JPH06174738A - ガス式角速度検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ 発熱体によりガス流を加熱して、検出器本体
に角速度が作用したときのガス流の偏向状態をヒートセ
ンサによって検知することにより角速度を検出する際、
ガス流の偏向状態を熱の伝達時間の変化としてとらえる
ようにして、ノイズに強く、温度ドリフトやセンサ特性
の経時変化の影響を受けるようなことなく、高精度に角
速度を検出する。 ［構成］ 発熱体を交流駆動によって加熱する加熱信号
とヒートセンサからのセンサ信号とをそれぞれ方形波に
変換したうえで、その各信号の立上がりエッジの間隔お
よび立下がりエッジの間隔をそれぞれ計測する手段と、
各計測値を用いた所定の演算処理によって熱伝達時間を
わり出して角速度を求める手段とをとるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、検出器本体に作用する
角速度を検出するガス式角速度検出器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のガス式角速度検出器にあ
っては、密閉したケーシング内でノズル孔から感熱抵抗
素子からなるワイヤ状のヒートセンサ対に向かってガス
流を噴出させておき、検出器本体に角速度運動が加わっ
てガス流が偏向したときに、そのガス流の偏向状態をヒ
ートセンサ対が感知して、それにより各ヒートセンサと
ともに構成された抵抗ブリッジ回路からヒートセンサ対
に生ずる抵抗値の変化の差に応じたレート検出信号をと
り出して、そのとき検出器本体に作用している角速度を
検出するようにしている。

【０００３】このようなガス式角速度検出器を自動車，
航空機などの移動体に搭載して、その移動に際して角速
度検出器の検出信号を時間積分していけば移動体の進行
方向の変化分が得られ、それにより移動体の進行方向を
累積的に求めていくことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、従来のガス式角速度検出器では、検出器本体に角
速度が作用してヒートセンサ対にガス流が偏って当たっ
たときに、各ヒートセンサの放熱量が変化することによ
る抵抗値の変化を検出するようにしているので、温度ド
リフトやセンサ特性の経時変化、あるいはノイズ混入な
どの影響を受けやすいということである。

【０００５】また、マイクロコンピュータによってレー
ト検出信号を読み込んで検出器本体に作用している角速
度の大きさおよび方向を求めるようにする場合、レート
検出信号をＡＤ変換したうえでマイクロコンピュータに
読み込ませる必要があり、ＡＤ変換の精度がそのまま角
速度の検出精度に影響を与えてしまうことである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、検出器本体に
角速度が作用したときのガス流の偏向状態を従来のよう
に感熱抵抗素子の抵抗値の変化としてとらえるのではな
く、ガス流による熱の伝達時間の変化としてとらえるべ
く、ガス通路内を流れるガス流を加熱する交流駆動によ
る発熱体と、その発熱体の下流側にヒートセンサとを設
けて、発熱体の加熱信号と、角速度が作用したときのガ
ス流の偏向状態に応じてガス流により伝達される熱をヒ
ートセンサにより検知したときのセンサ信号とのずれの
程度から熱伝達時間を求めて角速度をわり出すようにし
ている。

【０００７】そして、特に本発明では、このような交流
駆動による熱移動検知型のガス式角速度検出器にあっ
て、加熱信号とセンサ信号とをそれぞれ方形波に変換し
たうえで、方形波に変換された加熱信号の立上りエッジ
とセンサ信号の立上りエッジとの間隔Ｔ１および方形波
に変換された加熱信号の立下りエッジとセンサ信号の立
下りエッジとの間隔Ｔ２をそれぞれ計測し、各計測値Ｔ
１，Ｔ２を用いた所定の演算処理によって熱伝達時間を
求めるようにして、角速度の検出をＡＤ変換手段を何ら
用いることなくデジタル的に行わせるようにしている。

【０００８】

【実施例】図１および図２に、本発明に係るガス式角速
度検出器本体の一構成例を示している。

【０００９】同図の構成にあって、ケーシング１は一端
が閉塞され、他端が開放された筒状のものからなってお
り、その開方端の周縁にはフランジ２が形成されてい
る。また、そのケーシング１の横断面形状は円周上を等
分した３箇所が内方に向かって突出した隆起条となって
おり、それらの隆起条と当接する本体部４との間に軸方
向の流路３が形成されている。

