JPH061682B2 - Setting value control method in analyzer - Google Patents
Setting value control method in analyzerInfo
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- JPH061682B2 JPH061682B2 JP60236123A JP23612385A JPH061682B2 JP H061682 B2 JPH061682 B2 JP H061682B2 JP 60236123 A JP60236123 A JP 60236123A JP 23612385 A JP23612385 A JP 23612385A JP H061682 B2 JPH061682 B2 JP H061682B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、Ｘ線光電子分析計やイオンマイクロアナライ
ザ等の分析装置とコンピュータシステムとを接続して分
析装置の動作を制御する方法に係わり、特には、ＣＰＵ
から分析装置に分析条件設定用の設定値を与え、これに
応答して分析装置から出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の信号をデジタル化してＣＰＵに取り込み、こ
のデジタル値に基づいて前記設定値を較正する設定値制
御方法に関する。The present invention relates to a method of connecting an analysis device such as an X-ray photoelectron analyzer or an ion micro analyzer to a computer system to control the operation of the analysis device. , Especially the CPU
From the analyzer to a setting value for setting the analysis condition, and in response thereto, a monitor signal indicating the actual analysis condition output from the analyzer is digitized and taken into the CPU, and based on the digital value, The present invention relates to a set value control method for calibrating a set value.
(ロ)従来技術とその問題点 たとえば、Ｘ線光電子分析計やイオンマイクロアナライ
ザ等の分析装置では、試料から励起されて放出される電
子やイオン等の信号に対してエネルギー走査を行ないつ
つ上記信号を検出器で検出し、その検出信号をＣＰＵに
取り込んでエネルギースペクトルを測定する。(B) Conventional technology and its problems For example, in an analyzer such as an X-ray photoelectron analyzer or an ion microanalyzer, the above-mentioned signal is transmitted while performing energy scanning with respect to signals such as electrons and ions excited and emitted from a sample. Is detected by a detector, the detection signal is taken into the CPU, and the energy spectrum is measured.
上記のエネルギー走査を行なう際には、第４図に示すよ
うに、予めエネルギー走査の開始点spと終了点epを設定
し、開始点と終了点とを結んだ検量線の定数を求める
が、その前段階として、分析装置に与える設定値Ｄ1、
Ｄ2が実際のエネルギー走査の開始点あるいは終了点の
電圧Ｖ1、Ｖ2に対応しているか否かを予めチェックする
必要がある。このため、測定開始点に予めＣＰＵから分
析装置に対して開始点spと終了点epに対応したおおよそ
の設定値Ｄ1、Ｄ2を与え、これに応答して分析装置から
出力される実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ
出力をデジタル化した後、ＣＰＵにフィードバックして
取り込み、このデジタル値に基づいて前記設定値に較正
することによって分析装置のドリフトの影響等を除くよ
うにしている。When performing the above energy scanning, as shown in FIG. 4, the starting point sp and the ending point ep of the energy scanning are set in advance, and the constant of the calibration curve connecting the starting point and the ending point is obtained. As a previous step, the set value D 1 given to the analyzer,
It is necessary to check in advance whether or not D 2 corresponds to the voltages V 1 and V 2 at the start point or end point of the actual energy scan. For this reason, the CPU gives to the analyzer in advance the set values D 1 and D 2 corresponding to the start point sp and the end point ep as the measurement start point, and in response to this, the actual output values from the analyzer are output. After the monitor output corresponding to the energy scanning voltage is digitized, the monitor output is fed back to the CPU and is calibrated to the set value based on this digital value to eliminate the influence of the drift of the analyzer.
