JPH06176428A - 光磁気ヘッド - Google Patents
光磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH06176428A JPH06176428A JP4329599A JP32959992A JPH06176428A JP H06176428 A JPH06176428 A JP H06176428A JP 4329599 A JP4329599 A JP 4329599A JP 32959992 A JP32959992 A JP 32959992A JP H06176428 A JPH06176428 A JP H06176428A
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- JP
- Japan
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- prism
- magneto
- beam splitter
- optical head
- wollaston
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- Pending
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- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容易に安価に精度よく得られて性能に優れる
偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリズム
を備えた光磁気ヘッドの提供。 【構成】 偏光ビームスプリッタプリズムとウォラスト
ンプリズムとがプリズム切断面を同一平面上に位置させ
たように接合された複合プリズムを用いている光磁気ヘ
ッド。
偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリズム
を備えた光磁気ヘッドの提供。 【構成】 偏光ビームスプリッタプリズムとウォラスト
ンプリズムとがプリズム切断面を同一平面上に位置させ
たように接合された複合プリズムを用いている光磁気ヘ
ッド。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスクに情報
を記憶し、光磁気ディスクの記憶した情報を読み出すた
めの光磁気ディスクドライブ装置の光磁気ヘッドに関
し、詳しくは、光磁気ディスクへの入射光路から光磁気
ディスクからの反射光路を分岐させる偏光ビームスプリ
ッタプリズムと光磁気ディスクからの反射光を複数の光
束に分離するウォラストンプリズムとを具備した光磁気
ヘッドに関する。
を記憶し、光磁気ディスクの記憶した情報を読み出すた
めの光磁気ディスクドライブ装置の光磁気ヘッドに関
し、詳しくは、光磁気ディスクへの入射光路から光磁気
ディスクからの反射光路を分岐させる偏光ビームスプリ
ッタプリズムと光磁気ディスクからの反射光を複数の光
束に分離するウォラストンプリズムとを具備した光磁気
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】上述のような光磁気ヘッドとしては、図
10の光学系概要構成側面図と図11の光検出器部分斜視図
に示したような、特開昭63-187440号公報や特開昭64-60
840号公報に記載されている３ビーム分離のウォラスト
ンプリズムを用いた光磁気ヘッドが一般的である。
10の光学系概要構成側面図と図11の光検出器部分斜視図
に示したような、特開昭63-187440号公報や特開昭64-60
840号公報に記載されている３ビーム分離のウォラスト
ンプリズムを用いた光磁気ヘッドが一般的である。
【０００３】図10、図11において、半導体レーザ１から
出射されたレーザ光はコリメータレンズ２で平行光にさ
れて偏光ビームスプリッタプリズム３を通過した後、対
物レンズ４で光磁気ディスクＤ上に集光される。光磁気
ディスクＤの記憶情報に従って偏光状態の変化を受けた
反射光は対物レンズ４を通過して偏光ビームスプリッタ
プリズム３で前述の入射光路から分岐され、集光レンズ
５とシリンドリカルレンズ６を通った後、３ビーム分離
用のウォラストンプリズム７で偏光状態に応じて互いに
逆位相の強度変化をする両側に振れる第１，第２のビー
ムＢ１，Ｂ２と、光磁気ディスクＤの記憶情報の影響を
受けず偏光状態による強度変化のない中間を通る第３の