【００１０】また、ケーシング１内に収納される本体部
４は、ホルダ部４１と首部４２と筒体部４３とからなっ
ており、そのホルダ部４１によってケーシング１内に封
じ込められたガスをシールドするようにしている。ホル
ダ部４１内にはポンプ室５が形成されており、そのポン
プ室５内にはピエゾプレート６からなるダイアフラム式
のポンプが設けられ、そのポンプ作用によってガスが吐
出口７から流路３内に送り出されるようになっている。

【００１１】流路３内に送り出されたガスは、筒体部４
３の端面の中央部分に形成されたノズル孔８およびその
周囲に複数形成された整流孔９からその筒体部４３の内
部に形成されたガス通路１０内に層流として噴出され、
そのガス通路１０を通過したのちにポンプ室５に戻って
再びポンプ作用によって流路３に送り出されるようにな
っている。

【００１２】そして、ガス通路１０内には、そのガス通
路内を流れるガス流を加熱する交流駆動による発熱体と
しての加熱ワイヤ１１１，１１２と、その加熱ワイヤ１
１１，１１２に対向して、その下流側にワイヤ状のヒー
トセンサ１２１，１２２とが絶縁板１３を介して図示の
ように設置されている。

【００１３】絶縁板１３には、ガス通路１０内を流れる
ガス流が乱れることがないように、ガス流が通過する穴
１４が穿設されている。

【００１４】なお、ケーシング１のフランジ２部分に
は、電源回路，増幅器，検出回路などが実装される回路
基板１５が取り付けられている。図中、１６は検出器本
体を支持する支持筒である。

【００１５】一対のヒートセンサ１２１，１２２は、図
３に示すように、ノズル孔８の中心線−に対して左右対
象となるように配設されており、検出器本体に何ら横方
向の角速度ωが作用しないときにはガス通路１０内に噴
出されたガスがその中心線−に沿ってまっすぐ流れて各
ヒートセンサ１２１，１２２に均等に当たるようになっ
ている。

【００１６】このような状態にあって、検出器本体に横
方向の角速度ωが作用すると、その大きさに応じてガス
通路１０内に噴出されたガス流が図中点線で示すように
偏向して各ヒートセンサ１２１，１２２のところにおい
て中心線−からのずれεを生じ、そのため各ヒートセン
サ１２１，１２２にそれぞれ当たる流量に変化をきたす
ことになる。

【００１７】本発明では、ガス流の偏向によって流量変
化をきたすということは、そのガス流の偏向状態にした
がって各ヒートセンサ１２１，１２２に当たるガス流の
流速が変化することになるという点に着目し、加熱ワイ
ヤ１１１，１１２によりガス流を加熱して、ガス流によ
り伝達される熱を、検出器本体に角速度が作用したとき
のガス流の偏向状態に応じた時間差をもって各ヒートセ
ンサ１２１，１２２によってそれぞれ検知するようにし
ている。

【００１８】図３に示すように、検出器本体に角速度が
何ら作用していなくてガス流がまっすぐに流れて各ヒー
トセンサ１２１，１２２に均等に当たっているときに
は、ガス流が加熱ワイヤ１１１，１１２によって加熱さ
れたのち、その加熱されたガス流が各ヒートセンサ１２
１，１２２に達してその伝達熱が検知されるまでの時間
が一定で、そのときの両者の検知時間（基準時間）が等
しくなっている。

【００１９】いま、例えば、図３に示すように、図中矢
印に示す方向に角速度ωが作用したとき、ガス流がヒー
トセンサ１２１側に偏向して、その偏向の程度に応じて
ガス通路１０内におけるガス流量分布が変化して、ヒー
トセンサ１２１側の流速が上がってそれによる熱の検知
時間が早くなるとともに、その分ヒートセンサ１２２側
の流速が下がってそれによる熱の検知時間が遅れ、それ
により検知時間の基準からのずれの程度によってそのと
き作用している角速度ωの大きさが、また、各ヒートセ
ンサ１２１，１２２の検知時間が早くなるか遅くなるか
によってそのとき作用している角速度ωの方向が検出で
きる。

【００２０】ここでは、加熱ワイヤ１１１，１１２に正
弦波による交流電流を供給してそれを発熱駆動させ、そ
の各加熱ワイヤ１１１，１１２の加熱信号（正弦波交流
信号）を基準信号として各ヒートセンサ１２１，１２２
の出力を増幅したセンサ信号と比較して、その両信号の
位相差から検出器本体に作用する角速度ωの大きさおよ
び向きを検出するようにしている。

