JPH06164297A - 弾性表面波共振子 - Google Patents
弾性表面波共振子Info
- Publication number
- JPH06164297A JPH06164297A JP5723392A JP5723392A JPH06164297A JP H06164297 A JPH06164297 A JP H06164297A JP 5723392 A JP5723392 A JP 5723392A JP 5723392 A JP5723392 A JP 5723392A JP H06164297 A JPH06164297 A JP H06164297A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- surface acoustic
- acoustic wave
- wave resonator
- interdigital transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】圧電基板上に菱形重み付けを施したすだれ状変
換器を備えたラブ波型弾性表面波共振子のスプリアスを
軽減する。 【構成】すだれ状変換器電極のバスバー２ａから平行に
多数連接された電極指の電極首部２ｂの電極幅を、長さ
１．５／λ以上にわたって菱形重み付けが施された電極
実部２ｃの電極幅に比べて狭くしたことを特徴とする。
換器を備えたラブ波型弾性表面波共振子のスプリアスを
軽減する。 【構成】すだれ状変換器電極のバスバー２ａから平行に
多数連接された電極指の電極首部２ｂの電極幅を、長さ
１．５／λ以上にわたって菱形重み付けが施された電極
実部２ｃの電極幅に比べて狭くしたことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、通信機器のフィルタ，
共振子，遅延線等として用いられる弾性表面波（ＳＡ
Ｗ：Surface Acoustic Wave)デバイスに関し、特に、重
み付けを施した弾性表面波共振子に関するものである。
共振子，遅延線等として用いられる弾性表面波（ＳＡ
Ｗ：Surface Acoustic Wave)デバイスに関し、特に、重
み付けを施した弾性表面波共振子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】代表例としてラブ波（ＳＨ波）型共振子
について述べる。図３は菱形重み付けを施した従来のラ
ブ波型弾性表面波共振子の構成例を示す平面図である。
図において、１は圧電基板、２はすだれ状電極変換器
（Interdigital Transducer以下ＩＤＴと略記する）を
示す。また、特に断らない限り他の図には圧電基板１の
図示を省略する。図３に示す如く、擬似弾性表面波の存
在する圧電基板１上のＩＤＴ２の電極を、金（Ａｕ），
銀（Ａｇ），白金（Ｐｔ）等の重金属によって形成する
ことにより、伝搬減衰の大きな擬似弾性表面波を減衰の
ないラブ波型表面波とすることができ、かつ、ＩＤＴを
設けるだけで弾性表面波共振子が構成される。
について述べる。図３は菱形重み付けを施した従来のラ
ブ波型弾性表面波共振子の構成例を示す平面図である。
図において、１は圧電基板、２はすだれ状電極変換器
（Interdigital Transducer以下ＩＤＴと略記する）を
示す。また、特に断らない限り他の図には圧電基板１の
図示を省略する。図３に示す如く、擬似弾性表面波の存
在する圧電基板１上のＩＤＴ２の電極を、金（Ａｕ），
銀（Ａｇ），白金（Ｐｔ）等の重金属によって形成する
ことにより、伝搬減衰の大きな擬似弾性表面波を減衰の
ないラブ波型表面波とすることができ、かつ、ＩＤＴを
設けるだけで弾性表面波共振子が構成される。
【０００３】図４（Ａ）は図３と同様の共振子であり、
図４（Ｂ）はその共振子の横方向の基本振動モードの変
位分布を示す。図４から判るように、ＩＤＴ２の電極指
を含むグレーティング部分３は、音速が外側の圧電基板
の自由表面上の音速より遅くなるため表面波導波路（ガ
イド）として働くが、エネルギはその導波路の両外側に
も指数関数的に減少する形で存在する。
図４（Ｂ）はその共振子の横方向の基本振動モードの変
位分布を示す。図４から判るように、ＩＤＴ２の電極指
を含むグレーティング部分３は、音速が外側の圧電基板
の自由表面上の音速より遅くなるため表面波導波路（ガ
イド）として働くが、エネルギはその導波路の両外側に
も指数関数的に減少する形で存在する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】図５（Ａ）は、図３の
Ａの電極部分を拡大した部分拡大図である。また、図５
（Ｂ）は、導波路の外側の圧電基板上の自由表面部分，
多数の電極指を連接しているバスバー２ａの部分，グレ
ーティング部分のそれぞれの表面波の伝搬速度ｖf ，ｖ
m ，ｖi を示したものである。図５（Ｂ）のように、図
３の部分Ａにおいては、速度差が２段階存在する。図５
（Ｂ）からわかるように、従来の共振子は導波路の両側
付近では、ｖf ＞ｖm ＞ｖi の速度差があるため、表面
波エネルギ分布に乱れを生じ、スプリアスの原因となる
問題点がある。本発明の目的は、以上の問題点を解決
し、導波路の両側付近の表面波エネルギ分布の乱れを無
くし、スプリアスのない弾性表面波共振子を提供するこ
とにある。
Ａの電極部分を拡大した部分拡大図である。また、図５
（Ｂ）は、導波路の外側の圧電基板上の自由表面部分，
多数の電極指を連接しているバスバー２ａの部分，グレ
ーティング部分のそれぞれの表面波の伝搬速度ｖf ，ｖ
m ，ｖi を示したものである。図５（Ｂ）のように、図
３の部分Ａにおいては、速度差が２段階存在する。図５
（Ｂ）からわかるように、従来の共振子は導波路の両側
付近では、ｖf ＞ｖm ＞ｖi の速度差があるため、表面
波エネルギ分布に乱れを生じ、スプリアスの原因となる
問題点がある。本発明の目的は、以上の問題点を解決
し、導波路の両側付近の表面波エネルギ分布の乱れを無
くし、スプリアスのない弾性表面波共振子を提供するこ
とにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波共振
子は、圧電基板上にすだれ状変換器が形成された弾性表
面波共振子において、前記すだれ状変換器のバスバーか
ら平行に多数連接された電極指の電極首部の電極幅を、
