JPH06174281A - クリーンルームの圧力破壊防止装置 - Google Patents
クリーンルームの圧力破壊防止装置Info
- Publication number
- JPH06174281A JPH06174281A JP35001092A JP35001092A JPH06174281A JP H06174281 A JPH06174281 A JP H06174281A JP 35001092 A JP35001092 A JP 35001092A JP 35001092 A JP35001092 A JP 35001092A JP H06174281 A JPH06174281 A JP H06174281A
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- pressure
- outside air
- outside
- negative pressure
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームの内部圧力が負圧になったと
き、外部圧力によって破壊されるのを防止すること。 【構成】 クリーンルーム１内に差圧センサ４、過剰負
圧防止ダンパ５、破裂板６を設け、クリーンルーム１内
の気圧が負圧になったとき、また外気導入装置２に異常
が生じたとき、差圧センサ４が負圧を検知して、外気導
入装置２、もしくは排気装置３を停止させたり、あるい
はクリーンルームが極端な負圧になったときは、過剰負
圧防止ダンパ５が開いて外気を導いたり、破裂板６が破
裂することによりクリーンルームが負圧により破壊する
のを防止している。
き、外部圧力によって破壊されるのを防止すること。 【構成】 クリーンルーム１内に差圧センサ４、過剰負
圧防止ダンパ５、破裂板６を設け、クリーンルーム１内
の気圧が負圧になったとき、また外気導入装置２に異常
が生じたとき、差圧センサ４が負圧を検知して、外気導
入装置２、もしくは排気装置３を停止させたり、あるい
はクリーンルームが極端な負圧になったときは、過剰負
圧防止ダンパ５が開いて外気を導いたり、破裂板６が破
裂することによりクリーンルームが負圧により破壊する
のを防止している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、外部からの汚染物質の
浸入を防ぐため、ある程度の気密性と、ある程度の外部
に対する内部の正圧を必要とするクリーンルームの圧力
破壊防止装置に関するものである。
浸入を防ぐため、ある程度の気密性と、ある程度の外部
に対する内部の正圧を必要とするクリーンルームの圧力
破壊防止装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造などに用いられるクリーンル
ームは、外部と遮断可能に形成された施設（筐体）に空
調設備である外気導入装置によって温度及び湿度を調整
した空気をフィルタを介して供給し、この空気をクリー
ンルームの外へ排気装置によって排出し、あるいは排出
される空気の大部分を筐体と外気導入装置との間に循環
させる構成がとられている。
ームは、外部と遮断可能に形成された施設（筐体）に空
調設備である外気導入装置によって温度及び湿度を調整
した空気をフィルタを介して供給し、この空気をクリー
ンルームの外へ排気装置によって排出し、あるいは排出
される空気の大部分を筐体と外気導入装置との間に循環
させる構成がとられている。
【０００３】このようなクリーンルームにおいては、室
内圧を外気圧より高め（外圧＋２〜３ｍｍＡｑの正圧）
に設定し、外部から塵埃などが浸入するのを防止してい
る。
内圧を外気圧より高め（外圧＋２〜３ｍｍＡｑの正圧）
に設定し、外部から塵埃などが浸入するのを防止してい
る。
【０００４】このような正圧を得る方法としては、従
来、クリーンルームと外気との境界部に配設されたダン
パの開度を調節することで行っている。この場合、ダン
パが開いていれば、クリーンルーム内の圧力は正圧状態
にあるものと判断することができる。
来、クリーンルームと外気との境界部に配設されたダン
パの開度を調節することで行っている。この場合、ダン
パが開いていれば、クリーンルーム内の圧力は正圧状態
にあるものと判断することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
技術にあっては、クリーンルーム内の圧力を正圧にする
に際し、ダンパにより行っているため、正圧の維持を高
精度に制御することは困難であった。
技術にあっては、クリーンルーム内の圧力を正圧にする
に際し、ダンパにより行っているため、正圧の維持を高
精度に制御することは困難であった。
【０００６】また、従来においては、クリーンルームか
ら空気を外部に排気するために排気装置を設けた場合、
外気導入装置が停止あるいは送風量を低減させるような
事故が発生すると、両装置の運転に連携がとられていな
いためにクリーンルーム内に負圧が生じ、そのために、
汚染物質をクリーンルーム内に吸引したり、さらには、
負圧が大きくなる（−１０ｍｍＡｑ以下）と、圧力破壊
を招く恐れもある。
ら空気を外部に排気するために排気装置を設けた場合、
外気導入装置が停止あるいは送風量を低減させるような
事故が発生すると、両装置の運転に連携がとられていな
いためにクリーンルーム内に負圧が生じ、そのために、
汚染物質をクリーンルーム内に吸引したり、さらには、
負圧が大きくなる（−１０ｍｍＡｑ以下）と、圧力破壊
を招く恐れもある。
【０００７】本発明は、かかる従来の課題を解決するた
めになされたもので、クリーンルーム内の圧力を安定に
維持し、クリーンルームの内部圧力が負圧になったと
き、外部圧力によって破壊されるのを防止することので
