JPH06174574A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH06174574A JPH06174574A JP34364492A JP34364492A JPH06174574A JP H06174574 A JPH06174574 A JP H06174574A JP 34364492 A JP34364492 A JP 34364492A JP 34364492 A JP34364492 A JP 34364492A JP H06174574 A JPH06174574 A JP H06174574A
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- coil
- chamber
- pressure sensor
- diaphragm
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明に係る圧力センサは、小形で高感度を
達成する。 【構成】 本発明に係る圧力センサは、内部に室を有す
ると共に、この室と流体側とをつなぐ穴部４が形成され
たセンサケース１と、このセンサケース１の前記室内を
流体側の室９と他方の側の室１０とに区分するダイヤフ
ラム８と、前記他方の側の室１０において、前記ダイヤ
フラム８に対向配置され、そのダイヤフラム８側の表面
にコイル１３が形成されるコイル保持体１１とを有す
る。且つ、本発明に係る圧力センサでは、前記コイル保
持体１１の前記表面のコイル１３が平面渦巻状に形成さ
れている。
達成する。 【構成】 本発明に係る圧力センサは、内部に室を有す
ると共に、この室と流体側とをつなぐ穴部４が形成され
たセンサケース１と、このセンサケース１の前記室内を
流体側の室９と他方の側の室１０とに区分するダイヤフ
ラム８と、前記他方の側の室１０において、前記ダイヤ
フラム８に対向配置され、そのダイヤフラム８側の表面
にコイル１３が形成されるコイル保持体１１とを有す
る。且つ、本発明に係る圧力センサでは、前記コイル保
持体１１の前記表面のコイル１３が平面渦巻状に形成さ
れている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体の製造過程で
用いられる各種ガス等の流体の圧力測定に好適な圧力セ
ンサに関するものである。
用いられる各種ガス等の流体の圧力測定に好適な圧力セ
ンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の圧力センサとしては、実開昭６３
−３６０５９号に示される半導体歪ゲージを使用したタ
イプと、特開昭６３−１０７４８７号に示される可変キ
ャパシタンス方式のタイプとが知られているが、半導体
歪ゲージを使用したタイプのもの或いは、抵抗線歪ゲー
ジを使用したタイプのものにあっては、抵抗温度係数が
それぞれ、０．３×（１０のマイナス４乗）、１２×
（１０のマイナス４乗）と極めて高い欠点を有する。こ
れに対し、可変キャパシタンス方式のタイプのものにあ
っては、コンデンサの誘電体が真空を利用するから、抵
抗温度係数が無視できる程度の値であり、経年変化が少
ないことから、広く用いられている。
−３６０５９号に示される半導体歪ゲージを使用したタ
イプと、特開昭６３−１０７４８７号に示される可変キ
ャパシタンス方式のタイプとが知られているが、半導体
歪ゲージを使用したタイプのもの或いは、抵抗線歪ゲー
ジを使用したタイプのものにあっては、抵抗温度係数が
それぞれ、０．３×（１０のマイナス４乗）、１２×
（１０のマイナス４乗）と極めて高い欠点を有する。こ
れに対し、可変キャパシタンス方式のタイプのものにあ
っては、コンデンサの誘電体が真空を利用するから、抵
抗温度係数が無視できる程度の値であり、経年変化が少
ないことから、広く用いられている。
【０００３】上記可変キャパシタンス方式のタイプの圧
力センサは、高真空に保たれた基準圧力室と測定室とを
ダイヤフラムで区切り、このダイヤフラムに近接させ対
向して基準室側に電極を配置した構成を持つ。係る構成
の圧力センサでは、圧力の変化に伴いダイヤフラムと電
極との距離が変化するので、この間のキャパシタンスが
