JPH06171967A - ガラス基板断裁装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】手作業でガラス基板を断裁するのは手間を要す
る上に安全性の面から見て危険であるので、簡便かつ安
全にレチクル等のガラス基板を自動的に断裁することに
ある。 【構成】ガラス基板Ａに切り込みを入れるための刃２５
ａを備え、ガラス基板に直線状の切り込みｃを入れるス
カイブ部２０と、ガラス基板の切り込み部分に応力を加
えてガラス基板を切り込み部分に沿って直線状に折り割
る折割部３０と、ガラス基板を載置してスカイブ部と折
割部の間を往復移動する基板ホルダー部１０から構成さ
れるガラス基板断裁装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスク上に多面
付のパターンを形成するために、パターンを縮小投影露
光する原版として必要なレチクル等のガラス基板を、所
定の寸法に断裁するためのガラス基板断裁装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】フォトマスクは、シリコンウエハ上のレ
ジストに回路パターンを露光形成するために使用するも
ので、フォトマスクには回路パターンが多面付で設けら
れている。

【０００３】フォトマスク上に多面付の回路パターンを
形成する方法としては、ガラス基板上に通常５倍から１
０倍の大きさに拡大された単一の回路パターンが設けら
れたレチクル（多面付け縮小露光用の単一原版）を用い
て、フォトレピーターによりフォトマスクレジスト上に
繰り返し縮小投影露光して、単一パターンと同形パター
ンが多面付された回路パターンが形成されたフォトマス
クを形成する方法が一般に採用されている。

【０００４】現在、フォトレピーターにレチクルをセッ
トするレチクル固定台の寸法は、フォトレピーターの機
種により種々異なるものである。

【０００５】一方、レチクル（上記単一原版）を作成す
る段階においては、レチクル作成用のガラス基板を収納
カセットに収納した後、単一回路パターンを描画する電
子線描画機に、その収納カセットを用いてガラス基板を
セットして行なうものであるが、その際に使用するガラ
ス基板収納カセットのガラス基板収納許容寸法は、電子
線描画機の機種によらず一定であり、通常５インチ×５
インチのガラス基板をセットするように作られている。

【０００６】例えば、電子線描画機のガラス基板収納カ
セットのガラス基板収納許容寸法に対して、フォトレピ
ーターのレチクル固定台のガラス基板固定許容寸法が小
さい場合に施されるべき対応策としては、以下の３通り
の方法が考えられる。 （１）電子線描画機のガラス基板収納カセットを改造し
て、フォトレピーターのレチクル固定台のガラス基板固
定許容寸法に合わせる。 （２）フォトレピーターのレチクル固定台を改造して、
電子線描画機のガラス基板収納カセットのガラス基板収
納許容寸法に合わせる。 （３）電子線描画機で描画したレチクルを断裁して、フ
ォトレピーターのレチクル固定台のガラス基板固定許容
寸法に合わせる。

【０００７】しかし、（１）については、ガラス基板収
納カセットを改造するためにかなりの費用を要すること
と、電子線描画機を使用するたびにガラス基板収納カセ
ットを交換、設置するので多大な手間と労力を要すると
いう問題点があり、また（２）についても同様の問題点
がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】前述した（３）のよう
に、電子線描画機で描画したレチクルを断裁して、フォ
トレピーターのレチクル固定台の寸法に合わせること
が、ガラス基板収納カセットの寸法に対してレチクル固
定台の寸法が小さい場合の現状の対応策として考えられ
るが、ダイヤモンド・カッターを用いて手作業でレチク
ルを断裁するのは、手間を要する上に安全性の面から見
て危険である。

【０００９】本発明は、上述した課題を解決するため
に、簡便かつ安全にレチクル等のガラス基板を自動的に
断裁することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、ガラス基板に
切り込みを入れるための刃を備え、ガラス基板に直線状
の切り込みを入れるスカイブ部と、ガラス基板の切り込
み部分に応力を加えて、ガラス基板を切り込み部分に沿
って直線状に折り割る折割部と、ガラス基板を載置して
スカイブ部と折割部の間を往復移動する基板ホルダー部
から構成されることを特徴とするガラス基板断裁装置で
ある。