きるクリーンルームの圧力破壊防止装置を提供すること
を目的とする。
めになされたもので、クリーンルーム内の圧力を安定に
維持し、クリーンルームの内部圧力が負圧になったと
き、外部圧力によって破壊されるのを防止することので
きるクリーンルームの圧力破壊防止装置を提供すること
を目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の装置は、請求項１において、外気を取り
込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファン
によってクリーンルームに供給する外気導入装置と、前
記クリーンルームから空気を強制的に排出させるための
排気装置と、クリーンルーム内の室内圧または室内外の
差圧を検出するセンサと、外気導入装置の停止または異
常時に外気導入装置からの信号に基づいて、排気装置を
停止させる制御手段と、クリーンルーム内の室内圧が外
部に対して第１の設定値以下の負圧になったとき、セン
サの信号に基づいて排気装置を停止させる制御手段とを
具備するものであり、請求項２において、クリーンルー
ムが外部に対して第２の設定値以下の負圧になった場合
に開くことによって外気をクリーンルームに導く過剰負
圧防止手段と、クリーンルームが外部に対して、第３の
設定値以下の負圧になった場合に破壊して外気をクリー
ンルームに導く破裂板を設けたものであり、さらに請求
項３において、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、クリーンルーム内の
室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、外気導
入装置の停止または異常時に外気導入装置からの信号に
基づいて、排気装置を停止させる制御手段と、クリーン
ルーム内の室内圧が外部に対して第１の設定値以下の負
圧になったとき、センサの信号に基づいて排気装置を停
止させる制御手段とを具備し、クリーンルームが外部に
対して第２の設定値以下の負圧になった場合に開くこと
によって外気をクリーンルームに導く過剰負圧防止手段
と、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値以下
の負圧になった場合に破壊して外気をクリーンルームに
導く破裂板を設けたものである。
めに、本発明の装置は、請求項１において、外気を取り
込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファン
によってクリーンルームに供給する外気導入装置と、前
記クリーンルームから空気を強制的に排出させるための
排気装置と、クリーンルーム内の室内圧または室内外の
差圧を検出するセンサと、外気導入装置の停止または異
常時に外気導入装置からの信号に基づいて、排気装置を
停止させる制御手段と、クリーンルーム内の室内圧が外
部に対して第１の設定値以下の負圧になったとき、セン
サの信号に基づいて排気装置を停止させる制御手段とを
具備するものであり、請求項２において、クリーンルー
ムが外部に対して第２の設定値以下の負圧になった場合
に開くことによって外気をクリーンルームに導く過剰負
圧防止手段と、クリーンルームが外部に対して、第３の
設定値以下の負圧になった場合に破壊して外気をクリー
ンルームに導く破裂板を設けたものであり、さらに請求
項３において、外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、クリーンルームから空気を強制
的に排出させるための排気装置と、クリーンルーム内の
室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、外気導
入装置の停止または異常時に外気導入装置からの信号に
基づいて、排気装置を停止させる制御手段と、クリーン
ルーム内の室内圧が外部に対して第１の設定値以下の負
圧になったとき、センサの信号に基づいて排気装置を停
止させる制御手段とを具備し、クリーンルームが外部に
対して第２の設定値以下の負圧になった場合に開くこと
によって外気をクリーンルームに導く過剰負圧防止手段
と、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値以下
の負圧になった場合に破壊して外気をクリーンルームに
導く破裂板を設けたものである。
【０００９】
【作用】本発明の装置は、請求項１によれば、センサと
外気導入装置をセンサからの第１の信号により連動させ
て空気導入量を制御すると共に、外気導入装置トラブ
ル時に、センサからの第３の信号により排気設備を停止
させ（圧力破壊防止策１）、また、クリーンルームが
外部に対して、第１の設定値（−２ｍｍＡｑ程度）以下
の負圧になった場合、前記センサからの第２の信号によ
り、排気設備を停止（圧力破壊防止策２）させることが
できる。さらに、請求項２によれば、過剰負圧防止手
段としての過剰負圧防止ダンパは、クリーンルームが外
部に対して、第２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の
負圧になった場合、開き、外部エアーをクリーンルーム
に導き負圧を解消（圧力破壊防止策３）し、また、破
裂板は、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値
（−８ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場合、破壊
し、外部エアーをクリーンルームに導き、負圧を解消
（圧力破壊防止策４）する。
外気導入装置をセンサからの第１の信号により連動させ
て空気導入量を制御すると共に、外気導入装置トラブ
