JPH06174409A - 磁気式回転センサ - Google Patents
磁気式回転センサInfo
- Publication number
- JPH06174409A JPH06174409A JP4331363A JP33136392A JPH06174409A JP H06174409 A JPH06174409 A JP H06174409A JP 4331363 A JP4331363 A JP 4331363A JP 33136392 A JP33136392 A JP 33136392A JP H06174409 A JPH06174409 A JP H06174409A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotation sensor
- resistor
- magnetic
- phase output
- magnetic rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 MR素子の歩留りを向上させる。チップサイ
ズを小さくする。 【構成】 抵抗R1とMR素子M1とが対となり、同じ
く抵抗R2とMR素子M2とが対となり、それぞれの接
続点から出力が取り出される。抵抗R1はMR素子M1
の特性に合せたものを選ぶ。また、抵抗R2はMR素子
M2に合せたものを選ぶ。 【効果】 抵抗で調整できるので、MR素子の特性のバ
ラツキが許容されるから、歩留りを向上できる。また、
MR素子も2個だけ配列すればよいから、チップサイズ
を小さくできる。
ズを小さくする。 【構成】 抵抗R1とMR素子M1とが対となり、同じ
く抵抗R2とMR素子M2とが対となり、それぞれの接
続点から出力が取り出される。抵抗R1はMR素子M1
の特性に合せたものを選ぶ。また、抵抗R2はMR素子
M2に合せたものを選ぶ。 【効果】 抵抗で調整できるので、MR素子の特性のバ
ラツキが許容されるから、歩留りを向上できる。また、
MR素子も2個だけ配列すればよいから、チップサイズ
を小さくできる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気式回転センサに
関し、さらに詳しくは、MR素子を用いた磁気式回転セ
ンサに関する。
関し、さらに詳しくは、MR素子を用いた磁気式回転セ
ンサに関する。
【0002】
【従来の技術】図5は、従来の磁気式回転センサの一例
の要部断面図である。この磁気式回転センサ51は、基
板Bの上面にMR素子M1,Ma,Mb,M2を一列に
配置した構成である。MR素子M1,Ma,Mb,M2
の配列ピッチは、回転する磁性体歯車Gのピッチの1/
2になっている。
の要部断面図である。この磁気式回転センサ51は、基
板Bの上面にMR素子M1,Ma,Mb,M2を一列に
配置した構成である。MR素子M1,Ma,Mb,M2
の配列ピッチは、回転する磁性体歯車Gのピッチの1/
2になっている。
【0003】図6は、磁気式回転センサ51の回路図で
ある。磁性体歯車Gのピッチの1/2だけ離れたMR素
子M1とMR素子Maとが対になり、同じく磁性体歯車
Gのピッチの1/2だけ離れたMR素子Mbと,MR素
子M2とが対になり、それぞれの接続点からA相出力と
notA相出力とが取り出されている。
ある。磁性体歯車Gのピッチの1/2だけ離れたMR素
子M1とMR素子Maとが対になり、同じく磁性体歯車
Gのピッチの1/2だけ離れたMR素子Mbと,MR素
子M2とが対になり、それぞれの接続点からA相出力と
notA相出力とが取り出されている。
【0004】図7の(a)は、磁性体歯車GがCW方向
(またはCCW方向)に回転したときのA相出力の模式
的波形図である。なお、V0は中性電圧を示す。MR素
子M1,Mb(およびMR素子Ma,M2)は磁性体歯
車Gの1ピッチだけ離れており,且つMR素子M1,M
aとMR素子Mb,M2との位置関係が逆転しているか
ら、A相出力と,notA相出力とは逆位相となる。図
7の(b)にnotA相出力の模式的波形図を示す。そ
こで、A相出力と,notA相出力との差動信号は、図
7の(c)に示すような波形となる。
(またはCCW方向)に回転したときのA相出力の模式
的波形図である。なお、V0は中性電圧を示す。MR素
子M1,Mb(およびMR素子Ma,M2)は磁性体歯
車Gの1ピッチだけ離れており,且つMR素子M1,M
aとMR素子Mb,M2との位置関係が逆転しているか
ら、A相出力と,notA相出力とは逆位相となる。図
7の(b)にnotA相出力の模式的波形図を示す。そ
こで、A相出力と,notA相出力との差動信号は、図
7の(c)に示すような波形となる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の磁気式回転
センサ51では、差動信号のオフセットをなくすため
に、A相出力と,notA相出力の中性電圧V0をVc
c/2に合せる必要がある。このため、磁界強度−抵抗
特性を一致させた2つのMR素子を組み合せなければな
らず、MR素子の歩留りが低い問題点がある。また、上
記従来の磁気式回転センサ51では、基板Bの上面に、
磁性体歯車Gのピッチの1/2の配列ピッチで、4つの
MR素子Ma,M1,Mb,M2を配置するので、チッ
プサイズが大きくなる問題点がある。
センサ51では、差動信号のオフセットをなくすため
に、A相出力と,notA相出力の中性電圧V0をVc
c/2に合せる必要がある。このため、磁界強度−抵抗
特性を一致させた2つのMR素子を組み合せなければな
らず、MR素子の歩留りが低い問題点がある。また、上
記従来の磁気式回転センサ51では、基板Bの上面に、
磁性体歯車Gのピッチの1/2の配列ピッチで、4つの
MR素子Ma,M1,Mb,M2を配置するので、チッ
プサイズが大きくなる問題点がある。
【0006】そこで、この発明の目的は、MR素子の歩
留りを向上させると共にチップサイズを小さくできる磁
気式回転センサを提供することにある。
留りを向上させると共にチップサイズを小さくできる磁
気式回転センサを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の磁気式回転セ