ビームＢ３とに分離されて、それぞれのビームＢ１〜Ｂ
３を受光する光検出素子81，82，83を備えた光検出器８
に入射される。そして、光検出素子81，82の出力差から
光磁気ディスクＤの記憶情報を検出し、光検出素子83の
出力から光磁気ディスクＤの反射率変化および焦点誤差
やトラッキング誤差を検出する。図示例は焦点誤差検出
が集光レンズ５とシリンドリカルレンズ６による非点収
差法で行われ、トラッキング誤差検出がプッシュプル法
で行われるようにしている。
出射されたレーザ光はコリメータレンズ２で平行光にさ
れて偏光ビームスプリッタプリズム３を通過した後、対
物レンズ４で光磁気ディスクＤ上に集光される。光磁気
ディスクＤの記憶情報に従って偏光状態の変化を受けた
反射光は対物レンズ４を通過して偏光ビームスプリッタ
プリズム３で前述の入射光路から分岐され、集光レンズ
５とシリンドリカルレンズ６を通った後、３ビーム分離
用のウォラストンプリズム７で偏光状態に応じて互いに
逆位相の強度変化をする両側に振れる第１，第２のビー
ムＢ１，Ｂ２と、光磁気ディスクＤの記憶情報の影響を
受けず偏光状態による強度変化のない中間を通る第３の
ビームＢ３とに分離されて、それぞれのビームＢ１〜Ｂ
３を受光する光検出素子81，82，83を備えた光検出器８
に入射される。そして、光検出素子81，82の出力差から
光磁気ディスクＤの記憶情報を検出し、光検出素子83の
出力から光磁気ディスクＤの反射率変化および焦点誤差
やトラッキング誤差を検出する。図示例は焦点誤差検出
が集光レンズ５とシリンドリカルレンズ６による非点収
差法で行われ、トラッキング誤差検出がプッシュプル法
で行われるようにしている。
【０００４】従来の上述のような光磁気ヘッドは、光学
部品を保持するベースに偏光ビームスプリッタプリズム
３とウォラストンプリズム７をそれぞれ接着しており、
それらのプリズムを両者の間に図12や図13に示したよう
なシフトＳやチルトＴの誤差が生じないように精度よく
ベースに接着するのは大変に手間の掛る作業で、そのた
めに製造コストが高くなると言う問題がある。なお、図
12に示したシフトＳは光磁気ディスクＤからの情報を担
持した反射光束をけるようになるし、図13に示したチル
トＴはウォラストンプリズムの分離誤差を助長する。
部品を保持するベースに偏光ビームスプリッタプリズム
３とウォラストンプリズム７をそれぞれ接着しており、
それらのプリズムを両者の間に図12や図13に示したよう
なシフトＳやチルトＴの誤差が生じないように精度よく
ベースに接着するのは大変に手間の掛る作業で、そのた
めに製造コストが高くなると言う問題がある。なお、図
12に示したシフトＳは光磁気ディスクＤからの情報を担
持した反射光束をけるようになるし、図13に示したチル
トＴはウォラストンプリズムの分離誤差を助長する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の問題
を解消するためになされたものであり、光学部品の保持
ベースに偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストン
プリズムを接着するような作業が半分以下の手間で精度
よくできて、安価に得られ、性能も優れる光磁気ヘッド
の提供を目的とする。
を解消するためになされたものであり、光学部品の保持
ベースに偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストン
プリズムを接着するような作業が半分以下の手間で精度
よくできて、安価に得られ、性能も優れる光磁気ヘッド
の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、光磁気ディス
クへの入射光路から光磁気ディスクからの反射光路を分
岐させる偏光ビームスプリッタプリズムと光磁気ディス
クからの反射光を複数の光束に分離するウォラストンプ
リズムとを具備した光磁気ヘッドにおいて、偏光ビーム
スプリッタプリズムとウォラストンプリズムとがプリズ
ム切断面を同一平面上に位置させたように接合された複
合プリズムを用いていることを特徴とする光磁気ヘッド
にあり、この構成によって前記目的を達成する。
クへの入射光路から光磁気ディスクからの反射光路を分
岐させる偏光ビームスプリッタプリズムと光磁気ディス
クからの反射光を複数の光束に分離するウォラストンプ
リズムとを具備した光磁気ヘッドにおいて、偏光ビーム
スプリッタプリズムとウォラストンプリズムとがプリズ