ル時に、センサからの第３の信号により排気設備を停止
させ（圧力破壊防止策１）、また、クリーンルームが
外部に対して、第１の設定値（−２ｍｍＡｑ程度）以下
の負圧になった場合、前記センサからの第２の信号によ
り、排気設備を停止（圧力破壊防止策２）させることが
できる。さらに、請求項２によれば、過剰負圧防止手
段としての過剰負圧防止ダンパは、クリーンルームが外
部に対して、第２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の
負圧になった場合、開き、外部エアーをクリーンルーム
に導き負圧を解消（圧力破壊防止策３）し、また、破
裂板は、クリーンルームが外部に対して、第３の設定値
（−８ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場合、破壊
し、外部エアーをクリーンルームに導き、負圧を解消
（圧力破壊防止策４）する。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の一実施例であるクリーンル
ームの圧力破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統
図である。
ームの圧力破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統
図である。
【００１１】図１において、外気を取り込んでクリーン
ルーム１が必要とする温度及び湿度に制御した空調空気
を得るために空調装置である外気導入装置２が設けら
れ、その空調空気はクリーンルーム１に供給される。
尚、外気導入装置２はフィルタを内蔵しているので、ク
リーンルーム１に供給される空気は、温湿度が適正にさ
れていると同時に高度に清浄化されたものとなってい
る。クリーンルーム１内の空気は、ファンを備えた排気
装置３によって床部または床面近傍の側壁を通して外部
へ排出される。
ルーム１が必要とする温度及び湿度に制御した空調空気
を得るために空調装置である外気導入装置２が設けら
れ、その空調空気はクリーンルーム１に供給される。
尚、外気導入装置２はフィルタを内蔵しているので、ク
リーンルーム１に供給される空気は、温湿度が適正にさ
れていると同時に高度に清浄化されたものとなってい
る。クリーンルーム１内の空気は、ファンを備えた排気
装置３によって床部または床面近傍の側壁を通して外部
へ排出される。
【００１２】外気とクリーンルーム１内の圧力差を検知
するために、差圧センサ４がクリーンルーム１内に設置
され、その検出信号は、外気導入装置２（検出信号）
及び排気装置３（検出信号）に取り込まれる。また、
外気導入装置２は、差圧センサ４と連動させ導入空気量
を制御すると共に、差圧センサ４の第１の検出信号に
基づいて、外気導入装置２が事故にあった場合、第３の
信号を発生し排気装置３を停止させる。
するために、差圧センサ４がクリーンルーム１内に設置
され、その検出信号は、外気導入装置２（検出信号）
及び排気装置３（検出信号）に取り込まれる。また、
外気導入装置２は、差圧センサ４と連動させ導入空気量
を制御すると共に、差圧センサ４の第１の検出信号に
基づいて、外気導入装置２が事故にあった場合、第３の
信号を発生し排気装置３を停止させる。
【００１３】外気導入装置２が稼働を始めると、外気が
取り込まれ、この外気に対してクリーンルーム１の要求
する温度及び湿度（例えば、温度２３±１℃、温度４５
±３％）に空調し、さらに内蔵するフィルタを介してク
リーンルーム１へ供給する。クリーンルーム１内の圧力
は外部の圧力（Ａ）＋α（但しα＞０）の正圧になるよ
う保たれるが、この正圧が極端な正圧になったり、また
負圧になったりすることがないように差圧αのレベルに
応じて導入空気の調整を行って適度な正圧を維持する。
従って、クリーンルーム１内の圧力と外気圧Ａとの差圧
αは、差圧センサ４によって常時監視されており、その
検出値である第１の信号に応じて外気導入装置２内の
インバータを制御する。このインバータは外気導入装置
２に内蔵されるファン（クリーンルーム１に空気を送り
込むための動力源）の回転数を制御する。そして、イン
バータは差圧センサ４の検出値が一定値を維持するよう
にファンの回転数を制御する。
取り込まれ、この外気に対してクリーンルーム１の要求
する温度及び湿度（例えば、温度２３±１℃、温度４５
±３％）に空調し、さらに内蔵するフィルタを介してク
リーンルーム１へ供給する。クリーンルーム１内の圧力
は外部の圧力（Ａ）＋α（但しα＞０）の正圧になるよ
う保たれるが、この正圧が極端な正圧になったり、また
負圧になったりすることがないように差圧αのレベルに
応じて導入空気の調整を行って適度な正圧を維持する。
従って、クリーンルーム１内の圧力と外気圧Ａとの差圧
αは、差圧センサ４によって常時監視されており、その
検出値である第１の信号に応じて外気導入装置２内の
インバータを制御する。このインバータは外気導入装置
２に内蔵されるファン（クリーンルーム１に空気を送り
込むための動力源）の回転数を制御する。そして、イン
バータは差圧センサ４の検出値が一定値を維持するよう
にファンの回転数を制御する。
【００１４】ここで、停電や故障などによって外気導入
装置２が稼働を停止し、あるいは異常を生じた場合、第
３の信号を発して外気導入装置２は排気装置３の排気
を停止させる。従来のように、外気導入装置２が停止ま
たは送風量が減少した状態のまま排気装置３の稼働を続
行すると、外気導入装置２からの空気供給が無くなった
状態（または減少した状態）でクリーンルーム１内の空
気が排気装置３によって排出される結果、クリーンルー
ム１に負圧が形成される。このような状態が生じると、