【００１１】また、本発明は、前記ガラス基板断裁装置
において、前記スカイブ部が基板ホルダー部の往復移動
の通路の上に１個以上の刃を備え、この刃の位置は、水
平面内で基板ホルダー部の往復移動の通路に対して直角
方向に可変であるガラス基板断裁装置である。

【００１２】また、本発明は、前記ガラス基板断裁装置
において、前記折割部がガラス基板の切り込みされた位
置を上下より挟み、各々ガラス基板の切り込み部分に応
力を加えるための凸部を備えた押板と、凹部を備えた受
板を設け、この凸部、凹部の位置は、水平面内で基板ホ
ルダー部の往復移動の通路に対して直角方向に可変であ
るガラス基板断裁装置である。

【００１３】

【実施例】本発明のガラス基板断裁装置を、図１の一実
施例の平面図、図２の一実施例の正面図（図１の右方向
から見た正面図）、及び図３の一実施例の正面図（図１
の右方向から見た正面図）に従って詳細に説明すれば、
図１に示すように、装置本体フレームＦに取り付けられ
た所定のガイドレールに沿って直線的にＸ方向（図１の
左右方向）に移動可能な基板ホルダー部１０と、該ホル
ダー部１０のＸ方向移動路に沿って片側若しくは両側
に、装置本体フレームＦ上にてＸ方向移動路に対して直
交方向（Ｙ方向）に、ガイド盤１４（若しくはガイドレ
ール）に沿って移動可能な共通ベース盤Ｆ₁ を備え、該
ベース盤Ｆ₁ 上にスカイブ部２０と折割部３０とを固定
支持する。

【００１４】基板ホルダー部１０は、ガラス基板Ａを吸
着固定するためのバキュームチャックを備えたガラスホ
ルダー５と、該ホルダー５を支持するホルダー支持部６
を備え、該ホルダー５上にバキュームチャックによりガ
ラス基板Ａを載置固定する。

【００１５】スカイブ部２０は、図２に示すように、共
通ベース板Ｆ₁ に取付けられた支持部２１と、該支持部
２１に取り付けたアーム２２と、該支持アーム２２に固
定した垂直スライドガイド２３と、該ガイド２３に沿っ
て垂直方向（図１に対して垂直方向）に移動調整可能な
垂直移動部２４を備え、該垂直移動部２４に一体的に下
向き（垂直下向き）に、ダイヤモンド製のガラス刻切刃
（スカイブ刃）２５を前記基板ホルダー部１０のＸ方向
移動路側に備える。（図１参照）

【００１６】また、スカイブ部２０は、共通ベース板Ｆ
₁ 上に固定したＹ方向ガイド盤２６上をＹ方向にスライ
ド移動可能な支持盤２７上に取付け支持されており、こ
れによって、該支持部２１は、共通ベース板Ｆ₁ 上にお
いて相対的にＹ方向に適宜移動可能であり、該スカイブ
２０に設置された前記刃２５ａの刃先と、折割部３０側
との相対位置を所定位置に移動調整して設定した後は、
止ネジ２７ａによって、ガイド盤２６と支持盤２７との
間のスライド移動を固定することができる。

【００１７】前記基板ホルダー部１０が、ガラスホルダ
ー５上にガラス基板Ａを載置固定して、例えば、図１の
左端方向から右方向にＸ方向移動路に沿って直線移動す
る際に、スカイブ部２０の刃２５ａの刃先がガラス基板
Ａの端部表面に接触しながら、該基板Ａに直線の切り込
みｃを刻切するものである。

