JPH06176407A - 成膜装置 - Google Patents
成膜装置Info
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- JPH06176407A JPH06176407A JP34993192A JP34993192A JPH06176407A JP H06176407 A JPH06176407 A JP H06176407A JP 34993192 A JP34993192 A JP 34993192A JP 34993192 A JP34993192 A JP 34993192A JP H06176407 A JPH06176407 A JP H06176407A
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- Japan
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- tray
- cam
- film forming
- disk
- chamber
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 8
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 安価にして真空排気時間を短縮する。
【構成】 １個の駆動源により連係して回転する第１カ
ム２８，第２カム３６及び第３カム４１と、第１カム２
８の回転により先端部がロードロック室２と成膜室１間
を移行する搬送アーム７と、第２カム３６の回転により
ロードロック室２で上下動し，ディスク１６を載置した
トレイ１５を先端部に受け渡しするトレイ載置体１３
と、成膜室１に配設されたマスク２４と、第３カム４１
の回転により成膜室１で上下動し，前記先端部のトレイ
１５を押し上げマスク２４との間で挟持するホルダとを
備える。
ム２８，第２カム３６及び第３カム４１と、第１カム２
８の回転により先端部がロードロック室２と成膜室１間
を移行する搬送アーム７と、第２カム３６の回転により
ロードロック室２で上下動し，ディスク１６を載置した
トレイ１５を先端部に受け渡しするトレイ載置体１３
と、成膜室１に配設されたマスク２４と、第３カム４１
の回転により成膜室１で上下動し，前記先端部のトレイ
１５を押し上げマスク２４との間で挟持するホルダとを
備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンパクトディスク，
ビデオディスク等のディスクのロードロック室での搬送
アームへの受け渡し、ディスクの成膜室への移行及び成
膜時のディスクの保持等を行う成膜装置に関する。
ビデオディスク等のディスクのロードロック室での搬送
アームへの受け渡し、ディスクの成膜室への移行及び成
膜時のディスクの保持等を行う成膜装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種成膜装置は、図３に示す構
成になっている。同図において、１は成膜室、２はゲー
トバルブ３を介して成膜室１の一側に設けられたロード
ロック室、４は磁性流体シール５を介して成膜室１に導
入された支軸、６は支軸４を回転する第１サーボモー
タ、７は支軸４の上端部に固着された搬送アーム、８は
搬送アーム７の先端に形成されたＣ字形の受体であり、
第１サーボモータ６の回転により支軸４，搬送アーム７
を介し、ロードロック室２の受け渡し位置と成膜室１の
成膜位置との間を移行する。
成になっている。同図において、１は成膜室、２はゲー
トバルブ３を介して成膜室１の一側に設けられたロード
ロック室、４は磁性流体シール５を介して成膜室１に導
入された支軸、６は支軸４を回転する第１サーボモー
タ、７は支軸４の上端部に固着された搬送アーム、８は
搬送アーム７の先端に形成されたＣ字形の受体であり、
第１サーボモータ６の回転により支軸４，搬送アーム７
を介し、ロードロック室２の受け渡し位置と成膜室１の
成膜位置との間を移行する。
【０００３】９は第２サーボモータ１０により回転する
ボールねじ、１１はボールねじ９に螺合しボールねじ９
の回転により昇降する昇降板、１２は昇降板１１に植設
されロードロック室２に導入された支杆、１３は支杆１
