JPS60160138A - 半導体ペレツト移送装置 - Google Patents
半導体ペレツト移送装置Info
- Publication number
- JPS60160138A JPS60160138A JP59014427A JP1442784A JPS60160138A JP S60160138 A JPS60160138 A JP S60160138A JP 59014427 A JP59014427 A JP 59014427A JP 1442784 A JP1442784 A JP 1442784A JP S60160138 A JPS60160138 A JP S60160138A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- arm
- pellets
- semiconductor pellet
- semiconductor
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0446—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の利用分野］
本発明はペレットポンディング装置やペレット拍具詰め
装置などに用いられる半導体ペレット移送装置に関する
。
装置などに用いられる半導体ペレット移送装置に関する
。
［発明の背景］
従来の半導体ペレットの移送装置は、先端に吸着コレッ
トを設けたペレット移送アームによって、縦横に半導体
ペレットを整列収納した整列治具又はウェハリングに固
定されたウェハシート七より半導体ペレットを１個づつ
吸着し、ペレット移送アームの旋回もしくは直線移動に
より所定位置へ移送するようになっている。
トを設けたペレット移送アームによって、縦横に半導体
ペレットを整列収納した整列治具又はウェハリングに固
定されたウェハシート七より半導体ペレットを１個づつ
吸着し、ペレット移送アームの旋回もしくは直線移動に
より所定位置へ移送するようになっている。
第１図、第２図は従来のペレット移送アーム旋回型の半
導体ペレット移送装置を示す。ブラケット１に軸受２に
より回転可能に支持された回転中心軸３にはペレット移
送アーム４が固定されており、このペレット移送アーム
４の先端に固定された吸着コレット５によって、整列治
具６に縦横に整列収納した半導体ペレット７を吸着し、
ペレット移送アーム４が回転中心軸３を支点として昇降
旋回によりリードフレーム８の所定位置に移送し、半導
体ペレット７をリードフレーム８にペレットボンディン
グするようになっている。
導体ペレット移送装置を示す。ブラケット１に軸受２に
より回転可能に支持された回転中心軸３にはペレット移
送アーム４が固定されており、このペレット移送アーム
４の先端に固定された吸着コレット５によって、整列治
具６に縦横に整列収納した半導体ペレット７を吸着し、
ペレット移送アーム４が回転中心軸３を支点として昇降
旋回によりリードフレーム８の所定位置に移送し、半導
体ペレット７をリードフレーム８にペレットボンディン
グするようになっている。
しかしながら、かかる移送装置では、半導体ペレット７
の移送後の姿勢は、移送前に対してペレット移送アーム
４の旋回角度だけ回転して変動するので、整列治具６へ
の半導体ペレット７の装填姿勢を一定に保たねばならず
面倒であった。また整列治具の取付けをある角度だけ回
転した状態にしておかなければならなく、半導体ペレッ
ト７を検出した読取りを半導体ペレット７の縦横のｘＹ
方向に変換しなければならないという欠点があった。
の移送後の姿勢は、移送前に対してペレット移送アーム
４の旋回角度だけ回転して変動するので、整列治具６へ
の半導体ペレット７の装填姿勢を一定に保たねばならず
面倒であった。また整列治具の取付けをある角度だけ回
転した状態にしておかなければならなく、半導体ペレッ
ト７を検出した読取りを半導体ペレット７の縦横のｘＹ
方向に変換しなければならないという欠点があった。
また直線移動型のベレット移送アームを持つ半導体ペレ
ットの移送装置でも、移送後の姿勢が固定されるため、
同様に融通性に欠けるものであった。
ットの移送装置でも、移送後の姿勢が固定されるため、
同様に融通性に欠けるものであった。
特に、かかる従来の移送装置では、移送後の半導体ペレ
ットの姿勢が指示された角度だけ傾くように移送するこ
とが極めて困難で、整列治具に半導体ペレットを移送後
の指定角度に対応した姿勢で装填せねばならぬのみなら
ず、半導体ペレットの位置検出手段も斜めの読みとりが