該電極首部からの延長部をなし重み付けが施された電極
実部の電極幅に比べて波長の１．５倍以上の長さにわた
って狭くしたことを特徴とするものである。
子は、圧電基板上にすだれ状変換器が形成された弾性表
面波共振子において、前記すだれ状変換器のバスバーか
ら平行に多数連接された電極指の電極首部の電極幅を、
該電極首部からの延長部をなし重み付けが施された電極
実部の電極幅に比べて波長の１．５倍以上の長さにわた
って狭くしたことを特徴とするものである。
【０００６】
【実施例】以下図面により本発明を詳細に説明する。代
表例としてラブ波型弾性表面波共振子について述べる。
図１（Ａ）は本発明の実施例を示す電極構成の平面図で
あり、（Ｂ）はその横モードの変位分布を示す。図２
（Ａ）は図１（Ａ）の部分拡大図であり、図２（Ｂ）は
その表面波の伝搬速度を示した図である。図２（Ａ）の
２ａはバスバー、２ｂは電極首部、２ｃは電極実部を示
す。各白矢印のｖf ，ｖm ，ｖi1，ｖi2は、それぞれ圧
電基板の自由表面上，バスバー２ａ上，電極首部２ｂ
上，電極実部２ｃ上を伝搬する表面波の速度を示す。
表例としてラブ波型弾性表面波共振子について述べる。
図１（Ａ）は本発明の実施例を示す電極構成の平面図で
あり、（Ｂ）はその横モードの変位分布を示す。図２
（Ａ）は図１（Ａ）の部分拡大図であり、図２（Ｂ）は
その表面波の伝搬速度を示した図である。図２（Ａ）の
２ａはバスバー、２ｂは電極首部、２ｃは電極実部を示
す。各白矢印のｖf ，ｖm ，ｖi1，ｖi2は、それぞれ圧
電基板の自由表面上，バスバー２ａ上，電極首部２ｂ
上，電極実部２ｃ上を伝搬する表面波の速度を示す。
【０００７】図２（Ａ）のように全電極指の電極首部２
ｂの電極指幅を電極実部２ｃの電極指幅より小さくする
ことにより、それぞれの上を伝搬する表面波の速度に段
差を生じさせる。この電極幅の差が表面波導波路をきめ
る働きをする。この電極首部２ｂの長さを１．５λ
（λ：表面波の波長）以上にすることによって表面波エ
ネルギが存在する範囲には、ｖi1＞ｖi2の速度差のみが
生じ、図１（Ｂ）に示すような変位分布となる。
ｂの電極指幅を電極実部２ｃの電極指幅より小さくする
ことにより、それぞれの上を伝搬する表面波の速度に段
差を生じさせる。この電極幅の差が表面波導波路をきめ
る働きをする。この電極首部２ｂの長さを１．５λ
（λ：表面波の波長）以上にすることによって表面波エ
ネルギが存在する範囲には、ｖi1＞ｖi2の速度差のみが
生じ、図１（Ｂ）に示すような変位分布となる。
【０００８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、表面波エネルギの存在する範囲には速度差は１段
階のみとなるので、エネルギ分布の乱れが抑圧されるた
め、スプリアスの無い弾性表面波共振子を実現すること
ができる。
れば、表面波エネルギの存在する範囲には速度差は１段
階のみとなるので、エネルギ分布の乱れが抑圧されるた
め、スプリアスの無い弾性表面波共振子を実現すること
ができる。
【図１】本発明の実施例の電極構造を示す平面図と変位
分布図である。
分布図である。
【図２】本発明の要部の部分拡大図と伝搬速度を示す図
である。
である。
【図３】従来の構成例の平面図である。
【図４】従来の構成と変位を示す説明図である。
【図５】従来の電極の部分拡大図と伝搬速度を示す図で
ある。
ある。
１ 圧電基板 ２ すだれ状変換器電極 ２ａ バスバー ２ｂ 電極首部 ２ｃ 電極実部 ３ 導波路（ガイド）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 神田 正 東京都港区虎ノ門二丁目３番13号 国際電 気株式会社内 (72)発明者 清水 洋 宮城県仙台市太白区八木山本町一丁目22番 12号
Claims (1)
- 【請求項１】 圧電基板上にすだれ状変換器が形成され
た弾性表面波共振子において、 前記すだれ状変換器のバスバーから平行に多数連接され
た電極指の電極首部の電極幅を、該電極首部からの延長
部をなし重み付けが施された電極実部の電極幅に比べて
波長の１．５倍以上の長さにわたって狭くしたことを特
徴とする弾性表面波共振子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5723392A JPH06164297A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 弾性表面波共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5723392A JPH06164297A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 弾性表面波共振子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06164297A true JPH06164297A (ja) | 1994-06-10 |
Family
ID=13049820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5723392A Pending JPH06164297A (ja) | 1992-02-12 | 1992-02-12 | 弾性表面波共振子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06164297A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5999068A (en) * | 1997-08-29 | 1999-12-07 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
| US6025763A (en) * | 1996-03-14 | 2000-02-15 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resonator-type surface-acoustic-wave ladder filter with improved upper stopband attenuation and reduced insertion loss |