２の上端に固着されロードロック室２に設けられたトレ
イ載置体、１４は支杆１２の基部を包囲し昇降板１１と
ロードロック室２間に設けられたベローズ、１５はディ
スク１６を載置し載置体１３に載置されたトレイ、１７
はトレイ１５の下面に突設され受体８と係合する突部、
１８はトレイ１５の中央部に透設された透孔である。
ボールねじ、１１はボールねじ９に螺合しボールねじ９
の回転により昇降する昇降板、１２は昇降板１１に植設
されロードロック室２に導入された支杆、１３は支杆１
２の上端に固着されロードロック室２に設けられたトレ
イ載置体、１４は支杆１２の基部を包囲し昇降板１１と
ロードロック室２間に設けられたベローズ、１５はディ
スク１６を載置し載置体１３に載置されたトレイ、１７
はトレイ１５の下面に突設され受体８と係合する突部、
１８はトレイ１５の中央部に透設された透孔である。
【０００４】１９はボールねじ２０を回転する第３サー
ボモータ、２１はボールねじ２０に螺合しボールねじ２
０の回転により昇降する昇降板、２２は昇降板２１に植
設され成膜室１に導入された昇降軸であり、昇降軸２２
の上端部にホルダが回転自在に設けられている。２３は
昇降軸２２の基部を包囲し昇降板２１と成膜室１間に設
けられたベローズ、２４は成膜位置に位置し支持杆２５
により支持されたマスクであり、マスク２４の下面に回
転手段が設けられている。
ボモータ、２１はボールねじ２０に螺合しボールねじ２
０の回転により昇降する昇降板、２２は昇降板２１に植
設され成膜室１に導入された昇降軸であり、昇降軸２２
の上端部にホルダが回転自在に設けられている。２３は
昇降軸２２の基部を包囲し昇降板２１と成膜室１間に設
けられたベローズ、２４は成膜位置に位置し支持杆２５
により支持されたマスクであり、マスク２４の下面に回
転手段が設けられている。
【０００５】つぎに、ディスク１６の移行について説明
する。まず、ゲートバルブ３が閉じられた状態でロード
ロック室２の蓋が開けられ、上方に位置したトレイ載置
体１３上にディスク１６が載置され、蓋が閉められて真
空排気される。つぎに、ゲートバルブ３が開けられ、第
１サーボモータ６が回転し、搬送アーム７の受体８がロ
ードロック室２の受け渡し位置に導入する。なお、トレ
イ載置体１３には搬送アーム７の移行を可能にする開口
が形成されている。この状態で、第２サーボモータ１０
が駆動され、ボールねじ９，昇降板１１，支杆１２，ト
レイ載置体１３を介してトレイ１５が下降し、トレイ１
５が受体８に載置される。
する。まず、ゲートバルブ３が閉じられた状態でロード
ロック室２の蓋が開けられ、上方に位置したトレイ載置
体１３上にディスク１６が載置され、蓋が閉められて真
空排気される。つぎに、ゲートバルブ３が開けられ、第
１サーボモータ６が回転し、搬送アーム７の受体８がロ
ードロック室２の受け渡し位置に導入する。なお、トレ
イ載置体１３には搬送アーム７の移行を可能にする開口
が形成されている。この状態で、第２サーボモータ１０
が駆動され、ボールねじ９，昇降板１１，支杆１２，ト
レイ載置体１３を介してトレイ１５が下降し、トレイ１
５が受体８に載置される。
【０００６】つぎに、第１サーボモータ６の逆回転によ
り搬送アーム７が逆回転し、受体８が成膜位置に移行す
る。そして、第３サーボモータ６の駆動により昇降軸２
２が上昇し、昇降軸２２の先端部のホルダがトレイ１５
の透孔１８に係止してトレイ１５を上昇し、トレイ１５
とともにディスク１６をマスク２４とホルダにより挟持
し、マスク２４内の回転手段によりトレイ１５とともに
ディスク１６が回転し、成膜が行われる。この間、アー
ム７はＣ字形の受体８の開口により昇降軸２２から離れ
て待機する。
り搬送アーム７が逆回転し、受体８が成膜位置に移行す
る。そして、第３サーボモータ６の駆動により昇降軸２
２が上昇し、昇降軸２２の先端部のホルダがトレイ１５
の透孔１８に係止してトレイ１５を上昇し、トレイ１５
とともにディスク１６をマスク２４とホルダにより挟持
し、マスク２４内の回転手段によりトレイ１５とともに
ディスク１６が回転し、成膜が行われる。この間、アー
ム７はＣ字形の受体８の開口により昇降軸２２から離れ
て待機する。
【０００７】成膜終了後は、前記と逆の動作によりディ