非常に雌しいため、複雑な構成となるなどの欠点があっ
た。
ットの姿勢が指示された角度だけ傾くように移送するこ
とが極めて困難で、整列治具に半導体ペレットを移送後
の指定角度に対応した姿勢で装填せねばならぬのみなら
ず、半導体ペレットの位置検出手段も斜めの読みとりが
非常に雌しいため、複雑な構成となるなどの欠点があっ
た。
［発明の目的］
本発明の目的は、移送後の半導体ペレットの姿勢を自由
に制御可能にした半導体ペレット移送装置を提供するこ
とにある。
に制御可能にした半導体ペレット移送装置を提供するこ
とにある。
［発明の実施例］
以下、本発明の一実施例を第３図、第４図により説明す
る。６は半導体ペレット７を縦横に整列収納する整列治
具又はウェハシートが取付けられたウェハリングで、図
示しないＸ−Ｙテーブルに載置され、半導体ペレット７
を順に供給位置に位置決めすることができる。１０は支
持台、１１は支持台１０に固定された昇降案内部材、１
２は昇降案内部材１１に案内されて摺動可能な昇降台、
１３は図示しない駆動装置によって回転させられる昇降
用カム、１４は昇降用カム１３に当接するように昇降台
１２に取付けられたカムフォロア。
る。６は半導体ペレット７を縦横に整列収納する整列治
具又はウェハシートが取付けられたウェハリングで、図
示しないＸ−Ｙテーブルに載置され、半導体ペレット７
を順に供給位置に位置決めすることができる。１０は支
持台、１１は支持台１０に固定された昇降案内部材、１
２は昇降案内部材１１に案内されて摺動可能な昇降台、
１３は図示しない駆動装置によって回転させられる昇降
用カム、１４は昇降用カム１３に当接するように昇降台
１２に取付けられたカムフォロア。
１５はカムフォロア１４を昇降用カム１３に圧接するよ
うに常時下方へ付勢するコイルバネで、支持台１０と昇
降台１２にかけ合わされている。１６は昇降台１２に保
持された中空円筒部１８ａを備えたブラケット、１７は
プラテン）１６の中空円筒部１６ ａに軸受１８を介し
て回転可能に支持された旋回中心軸である。
うに常時下方へ付勢するコイルバネで、支持台１０と昇
降台１２にかけ合わされている。１６は昇降台１２に保
持された中空円筒部１８ａを備えたブラケット、１７は
プラテン）１６の中空円筒部１６ ａに軸受１８を介し
て回転可能に支持された旋回中心軸である。
、２０は旋回中心軸１７に固定されたペレット移送アー
ムで、一端には図示しない駆動手段によって駆動される
レバー２１が連結されており、他端には軸受２２を介し
て吸着コレット２３が回転自在に支持されている。２４
は吸着コレット２３に接続されてこの吸着コレット２３
を真空にひくためのパイプである。
ムで、一端には図示しない駆動手段によって駆動される
レバー２１が連結されており、他端には軸受２２を介し
て吸着コレット２３が回転自在に支持されている。２４
は吸着コレット２３に接続されてこの吸着コレット２３
を真空にひくためのパイプである。
前記吸着コレット２３の外筒部にはタイミングプーリ２
５が固定され、ブラケット１６の中空円筒部１６ａの外
筒部にもタイミングプーリ２５と同じ直径を有するタイ
ミングプーリ２６が回転可能に設けられており、このタ
イミングプーリ２６には２つのブーり溝２６ａ、２６ｂ
が形成され、タイミングプーリ２５と第１のブーり溝２
６ａの間にはタイミングベルト２７がかけ合わされてい
る。またタイミングプーリ２６の上下端にはタイミング
プーリ２６の抜は止め用ストッパ２８ａ、２８ｂが配設
され、これらストッパ２８ａ、２８ｂは中空円筒部１６
ａに固定されている。タイミングプーリ２６の第２のプ
ーリ溝２６ｂとブラケット１６に支持されたパルスモー
タ又は直流モータ２９の出力軸に固定されたタイミング
プーリ３０との間にタイミングベル）３１がかけ合わさ
れている。
５が固定され、ブラケット１６の中空円筒部１６ａの外
筒部にもタイミングプーリ２５と同じ直径を有するタイ
ミングプーリ２６が回転可能に設けられており、このタ
イミングプーリ２６には２つのブーり溝２６ａ、２６ｂ
が形成され、タイミングプーリ２５と第１のブーり溝２
６ａの間にはタイミングベルト２７がかけ合わされてい
る。またタイミングプーリ２６の上下端にはタイミング
プーリ２６の抜は止め用ストッパ２８ａ、２８ｂが配設
され、これらストッパ２８ａ、２８ｂは中空円筒部１６
ａに固定されている。タイミングプーリ２６の第２のプ
ーリ溝２６ｂとブラケット１６に支持されたパルスモー
タ又は直流モータ２９の出力軸に固定されたタイミング
プーリ３０との間にタイミングベル）３１がかけ合わさ
れている。
