JPH061682B2 - 分析装置における設定値制御方法 - Google Patents
分析装置における設定値制御方法Info
- Publication number
- JPH061682B2 JPH061682B2 JP60236123A JP23612385A JPH061682B2 JP H061682 B2 JPH061682 B2 JP H061682B2 JP 60236123 A JP60236123 A JP 60236123A JP 23612385 A JP23612385 A JP 23612385A JP H061682 B2 JPH061682 B2 JP H061682B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- analyzer
- cpu
- digital
- value
- set value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、Ｘ線光電子分析計やイオンマイクロアナライ
ザ等の分析装置とコンピュータシステムとを接続して分
析装置の動作を制御する方法に係わり、特には、ＣＰＵ
から分析装置に分析条件設定用の設定値を与え、これに
応答して分析装置から出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の信号をデジタル化してＣＰＵに取り込み、こ
のデジタル値に基づいて前記設定値を較正する設定値制
御方法に関する。
ザ等の分析装置とコンピュータシステムとを接続して分
析装置の動作を制御する方法に係わり、特には、ＣＰＵ
から分析装置に分析条件設定用の設定値を与え、これに
応答して分析装置から出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の信号をデジタル化してＣＰＵに取り込み、こ
のデジタル値に基づいて前記設定値を較正する設定値制
御方法に関する。
(ロ)従来技術とその問題点 たとえば、Ｘ線光電子分析計やイオンマイクロアナライ
ザ等の分析装置では、試料から励起されて放出される電
子やイオン等の信号に対してエネルギー走査を行ないつ
つ上記信号を検出器で検出し、その検出信号をＣＰＵに
取り込んでエネルギースペクトルを測定する。
ザ等の分析装置では、試料から励起されて放出される電
子やイオン等の信号に対してエネルギー走査を行ないつ
つ上記信号を検出器で検出し、その検出信号をＣＰＵに
取り込んでエネルギースペクトルを測定する。
上記のエネルギー走査を行なう際には、第４図に示すよ
うに、予めエネルギー走査の開始点spと終了点epを設定
し、開始点と終了点とを結んだ検量線の定数を求める
が、その前段階として、分析装置に与える設定値Ｄ1、
Ｄ2が実際のエネルギー走査の開始点あるいは終了点の
電圧Ｖ1、Ｖ2に対応しているか否かを予めチェックする
必要がある。このため、測定開始点に予めＣＰＵから分
析装置に対して開始点spと終了点epに対応したおおよそ
の設定値Ｄ1、Ｄ2を与え、これに応答して分析装置から
出力される実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ
出力をデジタル化した後、ＣＰＵにフィードバックして
取り込み、このデジタル値に基づいて前記設定値に較正
することによって分析装置のドリフトの影響等を除くよ
うにしている。
うに、予めエネルギー走査の開始点spと終了点epを設定
し、開始点と終了点とを結んだ検量線の定数を求める
が、その前段階として、分析装置に与える設定値Ｄ1、
Ｄ2が実際のエネルギー走査の開始点あるいは終了点の
電圧Ｖ1、Ｖ2に対応しているか否かを予めチェックする
必要がある。このため、測定開始点に予めＣＰＵから分
析装置に対して開始点spと終了点epに対応したおおよそ
の設定値Ｄ1、Ｄ2を与え、これに応答して分析装置から
出力される実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ
出力をデジタル化した後、ＣＰＵにフィードバックして
取り込み、このデジタル値に基づいて前記設定値に較正
することによって分析装置のドリフトの影響等を除くよ
うにしている。
ところで、分析装置から出力されるモニタ用の出力はア
ナログ信号の段階ではある程度のノイズ成分が含まれ、
また、このアナログ信号をデジタル化してＣＰＵに取り
込み場合には必然的に量子化誤差を伴なう。このため、
ＣＰＵに取り込まれるモニタ用のデジタル値はある程度
のハンチングを伴なう。したがって、モニタ用のテジタ
ル値の収束時点を捕らえることが難しくなり、ＣＰＵは
いつまでたっても一定値に収束しないと判断して制御不
能に陥ることがある。
ナログ信号の段階ではある程度のノイズ成分が含まれ、
また、このアナログ信号をデジタル化してＣＰＵに取り
込み場合には必然的に量子化誤差を伴なう。このため、
ＣＰＵに取り込まれるモニタ用のデジタル値はある程度
のハンチングを伴なう。したがって、モニタ用のテジタ
ル値の収束時点を捕らえることが難しくなり、ＣＰＵは
いつまでたっても一定値に収束しないと判断して制御不
能に陥ることがある。