変化し、これを圧力変化として検出するものである。
力センサは、高真空に保たれた基準圧力室と測定室とを
ダイヤフラムで区切り、このダイヤフラムに近接させ対
向して基準室側に電極を配置した構成を持つ。係る構成
の圧力センサでは、圧力の変化に伴いダイヤフラムと電
極との距離が変化するので、この間のキャパシタンスが
変化し、これを圧力変化として検出するものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、例えば、外
径５０ミリメートルφの電極にあっては、キャパシタン
スが僅かに数十ピコファラッドと小さく、また、変化量
にあってはその百分の一程度と極めて少ないものであ
る。これを大きくし、Ｓ／Ｎ比を改善するするために
は、形状を大形とするしかないという問題点があった。
更に、浮遊容量の影響のため小形化には限界があった。
特に、半導体製造の如き分野においては、小形で小スペ
ースの圧力センサが望まれており、小形で感度の優れた
圧力センサの出現が望まれていた。
径５０ミリメートルφの電極にあっては、キャパシタン
スが僅かに数十ピコファラッドと小さく、また、変化量
にあってはその百分の一程度と極めて少ないものであ
る。これを大きくし、Ｓ／Ｎ比を改善するするために
は、形状を大形とするしかないという問題点があった。
更に、浮遊容量の影響のため小形化には限界があった。
特に、半導体製造の如き分野においては、小形で小スペ
ースの圧力センサが望まれており、小形で感度の優れた
圧力センサの出現が望まれていた。
【０００５】本発明は、上記のような従来の圧力センサ
の問題点及び圧力センサに対する要望に鑑みてなされた
もので、その目的は、小形で感度の良い圧力センサを提
供することである。
の問題点及び圧力センサに対する要望に鑑みてなされた
もので、その目的は、小形で感度の良い圧力センサを提
供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、内部に室を
有すると共に、この室と流体側とをつなぐ穴部が形成さ
れたセンサケースと、このセンサケースの前記室内を流
体側の室と他方の側の室とに区分するダイヤフラムと、
前記他方の側の室において、前記ダイヤフラムに対向配
置され、そのダイヤフラム側の表面近傍にコイルが形成
される様に圧力センサを構成し、且つ、前記コイルを平
面渦巻状に形成した。
有すると共に、この室と流体側とをつなぐ穴部が形成さ
れたセンサケースと、このセンサケースの前記室内を流
体側の室と他方の側の室とに区分するダイヤフラムと、
前記他方の側の室において、前記ダイヤフラムに対向配
置され、そのダイヤフラム側の表面近傍にコイルが形成
される様に圧力センサを構成し、且つ、前記コイルを平
面渦巻状に形成した。
【０００７】
【作用】上記構成では、圧力の変化によるダイヤフラム
の変位を検出する手段として、コイルとして、平面渦巻
状に形成された平板コイルを用いる。この平板コイルの
特徴は、ボビン等にコイルを巻いて形成したものに比
し、コイルの中心付近で極めて強い磁界が得られる点に
ある。具体的には、図４に示される通常のソレノイドに
おいては、単位長当たりのコイルの巻き数をＮ0 とし、
電流をＩ、コイルの長さをＬとすると、図の角度θ１、
θ２を用いて、磁界Ｈは、 Ｈ＝Ｎ0 Ｉ（ＣＯＳθ２＋ＣＯＳθ１）／２Ｌ となる。これに対し、図３に示される渦巻コイルの場合
には、半径方向の単位長当たりの電流をＩ0 とし、図の
角度αを用いて、 Ｈ＝Ｉ0 ｛ＣＯＳｈ−１（ＳＥＣα）−ＳＩＮα｝／２ となり（以上、若桑光雄著『大学過程 電磁気学演習』
（株式会社昭晃堂）による。）、αが９０度のときに極
めて強い磁界が得られることになる。本発明では、上記
コイルに電流を流して強い磁界を発生させ、この磁界に
より対向するダイヤフラムに渦電流を発生させる。この
渦電流は、コイルに発生した磁界の変化を弱める様に流
れ、且つ、コイルとダイヤフラムとの間の距離に応じて
渦電流の量が異なり、この渦電流の量によって、コイル
に発生した磁界が弱められる度合いが異なることにな
り、結局、コイルのインピーダンスの変化として現れ
る。即ち、圧力によるダイヤフラムとコイル間の距離の