ム切断面を同一平面上に位置させたように接合された複
合プリズムを用いていることを特徴とする光磁気ヘッド
にあり、この構成によって前記目的を達成する。
【０００７】
【作用】すなわち、本発明の光磁気ヘッドは、偏光ビー
ムスプリッタプリズムとウォラストンプリズムがプリズ
ム切断面を同一平面上に位置させたように接合された複
合プリズムを用いていることによって、その複合プリズ
ムを偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリ
ズムを個々に作るよりも容易に両者の間にシフトやチル
トを生じさせることなく作ることができて、その複合プ
リズムを光学部品の保持ベースに接着することで同時に
偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリズム
のその間にシフトやチルトのない接着がなされるから、
半分以下の手間で精度よく偏光ビームスプリッタプリズ
ムとウォラストンプリズムをベースに設置することがで
き、したがって性能に優れたものを安価に得ることがで
きる。
ムスプリッタプリズムとウォラストンプリズムがプリズ
ム切断面を同一平面上に位置させたように接合された複
合プリズムを用いていることによって、その複合プリズ
ムを偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリ
ズムを個々に作るよりも容易に両者の間にシフトやチル
トを生じさせることなく作ることができて、その複合プ
リズムを光学部品の保持ベースに接着することで同時に
偏光ビームスプリッタプリズムとウォラストンプリズム
のその間にシフトやチルトのない接着がなされるから、
半分以下の手間で精度よく偏光ビームスプリッタプリズ
ムとウォラストンプリズムをベースに設置することがで
き、したがって性能に優れたものを安価に得ることがで
きる。
【０００８】
【実施例】以下さらに図１乃至図９を参照して本発明を
説明する。
説明する。
【０００９】図１は本発明の光磁気ヘッドの例を示す光
学系概要構成側面図、図２は本発明に用いられる複合プ
リズムの製造工程概要図、図３および図４はそれぞれ本
発明の光磁気ヘッドの他の例を示す光学系概要構成側面
図、図５乃至図７はそれぞれ本発明に用いられる複合プ
リズムの他の例を示す部分側面図、図８は本発明に用い
られる複合プリズムの作用説明図、図９は本発明には用
いられない複合プリズムの作用説明図であり、図１乃至
図９においても図10乃至図13におけると同一の符号は同
一機能の部材や事象を示している。
学系概要構成側面図、図２は本発明に用いられる複合プ
リズムの製造工程概要図、図３および図４はそれぞれ本
発明の光磁気ヘッドの他の例を示す光学系概要構成側面
図、図５乃至図７はそれぞれ本発明に用いられる複合プ
リズムの他の例を示す部分側面図、図８は本発明に用い
られる複合プリズムの作用説明図、図９は本発明には用
いられない複合プリズムの作用説明図であり、図１乃至
図９においても図10乃至図13におけると同一の符号は同
一機能の部材や事象を示している。
【００１０】図１の光磁気ヘッドは、図10の光磁気ヘッ
ドのウォラストンプリズム７を偏光ビームスプリッタプ
リズム３の隣に移し、両プリズムを接合して複合プリズ
ム９としたような構成のものであり、両プリズムの間に
図12や図13に示したようなシフトＳやチルトＴが入らな
いように容易にできるから、図10の光磁気ヘッドと同等
以上の性能のものを容易に得ることができる。この光磁
気ヘッドの複合プリズム９は図２に示した方法で偏光ビ
ームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７を
個々に作るのと同程度の工程手間で製造することができ
る。
ドのウォラストンプリズム７を偏光ビームスプリッタプ
リズム３の隣に移し、両プリズムを接合して複合プリズ
ム９としたような構成のものであり、両プリズムの間に
図12や図13に示したようなシフトＳやチルトＴが入らな
いように容易にできるから、図10の光磁気ヘッドと同等
以上の性能のものを容易に得ることができる。この光磁
気ヘッドの複合プリズム９は図２に示した方法で偏光ビ
ームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７を
個々に作るのと同程度の工程手間で製造することができ
る。
【００１１】すなわち、図２において、まず長尺偏光ビ
ームスプリッタプリズム30と長尺ウォラストンプリズム