次に、かかる構成よりなる半導体ペレット移送装置の作
用について説明する。半導体ペレット７が所定の位置に
位置決めされると、昇降用カム１３が回転し、この昇降
用カム１３にカムフォロア１４が従動して昇降台１２が
下降し、この動作により吸着コレット２３が下降して半
導体ペレット７を吸着する。そして、昇降用カム１３が
さらに回転すると、昇降台１２は上昇し、吸着コレット
２３も半導体ペレット７を吸着保持したまま上昇する。
用について説明する。半導体ペレット７が所定の位置に
位置決めされると、昇降用カム１３が回転し、この昇降
用カム１３にカムフォロア１４が従動して昇降台１２が
下降し、この動作により吸着コレット２３が下降して半
導体ペレット７を吸着する。そして、昇降用カム１３が
さらに回転すると、昇降台１２は上昇し、吸着コレット
２３も半導体ペレット７を吸着保持したまま上昇する。
その後、図示しない駆動手段によってレバー２１が動作
し、ベレット移送アーム２０がリードフレーム８の所定
の半導体ペレット７の移送位置まで旋回する。
し、ベレット移送アーム２０がリードフレーム８の所定
の半導体ペレット７の移送位置まで旋回する。
この旋回の間に半導体ペレット７の移送後の姿勢が決定
される。即ち、今パルスモータ等２９が回転せず、従っ
てタイミングプーリ２６が回転せずにペレット移送アー
ム２０が旋回すると、タイミングプーリ２５はこれに速
比ｌ：ｌで連動するため、丁度ペレット移送アーム２０
の旋回角だけペレット移送アーム２０に対し相対的に回
転する。このため、ペレット移送アーム２０の旋回にも
かかわら−ず、半導体ペレット７の姿勢は移送の前後で
変ることがない。
される。即ち、今パルスモータ等２９が回転せず、従っ
てタイミングプーリ２６が回転せずにペレット移送アー
ム２０が旋回すると、タイミングプーリ２５はこれに速
比ｌ：ｌで連動するため、丁度ペレット移送アーム２０
の旋回角だけペレット移送アーム２０に対し相対的に回
転する。このため、ペレット移送アーム２０の旋回にも
かかわら−ず、半導体ペレット７の姿勢は移送の前後で
変ることがない。
また図に示すように、半導体ペレット７の移送後の姿勢
を移送前の姿勢にしてθ度傾けたいとすれば、移送中に
パルスモータ等２９を起動せしめ、タイミングプーリ２
６にθ度の回転を与えるだけの回転動作を行わせると、
これによってタイミングプーリ２５、即ち、吸着コレッ
ト２３がθ度回転して半導体ペレット７の姿勢を決定す
ることができる。パルスモータ等２９の回転角の決定は
パルスモータ等２９に設けたエンコーダにより任意にし
かも自在に行うことができるので、半導体ペレット７の
移送後の姿勢は全く自由に決定できる。
を移送前の姿勢にしてθ度傾けたいとすれば、移送中に
パルスモータ等２９を起動せしめ、タイミングプーリ２
６にθ度の回転を与えるだけの回転動作を行わせると、
これによってタイミングプーリ２５、即ち、吸着コレッ
ト２３がθ度回転して半導体ペレット７の姿勢を決定す
ることができる。パルスモータ等２９の回転角の決定は
パルスモータ等２９に設けたエンコーダにより任意にし
かも自在に行うことができるので、半導体ペレット７の
移送後の姿勢は全く自由に決定できる。
このようにして姿勢が決定された半導体ペレット７は昇
降用カム１３の回転によって下降する吸着コレット２３
から離れてリードフレーム８の所定位置に置かれる。そ
の後、吸着コレット２３は再びＬ昇し、ペレット移送ア
ーム２０は反転し、吸着コレット２３を元の姿勢にする
時は、同時にパルスモータ等２９もタイミングプーリ２
６にθ度の反転を与えるだけ回転し、吸着コレット２３
を原位置に復帰させる。その後はこの一連の動作が繰返
し行われる。勿論、吸着コレット２３を元の姿勢にする
必要がない時は、タイミングプーリ２６にθ度の反転を
与えるための駆動を行う必要はない。
降用カム１３の回転によって下降する吸着コレット２３
から離れてリードフレーム８の所定位置に置かれる。そ
の後、吸着コレット２３は再びＬ昇し、ペレット移送ア
ーム２０は反転し、吸着コレット２３を元の姿勢にする
時は、同時にパルスモータ等２９もタイミングプーリ２
６にθ度の反転を与えるだけ回転し、吸着コレット２３
を原位置に復帰させる。その後はこの一連の動作が繰返
し行われる。勿論、吸着コレット２３を元の姿勢にする
必要がない時は、タイミングプーリ２６にθ度の反転を
与えるための駆動を行う必要はない。
［発明の効果］
以上の説明から明らかな如く、本発明による半導体ペレ
ットによれば、移送後の半導体ペレットの姿勢を自由に
制御することができる。