変化をコイルのインピーダンスの変化として検出できる
ことになる。
の変位を検出する手段として、コイルとして、平面渦巻
状に形成された平板コイルを用いる。この平板コイルの
特徴は、ボビン等にコイルを巻いて形成したものに比
し、コイルの中心付近で極めて強い磁界が得られる点に
ある。具体的には、図４に示される通常のソレノイドに
おいては、単位長当たりのコイルの巻き数をＮ0 とし、
電流をＩ、コイルの長さをＬとすると、図の角度θ１、
θ２を用いて、磁界Ｈは、 Ｈ＝Ｎ0 Ｉ（ＣＯＳθ２＋ＣＯＳθ１）／２Ｌ となる。これに対し、図３に示される渦巻コイルの場合
には、半径方向の単位長当たりの電流をＩ0 とし、図の
角度αを用いて、 Ｈ＝Ｉ0 ｛ＣＯＳｈ−１（ＳＥＣα）−ＳＩＮα｝／２ となり（以上、若桑光雄著『大学過程 電磁気学演習』
（株式会社昭晃堂）による。）、αが９０度のときに極
めて強い磁界が得られることになる。本発明では、上記
コイルに電流を流して強い磁界を発生させ、この磁界に
より対向するダイヤフラムに渦電流を発生させる。この
渦電流は、コイルに発生した磁界の変化を弱める様に流
れ、且つ、コイルとダイヤフラムとの間の距離に応じて
渦電流の量が異なり、この渦電流の量によって、コイル
に発生した磁界が弱められる度合いが異なることにな
り、結局、コイルのインピーダンスの変化として現れ
る。即ち、圧力によるダイヤフラムとコイル間の距離の
変化をコイルのインピーダンスの変化として検出できる
ことになる。
【０００８】
【実施例】以下、添付の図面を参照して、本発明の実施
例を説明する。図１には、本発明の実施例に係る圧力セ
ンサの断面図が示されている。センサケース１は、図の
右側方向から見たとき円形をなし、正面方向から見たと
きやや大形の円柱２の左方に小径の円柱３が接続された
構成を持っている。センサケース１の小径の円柱３に
は、流体を導入する穴４が形成されており、小径の円柱
３の右側には大形の円柱２の一部が構成され、部材５と
なっている。部材５には、これに結合される有底円筒で
ある部材６が溶接部７により接続されている。大形の円
柱内の室は、上記溶接部７により接続されるダイヤフラ
ム８により仕切られている。
例を説明する。図１には、本発明の実施例に係る圧力セ
ンサの断面図が示されている。センサケース１は、図の
右側方向から見たとき円形をなし、正面方向から見たと
きやや大形の円柱２の左方に小径の円柱３が接続された
構成を持っている。センサケース１の小径の円柱３に
は、流体を導入する穴４が形成されており、小径の円柱
３の右側には大形の円柱２の一部が構成され、部材５と
なっている。部材５には、これに結合される有底円筒で
ある部材６が溶接部７により接続されている。大形の円
柱内の室は、上記溶接部７により接続されるダイヤフラ
ム８により仕切られている。
【０００９】ダイヤフラム８により仕切られた室のう
ち、穴４につながる側の室は、測定室９であり、他方の
室は基準圧力室１０である。基準圧力室１０には、図２
に示されるような円盤状のコイル保持体１１がダイヤフ
ラム８に対向させられて配置されている。コイル保持体
１１の一方の表面の外周部１２が突出しており、表面中
央部には平面渦巻コイル１３が形成されている。このコ
イル保持体１１はセラミック基材により構成され、上記
表面中央部に金属が着膜される。そして、この着膜され
た金属がフォトエッチングにより渦巻状に残余されて、
平面渦巻コイル１３とされる。また、金属の着膜より先
に、セラミック基材の表面中央部、渦巻の中間タップと
なる部分、渦巻の終端部となる部分から、それぞれの裏
面に貫通して金属１４ａ、１４ｂ、１４ｃを埋設してお
く。（他の実施例では、金属着膜後に埋設する。）コイ
ル保持体１１の裏面における金属１４ａ、１４ｂ、１４
ｃとハ−メチック端子１５ａ、１５ｂ、１５ｃとをリー
ド線により接続する。基準圧力室１０の空気はガス抜き
ポート１６を介して引き抜かれ、基準圧力室１０は所定
の真空状態とされ、ガス抜きポート１６は内部に適切な
ゲッタ材が入れられた後、溶接により封止される。
ち、穴４につながる側の室は、測定室９であり、他方の
室は基準圧力室１０である。基準圧力室１０には、図２
に示されるような円盤状のコイル保持体１１がダイヤフ