【００１８】折割部３０は、前記共通ベース盤Ｆ₁ 上に
取り付けた支持部３１と、該支持部３１に垂直方向にガ
イドする垂直スライドガイドレール３２と、ガイドレー
ル３２に沿って垂直方向（図１に対して垂直方向）に移
動調整可能な第１垂直移動部３３を備え、該第１垂直移
動部３３に一体的に取り付けた支持アーム３４に取付け
た支持板３４ａを、前記基板ホルダー部１０のＸ方向移
動路側に設ける。

【００１９】図２は、図１を左方向から見た正面図であ
り、Ｘ方向移動路の両側に対向する図１に示す前記スカ
イブ部２０、２０のうち図１左上のスカイブ部２０と、
同じく両側に対向する折割部３０、３０のうち図１右下
の折割部３０を、それぞれ正面図（図１左下のスカイブ
部２０と右上の折割部３０を省略した正面図）で示した
ものである。

【００２０】基板ホルダー部１０は、図２に示すよう
に、ガラスホルダー５を支持するホルダー支持部６を回
転可能に支持する垂直支軸７と、該垂直支軸７を軸支す
る軸受部８を備え、該軸受部８は、図１に示す基板ホル
ダー１０のＸ方向移動路に沿って装置本体フレームＦに
貫設された切欠溝部９内に嵌装され、該フレームＦの下
側の可動フレームＦ₂ に該軸受部８が取付け支持されて
いる。

【００２１】基板ホルダー部１０のＸ方向移動駆動部１
の構造について説明すれば、図２の正面図に示すよう
に、装置本体フレームＦ裏面の前記切欠溝部９のそれぞ
れ両側端縁部には、前記Ｘ方向移動路に平行な長手方向
に、ガイド及びガイドフォロア１８，１９（ガイド１８
は例えばレール状のガイド）を備え、ガイドフォロア１
９下側に可動フレームＦ₂ が取付けられ、これによって
該可動フレームＦ₂ は、ガイド１８に沿ってＸ方向に直
線移動する。

【００２２】該可動フレームＦ₂ の片側又は両側にはナ
ットブロック１６を取付け固定し、該ナットブロック１
６は、前記Ｘ方向移動路に沿う長手方向に平行に装置本
体フレームＦ側に軸受支持された駆動回転可能なネジシ
ャフト１７に螺着しており、適宜駆動モーター（サーボ
モーター、パルスモーターなど）にて、該ネジシャフト
１７を回転させることにより、基板ホルダー部１０は前
記駆動モーターにてＸ方向移動路に沿って駆動移動可能
である。

【００２３】また、図２に示すように、基板ホルダー部
１０において、前記ガラスホルダー５を回転可能に軸支
する垂直支軸７の下端部には、回転体１１（ギア、スプ
ロケット、タイミングプーリーなど）が取付けられ、駆
動源Ｍ₁ （ロータリーエアーシリンダー、モーターな
ど）により、動力伝達体１１ａ（ギア、エンドレスチェ
ーン、タイミングベルトなど）を介して回転体１１を回
転させることにより、ガラスホルダー５を水平回転方向
に、例えば９０°毎など適宜角度θに回転させるもので
ある。

【００２４】なお、回転角度θの検出は、垂直支軸７の
下端部に噛合するウォームギア１２により回転する水平
方向の回転軸１３と、該軸１３を軸支する軸受１５と、
該軸１４に軸支したロータリーエンコーダ１４とを備
え、該ロータリーエンコーダ１４によってその回転角度
θを検出するものである。

【００２５】前記折割部３０は、図２に示すように、第
１垂直移動部３３に支持アーム３４を備え、該支持アー
ム３４に取り付けた支持部３４ａに、垂直下向きに受板
３５を備え、該受板３５下端面３５ａには凹部３５ｂを
備える。

【００２６】また、図２に示すように、前記折割部３０
の第１前記垂直移動部３３の上部には、該第１垂直移動
部３３を垂直方向に昇降動作するエアーシリンダー５０
ａを備えた駆動部５０を備える。