ところで、分析装置から出力されるモニタ用の出力はア
ナログ信号の段階ではある程度のノイズ成分が含まれ、
また、このアナログ信号をデジタル化してＣＰＵに取り
込み場合には必然的に量子化誤差を伴なう。このため、
ＣＰＵに取り込まれるモニタ用のデジタル値はある程度
のハンチングを伴なう。したがって、モニタ用のテジタ
ル値の収束時点を捕らえることが難しくなり、ＣＰＵは
いつまでたっても一定値に収束しないと判断して制御不
能に陥ることがある。By the way, the monitor output that is output from the analyzer contains some noise component at the stage of the analog signal,
Further, when this analog signal is digitized and taken into the CPU, a quantization error is inevitably involved. For this reason,
Digital values for monitoring taken into the CPU are accompanied by hunting to some extent. Therefore, it becomes difficult to capture the time when the monitoring digital value converges, and the CPU may be unable to control because it determines that it will not converge to a constant value forever.
この不都合を解消するため、従来は、モニタ用のデジタ
ル値がＣＰＵに所定時間内に連続して一定回数以上入力
された場合に、この一定回数以上入力されたデジタル値
をもって設定値に対応したデジタル値であると判定して
いた。たとえば、デジタル値が0.1、0.1.、0.2、0.2、
0.2、0.3、0.2…というように順次入力された場合、0.2
が３回連続しておればデジタル値が0.2に収束したもの
と判定する。In order to eliminate this inconvenience, conventionally, when a digital value for monitoring is continuously input to the CPU a predetermined number of times or more within a predetermined time, the digital value input a certain number of times or more corresponds to the set value. It was determined to be a value. For example, digital values of 0.1, 0.1., 0.2, 0.2,
If 0.2, 0.3, 0.2 ... are entered sequentially, 0.2
If is repeated three times, it is determined that the digital value has converged to 0.2.
ところが、従来のように、デジタル値が所定時間内に連
続して一定回数以上入力された場合に収束したと判定す
る方法では、一定回数以上連続する頻度が少ないため
に、依然、収束したと判定するまでに時間がかかり、次
にステップに移行することができないという難点があ
る。However, as in the conventional method, in the method of determining that the digital value has converged when the digital value is continuously input a predetermined number of times or more within a predetermined time, it is still determined that the value has converged because the frequency of continuing the digital value for a certain number of times is small. However, there is a drawback that it takes time to do so that it is impossible to move to the next step.
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、実際の分析条件をモニタ用のデジタル値に基づいて
分析条件設定用の設定値を較正するにあたり、設定値が
与えられた場合に得られるデジタル値の収束時点の判定
が簡単にできるようにして、ＣＰＵが制御不能に陥いる
ことなく、速やかに次のステップに移行できるようにす
ることを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and in the case where a set value is given in calibrating the set value for setting the analysis condition based on the actual analysis condition based on the digital value for monitoring. It is an object of the present invention to make it possible to easily determine the point of convergence of the obtained digital value so that the CPU can quickly proceed to the next step without being out of control.
(ハ)問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、ＣＰＵから分
析装置に対して分析条件設定用の設定値を与え、分析装
置からこれに応答して出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の出力をデジタル化して前記ＣＰＵに取り込
み、取り込んだデジタル値に基づいて前記設定値を較正
するにあたり、 前記分析装置からＣＰＵに所定時間内に取り込まれるモ
ニタ用の複数のデジタル値の頻度を計測し、その頻度が
一定回数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設
定値に対応したデジダル値であると判定するようにして
いる。(C) Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a set value for setting analysis conditions from a CPU to an analysis device, and outputs from the analysis device in response thereto. The output for monitoring which shows the actual analysis conditions is digitized and loaded into the CPU, and the calibration value is calibrated based on the loaded digital value. The frequency of the plurality of digital values is measured, and if the frequency is a certain number of times or more, the digital value in that case is determined to be a digital value corresponding to the set value.
(ニ)実施例 以下、Ｘ線光電子分析装置に本発明方法を適用した場合
の実施例について説明する。(D) Examples Hereinafter, examples in which the method of the present invention is applied to an X-ray photoelectron analyzer will be described.