ラム８に対向させられて配置されている。コイル保持体
１１の一方の表面の外周部１２が突出しており、表面中
央部には平面渦巻コイル１３が形成されている。このコ
イル保持体１１はセラミック基材により構成され、上記
表面中央部に金属が着膜される。そして、この着膜され
た金属がフォトエッチングにより渦巻状に残余されて、
平面渦巻コイル１３とされる。また、金属の着膜より先
に、セラミック基材の表面中央部、渦巻の中間タップと
なる部分、渦巻の終端部となる部分から、それぞれの裏
面に貫通して金属１４ａ、１４ｂ、１４ｃを埋設してお
く。（他の実施例では、金属着膜後に埋設する。）コイ
ル保持体１１の裏面における金属１４ａ、１４ｂ、１４
ｃとハ−メチック端子１５ａ、１５ｂ、１５ｃとをリー
ド線により接続する。基準圧力室１０の空気はガス抜き
ポート１６を介して引き抜かれ、基準圧力室１０は所定
の真空状態とされ、ガス抜きポート１６は内部に適切な
ゲッタ材が入れられた後、溶接により封止される。
【００１０】上記の如く構成された圧力センサのハーメ
チック端子１５ａと１５ｂ、ハーメチック端子１５ｂと
１５ｃとの間のコイルをそれぞれ図５に示す様に、Ｌ
１、Ｌ２とし、外部の抵抗Ｒ１、Ｒ２とブリッジ回路を
構成し、これらに、交流電源２１から所要の電圧を印加
する。コイルＬ１、Ｌ２の接続点と、抵抗Ｒ１、Ｒ２の
接続点とから差動増幅器２２へ信号を取り出し、圧力変
化によりダイヤフラム８と平面渦巻コイル１３との距離
とが変化するに伴ってコイルＬ１、Ｌ２のインピーダン
スが変化することを電位差の変化として検出するように
構成する。具体的には、測定室９側の圧力が変化しダイ
ヤフラム８が変位するとき、その中央部がより多く変位
する。従って、中央部にあるコイルＬ１のインピーダン
スがコイルＬ２のインピーダンスより多く変化する。こ
の変化により生じるブリッジ回路の不平衡による電位差
を差動増幅器２で検出する。
チック端子１５ａと１５ｂ、ハーメチック端子１５ｂと
１５ｃとの間のコイルをそれぞれ図５に示す様に、Ｌ
１、Ｌ２とし、外部の抵抗Ｒ１、Ｒ２とブリッジ回路を
構成し、これらに、交流電源２１から所要の電圧を印加
する。コイルＬ１、Ｌ２の接続点と、抵抗Ｒ１、Ｒ２の
接続点とから差動増幅器２２へ信号を取り出し、圧力変
化によりダイヤフラム８と平面渦巻コイル１３との距離
とが変化するに伴ってコイルＬ１、Ｌ２のインピーダン
スが変化することを電位差の変化として検出するように
構成する。具体的には、測定室９側の圧力が変化しダイ
ヤフラム８が変位するとき、その中央部がより多く変位
する。従って、中央部にあるコイルＬ１のインピーダン
スがコイルＬ２のインピーダンスより多く変化する。こ
の変化により生じるブリッジ回路の不平衡による電位差
を差動増幅器２で検出する。
【００１１】差動増幅器２による出力及び、交流電源２
１による電圧を乗算器２３とローパスフィルタ２４によ
る検波回路に導き、直流信号とし出力端子２５から取り
出す。この検波回路の構成は、通常用いられている整流
回路と平滑回路とによっても構成可能である。
１による電圧を乗算器２３とローパスフィルタ２４によ
る検波回路に導き、直流信号とし出力端子２５から取り
出す。この検波回路の構成は、通常用いられている整流
回路と平滑回路とによっても構成可能である。
【００１２】上記構成による圧力センサの優位性を検討
するため、図６に示される回路のコイルＬとして、図７
に示される径２０φ、巻き数４０Ｔの平面渦巻コイルを
用いた場合と、径４φ、巻き数４０Ｔ、高さ５ミリメー
トルのソレノイドを用いた場合で比較を行った。なお、
交流電源６１は１ＭＨｚの１Ｖ（ｐ−ｐ）の電圧を発生
し、抵抗ｒは１００オームのものを用いた。この結果、
ダイヤフラムに加わる圧力を横軸にとり、コイルＬの両
端間電圧Ｖを縦軸にとると、ソレノイドの場合はＡに示
すように変化率が少なく感度が悪いのに比し、平面渦巻
コイルの場合はＢに示すように変化率が大きくＳ／Ｎ比
が改善されることが判る。
するため、図６に示される回路のコイルＬとして、図７
に示される径２０φ、巻き数４０Ｔの平面渦巻コイルを
用いた場合と、径４φ、巻き数４０Ｔ、高さ５ミリメー
トルのソレノイドを用いた場合で比較を行った。なお、
