JPH06174281A - Clean room pressure breakdown prevention device - Google Patents
Clean room pressure breakdown prevention deviceInfo
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- JPH06174281A JPH06174281A JP35001092A JP35001092A JPH06174281A JP H06174281 A JPH06174281 A JP H06174281A JP 35001092 A JP35001092 A JP 35001092A JP 35001092 A JP35001092 A JP 35001092A JP H06174281 A JPH06174281 A JP H06174281A
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- outside
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームの内部圧力が負圧になったと
き、外部圧力によって破壊されるのを防止すること。
【構成】 クリーンルーム１内に差圧センサ４、過剰負
圧防止ダンパ５、破裂板６を設け、クリーンルーム１内
の気圧が負圧になったとき、また外気導入装置２に異常
が生じたとき、差圧センサ４が負圧を検知して、外気導
入装置２、もしくは排気装置３を停止させたり、あるい
はクリーンルームが極端な負圧になったときは、過剰負
圧防止ダンパ５が開いて外気を導いたり、破裂板６が破
裂することによりクリーンルームが負圧により破壊する
のを防止している。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent the internal pressure of the clean room from being destroyed by external pressure when it becomes negative. [Structure] A differential pressure sensor 4, an excessive negative pressure prevention damper 5, and a rupture plate 6 are provided in the clean room 1, and when the atmospheric pressure in the clean room 1 becomes a negative pressure or when an abnormality occurs in the outside air introduction device 2, When the differential pressure sensor 4 detects a negative pressure to stop the outside air introduction device 2 or the exhaust device 3, or when the clean room becomes extremely negative pressure, the excessive negative pressure prevention damper 5 opens to remove the outside air. The clean room is prevented from being destroyed by negative pressure by guiding or bursting the rupture plate 6.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、外部からの汚染物質の
浸入を防ぐため、ある程度の気密性と、ある程度の外部
に対する内部の正圧を必要とするクリーンルームの圧力
破壊防止装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure rupture prevention device for a clean room, which requires a certain degree of airtightness and a certain amount of internal positive pressure to the outside in order to prevent invasion of contaminants from the outside. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造などに用いられるクリーンル
ームは、外部と遮断可能に形成された施設（筐体）に空
調設備である外気導入装置によって温度及び湿度を調整
した空気をフィルタを介して供給し、この空気をクリー
ンルームの外へ排気装置によって排出し、あるいは排出
される空気の大部分を筐体と外気導入装置との間に循環
させる構成がとられている。2. Description of the Related Art In a clean room used for semiconductor manufacturing, air whose temperature and humidity have been adjusted by an outside air introduction device, which is an air conditioner, is supplied through a filter to a facility (housing) formed so as to be shielded from the outside. This air is discharged to the outside of the clean room by an exhaust device, or most of the discharged air is circulated between the housing and the outside air introducing device.
【０００３】このようなクリーンルームにおいては、室
内圧を外気圧より高め（外圧＋２〜３ｍｍＡｑの正圧）
に設定し、外部から塵埃などが浸入するのを防止してい
る。In such a clean room, the room pressure is made higher than the outside pressure (external pressure +2 to 3 mmAq positive pressure).
Is set to prevent dust from entering from the outside.
【０００４】このような正圧を得る方法としては、従
来、クリーンルームと外気との境界部に配設されたダン
パの開度を調節することで行っている。この場合、ダン
パが開いていれば、クリーンルーム内の圧力は正圧状態
にあるものと判断することができる。As a method for obtaining such a positive pressure, conventionally, the opening degree of a damper arranged at the boundary between the clean room and the outside air is adjusted. In this case, if the damper is open, it can be determined that the pressure in the clean room is in the positive pressure state.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、クリーンルーム内の圧力を正圧にする
に際し、ダンパにより行っているため、正圧の維持を高
精度に制御することは困難であった。However, in the above-mentioned prior art, since the damper is used to bring the pressure in the clean room to the positive pressure, the positive pressure cannot be maintained with high precision. It was difficult.