スク１６，トレイ１５がロードロック室２に移行され、
載置体１３に載置され、ゲートバルブ３が閉じられ、ロ
ードロック室２がリークされて蓋が開けられる。
スク１６，トレイ１５がロードロック室２に移行され、
載置体１３に載置され、ゲートバルブ３が閉じられ、ロ
ードロック室２がリークされて蓋が開けられる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記成膜装置の
場合、搬送アーム７の回転，トレイ載置体１３の昇降及
び昇降軸２２の昇降の３つの動作に、それぞれ１台ずつ
のサーボモータ６，１０，１９を備え、かつ、サーボモ
ータ１台ずつにサーボアンプ等の制御ユニットを要し、
モータの電源容量も大きく、しかも、３つの動作を連係
させるためのシーケンサも要し、ソフト，ハードの両面
できわめて高価になるという問題点がある。
場合、搬送アーム７の回転，トレイ載置体１３の昇降及
び昇降軸２２の昇降の３つの動作に、それぞれ１台ずつ
のサーボモータ６，１０，１９を備え、かつ、サーボモ
ータ１台ずつにサーボアンプ等の制御ユニットを要し、
モータの電源容量も大きく、しかも、３つの動作を連係
させるためのシーケンサも要し、ソフト，ハードの両面
できわめて高価になるという問題点がある。
【０００９】その上、第２サーボモータ１０の回転を昇
降運動に変換するためのベローズ１４を、ロードロック
室２に連通して用いているため、室内表面積が大きくな
り、真空排気に長時間を要するという問題点がある。本
発明は、前記の点に留意し、高価なサーボモータを使用
せず、真空排気時間を短縮し、きわめて安価な成膜装置
を提供することを目的とする。
降運動に変換するためのベローズ１４を、ロードロック
室２に連通して用いているため、室内表面積が大きくな
り、真空排気に長時間を要するという問題点がある。本
発明は、前記の点に留意し、高価なサーボモータを使用
せず、真空排気時間を短縮し、きわめて安価な成膜装置
を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の成膜装置は、１個の駆動源により連係して
回転する第１カム，第２カム及び第３カムと、前記第１
カムの回転により先端部がロードロック室と成膜室間を
移行する搬送アームと、前記第２カムの回転により前記
ロードロック室で上下動し，ディスクを載置したトレイ
を前記先端部に受け渡しするトレイ載置体と、前記成膜
室に配設されたマスクと、前記第３カムの回転により前
記成膜室で上下動し，前記先端部のトレイを押し上げ前
記マスクとの間で挟持するホルダとを備えたものであ
る。
に、本発明の成膜装置は、１個の駆動源により連係して
回転する第１カム，第２カム及び第３カムと、前記第１
カムの回転により先端部がロードロック室と成膜室間を
移行する搬送アームと、前記第２カムの回転により前記
ロードロック室で上下動し，ディスクを載置したトレイ
を前記先端部に受け渡しするトレイ載置体と、前記成膜
室に配設されたマスクと、前記第３カムの回転により前
記成膜室で上下動し，前記先端部のトレイを押し上げ前
記マスクとの間で挟持するホルダとを備えたものであ
る。
【００１１】
【作用】前記のように構成された本発明の成膜装置は、
１個の駆動源により３個のカムを連係して回転させ、そ
れぞれのカムにより、搬送アームの回転，ロードロック
室におけるディスクの受け渡し，成膜室におけるディス
クの挟持の３つの動作を行うことができ、駆動源に安価
な１台のロータリーアクチュエータを使用することがで
き、かつ、動作に軸の昇降，即ち軸方向の移動を要しな
いため、室内表面積が小さく、真空排気時間が短縮され
る。
１個の駆動源により３個のカムを連係して回転させ、そ
れぞれのカムにより、搬送アームの回転，ロードロック
室におけるディスクの受け渡し，成膜室におけるディス
クの挟持の３つの動作を行うことができ、駆動源に安価
な１台のロータリーアクチュエータを使用することがで
き、かつ、動作に軸の昇降，即ち軸方向の移動を要しな
いため、室内表面積が小さく、真空排気時間が短縮され
る。
【００１２】
【実施例】１実施例について切断正面図の図１及び平面
図の図２を参照して説明する。それらの図において図３
と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。２６は