第１図は、本発明の実施例に係るＸ線光電子分析装置の
構成図である。同図において、符号１はＸ線光電子分析
装置、２はＸ線光電子分析装置の分析動作を制御するコ
ンピュータシステムである。４は分析用の試料、６は試
料４を励起するＸ線源、８は試料４から放出される光電
子のエネルギーを分析するエネルギーアナライザ、１０
はエネルギーアナライザ８に対してエネルギー走査を行
なう走査電源、１２はエネルギーアナライザ８を通った
光電子を検出する検出器、１４は検出器１２からのパル
ス状の検出信号を増幅するパルス増幅器、１６は走査電
源１０からエネルギー走査に対応して出力されるモニタ
用の走査電圧を計測し、その計測値をデジタル化して出
力するデジタルボルトメータである。FIG. 1 is a configuration diagram of an X-ray photoelectron analysis apparatus according to an embodiment of the present invention. In the figure, reference numeral 1 is an X-ray photoelectron analyzer, and 2 is a computer system for controlling the analysis operation of the X-ray photoelectron analyzer. Reference numeral 4 is a sample for analysis, 6 is an X-ray source for exciting the sample 4, 8 is an energy analyzer for analyzing the energy of photoelectrons emitted from the sample 4, 10
Is a scanning power source for performing energy scanning on the energy analyzer 8, 12 is a detector for detecting photoelectrons passing through the energy analyzer 8, 14 is a pulse amplifier for amplifying a pulsed detection signal from the detector 12, and 16 is scanning. It is a digital voltmeter that measures a scanning voltage for monitoring output from the power supply 10 in response to energy scanning, digitizes the measured value, and outputs it.
２０はコンピュータシステム２のＣＰＵ、２２はメモ
リ、２４はインターフェイス、２６はＤ／Ａコンバータ
である。Reference numeral 20 is a CPU of the computer system 2, 22 is a memory, 24 is an interface, and 26 is a D / A converter.
次に、このＸ線光電子分析装置１を用いて試料４のエネ
ルギースペクトルを測定するに際して、エネルギー走査
の開始点spと終了点epとを設定する場合の設定値制御方
法について、第２図に示すフローチャートを参照して説
明する。Next, when measuring the energy spectrum of the sample 4 using the X-ray photoelectron analyzer 1, a set value control method for setting the start point sp and the end point ep of energy scanning is shown in FIG. This will be described with reference to the flowchart.
まず、ＣＰＵ２０からインターフェイス２４、Ｄ／Ａコ
ンバータ２６を介して走査電源１０にエネルギー走査の
開始点spに対応したおおよその設定値を与える（ステッ
プ）。すると、走査電源１０からは、これに応答して
実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ用のアナロ
グ信号が出力されるので、このアナログ出力をデジタル
ボルトメータ１６で計測してデジタル化する。ＣＰＵ２
０は、系の安定時間を待ってから、デジタルボルトメー
タ１６から出力されるモニタ用のデジタル値をインター
フェイス２４を介して順次取り込む（ステップ）。そ
して取り込んだデジタル値の所定時間内の頻度を計測
し、各所定時間内に含まれるデジタル値の頻度が一定回
数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設定値に
対応したデジタル値であると判定する（ステップ）。First, the CPU 20 gives an approximate set value corresponding to the start point sp of energy scanning to the scanning power supply 10 via the interface 24 and the D / A converter 26 (step). Then, in response to this, an analog signal for monitoring corresponding to the actual energy scanning voltage is output from the scanning power supply 10, and this analog output is measured by the digital voltmeter 16 and digitized. CPU2
0 waits for the stabilization time of the system, and then sequentially acquires the monitor digital value output from the digital voltmeter 16 through the interface 24 (step). Then, the frequency of the captured digital value within a predetermined time is measured, and if the frequency of the digital value included within each predetermined time is a certain number of times or more, the digital value in that case is a digital value corresponding to the set value. (Step).