【０００６】また、従来においては、クリーンルームか
ら空気を外部に排気するために排気装置を設けた場合、
外気導入装置が停止あるいは送風量を低減させるような
事故が発生すると、両装置の運転に連携がとられていな
いためにクリーンルーム内に負圧が生じ、そのために、
汚染物質をクリーンルーム内に吸引したり、さらには、
負圧が大きくなる（−１０ｍｍＡｑ以下）と、圧力破壊
を招く恐れもある。Conventionally, when an exhaust device is provided to exhaust air from the clean room to the outside,
When an outside air introduction device stops or an accident occurs that reduces the amount of air blow, negative pressure occurs in the clean room because the two devices are not linked to operate, and therefore,
Inhaling pollutants into the clean room,
When the negative pressure becomes large (-10 mmAq or less), there is a risk of causing pressure breakdown.
【０００７】本発明は、かかる従来の課題を解決するた
めになされたもので、クリーンルーム内の圧力を安定に
維持し、クリーンルームの内部圧力が負圧になったと
き、外部圧力によって破壊されるのを防止することので
きるクリーンルームの圧力破壊防止装置を提供すること
を目的とする。The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and maintains the pressure in the clean room stably, and when the internal pressure of the clean room becomes a negative pressure, it is destroyed by the external pressure. An object of the present invention is to provide a pressure break prevention device for a clean room capable of preventing the above.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の装置は、請求項１において、外気を取り
込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファン
によってクリーンルームに供給する外気導入装置と、前
記クリーンルームから空気を強制的に排出させるための
排気装置と、クリーンルーム内の室内圧または室内外の
差圧を検出するセンサと、外気導入装置の停止または異
常時に外気導入装置からの信号に基づいて、排気装置を
停止させる制御手段と、クリーンルーム内の室内圧が外
部に対して第１の設定値以下の負圧になったとき、セン
サの信号に基づいて排気装置を停止させる制御手段とを
具備するものであり、請求項２において、クリーンルー
ムが外部に対して第２の設定値以下の負圧になった場合
に開くことによって外気をクリーンルームに導く過剰負
圧防止手段と、クリーンルームが外部に対して、第３の
設定値以下の負圧になった場合に破壊して外気をクリー
ンルームに導く破裂板を設けたものであり、さらに請求
項３において、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、クリーンルーム内の
室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、外気導
入装置の停止または異常時に外気導入装置からの信号に
基づいて、排気装置を停止させる制御手段と、クリーン
ルーム内の室内圧が外部に対して第１の設定値以下の負
圧になったとき、センサの信号に基づいて排気装置を停
止させる制御手段とを具備し、クリーンルームが外部に
対して第２の設定値以下の負圧になった場合に開くこと
によって外気をクリーンルームに導く過剰負圧防止手段
と、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値以下
の負圧になった場合に破壊して外気をクリーンルームに
導く破裂板を設けたものである。In order to achieve the above object, the apparatus of the present invention is, in claim 1, characterized in that the air taken in by outside air and conditioned to a desired temperature and humidity is supplied to a clean room by a blower fan. Outside air introducing device, an exhaust device for forcibly exhausting air from the clean room, a sensor for detecting the room pressure in the clean room or the pressure difference between the inside and the outside, from the outside air introducing device when the outside air introducing device is stopped or abnormal. And a control means for stopping the exhaust device on the basis of the signal of No. 1, and when the room pressure in the clean room becomes a negative pressure below the first set value with respect to the outside, the exhaust device is stopped on the basis of the signal of the sensor. A control means is provided, and according to claim 2, the clean room is opened when the negative pressure is equal to or lower than the second set value with respect to the outside. An excessive negative pressure preventing means for guiding the outside air to the clean room, and a rupture plate for breaking the outside air to the outside when the clean room has a negative pressure below a third set value and guiding the outside air to the clean room are provided. Further, in claim 3, an outside air introduction device that supplies outside air to the clean room by blasting air conditioned to a desired temperature and humidity, an exhaust device for forcibly discharging air from the clean room, and A sensor that detects the indoor pressure or the pressure difference between the indoor and outdoor, the control means that stops the exhaust device based on the signal from the external air introduction device when the external air introduction device is stopped or abnormal, and the indoor pressure in the clean room to the outside And a control means for stopping the exhaust device based on the signal of the sensor when the negative pressure becomes equal to or lower than the first set value. When the room has a negative pressure below the second set value, the open room opens to prevent excess negative pressure from flowing into the clean room. It is provided with a rupture plate that breaks when pressure is applied and guides the outside air to the clean room.
