
長に亘って貼付する。
【0014】この伸縮形圧電素子片2を上記の如く蛇行
片3の対向面に添設することにより同所に一種の圧電バ
イモルフ構造を形成する。これにより、図7に示すよう
に伸縮形圧電素子片2を電圧駆動により収縮させると、
蛇行片3が連結部4を起点としてベンディングを惹起
し、このベンディングに伴ない各蛇行片3は互いに離間
する方向に変位し、この変位が各蛇行片3においてなさ
れるため、図8に示すようにその累積にて蛇行構造体、
即ちアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)へ増幅
されて伸長する。
片3の対向面に添設することにより同所に一種の圧電バ
イモルフ構造を形成する。これにより、図7に示すよう
に伸縮形圧電素子片2を電圧駆動により収縮させると、
蛇行片3が連結部4を起点としてベンディングを惹起
し、このベンディングに伴ない各蛇行片3は互いに離間
する方向に変位し、この変位が各蛇行片3においてなさ
れるため、図8に示すようにその累積にて蛇行構造体、
即ちアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)へ増幅
されて伸長する。
【0015】又逆に伸縮形圧電素子片2が電圧駆動によ
り伸長すると、各蛇行片3が互いに接近する方向に変位
しアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)に収縮す
る。
り伸長すると、各蛇行片3が互いに接近する方向に変位
しアクチェーター本体1が蛇行方向(縦方向)に収縮す
る。
【0016】上記第1、第2実施例におけるアクチェー
ター本体1は一端を定位置(据付面7)に固定し、他端
に対象物を支持する。この結果、上記動作により対象物
を伸長位置と収縮位置に移動することができる。又上記
動作を連続的に行なうことにより振動を惹起させること
ができる。
ター本体1は一端を定位置(据付面7)に固定し、他端
に対象物を支持する。この結果、上記動作により対象物
を伸長位置と収縮位置に移動することができる。又上記
動作を連続的に行なうことにより振動を惹起させること
ができる。
【0017】第1、第2実施例においては、上記アクチ
ェーターの単位を一対使用し、各アクチェーターを軸対
称となるように並設配置し、両アクチェーター本体1の
一端を連結部材5にて剛体結合すると共に、他端を連結
部材6にて剛体結合し、連結部材5を取付け手段として
据付面7に固定し、他端の連結部材6に対象物体を載置
するか一体に取付けて支持する。
ェーターの単位を一対使用し、各アクチェーターを軸対
称となるように並設配置し、両アクチェーター本体1の
一端を連結部材5にて剛体結合すると共に、他端を連結
部材6にて剛体結合し、連結部材5を取付け手段として
据付面7に固定し、他端の連結部材6に対象物体を載置
するか一体に取付けて支持する。
【0018】かくして前記した動作原理により、図4、
図8に示すように両アクチェーター本体1は剛体結合さ
れた連結部材6を水平に保持した状態でアクチェーター
の伸縮方向に移動し、これに支持された対象物体を伸縮
方向に移動する。
図8に示すように両アクチェーター本体1は剛体結合さ
れた連結部材6を水平に保持した状態でアクチェーター
の伸縮方向に移動し、これに支持された対象物体を伸縮
方向に移動する。
【0019】又図示しないが、両アクチェーター本体1
を連結部材6により剛体結合せずにフリー状態にし、そ
の上に対象物体を支持しこの対象物体を他の案内機構に
沿い水平に移動させる構造とする場合を含む。同様に、
対象物体を一方のアクチェーター本体1の端部と他方の
アクチェーター本体1の端部に軸等により枢支すること
によって、水平シフトさせるようにする場合を含む。
を連結部材6により剛体結合せずにフリー状態にし、そ
の上に対象物体を支持しこの対象物体を他の案内機構に
沿い水平に移動させる構造とする場合を含む。同様に、
対象物体を一方のアクチェーター本体1の端部と他方の
アクチェーター本体1の端部に軸等により枢支すること
によって、水平シフトさせるようにする場合を含む。
【0020】又他例として上記アクチェーターの単位を
4単位使用し、これらを方形又は多角形に配して圧電ア
クチェーターを構成することができる。
4単位使用し、これらを方形又は多角形に配して圧電ア
クチェーターを構成することができる。
【0021】
【発明の効果】この発明によれば、アクチェーター本体
の蛇行構造と、これに添着した伸縮形圧電素子片の協働
により、各蛇行片の変位量を大巾に拡大でき、この変位
量を累積して充分に増幅されたアクチェーター全体の伸
縮量を得ることができる。
の蛇行構造と、これに添着した伸縮形圧電素子片の協働
により、各蛇行片の変位量を大巾に拡大でき、この変位
量を累積して充分に増幅されたアクチェーター全体の伸
縮量を得ることができる。
【0022】このアクチェーターの対を軸対称に配置す
ることによって、これに支持された対象物体を充分な運
動量を以って水平に平行シフトさせることができる。
ることによって、これに支持された対象物体を充分な運
動量を以って水平に平行シフトさせることができる。
【0023】又対象物体が大型なものであっても、小型
のものであっても圧電アクチェーターを間隔を存して並
置し上記対象物を安定に支持し、所要の伸縮運動を与え
ることができるから、対象物体の大小に応じ随時対応で
き互換性を有する。
のものであっても圧電アクチェーターを間隔を存して並
置し上記対象物を安定に支持し、所要の伸縮運動を与え
ることができるから、対象物体の大小に応じ随時対応で
き互換性を有する。
【図1】この発明の第1実施例を示す圧電アクチェータ
ーの斜視図。
ーの斜視図。
【図2】同圧電アクチェーターを軸対称に配置した状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図3】同圧電アクチェーターにおける伸縮形圧電素子
片が収縮した時のアクチェーター動作状態を示す拡大側
面図。
片が収縮した時のアクチェーター動作状態を示す拡大側
面図。
【図4A】軸対称に配置した一方の圧電アクチェーター
の外側面図であり、その伸長状態を示す図。
の外側面図であり、その伸長状態を示す図。
【図4B】同他方の圧電アクチェーターの内側面図であ
り、その伸長状態を示す図。
り、その伸長状態を示す図。
【図5】この発明の第2実施例を示す圧電アクチェータ
ーの斜視図。
ーの斜視図。
【図6】同圧電アクチェーターを軸対称に配置した状態