ットによれば、移送後の半導体ペレットの姿勢を自由に
制御することができる。
第１図は従来の半導体ペレット移送装置の正面図、第２
図は第１図の平面図、第３図は本発明に、なる半導体ペ
レット移送装置の一実施例を示す正面断面図、第４図は
第３図の平面図である。 ７・・・半導体ペレット、 １７１１・・旋回中心軸、 ２０１１・・ペレット移送アーム、 ２３１１・・吸着コレット、 ２５．２６・・・タイミングプーリ、 ２７・・・タイミングベルト。 ２８１１Ｉ１１１タイミングプーリ、 ２９＃＃参パルスモータ、 第１図 第２図
図は第１図の平面図、第３図は本発明に、なる半導体ペ
レット移送装置の一実施例を示す正面断面図、第４図は
第３図の平面図である。 ７・・・半導体ペレット、 １７１１・・旋回中心軸、 ２０１１・・ペレット移送アーム、 ２３１１・・吸着コレット、 ２５．２６・・・タイミングプーリ、 ２７・・・タイミングベルト。 ２８１１Ｉ１１１タイミングプーリ、 ２９＃＃参パルスモータ、 第１図 第２図
Claims (1)
- 旋回中心軸と、この旋回中心軸のまわりに旋回する旋回
アームと、この旋回アームを旋回させる手段と、前記旋
回中心軸に対して同心にかつ回転自在に設けられた第１
のプーリと、前記旋回アームの１端に回転可能に支持さ
れた半導体ペレットの保持手段と、この保持手段に固定
された第２のブーりと、前記第１のプーリと前記第２の
プーリとにかけ合わされたベルトと、前記第１のプーリ
を所定の回転角だけ叩転させるための駆動手段とを有す
ることを特徴とする半導体ペレット移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014427A JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014427A JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160138A true JPS60160138A (ja) | 1985-08-21 |
| JPH0638441B2 JPH0638441B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=11860720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014427A Expired - Lifetime JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638441B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007159482A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Kunihiro Ogiwara | 緑化システム |
| CN105217358A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-06 | 盐城市华森机械有限公司 | 一种自动吸盘式收放料装置 |
| CN112707163A (zh) * | 2020-12-20 | 2021-04-27 | 刘琴 | 一种智能制造冲片机用料片转运机构及其使用方法 |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP59014427A patent/JPH0638441B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007159482A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Kunihiro Ogiwara | 緑化システム |
| CN105217358A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-06 | 盐城市华森机械有限公司 | 一种自动吸盘式收放料装置 |
| CN112707163A (zh) * | 2020-12-20 | 2021-04-27 | 刘琴 | 一种智能制造冲片机用料片转运机构及其使用方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0638441B2 (ja) | 1994-05-18 |
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