【００２７】該第１垂直移動部３３の上止位置は、図２
に示すように、ラチェット爪５１ａを先端部に備えた水
平方向にレシプロ動作（直線的に往復動作）する水平可
動ラチェット部５１（ラチェット爪５１ａの下面が第１
垂直移動部３３上面に当接して、第１垂直移動部３３の
上止位置を設定する）を設ける。

【００２８】該水平可動ラチェット部５１は、エアーシ
リンダー５２によって上記の通り水平方向に前進後退動
作する。また、ラチェット爪５１ａは、該エアーシリン
ダー５２の水平方向作動ロッド５２ａ先端部に、その水
平方向に付勢するバネ５１ｂを介して取付けられてい
る。

【００２９】一方、前記第１垂直移動部３３の下止位置
は、例えば、実施例としては、図２に示すように、前記
エアーシリンダー５０ａの垂直方向への圧縮伸長動作に
おける伸長動作でのストローク長さによって設定される
が、その他に適宜に下降動作を停止させる止部材を第１
垂直移動部３３下側に介在させるようにして設定しても
よい。

【００３０】上記折割部３０の第１垂直移動部３３の下
側には、図２に示すように、前記支持部３１に設けた垂
直ガイド３２に沿って垂直方向に移動可能な第２垂直移
動部３６を備え、該垂直移動部３６には前記支持アーム
３４に平行な支持アーム３７を取り付け、該支持アーム
３７には支持板３７ａを取付け、該支持板３７ａに上向
きに、前記受板３５と対向して押板３８を取り付けてあ
り、該押板３８は、その上端部に、前記受板３５下端部
の凹部３５ａと対向する先鋭凸部３８ａを備える。

【００３１】該第２垂直移動部３６の側方には、該第２
垂直移動部３６を、垂直ガイド３２に沿って垂直方向に
昇降動作させるエアーシリンダー４１を備えた駆動部４
０を備える。なお、該駆動部４０による第２垂直移動部
３６の上止位置と下止位置の設定は、該エアーシリンダ
ー４１のストローク長さとそのエアーシリンダー４１の
設置高さの調整によって設定できる。

【００３２】折割部３０は、基板ホルダー部１０のＸ方
向への移動によってガラス基板Ａの端部に刻切された直
線状の切り込みｃの部分に上下方向より応力を加えて、
ガラス基板Ａを切り込みｃの部分に沿って直線状に折り
割るものである。

【００３３】次に、図１、図２に従って、折割部３０に
よるガラス基板Ａの折割動作を説明すれば、図２、エア
ーシリンダー５２によって水平ラチェット部５１のラチ
ェット爪５１ａを、第１垂直移動部３３上面より側方の
水平方向後退位置に移動静止させ、且つエアーシリンダ
ー５０によって第１垂直移動部３３を上止位置に静止さ
せて、エアーシリンダー４１によって第２垂直移動部３
６を下止位置にて静止させた状態で、まず、先鋭凸部３
８ａを備えた前記押板３８と、該押板３８の上側にガラ
ス基板Ａの厚さよりも大なる間隔を有して離間対向して
静止する前記受板３５との間に、ガラス基板Ａを前記基
板ホルダー部１０のＸ方向移動路に沿った移動動作によ
って送り込む。

【００３４】続いて、前記エアーシリンダー５２を動作
してラチェット爪５１ａを第１垂直移動部３３上面に突
出動作させ、該ラチェット爪５１ａ先端部を該第１垂直
移動部３３の垂直側面に当接させる。

【００３５】続いて、エアーシリンダー５０ａを動作し
て第１垂直移動部３３を下降動作させて、受板３５を下
止位置（受板３５の下止位置は、その受板３５下面の下
止位置での高さをガラス基板Ａの上面高さと等しく設定
する）まで下降動作する。

【００３６】受板３５の下止位置への下降動作によりラ
チェット爪５１ａは、前記バネ５１ｂの付勢力によって
第１垂直移動部３３上面に側方より水平方向に突入し
て、下止位置にある該第１垂直移動部３３の上方への移
動をロックする。