空気作動式のロータリーアクチュエータ、２７はアクチ
ュエータ２６により回転される第１軸、２８は第１軸２
７の先端に固着された第１カム、２９はボールねじであ
り、磁性流体シール５を介して成膜室１に導入された支
軸４の基部に固着されている。３０はボールねじ２９に
螺合したナット、３１はナット３０に固着され下面に第
１カム２８が当接した上下板である。
図の図２を参照して説明する。それらの図において図３
と同一符号は同一もしくは相当するものを示す。２６は
空気作動式のロータリーアクチュエータ、２７はアクチ
ュエータ２６により回転される第１軸、２８は第１軸２
７の先端に固着された第１カム、２９はボールねじであ
り、磁性流体シール５を介して成膜室１に導入された支
軸４の基部に固着されている。３０はボールねじ２９に
螺合したナット、３１はナット３０に固着され下面に第
１カム２８が当接した上下板である。
【００１３】３２は第１軸２７に固着された第１プー
リ、３３はロードロック室２に磁性流体シール５を介し
て導入された第２軸、３４は第２軸３３の基端に固着さ
れた第２プーリ、３５は第１プーリ３２と第２プーリ３
４間に巻回された歯付きタイミングベルト、３６は第２
軸３３の先端に固着された第２カムであり、トレイ載置
体１３の下面に当接している。
リ、３３はロードロック室２に磁性流体シール５を介し
て導入された第２軸、３４は第２軸３３の基端に固着さ
れた第２プーリ、３５は第１プーリ３２と第２プーリ３
４間に巻回された歯付きタイミングベルト、３６は第２
軸３３の先端に固着された第２カムであり、トレイ載置
体１３の下面に当接している。
【００１４】３７は第１軸２７に固着された第３プー
リ、３８は成膜室１に磁性流体シール５を介して導入さ
れた第３軸、３９は第３軸３８の基端に固着された第４
プーリ、４０は第３プーリ３７と第４プーリ３９間に巻
回された歯付きタイミングベルト、４１は第３軸３８の
先端に固着された第３カム、４２は昇降軸２２の下端に
固着された昇降板であり、昇降板４２の下面に第３カム
４１が当接している。
リ、３８は成膜室１に磁性流体シール５を介して導入さ
れた第３軸、３９は第３軸３８の基端に固着された第４
プーリ、４０は第３プーリ３７と第４プーリ３９間に巻
回された歯付きタイミングベルト、４１は第３軸３８の
先端に固着された第３カム、４２は昇降軸２２の下端に
固着された昇降板であり、昇降板４２の下面に第３カム
４１が当接している。
【００１５】つぎに、前記実施例の動作について説明す
る。アクチュエータ２６の１回転の間に、つぎの順によ
りディスク１６がロードロック室２から成膜室１へ移行
され、成膜される。まず、第１軸２７の回転による第１
カム２８の回転により、上下板３１，ナット３０が上動
し、ボールねじ２９が回転し、支軸４，搬送アーム７が
回転し、アーム７の先端の受体８がロードロック室２の
受け渡し位置に導入され、上動位置にあるトレイ１５の
下方に位置する。
る。アクチュエータ２６の１回転の間に、つぎの順によ
りディスク１６がロードロック室２から成膜室１へ移行
され、成膜される。まず、第１軸２７の回転による第１
カム２８の回転により、上下板３１，ナット３０が上動
し、ボールねじ２９が回転し、支軸４，搬送アーム７が
回転し、アーム７の先端の受体８がロードロック室２の
受け渡し位置に導入され、上動位置にあるトレイ１５の
下方に位置する。
【００１６】つぎに、第１軸２７の回転による第１プー
リ３２，ベルト３５，第２プーリ３４，第２軸３３の回
転により、第２カム３６が回転し、トレイ載置体１３が
下降し、トレイ１５，ディスク１６が受体８に載置され
る。そして、第１カム２８により上下板３１が下降し、
アーム７が逆回転し、受体８が成膜室１の成膜位置に移
行する。
リ３２，ベルト３５，第２プーリ３４，第２軸３３の回
転により、第２カム３６が回転し、トレイ載置体１３が
下降し、トレイ１５，ディスク１６が受体８に載置され
る。そして、第１カム２８により上下板３１が下降し、
アーム７が逆回転し、受体８が成膜室１の成膜位置に移
行する。
【００１７】つぎに、第１軸２７の回転による第３プー
リ３７，ベルト４０，第４プーリ３９，第３軸３８の回
転により、第３カム４１が回転し、昇降板４２とともに