70を作り、両者を平行に並べた状態に接着して長尺複合
プリズム90とし、それを切断面Ｃで切断して、偏光ビー
ムスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７とが
プリズム切断面を同一平面上に位置させたように接合さ
れた複合プリズム９を得る。
ームスプリッタプリズム30と長尺ウォラストンプリズム
70を作り、両者を平行に並べた状態に接着して長尺複合
プリズム90とし、それを切断面Ｃで切断して、偏光ビー
ムスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７とが
プリズム切断面を同一平面上に位置させたように接合さ
れた複合プリズム９を得る。
【００１２】これに対して、偏光ビームスプリッタプリ
ズム３とウォラストンプリズム７を個々に作る場合は、
接着工程が１つ減るが、それぞれ長尺偏光ビームスプリ
ッタプリズム30と長尺ウォラストンプリズム70を切断面
Ｃで切断することになるから、複合プリズム９を作るよ
りも切断工程の数が２倍になり、また反射防止膜をコー
トする面が複合プリズム９に比べ２面多くなる。
ズム３とウォラストンプリズム７を個々に作る場合は、
接着工程が１つ減るが、それぞれ長尺偏光ビームスプリ
ッタプリズム30と長尺ウォラストンプリズム70を切断面
Ｃで切断することになるから、複合プリズム９を作るよ
りも切断工程の数が２倍になり、また反射防止膜をコー
トする面が複合プリズム９に比べ２面多くなる。
【００１３】従って、全工程を見ると複合プリズム９は
偏光ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズ
ム７を個々に作るのと、ほぼ同程度の工程手間で製造す
ることができる。
偏光ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズ
ム７を個々に作るのと、ほぼ同程度の工程手間で製造す
ることができる。
【００１４】そして図１の光磁気ヘッドは、光学部品を
保持するベースに複合プリズム９を接着することで偏光
ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７
を両者の間にシフトＳやチルトＴの誤差を生じさせるこ
となく設置したことになるから、少ない工数手間で安価
に性能の優れたものを得ることができる。
保持するベースに複合プリズム９を接着することで偏光
ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７
を両者の間にシフトＳやチルトＴの誤差を生じさせるこ
となく設置したことになるから、少ない工数手間で安価
に性能の優れたものを得ることができる。
【００１５】図３の光磁気ヘッドは、半導体レーザ１か
らのレーザ光を複合プリズム９の偏光ビームスプリッタ
プリズム３が反射して光磁気ディスクＤに入射し、光磁
気ディスクＤの反射光を偏光ビームスプリッタプリズム
３が透過してウォラストンプリズム７に入射している点
が相違するだけで、あとは図１のものと変わらない。
らのレーザ光を複合プリズム９の偏光ビームスプリッタ
プリズム３が反射して光磁気ディスクＤに入射し、光磁
気ディスクＤの反射光を偏光ビームスプリッタプリズム
３が透過してウォラストンプリズム７に入射している点
が相違するだけで、あとは図１のものと変わらない。
【００１６】図４の光磁気ヘッドは、複合プリズム９の
偏光ビームスプリッタプリズム３が偏光ビームスプリッ
ト面を透過した光磁気ディスクＤからの反射光を全反射
面で半導体レーザ１から出射されるレーザ光と平行の方
向に反射させてウォラストンプリズムに入射している点
が相違するだけで、あとは図３のものと変わらない。
偏光ビームスプリッタプリズム３が偏光ビームスプリッ
ト面を透過した光磁気ディスクＤからの反射光を全反射
面で半導体レーザ１から出射されるレーザ光と平行の方
向に反射させてウォラストンプリズムに入射している点
が相違するだけで、あとは図３のものと変わらない。
【００１７】また、本発明の光磁気ヘッドは、図１や図
３の複合プリズム９に代えて、図５の偏光ビームスプリ
ッタプリズム３とウォラストンプリズム７がλ／２板や
λ／４板のような波長板10を挟んで接着している複合プ
リズム９を用いたもの、図６の偏光ビームスプリッタプ
リズム３にビーム整形機能を持たせた複合プリズム９を
用いたもの、図７のウォラストンプリズム７にシリンド