【０００９】[0009]
【作用】本発明の装置は、請求項１によれば、センサと
外気導入装置をセンサからの第１の信号により連動させ
て空気導入量を制御すると共に、外気導入装置トラブ
ル時に、センサからの第３の信号により排気設備を停止
させ（圧力破壊防止策１）、また、クリーンルームが
外部に対して、第１の設定値（−２ｍｍＡｑ程度）以下
の負圧になった場合、前記センサからの第２の信号によ
り、排気設備を停止（圧力破壊防止策２）させることが
できる。さらに、請求項２によれば、過剰負圧防止手
段としての過剰負圧防止ダンパは、クリーンルームが外
部に対して、第２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の
負圧になった場合、開き、外部エアーをクリーンルーム
に導き負圧を解消（圧力破壊防止策３）し、また、破
裂板は、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値
（−８ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場合、破壊
し、外部エアーをクリーンルームに導き、負圧を解消
（圧力破壊防止策４）する。According to the first aspect of the present invention, the device controls the amount of air introduced by interlocking the sensor and the outside air introducing device with the first signal from the sensor, and when the outside air introducing device is in trouble, When the exhaust equipment is stopped by the third signal (pressure breakdown prevention measure 1) and the clean room becomes a negative pressure below the first set value (about -2 mmAq) with respect to the outside, the sensor outputs from the sensor. The exhaust signal can be stopped (pressure breakdown prevention measure 2) by the second signal. Further, according to claim 2, the excessive negative pressure prevention damper as the excessive negative pressure prevention means opens when the clean room has a negative pressure equal to or lower than the second set value (about -5 mmAq) with respect to the outside. , The external air was introduced to the clean room to eliminate the negative pressure (pressure destruction prevention measure 3), and the rupture plate had a negative pressure below the third set value (about -8 mmAq) in the clean room with respect to the outside. In this case, it is destroyed, the external air is guided to a clean room, and the negative pressure is eliminated (pressure destruction prevention measure 4).
【００１０】[0010]
【実施例】図１は、本発明の一実施例であるクリーンル
ームの圧力破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統
図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a system diagram showing a schematic structure of a main part of a pressure rupture prevention device for a clean room according to an embodiment of the present invention.
【００１１】図１において、外気を取り込んでクリーン
ルーム１が必要とする温度及び湿度に制御した空調空気
を得るために空調装置である外気導入装置２が設けら
れ、その空調空気はクリーンルーム１に供給される。
尚、外気導入装置２はフィルタを内蔵しているので、ク
リーンルーム１に供給される空気は、温湿度が適正にさ
れていると同時に高度に清浄化されたものとなってい
る。クリーンルーム１内の空気は、ファンを備えた排気
装置３によって床部または床面近傍の側壁を通して外部
へ排出される。In FIG. 1, an outside air introducing device 2 which is an air conditioner is provided to take in outside air and obtain conditioned air whose temperature and humidity are controlled by the clean room 1. The conditioned air is supplied to the clean room 1. It
Since the outside air introduction device 2 has a built-in filter, the air supplied to the clean room 1 has a proper temperature and humidity and is highly purified. The air in the clean room 1 is exhausted to the outside through the floor or the side wall near the floor by the exhaust device 3 equipped with a fan.
【００１２】外気とクリーンルーム１内の圧力差を検知
するために、差圧センサ４がクリーンルーム１内に設置
され、その検出信号は、外気導入装置２（検出信号）
及び排気装置３（検出信号）に取り込まれる。また、
外気導入装置２は、差圧センサ４と連動させ導入空気量
を制御すると共に、差圧センサ４の第１の検出信号に
基づいて、外気導入装置２が事故にあった場合、第３の
信号を発生し排気装置３を停止させる。In order to detect the pressure difference between the outside air and the clean room 1, a differential pressure sensor 4 is installed in the clean room 1, and its detection signal is the outside air introducing device 2 (detection signal).