| WO2006109591A1 (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波素子 |
| JP2007081469A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子及び通信装置 |
| JP2008078883A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振子 |
| WO2008078573A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Panasonic Corporation | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
| WO2008126614A1 (ja) | 2007-03-27 | 2008-10-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波素子 |
| US7453334B1 (en) * | 2005-03-21 | 2008-11-18 | Triquint Semiconductor, Inc. | Leaky SAW resonator and method |
| US7868717B2 (en) * | 2005-12-23 | 2011-01-11 | Epcos Ag | Acoustic wave transducer and filter comprising said transducer |
| JP2012109671A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波素子及びラダー型フィルタ |
| WO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-03 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
-
1992
- 1992-02-12 JP JP5723392A patent/JPH06164297A/ja active Pending
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6025763A (en) * | 1996-03-14 | 2000-02-15 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Resonator-type surface-acoustic-wave ladder filter with improved upper stopband attenuation and reduced insertion loss |
| EP1274169A3 (en) * | 1997-08-29 | 2006-07-05 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
| US5999068A (en) * | 1997-08-29 | 1999-12-07 | Fujitsu Limited | Surface acoustic wave filter of multi-stage connection type |
| US7453334B1 (en) * | 2005-03-21 | 2008-11-18 | Triquint Semiconductor, Inc. | Leaky SAW resonator and method |
| WO2006109591A1 (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波素子 |
| JP4650488B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-03-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| JPWO2006109591A1 (ja) * | 2005-04-08 | 2008-10-30 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| KR100884209B1 (ko) * | 2005-04-08 | 2009-02-18 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성파소자 |
| US7501916B2 (en) | 2005-04-08 | 2009-03-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave device having an electrode finger with a side edge projection |
| CN101116244B (zh) | 2005-04-08 | 2010-08-25 | 株式会社村田制作所 | 弹性波元件 |
| JP2007081469A (ja) * | 2005-09-09 | 2007-03-29 | Kyocera Corp | 弾性表面波素子及び通信装置 |
| US7868717B2 (en) * | 2005-12-23 | 2011-01-11 | Epcos Ag | Acoustic wave transducer and filter comprising said transducer |
| JP2008078883A (ja) * | 2006-09-20 | 2008-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波共振子 |
| JPWO2008078573A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2010-04-22 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
| WO2008078573A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-03 | Panasonic Corporation | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