リカルレンズの機能をもたせた複合プリズム９を用いた
ものでもよい。
３の複合プリズム９に代えて、図５の偏光ビームスプリ
ッタプリズム３とウォラストンプリズム７がλ／２板や
λ／４板のような波長板10を挟んで接着している複合プ
リズム９を用いたもの、図６の偏光ビームスプリッタプ
リズム３にビーム整形機能を持たせた複合プリズム９を
用いたもの、図７のウォラストンプリズム７にシリンド
リカルレンズの機能をもたせた複合プリズム９を用いた
ものでもよい。
【００１８】すなわち、図４乃至図７の例の複合プリズ
ム９も、図２の製造方法と同様に長尺のプリズムや波長
板を接着して長尺の複合プリズムを得、それを長さ方向
に直角に切断する方法で作ることができて、偏光ビーム
スプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７のプリ
ズム切断面を同一平面上に位置させたように接合された
構成を満足する。この構成を満足する複合プリズム９は
図８に示した作用をする。
ム９も、図２の製造方法と同様に長尺のプリズムや波長
板を接着して長尺の複合プリズムを得、それを長さ方向
に直角に切断する方法で作ることができて、偏光ビーム
スプリッタプリズム３とウォラストンプリズム７のプリ
ズム切断面を同一平面上に位置させたように接合された
構成を満足する。この構成を満足する複合プリズム９は
図８に示した作用をする。
【００１９】例えば図８に示した図２の方法で作られる
複合プリズム９は、ウォラストンプリズム７から出射す
る分離されたビームＢ１〜Ｂ３がトラッキング時の対物
レンズ移動により図８の右方の中心実線円とシフトした
点線円で示したように、ビームＢ１〜Ｂ３の分離方向と
直角の方向にシフトする。したがって、ビームＢ１〜Ｂ
３を分離するウォラストンプリズムやビームＢ１〜Ｂ３
の入射する集光レンズ等光学部品のシフトした光束もけ
ることのない有効径を小さくすることができ、光磁気ヘ
ッドの小型化を可能にする。
複合プリズム９は、ウォラストンプリズム７から出射す
る分離されたビームＢ１〜Ｂ３がトラッキング時の対物
レンズ移動により図８の右方の中心実線円とシフトした
点線円で示したように、ビームＢ１〜Ｂ３の分離方向と
直角の方向にシフトする。したがって、ビームＢ１〜Ｂ
３を分離するウォラストンプリズムやビームＢ１〜Ｂ３
の入射する集光レンズ等光学部品のシフトした光束もけ
ることのない有効径を小さくすることができ、光磁気ヘ
ッドの小型化を可能にする。
【００２０】それに対して、偏光ビームスプリッタプリ
ズム３とウォラストンプリズム７のプリズム切断面が直
交していて、図２のような方法では作ることのできな
い、製造コストの高くなる図９に示した複合プリズム11
は、偏光ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプ
リズム７の間に図12のシフトＳや図13のチルトＴを生じ
させないようにできても、ウォラストンプリズム７から
出射するビームＢ１〜Ｂ３のトラッキング時の対物レン
ズ移動によるシフトの方向が図９の右方の中心実線円と
シフトした点線円で示したように、ビームＢ１〜Ｂ３の
分離方向と同方向になる。したがって図９の場合は、ウ
ォラストンプリズムや集光レンズ等のシフトした光束も
けることのない有効径を図８の場合に比べて大きくせね
ばならず、光磁気ヘッドの小型化を妨げる。
ズム３とウォラストンプリズム７のプリズム切断面が直
交していて、図２のような方法では作ることのできな
い、製造コストの高くなる図９に示した複合プリズム11
は、偏光ビームスプリッタプリズム３とウォラストンプ
リズム７の間に図12のシフトＳや図13のチルトＴを生じ
させないようにできても、ウォラストンプリズム７から
出射するビームＢ１〜Ｂ３のトラッキング時の対物レン
ズ移動によるシフトの方向が図９の右方の中心実線円と
シフトした点線円で示したように、ビームＢ１〜Ｂ３の
分離方向と同方向になる。したがって図９の場合は、ウ
ォラストンプリズムや集光レンズ等のシフトした光束も
けることのない有効径を図８の場合に比べて大きくせね
ばならず、光磁気ヘッドの小型化を妨げる。
【００２１】本発明は、ウォラストンプリズムが３ビー
ム分離の例に限らず、通常の２ビーム分離のウォラスト
ンプリズムを用いたものでもよいし、偏光ビームスプリ
ッタプリズムの形状も図示例に限られない。
ム分離の例に限らず、通常の２ビーム分離のウォラスト
ンプリズムを用いたものでもよいし、偏光ビームスプリ