【００３７】続いて、エアーシリンダー４１を動作して
第２垂直移動部３６を垂直に上昇動作させて押板３８を
受板３８方向に押し上げ、凸部３８ａによってガラス基
板Ａ下面より前記直線の切り込みｃに沿ってガラス基板
Ａを押圧して、その際にガラス基板Ａの切り込みｃに
は、受板３５の凹部３５ａと、該凹部３５ａの中央部方
向に押圧動作する押板３８の凸部３８ａとによって折割
応力が掛かり、該切り込みｃに沿ってガラス基板Ａが断
裁される。

【００３８】次に、図１の平面図に基づき、スカイブ部
２０と折割部２１のＹ方向（Ｘ方向移動路と直交する方
向）への位置調整を行なう移動調整部６０について以下
に説明する。

【００３９】スカイブ部２０と折割部２１は共通ベース
盤Ｆ₁ により連結され、該共通ベース盤Ｆ₁ は、移動調
整部６０によってＹ方向に移動調整できる。

【００４０】該移動調整部６０は、装置本体フレームＦ
側に軸受部６１に回転可能に軸支されたネジシャフト６
２、該ネジシャフト６２を回転させる調整レバーなど調
整ハンドル６３、該ネジシャフト６２を螺着して共通ベ
ース盤Ｆ₁ 側に取付け支持されたナットブロック６４を
備えている。

【００４１】該調整ハンドル６３をいずれか一方向に回
させることにより、ネジシャフト６２が回転し、ナット
ブロック６４を取付け支持する共通ベース盤Ｆ₁ を、ガ
イドＧ₁ に沿ってＹ方向に前進後退させるものである。

【００４２】スカイブ部２０と折割部２１を同時にＹ方
向に移動することができるので、刃２５ａに対する受板
３５及び押板３６の位置は、図１の平面図に示すように
常に対応する一直線上にある。

【００４３】移動調整部６０の調整ハンドル６３を回す
ことにより、共通ベース盤Ｆ₁ 上の刃２５ａ刃先が移動
し、ガラス基板Ａの切断すべき直線相当部上に刃２５ａ
の位置を設定することができる。なお、スカイブ部２０
は、図２の側面図に示すように、前記刃２５ａ刃先高さ
を、ガラス基板Ａの上面高さよりも僅少低位に設定でき
るように、支持板２３に対して垂直方向にスライド可能
な刃高さ調整板２４を備え、該支持板２３上側に取付け
た軸受２３ａに回転可能に支持された高さ調整ネジ２４
ｂを前記調整板２４に螺着した刃高さ調整部２５を備え
る。

【００４４】該ネジ２４ｂのつまみ２４ａを回転させる
ことによって、刃高さ調整板２４を垂直方向に移動させ
ることによって、刃２５ａのガラス基板Ａ上面との相対
高さを設定でき、刃２５ａ刃先の位置は、刃２５ａ刃先
がガラス基板Ａの表面に接触してスカイブできる程度に
設定する。

【００４５】刃２５ａがガラス基板Ａの表面に接触して
いる状態で、Ｘ方向移動駆動部１を駆動して、基板ホル
ダー部１０を、図１の図面左端から右方向に往路Ｘ方向
移動路に沿って移動させると、まず、スカイブ部２０の
刃２５ａによってガラス基板Ａに直線状の切り込みｃが
刻切される。

【００４６】続いて基板ホルダー部１０をさらにＸ方向
移動路に沿って右方向に移動させ、ガラス基板Ａを折割
部３０に対応する位置に移動する。なお、基板ホルダー
１０の往路移動開始、移動停止、復路移動開始、移動停
止によるＸ方向移動路に沿った往復移動距離は、前記Ｘ
方向移動駆動部１のネジシャフト１７を駆動回転させる
サーボモーター、パルスモーターなど駆動制御モーター
の電流制御、パルス制御によって行なうものである。