昇降軸２２が上昇し、昇降軸２２の先端部のホルダがト
レイ１５の透孔１８に係止してトレイ１５を上昇し、ト
レイ１５とともにディスク１６をマスク２４とホルダに
より挟持し、マスク２４内の回転手段によりトレイ１
５，ディスク１６が回転し、成膜が行われる。
リ３７，ベルト４０，第４プーリ３９，第３軸３８の回
転により、第３カム４１が回転し、昇降板４２とともに
昇降軸２２が上昇し、昇降軸２２の先端部のホルダがト
レイ１５の透孔１８に係止してトレイ１５を上昇し、ト
レイ１５とともにディスク１６をマスク２４とホルダに
より挟持し、マスク２４内の回転手段によりトレイ１
５，ディスク１６が回転し、成膜が行われる。
【００１８】成膜の終了後は、第３カム４１により昇降
軸２２に下降し、トレイ１５が受体８に載置され、第１
カム２８によりアーム７が回転し、受体８がロードロッ
ク室に導入され、第２カム３６により載置体１３が上昇
してトレイ１５が載置体１３に載置され、第１カム２８
によりアーム７が逆回転して受体８が成膜室１の待機位
置に位置し、ゲートバルブ３が閉じられる。
軸２２に下降し、トレイ１５が受体８に載置され、第１
カム２８によりアーム７が回転し、受体８がロードロッ
ク室に導入され、第２カム３６により載置体１３が上昇
してトレイ１５が載置体１３に載置され、第１カム２８
によりアーム７が逆回転して受体８が成膜室１の待機位
置に位置し、ゲートバルブ３が閉じられる。
【００１９】なお、各カム２８，３６，４１は、サイク
ロイド曲線による変位をもつものが望ましく、各運動の
始点及び終点において、速度，加速度を０にすることが
でき、このため、高速運動における振動，騒音，衝撃を
最小にすることができる。また、歯付きタイミングベル
ト３５，４０を使用しているため、バックラッシュによ
る位置ずれのない運動を行うことができ、さらに、ボー
ルねじ２９の使用によりアーム７の回転を円滑にするこ
とができる。
ロイド曲線による変位をもつものが望ましく、各運動の
始点及び終点において、速度，加速度を０にすることが
でき、このため、高速運動における振動，騒音，衝撃を
最小にすることができる。また、歯付きタイミングベル
ト３５，４０を使用しているため、バックラッシュによ
る位置ずれのない運動を行うことができ、さらに、ボー
ルねじ２９の使用によりアーム７の回転を円滑にするこ
とができる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の成
膜装置は、１個の駆動源により３個のカム２８，３６，
４１が連係して回転し、それぞれのカム２８，３６，４
１により、搬送アーム７の回転，ロードロック室２にお
けるディスク１６の受け渡し，成膜室１におけるディス
ク１６の挟持の３つの動作を行うことができ、駆動源に
高価な３台のサーボモータの代りに安価な１台のロータ
リーアクチュエータを使用することができ、かつ、動作
に軸の昇降，即ち軸方向の移動を要しないため、ロード
ロック室２，成膜室１の室内表面積を小さくでき、真空
排気時間を短縮することができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明の成
膜装置は、１個の駆動源により３個のカム２８，３６，
４１が連係して回転し、それぞれのカム２８，３６，４
１により、搬送アーム７の回転，ロードロック室２にお
けるディスク１６の受け渡し，成膜室１におけるディス
ク１６の挟持の３つの動作を行うことができ、駆動源に
高価な３台のサーボモータの代りに安価な１台のロータ
リーアクチュエータを使用することができ、かつ、動作
に軸の昇降，即ち軸方向の移動を要しないため、ロード
ロック室２，成膜室１の室内表面積を小さくでき、真空
排気時間を短縮することができる。
【００２１】さらに、駆動源の等速の１回転動作によ
り、１個のディスク１６の全ての搬送を行うことが可能
であり、従来のような複雑なシーケンサーによる制御を
要しない。また、サーボモータのシーケンス制御では、
１つの動作が完了し、その位置決め完了信号が発信され
てからつぎの動作が始まるため、待ち時間を生ずるが、
カムの使用によりある動作の完了直前につぎの動作を始
動させることができ、待ち時間を無くすることができ
る。