【００２１】その際、加熱ワイヤ１１１，１１２の加熱
信号および各ヒートセンサ１２１，１２２のセンサ信号
をそれぞれゼロクロスコンパレータによって方形波に変
換したうえで、各信号のゼロクロス点をそれぞれ検出し
て、各ヒートセンサ１２１，１２２のセンサ信号の何れ
の位相が進んでいるかを検出することにより、検出器本
体の左右方向に作用する角速度ωの方向を判定する。

【００２２】そして、加熱ワイヤ１１１，１１２の加熱
信号におけるゼロクロス点と位相が進んでいるまたは遅
れている方のヒートセンサ１１１または１１２のセンサ
信号のゼロクロス点との間隔を計測して、検出器本体に
作用する角速度ωの大きさを判定する。

【００２３】図４に、そのときの加熱ワイヤ１１１，１
１２の加熱信号ＨＳおよびヒートセンサ１２１，１２２
の各センサ信号Ｓ１，Ｓ２をそれぞれゼロクロスコンパ
レータを用いて方形波に変換したときの各信号ＨＳ′，
Ｓ１′，Ｓ２′の位相関係の一例を示している。

【００２４】加熱電流の２乗が発生熱量となるので、各
センサ信号Ｓ１，Ｓ２の周波数が加熱信号ＨＳのほぼ２
倍となっている。

【００２５】ここでは、図３に示す方向に角速度ωが作
用してヒートセンサ１２２のセンサ信号Ｓ２よりもヒー
トセンサ１２１のセンサ信号Ｓ１の方の位相が進んでい
る場合を示している。

【００２６】いま、図５に示す関係にあって、加熱信号
ＨＳ′の立上がりエッジと一方のセンサ信号Ｓ１′の立
上がりエッジ（または立下がりエッジ）、または加熱信
号ＨＳ′の立下がりエッジと一方のセンサ信号Ｓ１′の
立上がりエッジ（または立下がりエッジ）との間隔Ｔ１
の時間を計測することによって、角速度ωの大きさを求
めることができるが、この場合、周波数の異なる２つの
信号間の位相差を求めなければならないために、以下の
ような問題が生ずる。

【００２７】すなわち、ヒートセンサ１２１の出力を増
幅器によって増幅してとり出したセンサ信号Ｓ１をゼロ
クロスコンパレータによって方形波に変換すると、増幅
器やゼロクロスコンパレータなどのオフセットドリフト
により、図６に示すように、その変換レベルがドリフト
分δだけずれてしまう。そのため、方形波の立上がりエ
ッジではｔｄだけ位相が遅れ、その立下がりエッジでは
ｔｄだけ位相が進むことになる。

【００２８】したがって、前述のようにセンサ信号Ｓ
１′の立上がりまたは立下がりの一方のエッジのみを用
いて加熱信号ＨＳ′とのあいだの位相差を求めるので
は、前述したセンサ信号Ｓ１′のオフセットドリフトに
よる位相のずれｔｄ分が誤差要因となってしまう。

【００２９】そのため、本発明では、センサ信号Ｓ１′
の立上がりまたは立下がりの一方のエッジのみを用いる
のではなく、その立上がりおよび立下がりの両方のエッ
ジを用いて加熱信号ＨＳ′との比較を行わせて両信号の
位相差を求めるようにすれば、センサ信号Ｓ１′のオフ
セットドリフトによる位相のずれｔｄを相殺できること
に着目し、以下の手段をとるようにしたことを特徴とし
ている。

【００３０】本発明では、図７に示すように、基準とな
る加熱信号ＨＳに対する一方のセンサ信号Ｓ１のずれの
程度から熱伝達時間を求めて検出器本体に作用する角速
度ωをわり出す際、加熱量のピーク点ｐ１がヒートセン
サ１２１によって検出されてセンサ信号Ｓ１のピーク点
ｐ２が生ずるまでの点ｐ１と点ｐ２との間が熱伝達時間
Ｔとなるので、加熱信号ＨＳ′の立上がりエッジとセン
サ信号Ｓ１′の立上がりエッジとの間隔Ｔ１、および加
熱信号ＨＳ′の立下がりエッジとセンサ信号Ｓ１′の立
下がりエッジとの間隔Ｔ２をそれぞれ計測し、それら各
計測値Ｔ１，Ｔ２を用いた演算処理によって熱伝達時間
Ｔを求めるようにしている。