汚染物質を吸入したり、最悪の場合にはクリーンルーム
１の破損を招くことになる。
装置２が稼働を停止し、あるいは異常を生じた場合、第
３の信号を発して外気導入装置２は排気装置３の排気
を停止させる。従来のように、外気導入装置２が停止ま
たは送風量が減少した状態のまま排気装置３の稼働を続
行すると、外気導入装置２からの空気供給が無くなった
状態（または減少した状態）でクリーンルーム１内の空
気が排気装置３によって排出される結果、クリーンルー
ム１に負圧が形成される。このような状態が生じると、
汚染物質を吸入したり、最悪の場合にはクリーンルーム
１の破損を招くことになる。
【００１５】しかし、本発明によれば、外気導入装置２
の停止や異常動作の発生と同時に外気導入装置２からの
第３の信号により排気装置３も停止させる（圧力破壊
防止策１）。さらに、クリーンルーム１の圧力が、外部
に対して第１の設定値（−２ｍｍＡｑ）以下の負圧にな
った場合、差圧センサ４からの第２の信号により排気
装置３を停止させる（圧力破壊防止策２）。
の停止や異常動作の発生と同時に外気導入装置２からの
第３の信号により排気装置３も停止させる（圧力破壊
防止策１）。さらに、クリーンルーム１の圧力が、外部
に対して第１の設定値（−２ｍｍＡｑ）以下の負圧にな
った場合、差圧センサ４からの第２の信号により排気
装置３を停止させる（圧力破壊防止策２）。
【００１６】次に、クリーンルーム１が外部に対して第
２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁に取り付けられた過剰負圧
防止ダンパ５が開いてクリーンルーム１に外気を導き、
負圧を解消する（圧力破壊防止策３）。
２の設定値（−５ｍｍＡｑ程度）以下の負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁に取り付けられた過剰負圧
防止ダンパ５が開いてクリーンルーム１に外気を導き、
負圧を解消する（圧力破壊防止策３）。
【００１７】さらに、クリーンルーム１が外部に対して
第３の設定値（−８ｍｍＡｑ程度）以下負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁の一部を構成する破裂板６
が破壊し、外気をクリーンルーム１内に導き、負圧を解
消する（圧力破壊防止策４）。
第３の設定値（−８ｍｍＡｑ程度）以下負圧になった場
合、クリーンルーム１の外壁の一部を構成する破裂板６
が破壊し、外気をクリーンルーム１内に導き、負圧を解
消する（圧力破壊防止策４）。
【００１８】なお、上記過剰負圧防止ダンパ５は外気の
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第２の設定
値以下になったとき、内側（クリーンルーム１内）に開
くよう構成されたものであり、また、破裂板６は外気の
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第３の設定
値以下になったとき破壊してしまうものである。
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第２の設定
値以下になったとき、内側（クリーンルーム１内）に開
くよう構成されたものであり、また、破裂板６は外気の
圧力に対し、クリーンルーム１の圧力が上記第３の設定
値以下になったとき破壊してしまうものである。
【００１９】また、この実施例においては、排気装置３
と外気導入装置２の連携制御を外気導入装置２に内蔵し
た制御装置によって行うものとしたが、設備から分離し
て独立した制御盤として構成してもよい。
と外気導入装置２の連携制御を外気導入装置２に内蔵し
た制御装置によって行うものとしたが、設備から分離し
て独立した制御盤として構成してもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上より明らかな如く、本発明によれ
ば、外気導入装置のトラブル時、クリーンルームが負圧
により圧力破壊するのを防止できる。さらに、４段階の
圧力破壊防止策を実施することにより、通常時には使用
しないため、動作の信頼性に問題が発生する可能性のあ
る各圧力破壊防止装置の全体としての動作信頼性を高め
ている。また、圧力破壊防止装置の動作順序は、クリー
ンルームに汚染外部エアーを極力入れないよう考慮し、
また、破裂板破壊を最終動作としているので、トラブル
後のクリーン度回復、及び破裂板等の復旧作業が最小と
なる。
ば、外気導入装置のトラブル時、クリーンルームが負圧
により圧力破壊するのを防止できる。さらに、４段階の
圧力破壊防止策を実施することにより、通常時には使用
しないため、動作の信頼性に問題が発生する可能性のあ
る各圧力破壊防止装置の全体としての動作信頼性を高め
ている。また、圧力破壊防止装置の動作順序は、クリー
ンルームに汚染外部エアーを極力入れないよう考慮し、
また、破裂板破壊を最終動作としているので、トラブル
後のクリーン度回復、及び破裂板等の復旧作業が最小と
なる。
【図１】本発明の一実施例であるクリーンルームの圧力
破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統図である。
破壊防止装置の主要部の概略構成を示す系統図である。
１ クリーンルーム ２ 外気導入装置 ３ 排気装置 ４ 差圧センサ ５ 過剰負圧防止ダンパ ６ 破裂板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伏見 光雅 千葉県富津市新富20−１ 新日本製鐵株式 会社技術開発本部内
Claims (3)
- 【請求項１】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサ
と、前記外気導入装置の停止または異常時に前記外気導
入装置からの信号に基づいて、前記排気装置を停止させ
る制御手段と、前記クリーンルーム内の室内圧が外部に
対して第１の設定値以下の負圧になったとき、前記セン
サの信号に基づいて前記排気装置を停止させる制御手段
とを具備することを特徴とするクリーンルームの圧力破
壊防止装置。 - 【請求項２】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと
を備えたクリーンルームであって、前記クリーンルーム
が外部に対して第２の設定値以下の負圧になった場合に
開くことによって外気をクリーンルームに導く過剰負圧
防止手段と、前記クリーンルームが外部に対して、第３
の設定値以下の負圧になった場合に破壊して外気をクリ
ーンルームに導く破裂板を設けたことを特徴とするクリ
ーンルームの圧力破壊防止装置。 - 【請求項３】 外気を取り込んで所望の温度及び湿度に
空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供
給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を
強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンル
ーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサ
と、前記外気導入装置の停止または異常時に前記外気導
入装置からの信号に基づいて、前記排気装置を停止させ
る制御手段と、前記クリーンルーム内の室内圧が外部に
対して第１の設定値以下の負圧になったとき、前記セン
サの信号に基づいて前記排気装置を停止させる制御手段
とを具備し、前記クリーンルームが外部に対して第２の
設定値以下の負圧になった場合に開くことによって外気
をクリーンルームに導く過剰負圧防止手段と、前記クリ
ーンルームが外部に対して、第３の設定値以下の負圧に
なった場合に破壊して外気をクリーンルームに導く破裂
板を設けたことを特徴とするクリーンルームの圧力破壊
防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35001092A JPH06174281A (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの圧力破壊防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35001092A JPH06174281A (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの圧力破壊防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174281A true JPH06174281A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18407626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35001092A Pending JPH06174281A (ja) | 1992-12-03 | 1992-12-03 | クリーンルームの圧力破壊防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06174281A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010026872A (ja) * | 2008-07-22 | 2010-02-04 | Ntt Facilities Inc | 電算機室用空調システム |
| JP2014043683A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Isao Miyahara | 陽圧シェルター |
| KR20220029854A (ko) * | 2020-09-01 | 2022-03-10 | 임미란 | 살균 기능을 가지는 공기조화시스템 |
| CN116678085A (zh) * | 2023-06-01 | 2023-09-01 | 四川先通医药科技有限公司 | 放射性药品生产通风系统的控制方法、储存介质及装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01142352A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Toshiba Corp | 原子力発電所の喚気空調系制御装置 |
| JPH0328642A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-06 | Daikin Plant Kk | 気密室の内圧調整装置 |
-
1992
- 1992-12-03 JP JP35001092A patent/JPH06174281A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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| JPH01142352A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-05 | Toshiba Corp | 原子力発電所の喚気空調系制御装置 |
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