ンサは、MR素子M1とMR素子M2とを被検出体の回
転方向と平行に配列し、前記MR素子M1と抵抗R1と
の直列接続を電源ライン−Gndライン間に接続し、前
記MR素子M2と抵抗R2との直列接続を電源ライン−
Gndライン間に接続し、前記MR素子M1と前記抵抗
R1の間からと前記MR素子M2と前記抵抗R2の間と
からそれぞれ出力信号を取り出したことを構成上の特徴
とするものである。
ンサは、MR素子M1とMR素子M2とを被検出体の回
転方向と平行に配列し、前記MR素子M1と抵抗R1と
の直列接続を電源ライン−Gndライン間に接続し、前
記MR素子M2と抵抗R2との直列接続を電源ライン−
Gndライン間に接続し、前記MR素子M1と前記抵抗
R1の間からと前記MR素子M2と前記抵抗R2の間と
からそれぞれ出力信号を取り出したことを構成上の特徴
とするものである。
【0008】
【作用】この発明の磁気式回転センサでは、MR素子M
1(又はMR素子M2)と抵抗R1(又は抵抗R2)の
直列回路から出力信号を取り出すので、MR素子の磁界
強度−抵抗特性に合せた抵抗を選べば中性電圧を自由に
調整できる。従って、MR素子の特性のバラツキの許容
範囲が広がり、MR素子の歩留りを向上させることが出
来る。また、MR素子M1とMR素子M2の2個だけを
配置すればよいので、チップサイズが小さくなる。
1(又はMR素子M2)と抵抗R1(又は抵抗R2)の
直列回路から出力信号を取り出すので、MR素子の磁界
強度−抵抗特性に合せた抵抗を選べば中性電圧を自由に
調整できる。従って、MR素子の特性のバラツキの許容
範囲が広がり、MR素子の歩留りを向上させることが出
来る。また、MR素子M1とMR素子M2の2個だけを
配置すればよいので、チップサイズが小さくなる。
【0009】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳しく説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
に詳しく説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
【0010】−第1実施例− 図1は、この発明の第1実施例の磁気式回転センサの要
部断面図である。
部断面図である。
【0011】この磁気式回転センサ1は、基板Bの上面
にMR素子M1,M2を配列した構造である。MR素子
M1,M2の配列間隔は、回転する磁性体歯車Gのピッ
チの1/2になっている。図2は、この磁気式回転セン
サ1の回路図である。この磁気式回転センサ1は、抵抗
R1とMR素子M1とが対となり、同じく抵抗R2とM
R素子M2とが対となり、それぞれの接続点からA相出
力とnotA相出力とが取り出されている。なお、抵抗
R1はA相出力の最小値がVcc/2となるように選ば
れたものである。また、抵抗R2はnotA相出力の最
大値がVcc/2となるように選ばれたものである。
にMR素子M1,M2を配列した構造である。MR素子
M1,M2の配列間隔は、回転する磁性体歯車Gのピッ
チの1/2になっている。図2は、この磁気式回転セン
サ1の回路図である。この磁気式回転センサ1は、抵抗
R1とMR素子M1とが対となり、同じく抵抗R2とM
R素子M2とが対となり、それぞれの接続点からA相出
力とnotA相出力とが取り出されている。なお、抵抗
R1はA相出力の最小値がVcc/2となるように選ば
れたものである。また、抵抗R2はnotA相出力の最
大値がVcc/2となるように選ばれたものである。
【0012】図3の(a)は、磁性体歯車GがCW方向
(またはCCW方向)に回転したときのA相出力の模式
的波形図である。MR素子M1と,MR素子M2との配
列間隔は、磁性体歯車Gのピッチの1/2なので、no
tA相出力は、A相出力と逆位相となる。図3の(b)
にnotA相出力の模式的波形図を示す。そこで、A相
出力と,notA相出力との差動信号は、図3の(c)
に示すような波形となる。
(またはCCW方向)に回転したときのA相出力の模式
的波形図である。MR素子M1と,MR素子M2との配
列間隔は、磁性体歯車Gのピッチの1/2なので、no
tA相出力は、A相出力と逆位相となる。図3の(b)
にnotA相出力の模式的波形図を示す。そこで、A相
出力と,notA相出力との差動信号は、図3の(c)
に示すような波形となる。
【0013】上記第1実施例によれば、MR素子の特性
のバラツキの許容範囲が広がり、MR素子の歩留りを向
上させることが出来る。また、基板Bの上面には、MR
素子M1と,MR素子M2(配置間隔はピッチの1/
2)の2個だけを配置すればよいので、チップサイズが
小さくなる。
のバラツキの許容範囲が広がり、MR素子の歩留りを向
上させることが出来る。また、基板Bの上面には、MR
素子M1と,MR素子M2(配置間隔はピッチの1/
2)の2個だけを配置すればよいので、チップサイズが
小さくなる。
【0014】−第2実施例− 図4は、この発明の第2実施例の磁気式回転センサの図
2相当図である。この磁気式回転センサ31は、第1実
施例による磁気式回転センサ1とほぼ同じ構成である
が、抵抗R1,R2に代えて可変抵抗VR1,VR2を
用いる。
2相当図である。この磁気式回転センサ31は、第1実
施例による磁気式回転センサ1とほぼ同じ構成である
が、抵抗R1,R2に代えて可変抵抗VR1,VR2を
用いる。
【0015】上記第2実施例によれば、上記第1実施例
による効果に加えて、可変抵抗VR1,VR2を微調整
することにより、A相出力の最小値と,notA相出力
の最大値とを容易にVcc/2に合せることが出来る。
による効果に加えて、可変抵抗VR1,VR2を微調整
することにより、A相出力の最小値と,notA相出力
の最大値とを容易にVcc/2に合せることが出来る。
【0016】
【発明の効果】この発明の磁気式回転センサによれば、
MR素子の歩留りを向上させることが出来る。また、チ
ップサイズを小さくできる。
MR素子の歩留りを向上させることが出来る。また、チ
ップサイズを小さくできる。