交流電源６１は１ＭＨｚの１Ｖ（ｐ−ｐ）の電圧を発生
し、抵抗ｒは１００オームのものを用いた。この結果、
ダイヤフラムに加わる圧力を横軸にとり、コイルＬの両
端間電圧Ｖを縦軸にとると、ソレノイドの場合はＡに示
すように変化率が少なく感度が悪いのに比し、平面渦巻
コイルの場合はＢに示すように変化率が大きくＳ／Ｎ比
が改善されることが判る。
【００１３】図８には、本発明の他の実施例の構成が示
されている。同図において、図１と同一の構成には同一
の符号を付し、重複する説明を省略する。本実施例の特
徴は、図１０に示されるコイル保持体８０の表面ダイヤ
フラム８側に図９に示されるコイル保持体９０を積層し
て設け、２層構造によるコイルのダイヤフラム８からの
遠近差による感度の相違を利用した構成となっている点
に求められる。つまり、図１の実施例は、中央部のコイ
ルと、外周部のコイルとの感度差を利用したのに対し、
この実施例は、ダイヤフラム８からの距離の差による感
度差を利用する。
されている。同図において、図１と同一の構成には同一
の符号を付し、重複する説明を省略する。本実施例の特
徴は、図１０に示されるコイル保持体８０の表面ダイヤ
フラム８側に図９に示されるコイル保持体９０を積層し
て設け、２層構造によるコイルのダイヤフラム８からの
遠近差による感度の相違を利用した構成となっている点
に求められる。つまり、図１の実施例は、中央部のコイ
ルと、外周部のコイルとの感度差を利用したのに対し、
この実施例は、ダイヤフラム８からの距離の差による感
度差を利用する。
【００１４】コイル保持体９０は、円盤状のシリコンウ
エハーで構成され、その表面には金属の平面コイル９３
が、図１の実施例と同様の手法により形成されている。
中央部と終端部とには、表面から裏面へ貫通する金属９
１、９２が予め埋設されている。コイル保持体８０は、
基本的に図１のコイル保持体１１と同一構成のコイル保
持体であるが、平面渦巻コイル８３の中央部と終端部と
に表面から裏面へ貫通する金属８１、８４が予め（他の
実施例では、金属着膜後に）埋設されている他、コイル
保持体９０を積層したときに、金属９２が当接する位置
には、表面から裏面へ貫通する金属８２が独立して埋設
されている。従って、コイル保持体８０、９０の積層状
態における各金属８１、８２、８４、９１、９２の接続
状態は図８に示されるように、金属８１、９１が接続さ
れ、金属８２、９２が接続される。そして、圧力センサ
として図５の回路に組み込まれ、平面渦巻コイル９３は
ダイヤフラムに近い故にコイルＬ１として、平面渦巻コ
イル８３はダイヤフラムに遠い故にコイルＬ２として、
それぞれ機能する。すなわち測定室９側の圧力が変化し
ダイヤフラム８が変位すると、このダイヤフラム８に近
い側のコイルＬ１のインピーダンスが遠い方のコイルＬ
２のインピーダンスより多く変化する。この変化により
生じるブリッジ回路の不平衡による電位差を差動増幅器
２で検出する。なお、平面コイル８３の渦の巻き方向と
平面コイル９３の渦の巻き方向とは、それぞれによる磁
界が打ち消されないように、逆巻きにされる。
エハーで構成され、その表面には金属の平面コイル９３
が、図１の実施例と同様の手法により形成されている。
中央部と終端部とには、表面から裏面へ貫通する金属９
１、９２が予め埋設されている。コイル保持体８０は、
基本的に図１のコイル保持体１１と同一構成のコイル保
持体であるが、平面渦巻コイル８３の中央部と終端部と
に表面から裏面へ貫通する金属８１、８４が予め（他の
実施例では、金属着膜後に）埋設されている他、コイル
保持体９０を積層したときに、金属９２が当接する位置
には、表面から裏面へ貫通する金属８２が独立して埋設
されている。従って、コイル保持体８０、９０の積層状
態における各金属８１、８２、８４、９１、９２の接続
状態は図８に示されるように、金属８１、９１が接続さ
れ、金属８２、９２が接続される。そして、圧力センサ
として図５の回路に組み込まれ、平面渦巻コイル９３は
ダイヤフラムに近い故にコイルＬ１として、平面渦巻コ
イル８３はダイヤフラムに遠い故にコイルＬ２として、
それぞれ機能する。すなわち測定室９側の圧力が変化し
ダイヤフラム８が変位すると、このダイヤフラム８に近