この不都合を解消するため、従来は、モニタ用のデジタ
ル値がＣＰＵに所定時間内に連続して一定回数以上入力
された場合に、この一定回数以上入力されたデジタル値
をもって設定値に対応したデジタル値であると判定して
いた。たとえば、デジタル値が0.1、0.1.、0.2、0.2、
0.2、0.3、0.2…というように順次入力された場合、0.2
が３回連続しておればデジタル値が0.2に収束したもの
と判定する。
ル値がＣＰＵに所定時間内に連続して一定回数以上入力
された場合に、この一定回数以上入力されたデジタル値
をもって設定値に対応したデジタル値であると判定して
いた。たとえば、デジタル値が0.1、0.1.、0.2、0.2、
0.2、0.3、0.2…というように順次入力された場合、0.2
が３回連続しておればデジタル値が0.2に収束したもの
と判定する。
ところが、従来のように、デジタル値が所定時間内に連
続して一定回数以上入力された場合に収束したと判定す
る方法では、一定回数以上連続する頻度が少ないため
に、依然、収束したと判定するまでに時間がかかり、次
にステップに移行することができないという難点があ
る。
続して一定回数以上入力された場合に収束したと判定す
る方法では、一定回数以上連続する頻度が少ないため
に、依然、収束したと判定するまでに時間がかかり、次
にステップに移行することができないという難点があ
る。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、実際の分析条件をモニタ用のデジタル値に基づいて
分析条件設定用の設定値を較正するにあたり、設定値が
与えられた場合に得られるデジタル値の収束時点の判定
が簡単にできるようにして、ＣＰＵが制御不能に陥いる
ことなく、速やかに次のステップに移行できるようにす
ることを目的とする。
て、実際の分析条件をモニタ用のデジタル値に基づいて
分析条件設定用の設定値を較正するにあたり、設定値が
与えられた場合に得られるデジタル値の収束時点の判定
が簡単にできるようにして、ＣＰＵが制御不能に陥いる
ことなく、速やかに次のステップに移行できるようにす
ることを目的とする。
(ハ)問題点を解決するための手段 本発明は、上記の目的を達成するために、ＣＰＵから分
析装置に対して分析条件設定用の設定値を与え、分析装
置からこれに応答して出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の出力をデジタル化して前記ＣＰＵに取り込
み、取り込んだデジタル値に基づいて前記設定値を較正
するにあたり、 前記分析装置からＣＰＵに所定時間内に取り込まれるモ
ニタ用の複数のデジタル値の頻度を計測し、その頻度が
一定回数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設
定値に対応したデジダル値であると判定するようにして
いる。
析装置に対して分析条件設定用の設定値を与え、分析装
置からこれに応答して出力される実際の分析条件を示す
モニタ用の出力をデジタル化して前記ＣＰＵに取り込
み、取り込んだデジタル値に基づいて前記設定値を較正
するにあたり、 前記分析装置からＣＰＵに所定時間内に取り込まれるモ
ニタ用の複数のデジタル値の頻度を計測し、その頻度が
一定回数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設
定値に対応したデジダル値であると判定するようにして
いる。
(ニ)実施例 以下、Ｘ線光電子分析装置に本発明方法を適用した場合
の実施例について説明する。
の実施例について説明する。
第１図は、本発明の実施例に係るＸ線光電子分析装置の
構成図である。同図において、符号１はＸ線光電子分析
装置、２はＸ線光電子分析装置の分析動作を制御するコ
ンピュータシステムである。４は分析用の試料、６は試
料４を励起するＸ線源、８は試料４から放出される光電
子のエネルギーを分析するエネルギーアナライザ、１０
はエネルギーアナライザ８に対してエネルギー走査を行
なう走査電源、１２はエネルギーアナライザ８を通った
光電子を検出する検出器、１４は検出器１２からのパル
ス状の検出信号を増幅するパルス増幅器、１６は走査電
源１０からエネルギー走査に対応して出力されるモニタ
用の走査電圧を計測し、その計測値をデジタル化して出
力するデジタルボルトメータである。
構成図である。同図において、符号１はＸ線光電子分析
装置、２はＸ線光電子分析装置の分析動作を制御するコ
ンピュータシステムである。４は分析用の試料、６は試
料４を励起するＸ線源、８は試料４から放出される光電
子のエネルギーを分析するエネルギーアナライザ、１０
はエネルギーアナライザ８に対してエネルギー走査を行
なう走査電源、１２はエネルギーアナライザ８を通った
光電子を検出する検出器、１４は検出器１２からのパル
ス状の検出信号を増幅するパルス増幅器、１６は走査電
源１０からエネルギー走査に対応して出力されるモニタ
用の走査電圧を計測し、その計測値をデジタル化して出
力するデジタルボルトメータである。
２０はコンピュータシステム２のＣＰＵ、２２はメモ
リ、２４はインターフェイス、２６はＤ／Ａコンバータ
である。
リ、２４はインターフェイス、２６はＤ／Ａコンバータ