ッタプリズムの形状も図示例に限られない。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば性能に優れて小型に構成
できる光磁気ヘッドを安価に得ることができると言う顕
著な効果が得られる。
できる光磁気ヘッドを安価に得ることができると言う顕
著な効果が得られる。
【図１】本発明の光磁気ヘッドの例を示す光学系概要構
成側面図である。
成側面図である。
【図２】本発明に用いられる複合プリズムの製造工程概
要図である。
要図である。
【図３】本発明の光磁気ヘッドの他の例を示す光学系概
要構成側面図である。
要構成側面図である。
【図４】本発明の光磁気ヘッドの他の例を示す光学系概
要構成側面図である。
要構成側面図である。
【図５】本発明に用いられる複合プリズムの他の例を示
す部分側面図である。
す部分側面図である。
【図６】本発明に用いられる複合プリズムの他の例を示
す部分側面図である。
す部分側面図である。
【図７】本発明に用いられる複合プリズムの他の例を示
す部分側面図である。
す部分側面図である。
【図８】本発明に用いられる複合プリズムの作用説明図
である。
である。
【図９】本発明には用いられない複合プリズムの作用説
明図である。
明図である。
【図１０】従来の光磁気ヘッドの例を示す光学系概要構
成側面図である。
成側面図である。
【図１１】光検出器の例を示す部分斜視図である。
【図１２】従来の光磁気ヘッドで生じ易いプリズムの配
設誤差を示す部分側面図である。
設誤差を示す部分側面図である。
【図１３】従来の光磁気ヘッドで生じ易いプリズムの配
設誤差を示す部分側面図である。
設誤差を示す部分側面図である。
１ 半導体レーザ ２ コリメータレンズ ３ 偏光ビームスプリッタプリズム ４ 対物レンズ ５ 集光レンズ ６ シリンドリカルレンズ ７ ウォラストンプリズム ８ 光検出器 81，82，83 光検出素子 ９，11 複合プリズム 10 波長板 30 長尺偏光ビームスプリッタプリズム 70 長尺ウォラストンプリズム 90 長尺複合プリズム Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３ ビーム Ｃ 切断面 Ｄ 光磁気ディスク Ｓ シフト Ｔ チルト
Claims (1)
- 【請求項１】 光磁気ディスクへの入射光路から光磁気
ディスクからの反射光路を分岐させる偏光ビームスプリ
ッタプリズムと光磁気ディスクからの反射光を複数の光
束に分離するウォラストンプリズムとを具備した光磁気
ヘッドにおいて、偏光ビームスプリッタプリズムとウォ
ラストンプリズムとがプリズム切断面を同一平面上に位
置させたように接合された複合プリズムを用いているこ
とを特徴とする光磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4329599A JPH06176428A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 光磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4329599A JPH06176428A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 光磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06176428A true JPH06176428A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18223153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4329599A Pending JPH06176428A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | 光磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06176428A (ja) |
-
1992
- 1992-12-09 JP JP4329599A patent/JPH06176428A/ja active Pending
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Legal Events
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