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図7】同圧電アクチェーターにおける伸縮形圧電素子
片が収縮した時のアクチェーター動作状態を示す拡大側
面図。
片が収縮した時のアクチェーター動作状態を示す拡大側
面図。
【図8A】軸対称に配置した一方の圧電アクチェーター
の外側面図であり、その伸長状態を示す図。
の外側面図であり、その伸長状態を示す図。
【図8B】同他方の圧電アクチェーターの内側面図であ
り、その伸長状態を示す図。
り、その伸長状態を示す図。
1 アクチェーター本体(蛇行構造) 2 伸縮形圧電素子片 3 蛇行片 4 連結部 5、6 連結部材 7 据付面
Claims (4)
- 【請求項1】蛇行形を呈するアクチェーター本体を形成
し、該アクチェーター本体に伸縮形圧電素子片を添設
し、該伸縮形圧電素子片をその伸縮駆動により上記蛇行
形アクチェーター本体の蛇行片を接近方向と離間方向に
変位させるよう配置し、該蛇行片の変位により同アクチ
ェーター本体を蛇行方向に伸縮させる構成としたことを
特徴とする圧電アクチェーター。 - 【請求項2】上記隣接する蛇行片の連結部外端面に上記
伸縮形圧電素子片を添着したことを特徴とする請求項1
記載の圧電アクチェーター。 - 【請求項3】上記蛇行片の対向する面に上記伸縮形圧電
素子片を添着したことを特徴とする請求項1記載の圧電
アクチェーター。 - 【請求項4】上記圧電アクチェーターが軸対称に配置さ
れ一端が互いに連結されていることを特徴とする請求項
1記載の圧電アクチェーター。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4341531A JP2542154B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 圧電アクチェ―タ― |
| US08/155,853 US5410207A (en) | 1992-11-26 | 1993-11-23 | Piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4341531A JP2542154B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 圧電アクチェ―タ― |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06164007A true JPH06164007A (ja) | 1994-06-10 |
| JP2542154B2 JP2542154B2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=18346793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4341531A Expired - Lifetime JP2542154B2 (ja) | 1992-11-26 | 1992-11-26 | 圧電アクチェ―タ― |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5410207A (ja) |
| JP (1) | JP2542154B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999005778A1 (en) * | 1997-07-25 | 1999-02-04 | Materials Systems Incorporated | Serpentine cross-section piezoelectric linear actuator |
| WO1999013518A1 (fr) * | 1997-09-08 | 1999-03-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Dispositif piezoelectrique/electrostrictif |
| KR100675329B1 (ko) * | 2004-08-17 | 2007-01-26 | 한국기계연구원 | 강성제어를 통한 수평구동형 박막압전 엑츄에이터 |
| WO2011093179A1 (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電発電装置 |
| JP2014502343A (ja) * | 2010-10-21 | 2014-01-30 | ソルラブス、 インコーポレイテッド | ナノポジショナーのための平行度維持装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| US5726520A (en) * | 1993-08-02 | 1998-03-10 | Bonneville Scientific Incorporated | Direct drive field actuator motors |
| US5761782A (en) * | 1994-08-29 | 1998-06-09 | Oceaneering International, Inc. | Method of fabrication of piezoelectric bender elements |
| US5798600A (en) * | 1994-08-29 | 1998-08-25 | Oceaneering International, Inc. | Piezoelectric pumps |
| US5889354A (en) * | 1994-08-29 | 1999-03-30 | Oceaneering International Inc. | Piezoelectric unit cell |
| US5668432A (en) * | 1995-03-24 | 1997-09-16 | Nippondenso Co., Ltd. | Articulation device |
| US5726953A (en) * | 1995-04-07 | 1998-03-10 | Metro-Mark, Incorporated | Electroluminescent lamp with buried indiciae and method for making same |
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