| KR100963341B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2010-06-14 | 파나소닉 주식회사 | 탄성 표면파 공진기 및 그것을 이용한 탄성 표면파 필터 및안테나 공용기 |
| JP4569699B2 (ja) * | 2006-12-27 | 2010-10-27 | パナソニック株式会社 | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
| US7965155B2 (en) | 2006-12-27 | 2011-06-21 | Panasonic Corporation | Surface acoustic wave resonator, and surface acoustic wave filter and antenna duplexer in which the surface acoustic wave resonator is used |
| JP2011019249A (ja) * | 2006-12-27 | 2011-01-27 | Panasonic Corp | 弾性表面波共振器並びにそれを用いた弾性表面波フィルタ及びアンテナ共用器 |
| WO2008126614A1 (ja) | 2007-03-27 | 2008-10-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性波素子 |
| JPWO2008126614A1 (ja) * | 2007-03-27 | 2010-07-22 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| JP5024373B2 (ja) * | 2007-03-27 | 2012-09-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波素子 |
| US8390400B2 (en) | 2007-03-27 | 2013-03-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave element having an electrode finger with a protrusion |
| CN101595641B (zh) | 2007-03-27 | 2013-05-08 | 株式会社村田制作所 | 弹性波元件 |
| JP2012109671A (ja) * | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性波素子及びラダー型フィルタ |
| WO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2018-05-03 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
| JPWO2018079574A1 (ja) * | 2016-10-28 | 2019-08-08 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4340834A (en) | Surface acoustic wave resonator device | |
| JPH06164297A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JP3385169B2 (ja) | 弾性表面波多重モードフィルタ | |
| US4143340A (en) | Acoustic surface wave device with improved transducer | |
| JP4246604B2 (ja) | 弾性表面波デバイス | |
| US6577210B1 (en) | Surface acoustic wave filter having plural propagation paths and a coupler | |
| JPH1188112A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS5950608A (ja) | 反射音波で作動する電子デバイス | |
| US6114927A (en) | Surface acoustic wave filter utilizing direction changing electrodes and a weighted transducer | |
| JPH0113243B2 (ja) | ||
| KR960036295A (ko) | 표면파 공진자 | |
| JP3432323B2 (ja) | Ｓａｗデバイス | |
| JPH0685493B2 (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| US4965480A (en) | Surface acoustic wave convolver with two output electrodes of different lengths | |
| US4330767A (en) | Surface acoustic wave device | |
| CN116938188B (zh) | 一种声表面波谐振装置、声表面波滤波装置及电子设备 | |
| JPH06112755A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH06350383A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JP3371562B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3338650B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| KR100373190B1 (ko) | 3중 트랜싯 에코의 감소 구조를 가진 표면탄성파 필터 | |
| JPH0452005B2 (ja) | ||
| KR940011029B1 (ko) | 쏘필터장치 | |
| JPH08125490A (ja) | 多重モード弾性表面波フィルター | |
| JPH0328595Y2 (ja) |