り、１個のディスク１６の全ての搬送を行うことが可能
であり、従来のような複雑なシーケンサーによる制御を
要しない。また、サーボモータのシーケンス制御では、
１つの動作が完了し、その位置決め完了信号が発信され
てからつぎの動作が始まるため、待ち時間を生ずるが、
カムの使用によりある動作の完了直前につぎの動作を始
動させることができ、待ち時間を無くすることができ
る。
【図１】本発明の１実施例の切断正面図である。
【図２】図１の一部の平面図である。
【図３】従来例の切断正面図である。
１ 成膜室 ２ ロードロック室 ７ 搬送アーム １３ トレイ載置体 １５ トレイ １６ ディスク ２４ マスク ２８ 第１カム ３６ 第２カム ４１ 第３カム
Claims (1)
- 【請求項１】 １個の駆動源により連係して回転する第
１カム，第２カム及び第３カムと、前記第１カムの回転
により先端部がロードロック室と成膜室間を移行する搬
送アームと、前記第２カムの回転により前記ロードロッ
ク室で上下動し，ディスクを載置したトレイを前記先端
部に受け渡しするトレイ載置体と、前記成膜室に配設さ
れたマスクと、前記第３カムの回転により前記成膜室で
上下動し，前記先端部のトレイを押し上げ前記マスクと
の間で挟持するホルダとを備えた成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34993192A JPH06176407A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34993192A JPH06176407A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176407A true JPH06176407A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18407080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34993192A Pending JPH06176407A (ja) | 1992-12-01 | 1992-12-01 | 成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06176407A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999024258A1 (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-20 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6254809B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-07-03 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
-
1992
- 1992-12-01 JP JP34993192A patent/JPH06176407A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999024258A1 (en) * | 1997-11-12 | 1999-05-20 | First Light Technology, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6254809B1 (en) | 1998-05-19 | 2001-07-03 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
| US6511616B1 (en) | 1998-05-19 | 2003-01-28 | Steag Hamatech, Inc. | System and method for curing a resin disposed between a top and bottom substrate with thermal management |
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