である。
次に、このＸ線光電子分析装置１を用いて試料４のエネ
ルギースペクトルを測定するに際して、エネルギー走査
の開始点spと終了点epとを設定する場合の設定値制御方
法について、第２図に示すフローチャートを参照して説
明する。
ルギースペクトルを測定するに際して、エネルギー走査
の開始点spと終了点epとを設定する場合の設定値制御方
法について、第２図に示すフローチャートを参照して説
明する。
まず、ＣＰＵ２０からインターフェイス２４、Ｄ／Ａコ
ンバータ２６を介して走査電源１０にエネルギー走査の
開始点spに対応したおおよその設定値を与える（ステッ
プ）。すると、走査電源１０からは、これに応答して
実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ用のアナロ
グ信号が出力されるので、このアナログ出力をデジタル
ボルトメータ１６で計測してデジタル化する。ＣＰＵ２
０は、系の安定時間を待ってから、デジタルボルトメー
タ１６から出力されるモニタ用のデジタル値をインター
フェイス２４を介して順次取り込む（ステップ）。そ
して取り込んだデジタル値の所定時間内の頻度を計測
し、各所定時間内に含まれるデジタル値の頻度が一定回
数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設定値に
対応したデジタル値であると判定する（ステップ）。
ンバータ２６を介して走査電源１０にエネルギー走査の
開始点spに対応したおおよその設定値を与える（ステッ
プ）。すると、走査電源１０からは、これに応答して
実際のエネルギー走査電圧に対応したモニタ用のアナロ
グ信号が出力されるので、このアナログ出力をデジタル
ボルトメータ１６で計測してデジタル化する。ＣＰＵ２
０は、系の安定時間を待ってから、デジタルボルトメー
タ１６から出力されるモニタ用のデジタル値をインター
フェイス２４を介して順次取り込む（ステップ）。そ
して取り込んだデジタル値の所定時間内の頻度を計測
し、各所定時間内に含まれるデジタル値の頻度が一定回
数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設定値に
対応したデジタル値であると判定する（ステップ）。
たとえば、第３図に示すように、走査電源１０からデジ
タルボルトメータ１６に出力されるモニタ用のアナログ
信号はある程度のノイズ成分が含まれている。しかも、
アナログ信号をデジタル化する場合には量子化誤差を伴
なうので、デジタルボルトメータ１６から出力されるデ
ジタル値はハンチング現象を生じて一定しない。そこ
で、たとえば、設定値が××××.2で、所定時間t1、
t2、…、（＝ｔ）内にデジタル値を６回取り込むとした
場合に、最初のサンプリング時間t1では６回中３回が、
次のサンプリング時間t2では６回中４回が設定値範囲内
に入る。したがって、ＣＰＵ２０に取り込んだデジタル
値が、連続していなくても４回以上××××.2となれ
ば、その場合のテジタル値××××.2を設定値Ｄ1に対
応したデジタル値であると判定する。
タルボルトメータ１６に出力されるモニタ用のアナログ
信号はある程度のノイズ成分が含まれている。しかも、
アナログ信号をデジタル化する場合には量子化誤差を伴
なうので、デジタルボルトメータ１６から出力されるデ
ジタル値はハンチング現象を生じて一定しない。そこ
で、たとえば、設定値が××××.2で、所定時間t1、
t2、…、（＝ｔ）内にデジタル値を６回取り込むとした
場合に、最初のサンプリング時間t1では６回中３回が、
次のサンプリング時間t2では６回中４回が設定値範囲内
に入る。したがって、ＣＰＵ２０に取り込んだデジタル
値が、連続していなくても４回以上××××.2となれ
ば、その場合のテジタル値××××.2を設定値Ｄ1に対
応したデジタル値であると判定する。
こうして、判定されたデジタル値が所期のエネルギー走
査の開始点spに相当する値Ｖ1に一致していない場合に
は、デジタル値が実際のエネルギー走査の開始点に対応
したものとなるように設定値を較正する。（ステップ
）。
査の開始点spに相当する値Ｖ1に一致していない場合に
は、デジタル値が実際のエネルギー走査の開始点に対応
したものとなるように設定値を較正する。（ステップ
）。
エネルギー走査の終了点epに対応する設定値を較正する
場合も上記と同様に行なう（ステップ〜）。
場合も上記と同様に行なう（ステップ〜）。
以上のようにして、エネルギー走査の開始点spと終了点
epとがそれぞれ設定されると、第４図に示すように、開
始点と終了点とを結んだ検量線の定数ａ、ｂを求める。
検量線定数ａ、ｂが求まると、ＣＰＵはこの検量線に沿
った制御信号を走査電源に与える。
epとがそれぞれ設定されると、第４図に示すように、開
始点と終了点とを結んだ検量線の定数ａ、ｂを求める。
検量線定数ａ、ｂが求まると、ＣＰＵはこの検量線に沿
った制御信号を走査電源に与える。
したがって、Ｘ線光電子分析装置でエネルギースペクト
ルを測定する場合には、Ｘ線源６から試料４にＸ線照射
すると、試料４から励起された光電子が放出されるの
で、この光電子をエネルギーアナライザ８に導く。その