たとえば、第３図に示すように、走査電源１０からデジ
タルボルトメータ１６に出力されるモニタ用のアナログ
信号はある程度のノイズ成分が含まれている。しかも、
アナログ信号をデジタル化する場合には量子化誤差を伴
なうので、デジタルボルトメータ１６から出力されるデ
ジタル値はハンチング現象を生じて一定しない。そこ
で、たとえば、設定値が××××.2で、所定時間t1、
t2、…、（＝ｔ）内にデジタル値を６回取り込むとした
場合に、最初のサンプリング時間t1では６回中３回が、
次のサンプリング時間t2では６回中４回が設定値範囲内
に入る。したがって、ＣＰＵ２０に取り込んだデジタル
値が、連続していなくても４回以上××××.2となれ
ば、その場合のテジタル値××××.2を設定値Ｄ1に対
応したデジタル値であると判定する。For example, as shown in FIG. 3, the analog signal for monitoring output from the scanning power supply 10 to the digital voltmeter 16 contains some noise component. Moreover,
When an analog signal is digitized, it is accompanied by a quantization error. Therefore, the digital value output from the digital voltmeter 16 is not constant due to a hunting phenomenon. Therefore, for example, if the set value is XXX and the predetermined time t 1 ,
If the digital value is taken into t 2 , ..., (= t) 6 times, 3 out of 6 times at the first sampling time t 1 ,
At the next sampling time t 2 , 4 out of 6 times fall within the set value range. Therefore, if the digital value taken in by the CPU 20 is XXX.times.2 or more 4 times even if it is not continuous, the digital value XX.times.2 in that case is the digital value corresponding to the set value D 1. It is determined that
こうして、判定されたデジタル値が所期のエネルギー走
査の開始点spに相当する値Ｖ1に一致していない場合に
は、デジタル値が実際のエネルギー走査の開始点に対応
したものとなるように設定値を較正する。（ステップ
）。In this way, if the determined digital value does not match the value V 1 corresponding to the desired starting point of energy scanning sp, the digital value is set to correspond to the actual starting point of energy scanning. Calibrate the setpoint. (Step).
エネルギー走査の終了点epに対応する設定値を較正する
場合も上記と同様に行なう（ステップ〜）。When calibrating the set value corresponding to the end point ep of the energy scan, the same procedure as above is performed (steps to).
以上のようにして、エネルギー走査の開始点spと終了点
epとがそれぞれ設定されると、第４図に示すように、開
始点と終了点とを結んだ検量線の定数ａ、ｂを求める。
検量線定数ａ、ｂが求まると、ＣＰＵはこの検量線に沿
った制御信号を走査電源に与える。As described above, the start point sp and the end point of the energy scan
When ep and ep are set respectively, constants a and b of the calibration curve connecting the starting point and the ending point are obtained as shown in FIG.
When the calibration curve constants a and b are obtained, the CPU gives a control signal along the calibration curve to the scanning power supply.
したがって、Ｘ線光電子分析装置でエネルギースペクト
ルを測定する場合には、Ｘ線源６から試料４にＸ線照射
すると、試料４から励起された光電子が放出されるの
で、この光電子をエネルギーアナライザ８に導く。その
際、上述のようにＣＰＵ２０からインターフェイス２
４、Ｄ／Ａコンバータ２３６を介して走査電源１０に検
量線に沿った制御信号を与えることにより、エネルギー
アナライザ８がエネルギー走査される。エネルギーアナ
ライザ８を通った光電子は、検出器１２に検出され、検
出器１２からの検出信号がパルス増幅器１４、インター
フェイス２４を介してＣＰＵ２０に入力される。ＣＰＵ
２０は、入力された測定データメモリ２２に格納すると
ともに、各種のデータ処理を行なう。Therefore, when measuring the energy spectrum with the X-ray photoelectron analyzer, when the X-ray source 6 irradiates the sample 4 with X-rays, photoelectrons excited by the sample 4 are emitted. Lead. At that time, as described above, the CPU 20 interfaces the interface 2
4. The energy analyzer 8 is scanned for energy by giving a control signal along the calibration curve to the scanning power supply 10 via the D / A converter 236. The photoelectrons that have passed through the energy analyzer 8 are detected by the detector 12, and the detection signal from the detector 12 is input to the CPU 20 via the pulse amplifier 14 and the interface 24. CPU
The data 20 is stored in the input measurement data memory 22 and performs various data processing.