And taken into the exhaust device 3 (detection signal). Also,
The outside air introduction device 2 controls the amount of introduced air in conjunction with the differential pressure sensor 4, and based on the first detection signal of the differential pressure sensor 4, when the outside air introduction device 2 has an accident, a third signal Is generated and the exhaust device 3 is stopped.
【００１３】外気導入装置２が稼働を始めると、外気が
取り込まれ、この外気に対してクリーンルーム１の要求
する温度及び湿度（例えば、温度２３±１℃、温度４５
±３％）に空調し、さらに内蔵するフィルタを介してク
リーンルーム１へ供給する。クリーンルーム１内の圧力
は外部の圧力（Ａ）＋α（但しα＞０）の正圧になるよ
う保たれるが、この正圧が極端な正圧になったり、また
負圧になったりすることがないように差圧αのレベルに
応じて導入空気の調整を行って適度な正圧を維持する。
従って、クリーンルーム１内の圧力と外気圧Ａとの差圧
αは、差圧センサ４によって常時監視されており、その
検出値である第１の信号に応じて外気導入装置２内の
インバータを制御する。このインバータは外気導入装置
２に内蔵されるファン（クリーンルーム１に空気を送り
込むための動力源）の回転数を制御する。そして、イン
バータは差圧センサ４の検出値が一定値を維持するよう
にファンの回転数を制御する。When the outside air introduction device 2 starts to operate, the outside air is taken in, and the temperature and humidity required by the clean room 1 with respect to this outside air (for example, temperature 23 ± 1 ° C., temperature 45).
It is air-conditioned to (± 3%) and then supplied to the clean room 1 through the built-in filter. The pressure in the clean room 1 is kept to be the positive pressure of the external pressure (A) + α (where α> 0), but this positive pressure may become extremely positive or negative. Therefore, the introduced air is adjusted according to the level of the differential pressure α so as to maintain a proper positive pressure.
Therefore, the pressure difference α between the pressure in the clean room 1 and the outside air pressure A is constantly monitored by the pressure difference sensor 4, and the inverter in the outside air introduction device 2 is controlled according to the first signal which is the detected value. To do. This inverter controls the rotation speed of a fan (a power source for sending air into the clean room 1) built in the outside air introduction device 2. Then, the inverter controls the rotation speed of the fan so that the detection value of the differential pressure sensor 4 maintains a constant value.
【００１４】ここで、停電や故障などによって外気導入
装置２が稼働を停止し、あるいは異常を生じた場合、第
３の信号を発して外気導入装置２は排気装置３の排気
を停止させる。従来のように、外気導入装置２が停止ま
たは送風量が減少した状態のまま排気装置３の稼働を続
行すると、外気導入装置２からの空気供給が無くなった
状態（または減少した状態）でクリーンルーム１内の空
気が排気装置３によって排出される結果、クリーンルー
ム１に負圧が形成される。このような状態が生じると、
汚染物質を吸入したり、最悪の場合にはクリーンルーム
１の破損を招くことになる。When the outside air introducing device 2 stops operating or becomes abnormal due to a power failure or failure, the outside air introducing device 2 stops the exhaust of the exhaust device 3 by issuing a third signal. If the exhaust device 3 continues to operate while the outside air introduction device 2 is stopped or the amount of air blow is reduced as in the conventional case, the clean room 1 is in a state where the air supply from the outside air introduction device 2 is lost (or is reduced). As a result of the air inside being exhausted by the exhaust device 3, a negative pressure is created in the clean room 1. When this happens,
This may result in inhaling contaminants and, in the worst case, damage to the clean room 1.
【００１５】しかし、本発明によれば、外気導入装置２
の停止や異常動作の発生と同時に外気導入装置２からの
第３の信号により排気装置３も停止させる（圧力破壊
防止策１）。さらに、クリーンルーム１の圧力が、外部
に対して第１の設定値（−２ｍｍＡｑ）以下の負圧にな
った場合、差圧センサ４からの第２の信号により排気
装置３を停止させる（圧力破壊防止策２）。However, according to the present invention, the outside air introducing device 2
And the occurrence of abnormal operation, the exhaust device 3 is also stopped by the third signal from the outside air introduction device 2 (pressure breakdown prevention measure 1). Further, when the pressure in the clean room 1 becomes a negative pressure below the first set value (-2 mmAq) with respect to the outside, the exhaust device 3 is stopped by the second signal from the differential pressure sensor 4 (pressure breakage). Preventive measures 2).