際、上述のようにＣＰＵ２０からインターフェイス２
４、Ｄ／Ａコンバータ２３６を介して走査電源１０に検
量線に沿った制御信号を与えることにより、エネルギー
アナライザ８がエネルギー走査される。エネルギーアナ
ライザ８を通った光電子は、検出器１２に検出され、検
出器１２からの検出信号がパルス増幅器１４、インター
フェイス２４を介してＣＰＵ２０に入力される。ＣＰＵ
２０は、入力された測定データメモリ２２に格納すると
ともに、各種のデータ処理を行なう。
ルを測定する場合には、Ｘ線源６から試料４にＸ線照射
すると、試料４から励起された光電子が放出されるの
で、この光電子をエネルギーアナライザ８に導く。その
際、上述のようにＣＰＵ２０からインターフェイス２
４、Ｄ／Ａコンバータ２３６を介して走査電源１０に検
量線に沿った制御信号を与えることにより、エネルギー
アナライザ８がエネルギー走査される。エネルギーアナ
ライザ８を通った光電子は、検出器１２に検出され、検
出器１２からの検出信号がパルス増幅器１４、インター
フェイス２４を介してＣＰＵ２０に入力される。ＣＰＵ
２０は、入力された測定データメモリ２２に格納すると
ともに、各種のデータ処理を行なう。
(ホ)効果 以上のように本発明によれば、実際の分析条件を示すモ
ニタ用のデジタル値に基づいて設定値を較正するにあた
り、設定値が与えられた場合に得られるデジタル値の収
束時点の判定が簡単にできるようになる。したがって、
ＣＰＵが制御不能に陥いることなく、速やかに次のステ
ップに移行できるようになる等の優れた効果が発揮され
る。
ニタ用のデジタル値に基づいて設定値を較正するにあた
り、設定値が与えられた場合に得られるデジタル値の収
束時点の判定が簡単にできるようになる。したがって、
ＣＰＵが制御不能に陥いることなく、速やかに次のステ
ップに移行できるようになる等の優れた効果が発揮され
る。
第１図は本発明方法が適用されるＸ線光電子分析装置の
構成図、第２図は本発明方法を説明するためのフローチ
ャート、第３図は走査電源から出力されるアナログ信号
をデジタル化する場合の説明図、第４図はエネルギー走
査の開始点と終了点とから求まる検量線の特性図であ
る。 １…Ｘ線光電子分析装置、２…コンピュータシステム、
１０…走査電源、１６…デジタルボルトメータ、２０…
ＣＰＵ、２６…Ｄ／Ａコンバータ。
構成図、第２図は本発明方法を説明するためのフローチ
ャート、第３図は走査電源から出力されるアナログ信号
をデジタル化する場合の説明図、第４図はエネルギー走
査の開始点と終了点とから求まる検量線の特性図であ
る。 １…Ｘ線光電子分析装置、２…コンピュータシステム、
１０…走査電源、１６…デジタルボルトメータ、２０…
ＣＰＵ、２６…Ｄ／Ａコンバータ。
Claims (1)
- 【請求項１】ＣＰＵから分析装置に対して分析条件設定
用の設定値を与え、分析装置からこれに応答して出力さ
れる実際の分析条件を示すモニタ用の出力をデジタル化
して前記ＣＰＵに取り込み、取り込んだデジタル値に基
づいて前記設定値を較正するにあたり、 前記分析装置からＣＰＵに所定時間内に取り込まれるモ
ニタ用の複数のデジタル値の頻度を計測し、その頻度が
一定回数以上であれば、その場合のデジタル値を前記設
定値に対応したデジダル値であると判定することを特徴
とする分析装置における設定値制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236123A JPH061682B2 (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 分析装置における設定値制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236123A JPH061682B2 (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 分析装置における設定値制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297244A JPS6297244A (ja) | 1987-05-06 |
| JPH061682B2 true JPH061682B2 (ja) | 1994-01-05 |
Family
ID=16996090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60236123A Expired - Lifetime JPH061682B2 (ja) | 1985-10-21 | 1985-10-21 | 分析装置における設定値制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061682B2 (ja) |
-
1985
- 1985-10-21 JP JP60236123A patent/JPH061682B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6297244A (ja) | 1987-05-06 |
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