い側のコイルＬ１のインピーダンスが遠い方のコイルＬ
２のインピーダンスより多く変化する。この変化により
生じるブリッジ回路の不平衡による電位差を差動増幅器
２で検出する。なお、平面コイル８３の渦の巻き方向と
平面コイル９３の渦の巻き方向とは、それぞれによる磁
界が打ち消されないように、逆巻きにされる。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
平面渦巻コイルを用いてダイヤフラムに渦電流を生じさ
せる構成であり、平面渦巻きコイルによる磁界は極めて
強く、これによりコイルのインピーダンス変化が大きく
高感度なセンサを提供することができる。更に、コイル
をウエハー上に金属を着膜しフォトエッチングにより形
成するので、均一な特性のセンサを提供でき、コストを
低下出来る利点がある。また、フォトエッチング技術に
より小形で高感度なセンサを提供出来る。
平面渦巻コイルを用いてダイヤフラムに渦電流を生じさ
せる構成であり、平面渦巻きコイルによる磁界は極めて
強く、これによりコイルのインピーダンス変化が大きく
高感度なセンサを提供することができる。更に、コイル
をウエハー上に金属を着膜しフォトエッチングにより形
成するので、均一な特性のセンサを提供でき、コストを
低下出来る利点がある。また、フォトエッチング技術に
より小形で高感度なセンサを提供出来る。
【図１】本発明の実施例に係る圧力センサの断面図。
【図２】本発明の実施例に係る圧力センサの要部斜視
図。
図。
【図３】平面渦巻コイルの磁界を計算するための参考
図。
図。
【図４】ソレノイドコイルの磁界を計算するための参考
図。
図。
【図５】本発明の実施例に係る圧力センサを用いた圧力
検出回路のブロック図。
検出回路のブロック図。
【図６】本発明の実施例と従来例に係る圧力センサの特
性比較用回路を示す図。
性比較用回路を示す図。
【図７】本発明の実施例と従来例に係る圧力センサの比
較特性図。
較特性図。
【図８】本発明の他の実施例に係る圧力センサの断面
図。
図。
【図９】本発明の他の実施例に係る圧力センサの要部斜
視図。
視図。
【図１０】本発明の他の実施例に係る圧力センサの要部
斜視図。
斜視図。
１ センサケース ４ 穴 ５、６ 部材 ７ 溶接部 ８ ダイヤフラム ９ 測定室 １０ 基準圧力室 １１ コイル
保持体 １３ 平面渦巻コイル １４ｂ 金属
（中間タップ） １５ａ〜１５ｃ ハーメッチック端子 １６ ガス抜
きポート
保持体 １３ 平面渦巻コイル １４ｂ 金属
（中間タップ） １５ａ〜１５ｃ ハーメッチック端子 １６ ガス抜
きポート
Claims (5)
- 【請求項１】 内部に室を有すると共に、この室と流体
側とをつなぐ穴部が形成されたセンサケースと、 このセンサケースの前記室内を流体側の室と他方の側の
室とに区分するダイヤフラムと、 前記他方の側の室において、前記ダイヤフラムに対向配
置され、そのダイヤフラム側の表面近傍にコイルが形成
される圧力センサであって、 前記コイルは、平面渦巻状に形成されていることを特徴
とする圧力センサ。 - 【請求項２】 平面渦巻状に形成されたコイルには、中
間タップが形成され、この中間タップから内側のコイル
と前記中間タップから外側のコイルとのインピーダンス
を取り出し可能に構成されていることを特徴とする請求
項１記載の圧力センサ。 - 【請求項３】 内部に室を有すると共に、この室と流体
側とをつなぐ穴部が形成されたセンサケースと、 このセンサケースの前記室内を流体側の室と他方の側の
室とに区分するダイヤフラムと、 前記他方の側の室において、前記ダイヤフラムに対向配
置され、そのダイヤフラム側の表面近傍に形成される第
１のコイルと、 この第１のコイル積層配置された第２のコイルを有する
圧力センサであって、 前記第１及び第２のコイルは、平面渦巻状に形成されて
いることを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項４】 コイルは、セラミック基材から成り、こ
のセラミック基材の表面に金属パターンが着膜されて平
面渦巻状コイルとされていることを特徴とする請求項１
乃至請求項３のいずれか１項記載の圧力センサ。 - 【請求項５】 コイルは、シリコン基材のウエハーから