【図1】この発明の第1実施例の磁気式回転センサの要
部断面図である。
部断面図である。
【図2】図1の磁気式回転センサの回路図である。
【図3】図1の磁気式回転センサのA相出力,notA
相出力,差動出力の模式的波形図である。
相出力,差動出力の模式的波形図である。
【図4】この発明の第2実施例の磁気式回転センサの要
部断面図である。
部断面図である。
【図5】従来の磁気式回転センサの要部断面図である。
【図6】図5の磁気式回転センサの要部断面図である。
【図7】図5の磁気式回転センサのA相出力,notA
相出力,差動出力の模式的波形図である。
相出力,差動出力の模式的波形図である。
1,31,51 磁気式回転センサ M1,M2,Ma,Mb MR素子 R1,R2 抵抗 VR1,VR2 可変抵抗 G 磁性体歯車 B 基板 Vcc 電源電圧
Claims (1)
- 【請求項1】 MR素子M1とMR素子M2とを被検出
体の回転方向と平行に配列し、前記MR素子M1と抵抗
R1との直列接続を電源ライン−Gndライン間に接続
し、前記MR素子M2と抵抗R2との直列接続を電源ラ
イン−Gndライン間に接続し、前記MR素子M1と前
記抵抗R1の間からと前記MR素子M2と前記抵抗R2
の間とからそれぞれ出力信号を取り出したことを特徴と
する磁気式回転センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331363A JPH06174409A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 磁気式回転センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4331363A JPH06174409A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 磁気式回転センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174409A true JPH06174409A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18242849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4331363A Pending JPH06174409A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | 磁気式回転センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06174409A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH109036A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-13 | Denso Corp | センサの異常診断装置 |
| US7417269B2 (en) | 2002-11-21 | 2008-08-26 | Denso Corporation | Magnetic impedance device, sensor apparatus using the same and method for manufacturing the same |
| JP2015117787A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Ntn株式会社 | 電動アクチュエータ |
| JP2018535391A (ja) * | 2015-12-29 | 2018-11-29 | ウェイハイ ホアリン オプト−エレクトロニクス シーオー.,エルティーディー. | 磁気イメージセンサー |
| CN111010096A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-04-14 | 北京航空航天大学青岛研究院 | 基于负阻效应器件实现磁电阻比值放大的电路结构 |
-
1992
- 1992-12-11 JP JP4331363A patent/JPH06174409A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH109036A (ja) * | 1996-06-28 | 1998-01-13 | Denso Corp | センサの異常診断装置 |
| US7417269B2 (en) | 2002-11-21 | 2008-08-26 | Denso Corporation | Magnetic impedance device, sensor apparatus using the same and method for manufacturing the same |
| US7582489B2 (en) | 2002-11-21 | 2009-09-01 | Denso Corporation | Method for manufacturing magnetic sensor apparatus |
| JP2015117787A (ja) * | 2013-12-19 | 2015-06-25 | Ntn株式会社 | 電動アクチュエータ |
| JP2018535391A (ja) * | 2015-12-29 | 2018-11-29 | ウェイハイ ホアリン オプト−エレクトロニクス シーオー.,エルティーディー. | 磁気イメージセンサー |
| CN111010096A (zh) * | 2019-11-27 | 2020-04-14 | 北京航空航天大学青岛研究院 | 基于负阻效应器件实现磁电阻比值放大的电路结构 |
| CN111010096B (zh) * | 2019-11-27 | 2023-06-06 | 北京航空航天大学青岛研究院 | 基于负阻效应器件实现磁电阻比值放大的电路结构 |
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