【００３１】ここで、センサ信号Ｓ１′の半周期をＴｓ
とすると、 Ｔ１＝Ｔ＋Ｔｓ／２ …（１） Ｔ２＝Ｔ−Ｔｓ／２ …（２） によって与えられる。

【００３２】したがって、 （Ｔ１＋Ｔ２）／２＝Ｔ …（３） となり、各計測値Ｔ１，Ｔ２にもとづいて（３）式を計
算することによって熱伝達時間Ｔを求めることができ
る。

【００３３】その際、熱伝達時間Ｔがセンサ信号Ｓ１′
のｎ周期（＝２ｎ・Ｔｓ）だけずれている場合には、そ
の遅れ時間を考慮して、 Ｔ＝（Ｔ１＋Ｔ２）／２＋２ｎ・Ｔｓ …（４） とすればよい。

【００３４】また、加熱信号ＨＳ′とセンサ信号Ｓ１′
との位相関係が図８に示すようになる場合があり、この
場合にはセンサ信号Ｓ１′の立下がりエッジとの間隔Ｔ
２が負となって、 Ｔ＝（Ｔ１−Ｔ２）／２ …（５） として求められる。

【００３５】加熱信号ＨＳ′の立上がりエッジとセンサ
信号Ｓ１′の立上がりエッジとの間隔Ｔ１、および加熱
信号ＨＳ′の立下がりエッジとセンサ信号Ｓ１′の立下
がりエッジとの間隔Ｔ２をそれぞれカウンタを用いて計
測するようにする際、各信号ＨＳ′，Ｓ１′間に何ら制
限を課さない場合、Ｔ１，Ｔ２の各値にそれぞれ正，負
の符号を考慮する必要があるので、それぞれ専用のアッ
プダウンカウンタを用いることが望ましい。

【００３６】しかし、各信号ＨＳ′，Ｓ１′間に制限を
課して、図９に示すように、両信号の位相関係が（ａ）
〜（ｃ）の範囲内にあるようにすれば、Ｔ１，Ｔ２の各
値は必ず正となり、アップカウンタのみによってＴ１，
Ｔ２の各値を求めることができるようになる。しかも、
Ｔ１とＴ２とを同一カウンタによって連続的にカウント
することによって、Ｔ１＋Ｔ２を直接求めることができ
るようになる。

【００３７】ここで、（ａ）は検出器本体の左方向に角
速度ωが作用したときの上限の状態を、（ｂ）は検出器
本体に何ら角速度ωが作用しないときの状態を、（ｃ）
は検出器本体の右方向に角速度ωが作用したときの上限
の状態を示している。

【００３８】その場合、カウントアップのみで計測範囲
を最大にとるには、検出器本体に角速度ωが何ら作用し
ていないときに、両信号ＨＳ′，Ｓ１′の位相関係が図
９に示す（ｂ）の状態にあることが必要である。

【００３９】そのためには、加熱信号ＨＳ′もしくはセ
ンサ信号Ｓ１′の位相をシフトレジスタなどを用いて一
定にずらせばよく、容易に実現できる。

【００４０】例えば、加熱信号ＨＳ′の位相をＴｄだけ
遅らせると、 Ｔ１＝Ｔ＋Ｔｓ／２−Ｔｄ …（６） Ｔ２＝Ｔ−Ｔｓ／２−Ｔｄ …（７） となり、 Ｔ＝（Ｔ１−Ｔ２）／２＋Ｔｄ …（８） として熱移動時間Ｔが求められる。