成り、このウエハーの表面に金属パターンが着膜されて
平面渦巻状コイルとされていることを特徴とする請求項
１乃至請求項４のいずれか１項記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34364492A JPH06174574A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34364492A JPH06174574A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174574A true JPH06174574A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18363126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34364492A Pending JPH06174574A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06174574A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6782754B1 (en) | 2000-07-07 | 2004-08-31 | Rosemount, Inc. | Pressure transmitter for clean environments |
| US7347099B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-03-25 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with external heater |
| US7679033B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-03-16 | Rosemount Inc. | Process field device temperature control |
| US7779698B2 (en) | 2007-11-08 | 2010-08-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor |
| JP2020521970A (ja) * | 2017-05-26 | 2020-07-27 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | コイル作動型圧力センサ |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP34364492A patent/JPH06174574A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6782754B1 (en) | 2000-07-07 | 2004-08-31 | Rosemount, Inc. | Pressure transmitter for clean environments |
| US7347099B2 (en) | 2004-07-16 | 2008-03-25 | Rosemount Inc. | Pressure transducer with external heater |
| US7679033B2 (en) | 2005-09-29 | 2010-03-16 | Rosemount Inc. | Process field device temperature control |
| US7779698B2 (en) | 2007-11-08 | 2010-08-24 | Rosemount Inc. | Pressure sensor |
| JP2020521970A (ja) * | 2017-05-26 | 2020-07-27 | アレグロ・マイクロシステムズ・エルエルシー | コイル作動型圧力センサ |
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