【００１６】次に、クリーンルーム１が外部に対して第
２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁に取り付けられた過剰負圧
防止ダンパ５が開いてクリーンルーム１に外気を導き、
負圧を解消する（圧力破壊防止策３）。Next, when the clean room 1 has a negative pressure below the second set value (about -5 mmAq) with respect to the outside, the excessive negative pressure preventing damper 5 attached to the outer wall of the clean room 1 opens to open the clean room. Guide the outside air to 1,
Eliminate the negative pressure (pressure breakdown prevention measure 3).
【００１７】さらに、クリーンルーム１が外部に対して
第３の設定値（−８ｍｍＡｑ程度）以下負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁の一部を構成する破裂板６
が破壊し、外気をクリーンルーム１内に導き、負圧を解
消する（圧力破壊防止策４）。Further, when the clean room 1 has a negative pressure below the third set value (about -8 mmAq) with respect to the outside, the rupture plate 6 forming a part of the outer wall of the clean room 1.
Is destroyed, the outside air is guided into the clean room 1, and the negative pressure is eliminated (pressure destruction prevention measure 4).
【００１８】なお、上記過剰負圧防止ダンパ５は外気の
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第２の設定
値以下になったとき、内側（クリーンルーム１内）に開
くよう構成されたものであり、また、破裂板６は外気の
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第３の設定
値以下になったとき破壊してしまうものである。The excess negative pressure prevention damper 5 is constructed so as to open inside (inside the clean room 1) when the pressure in the clean room 1 becomes equal to or lower than the second set value with respect to the pressure of the outside air. In addition, the rupturable plate 6 is destroyed when the pressure in the clean room 1 becomes equal to or lower than the third set value with respect to the pressure of the outside air.
【００１９】また、この実施例においては、排気装置３
と外気導入装置２の連携制御を外気導入装置２に内蔵し
た制御装置によって行うものとしたが、設備から分離し
て独立した制御盤として構成してもよい。Further, in this embodiment, the exhaust device 3
The cooperative control of the outside air introduction device 2 and the outside air introduction device 2 is performed by the control device built in the outside air introduction device 2, but may be configured as an independent control panel separated from the equipment.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上より明らかな如く、本発明によれ
ば、外気導入装置のトラブル時、クリーンルームが負圧
により圧力破壊するのを防止できる。さらに、４段階の
圧力破壊防止策を実施することにより、通常時には使用
しないため、動作の信頼性に問題が発生する可能性のあ
る各圧力破壊防止装置の全体としての動作信頼性を高め
ている。また、圧力破壊防止装置の動作順序は、クリー
ンルームに汚染外部エアーを極力入れないよう考慮し、
また、破裂板破壊を最終動作としているので、トラブル
後のクリーン度回復、及び破裂板等の復旧作業が最小と
なる。As is apparent from the above, according to the present invention, it is possible to prevent the pressure in the clean room from being destroyed by negative pressure when the outside air introducing device has a trouble. Furthermore, by implementing the four-stage pressure breakdown prevention measure, the pressure relief prevention device as a whole is not used in normal times, and therefore the operation reliability of each pressure breakdown prevention device, which may cause a problem in operation reliability, is improved. . Also, the operation sequence of the pressure breakdown prevention device should be set so that contaminated external air is not introduced into the clean room as much as possible.
Further, since the destruction of the rupture plate is the final operation, the cleanliness recovery after the trouble and the recovery work of the rupture plate and the like are minimized.
【図１】本発明の一実施例であるクリーンルームの圧力
破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統図である。FIG. 1 is a system diagram showing a schematic configuration of a main part of a pressure breakdown prevention device for a clean room according to an embodiment of the present invention.