(ホ)効果 以上のように本発明によれば、実際の分析条件を示すモ
ニタ用のデジタル値に基づいて設定値を較正するにあた
り、設定値が与えられた場合に得られるデジタル値の収
束時点の判定が簡単にできるようになる。したがって、
ＣＰＵが制御不能に陥いることなく、速やかに次のステ
ップに移行できるようになる等の優れた効果が発揮され
る。(E) Effect As described above, according to the present invention, when the set value is calibrated on the basis of the monitor digital value indicating the actual analysis condition, the convergence point of the digital value obtained when the set value is given. Can be easily determined. Therefore,
An excellent effect such that the CPU can quickly shift to the next step without being out of control is exhibited.
第１図は本発明方法が適用されるＸ線光電子分析装置の
構成図、第２図は本発明方法を説明するためのフローチ
ャート、第３図は走査電源から出力されるアナログ信号
をデジタル化する場合の説明図、第４図はエネルギー走
査の開始点と終了点とから求まる検量線の特性図であ
る。 １…Ｘ線光電子分析装置、２…コンピュータシステム、
１０…走査電源、１６…デジタルボルトメータ、２０…
ＣＰＵ、２６…Ｄ／Ａコンバータ。FIG. 1 is a block diagram of an X-ray photoelectron analyzer to which the method of the present invention is applied, FIG. 2 is a flow chart for explaining the method of the present invention, and FIG. 3 is a digital signal of an analog signal output from a scanning power supply. FIG. 4 is an explanatory diagram of the case, and is a characteristic diagram of a calibration curve obtained from the start point and the end point of energy scanning. 1 ... X-ray photoelectron analyzer, 2 ... Computer system,
10 ... Scanning power supply, 16 ... Digital voltmeter, 20 ...
CPU, 26 ... D / A converter.
Claims (1)
用の設定値を与え、分析装置からこれに応答して出力さ
れる実際の分析条件を示すモニタ用の出力をデジタル化
して前記ＣＰＵに取り込み、取り込んだデジタル値に基
づいて前記設定値を較正するにあたり、 前記分析装置からＣＰＵに所定時間内に取り込まれるモ
ニタ用の複数のデジタル値の頻度を計測し、その頻度が
一定回数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設
定値に対応したデジダル値であると判定することを特徴
とする分析装置における設定値制御方法。1. A set value for analysis condition setting is given from a CPU to an analysis device, and a monitor output indicating actual analysis conditions output from the analysis device in response thereto is digitized to the CPU. In calibrating the set value based on the captured digital value, the frequency of a plurality of digital values for monitoring captured by the analysis device to the CPU within a predetermined time is measured, and the frequency is a certain number or more. In that case, the set value control method in the analyzer is characterized in that the digital value in that case is determined to be a digital value corresponding to the set value.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236123A JPH061682B2 (en) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | Setting value control method in analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236123A JPH061682B2 (en) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | Setting value control method in analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297244A JPS6297244A (en) | 1987-05-06 |
| JPH061682B2 true JPH061682B2 (en) | 1994-01-05 |
Family
ID=16996090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60236123A Expired - Lifetime JPH061682B2 (en) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | Setting value control method in analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061682B2 (en) |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP60236123A patent/JPH061682B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6297244A (en) | 1987-05-06 |
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