【００４７】図３（ａ）は、ガラス基板Ａの切り込みｃ
が、受板３５の凹部３５ａと、押板３８の凸部３８ａと
の間に送り込まれた状態を説明する一実施例における部
分拡大正面図であり、直線状の切り込みｃが刻切された
ガラス基板Ａが、受板３５、押板３８の間に移動した
後、エアーシリンダー４０を駆動して押板３８を押し上
げ、受板３５と押板３８との間にガラス基板Ａを、その
各凹部３５ａと凸部３８ａとの対向位置に切り込みｃの
部分を対応させて挟み込む。

【００４８】続いて、図３（ｂ）に示すように、押板３
８を僅かに押し上げることにより、ガラス基板Ａを挟ん
だ状態で受板３５は前記ラチェット爪５１ａ（止部材）
に当接して上方への移動を停止し、押板３８の凸部３８
ａは、ガラス基板Ａの切り込みｃ部分を下方より凹部３
５ａ方向に押し上げるため、ガラス基板Ａの切り込みｃ
部分に、凸部３８ａによる凹部３５ａ方向への垂直応力
が加わり、ガラス基板Ａを切り込みｃ部分に沿って折り
割ることができる。折り割り後のガラス断裁端部は、下
側の回収ボックス７０内に回収される。

【００４９】以上のようなメカニズムによりガラス基板
ＡのＸ方向を断裁した後、エアーシリンダー４１により
第２垂直移動部３６を下降させて押板３８を元の高さま
で戻し、一方、エアーシリンダー５２によって水平ラチ
ェット部５１のラチェット爪５１ａを第１垂直移動部３
３上面より側方の水平方向後退位置に移動静止させ、続
いてエアーシリンダー５０ａにより第１垂直移動部３３
を上昇させて受板３５を元の高さに戻す。

【００５０】続いて、Ｘ方向移動駆動部１を駆動して、
基板ホルダー部１０を、図１の図面左端方向へ復路移動
させて元の位置まで戻す。

【００５１】続いて、ガラスホルダー５を回転角度θ方
向に回転動作して、該ガラスホルダー５を、例えばθ＝
９０°回転させ、しかる後に前述したメカニズムにより
スカイブ部２０にてガラス基板ＡのＹ方向をスカイブし
て切り込みｃを刻切した後、折割部３０にて折割り断裁
することができる。

【００５２】なお、復路移動において、スカイブ部２０
の刃２５ａの刃先と、ガラス基板Ａの断裁された端縁部
とは、ほぼ接触せずに元の位置に復帰させることができ
るが、ガラスホルダー５による吸着固定が不完全の場合
における断裁中でのガラス基板Ａの僅かな移動が生じた
場合を考慮して、図２に示す刃高さ調整部２５のスライ
ド板２４を昇降動作させるネジシャフト２４ｂを回転さ
せるマイクロモーターを設けて、該モーターの所定駆動
回転数による正転、逆転によって、刃２５ａの高さ調
整、あるいは基板ホルダー部１０の往路移動時における
刃２５ａの下降動作、及び復路移動時の上昇動作を自動
的にさせるようにしてもよい。なお、本発明における折
割部３０の受板３５と押板３８とによるガラス基板Ａの
挟み付け個所は、図１に示すようにガラス基板Ａの切り
込みｃの一端部側のみでもよいが、図４に示すようにガ
ラス基板Ａの切り込みｃの全長に亘って挟み付けるよう
にしてもよい。

【００５３】

【作用】本発明のガラス基板断裁装置は、ガラス基板に
切り込みを入れる刃を備えたスカイブ部と、切り込みに
沿って折り割る折割部と、ガラス基板を載置固定して前
記スカイブ部と折割部との間を直線的に往復移動する水
平回転可能な基板ホルダー部とから構成されるので、基
板ホルダー部の直線的な往復移動動作における直線往路
移動動作によって、ガラス基板の表面、若しくは表裏両
面に直線的な切り込みを刻切することができる。