１ クリーンルーム ２ 外気導入装置 ３ 排気装置 ４ 差圧センサ ５ 過剰負圧防止ダンパ ６ 破裂板 1 Clean room 2 Outside air introduction device 3 Exhaust device 4 Differential pressure sensor 5 Excessive negative pressure prevention damper 6 Burst plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伏見 光雅 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Mitsumasa Fushimi 20-1 Shintomi, Futtsu City, Chiba Nippon Steel Corporation Corporate Technology Development Division
Claims (3)
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサ
と、前記外気導入装置の停止または異常時に前記外気導
入装置からの信号に基づいて、前記排気装置を停止させ
る制御手段と、前記クリーンルーム内の室内圧が外部に
対して第１の設定値以下の負圧になったとき、前記セン
サの信号に基づいて前記排気装置を停止させる制御手段
とを具備することを特徴とするクリーンルームの圧力破
壊防止装置。1. An outside air introducing device for supplying outside air to the clean room by blasting air conditioned to a desired temperature and humidity, an exhaust device for forcibly discharging air from the clean room, and the inside of the clean room. A sensor for detecting the indoor pressure or the indoor / outdoor differential pressure, and a control means for stopping the exhaust device based on a signal from the outside air introduction device when the outside air introduction device is stopped or abnormal, and the inside of the clean room And a control means for stopping the exhaust device based on a signal from the sensor when the pressure becomes a negative pressure equal to or lower than a first set value with respect to the outside. .
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと
を備えたクリーンルームであって、前記クリーンルーム
が外部に対して第２の設定値以下の負圧になった場合に
開くことによって外気をクリーンルームに導く過剰負圧
防止手段と、前記クリーンルームが外部に対して、第３
の設定値以下の負圧になった場合に破壊して外気をクリ
ーンルームに導く破裂板を設けたことを特徴とするクリ
ーンルームの圧力破壊防止装置。2. An outside air introduction device for supplying outside air to the clean room by blasting air conditioned to a desired temperature and humidity, an exhaust device for forcibly discharging air from the clean room, and the inside of the clean room. And a sensor for detecting an indoor pressure or a differential pressure between the inside and the outside of the room, which is opened when the clean room becomes a negative pressure below a second set value with respect to the outside so that the outside air becomes a clean room. The excessive negative pressure preventing means for guiding the clean room to the outside
A pressure break prevention device for a clean room, which is provided with a rupture plate that breaks when the negative pressure becomes equal to or lower than the set value and guides the outside air to the clean room.
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサ
と、前記外気導入装置の停止または異常時に前記外気導
入装置からの信号に基づいて、前記排気装置を停止させ
る制御手段と、前記クリーンルーム内の室内圧が外部に
対して第１の設定値以下の負圧になったとき、前記セン
サの信号に基づいて前記排気装置を停止させる制御手段
とを具備し、前記クリーンルームが外部に対して第２の
設定値以下の負圧になった場合に開くことによって外気
をクリーンルームに導く過剰負圧防止手段と、前記クリ
ーンルームが外部に対して、第３の設定値以下の負圧に
なった場合に破壊して外気をクリーンルームに導く破裂
板を設けたことを特徴とするクリーンルームの圧力破壊
防止装置。3. An outside air introduction device that takes in outside air and conditioned air to a desired temperature and humidity to a clean room by a blower fan, an exhaust device for forcibly discharging air from the clean room, and an inside of the clean room. A sensor for detecting the indoor pressure or the indoor / outdoor differential pressure, and a control means for stopping the exhaust device based on a signal from the outside air introduction device when the outside air introduction device is stopped or abnormal, and the inside of the clean room Control means for stopping the exhaust device based on a signal from the sensor when the pressure becomes a negative pressure equal to or lower than a first set value with respect to the outside, and the clean room has a second side with respect to the outside. When the negative pressure is less than the set value, it is opened to open the outside air to the clean room. Then, a pressure rupture prevention device for a clean room, characterized in that a rupture plate for breaking the negative air when the negative pressure is equal to or lower than a third set value and guiding the outside air to the clean room is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35001092A JPH06174281A (en) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Clean room pressure breakdown prevention device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35001092A JPH06174281A (en) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Clean room pressure breakdown prevention device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174281A true JPH06174281A (en) | 1994-06-24 |
Family
ID=18407626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35001092A Pending JPH06174281A (en) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | Clean room pressure breakdown prevention device |
Country Status (1)
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| JP (1) | JPH06174281A (en) |
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