【００４１】以上の説明は、加熱信号ＨＳ′またはセン
サ信号Ｓ１′の位相を反転させたときにも同様である。

【００４２】なお、本発明によれば、ヒートセンサ１２
１，１２２を必ずしも一対に設ける必要がなく、その何
れか一方を省略しても角速度ωの検出が可能である。

【００４３】そして、ヒートセンサ１２１，１２２のう
ちの一方の省略に応じて、対向する加熱ワイヤ１１１，
１１２のうちの一方を省略することができる。

【００４４】図１０は、本発明を具体的に実施するため
の一構成例を示している。

【００４５】ここでは、加熱信号ＨＳ′の立上がりエッ
ジとセンサ信号Ｓ１′の立上がりエッジとの間隔Ｔ１、
および加熱信号ＨＳ′の立下がりエッジとセンサ信号Ｓ
１′の立下がりエッジとの間隔Ｔ２を１つのカウンタを
用いてアップ方向に連続的にカウントすることによって
熱伝達時間Ｔを計測して検出器本体の左右方向に作用す
る角速度ωの大きさを求めるとともに、加熱信号ＨＳ′
に対してセンサ信号Ｓ１′の位相がその基準位置から進
んでいるか遅れているか検出して角速度ωの方向を判定
するようにしている。

【００４６】その構成にあって、まず、ゼロクロスコン
パレータ２１，２２において、加熱信号ＨＳおよびセン
サ信号Ｓ１が方形波信号ＨＳ′およびＳ１′にそれぞれ
変換される。

【００４７】次いで、カウント期間決定部２３におい
て、加熱信号ＨＳ′の立上がりエッジとセンサ信号Ｓ
１′の立上がりエッジとが検出されて、カウンタ２４に
おいてその各立上がりエッジの間隔Ｔ１の時間を計測さ
せるべく、そのカウンタ２４にスタート，ストップの制
御信号が与えられる。

【００４８】続けて、カウント期間決定部２３におい
て、加熱信号ＨＳ′の立下がりエッジとセンサ信号Ｓ
１′の立下がりエッジとが検出されて、カウンタ２４に
おいてその各立下がりエッジの間隔Ｔ２の時間を計測さ
せるべく、そのカウンタ２４にスタート，ストップの制
御信号が与えられる。

【００４９】しかして、カウンタ２４は、スタート，ス
トップの制御信号にしたがって基準クロックのカウント
をアップ方向に連続的に行うことによって、加熱信号Ｈ
Ｓ′の立上がりエッジとセンサ信号Ｓ１′の立上がりエ
ッジとの間隔Ｔ１と加熱信号ＨＳ′の立下がりエッジと
センサ信号Ｓ１′の立下がりエッジとの間隔Ｔ２との和
（Ｔ１＋Ｔ２）を計測する。

【００５０】また、データラッチおよびカウンタクリア
信号発生部２５において、センサ信号Ｓ１′の立下がり
エッジが検出されて、カウンタ２４におけるカウント動
作の終了時点でレジスタ２６にデータラッチ信号が与え
られて、そのときのカウンタ２４のカウント値がレジス
タ２６に記憶される。

【００５１】そのレジスタ２６の記憶内容が角速度検出
データ（デジタルデータ）ＲＤとしてマイクロコンピュ
ータからなる信号処理部２８に与えられて、そこで熱伝
達時間Ｔが算出されて、そのとき検出器本体に作用する
角速度ωの大きさがわり出される。

【００５２】同時に、方向判定部２７において、加熱信
号ＨＳ′に対してセンサ信号Ｓ１′の位相がその基準位
置から進んでいるか遅れているかが検出されて、その検
出結果に応じた方向信号ＤＳを信号処理部２８に出力す
る。信号処理部２８は、その与えられた方向信号ＤＳに
したがって、そのとき検出器本体に作用している角速度
ωの方向を判定する。

【００５３】データラッチおよびカウンタクリア信号発
生部２５から出されるデータラッチおよびリセット信号
は、信号処理部２８における割込み信号としても用いら
れる。

【００５４】

【発明の効果】以上、本発明によるガス式角速度検出器
は、発熱体により加熱されたガス流が検出器本体に作用
する角速度により偏向したときの熱の移動状態をヒート
センサによって検知するようにした熱移動検知型のもの
にあって、発熱体の交流駆動による加熱信号とヒートセ
ンサからのセンサ信号とをそれぞれ方形波に変換したう
えで、各信号のエッジ間隔から熱伝達時間をわり出して
角速度の大きさを求めるようにしているので、角速度を
デジタル的に検出することができ、ノイズに強く、温度
ドリフトやセンサ特性の経時変化の影響を受けることな
く、高分解能をもって角速度を精度良く検出することが
できるようになる。