【００５４】また、スカイブ部の刃の位置は水平面内で
基板ホルダー部の往復移動の通路に対して直角方向に可
変であるので、ガラス基板を所望サイズに断裁するため
の直線的な切り込みを適宜位置に刻切することができ
る。

【００５５】また、折割部は凸部を備えた押板と、凹部
を備えた受板とを備えたので、該押板と受板とによって
ガラス基板を挟み込み、凸部を僅かに凹部側に押圧する
ことによって、ガラス基板を切り込みに沿って折割るこ
とができる。

【００５６】

【発明の効果】本発明のガラス基板断裁装置は、レチク
ル等のガラス基板をガラス基板表面の切り込み及び折割
り動作を手作業によらずに全て自動化して簡便かつ安全
に断裁することができ、電子線描画機のガラス基板収納
カセットにおけるガラス基板収納許容寸法に整合する寸
法にガラス基板を能率的に断裁することができるなどの
効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガラス基板断裁装置の一実施例の平面
図である。

【図２】本発明のガラス基板断裁装置の一実施例の正面
図である。

【図３】（ａ）〜（ｂ）は、本発明のガラス基板断裁装
置の一実施例における折割部によるガラス基板折割動作
を説明する正面図である。

【図４】本発明のガラス基板断裁装置の一実施例におけ
る折割部の他の例を説明する平面図である。

【符号の説明】 １…Ｘ方向移動駆動部 ５…ガラスホルダー ６…支持
部 ７…垂直支軸 ８…軸受部 ９…切欠溝部 １０…基板ホルダー部 １１…回転体 １２…ウォーム
ギア １３…回転軸 １４…ロータリーエンコーダ １５…軸受 １６…ナッ
トブロック １７…ギアシャフト １８…ガイド １９
…ガイドフォロア ２０…スカイブ部 ２１…支持部 ２２…支持アーム
２３…支持板 ２４…スライド板 ２５…刃高さ調整部 ２５ａ…スカ
イブ刃 ２６…ガイド ２７…スライド盤 ３０…折割部 ３１…支持部 ３２…ガイドレール ３
３…第１垂直移動部 ３４…支持アーム ３５…受板 ３６…第２垂直移動部
３７…支持アーム ３８…押板 ３８ａ…凸部 ４０…駆動部 ４１…エアーシリンダー ５０…駆動部 ５０ａ…エアーシリンダー ５１…水平
ラチェット部 ５１ａ…ラチェット爪 ５１ｂ…バネ ５２…エアーシ
リンダー ５２ａ…作動ロッド ６０…移動調整部 ６１…軸受部 ６２…ネジシャフト
６３…調整ハンドル ６４…ナットブロック ７０…回収ボックス Ａ…ガラス基板 ｃ…切り込み Ｆ…装置本体フレーム Ｆ₁ …共通ベース盤 Ｆ₂ …可
動フレーム Ｇ₁ …ガイド Ｘ…Ｘ方向移動路

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ガラス基板に切り込みを入れるための刃を
   備え、ガラス基板に直線状の切り込みを入れるスカイブ
   部と、 ガラス基板の切り込み部分に応力を加えて、ガラス基板
   を切り込み部分に沿って直線状に折り割る折割部と、 ガラス基板を載置してスカイブ部と折割部の間を往復移
   動する基板ホルダー部から構成されることを特徴とする
   ガラス基板断裁装置。
2. 【請求項２】スカイブ部は基板ホルダー部の往復移動の
   通路の上に１個以上の刃を備え、この刃の位置は、水平
   面内で基板ホルダー部の往復移動の通路に対して直角方
   向に可変であることを特徴とする請求項１に記載のガラ
   ス基板断裁装置。
3. 【請求項３】折割部はガラス基板の切り込みされた位置
   を上下より挟み、各々ガラス基板の切り込み部分に応力
   を加えるための凸部を備えた押板と、凹部を備えた受板
   を設け、この凸部、凹部の位置は、水平面内で基板ホル
   ダー部の往復移動の通路に対して直角方向に可変である
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のガラス
   基板断裁装置。