【００５５】その際、特に本発明によれば、加熱信号と
センサ信号とをそれぞれ方形波に変換したときの各信号
の立上がりエッジの間隔とその立下がりエッジの間隔と
の両方を考慮して、その両方の間隔を計測した結果から
熱伝達時間をわり出して角速度の大きさを求めるように
しているので、方形波に変換されたセンサ信号のオフセ
ットドリフトによる位相のずれが誤差要因となることな
く、角速度の検出を精度良く行わせることができるとい
う利点を有している。

【００５６】そして、本発明によれば、加熱信号のピー
クとセンサ信号のピークとの時間差から熱伝達時間を計
測するようにしているので、角速度の検出を適正に行わ
せることができるという利点を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るガス式角速度検出器の一構成例を
示す平断面図である。

【図２】同実施例におけるガス通路部分の簡略図であ
る。

【図３】ガス通路内におけるガス流の状態を示す平面図
である。

【図４】発熱体の加熱信号およびヒートセンサ対の各セ
ンサ信号をそれぞれ方形波に変換した各信号の位相関係
の一例を示す図である。

【図５】発熱体の加熱信号および一方のヒートセンサか
らのセンサ信号をそれぞれ方形波に変換したときの各信
号の一例を示す図である。

【図６】方形波の変換レベルがずれたときのセンサ信号
の変換状態を示す図である。

【図７】加熱信号とセンサ信号との各ピーク点の関係お
よびそれぞれ方形波に変換された信号の位相関係の一例
を示す図である。

【図８】発熱体の加熱信号およびヒートセンサ対の各セ
ンサ信号をそれぞれ方形波に変換した各信号の位相関係
の他の例を示す図である。

【図９】左，右方向に加わる加速度の大きさが制限され
たときの加熱信号とセンサ信号とのあいだの位相の変化
状態を示す図である。

【図１０】本発明を具体的に実施するための一構成例を
示すブロック図である。

【符号の説明】

１０ ガス通路 １１１加熱ワイヤ １１２加熱ワイヤ １２１ヒートセンサ １２２ ヒートセンサ ２１ ゼロクロスコンパレータ ２２ ゼロクロスコンパレータ ２３ カウント期間決定部 ２４ カウンタ ２５ データラッチおよびカウンタクリア信号発生部 ２６ レジスタ ２７ 方向判定部 ２８ 信号処理部 ＨＳ 加熱信号 Ｓ１ センサ信号 Ｓ２ センサ信号 ＨＳ′ 方形波に変換された加熱信号 Ｓ１′ 方形波に変換されたセンサ信号

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 発熱体の交流駆動によってガス通路内を
   流れるガス流を加熱する加熱信号と、検出器本体に角速
   度が作用したときのガス流の偏向状態に応じてガス流に
   より伝達される熱を発熱体の下流側に設けられたヒート
   センサを介して検知したセンサ信号とのずれの程度から
   熱伝達時間を求めて前記角速度をわり出すようにしたガ
   ス式角速度検出器であって、前記加熱信号とセンサ信号
   とをそれぞれ方形波に変換する手段と、方形波に変換さ
   れた加熱信号の立上りエッジとセンサ信号の立上りエッ
   ジとの間隔Ｔ１および方形波に変換された加熱信号の立
   下りエッジとセンサ信号の立下りエッジとの間隔Ｔ２を
   計測する手段と、各計測値Ｔ１，Ｔ２を用いた所定の演
   算処理によって熱伝達時間を求める手段とをとるように
   したことを特徴とするガス式角速度検出器。
2. 【請求項２】 各計測値Ｔ１，Ｔ２を用いた所定の演算
   処理によって、加熱信号のピークとセンサ信号のピーク
   との時間差を求めるようにしたことを特徴とする前記第
   １項の記載によるガス式角速度検出器。
3. 【請求項３】 方形波に変換された加熱信号の立上りエ
   ッジとセンサ信号の立上りエッジとの間隔Ｔ１および方
   形波に変換された加熱信号の立下りエッジとセンサ信号
   の立下リエッジとの間隔Ｔ２が常に正の値となるように
   加熱信号とセンサ信号との位相間に制限を課して、１つ
   のカウンタによって間隔Ｔ１と間隔Ｔ２とをアップ方向
   に連続的にカウントすることによって各間隔の和（Ｔ１
   ＋Ｔ２）を計測し、その計測値（Ｔ１＋Ｔ２）を用いた
   所定の演算処理によって熱伝達時間を求めるようにした
   ことを特徴とする前記第１項または第２項の記載による
   ガス式角速度検出器。