JPH0617688B2 - セラミック軸受 - Google Patents
セラミック軸受Info
- Publication number
- JPH0617688B2 JPH0617688B2 JP62198751A JP19875187A JPH0617688B2 JP H0617688 B2 JPH0617688 B2 JP H0617688B2 JP 62198751 A JP62198751 A JP 62198751A JP 19875187 A JP19875187 A JP 19875187A JP H0617688 B2 JPH0617688 B2 JP H0617688B2
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- JP
- Japan
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- fracture toughness
- inner ring
- outer ring
- mpa
- toughness value
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、内輪、外輪および転動体のすべてを窒化けい
素系のセラミックスで構成したセラミック軸受に関す
る。この種のセラミック軸受は、一般的に「総セラミッ
ク軸受」と呼ばれるが、保持器を有するものにあって
は、保持器がセラミックスで構成されたものに限らな
い。
素系のセラミックスで構成したセラミック軸受に関す
る。この種のセラミック軸受は、一般的に「総セラミッ
ク軸受」と呼ばれるが、保持器を有するものにあって
は、保持器がセラミックスで構成されたものに限らな
い。
(従来の技術) 従来のこの種の総セラミック軸受においては、内輪、外
輪および転動体のそれぞれを構成するセラミックスの材
料特性を等しくするのが一般的であり、また、そうする
のが当たり前であるとの既成概念があった。
輪および転動体のそれぞれを構成するセラミックスの材
料特性を等しくするのが一般的であり、また、そうする
のが当たり前であるとの既成概念があった。
もちろん、そのような総セラミック軸受の耐久性につい
ての試験はいろいろと実施されており、一応満足できる
総セラミックス軸受が開発されるに至ってはいる。
ての試験はいろいろと実施されており、一応満足できる
総セラミックス軸受が開発されるに至ってはいる。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、これまでの総セラミック軸受では、例え
ばディーゼルエンジンなどに使用される軸受のようにか
なりの高温、高速の条件下では耐荷重性、寿命の面で問
題があり、その改善が望まれているのが現状である。
ばディーゼルエンジンなどに使用される軸受のようにか
なりの高温、高速の条件下では耐荷重性、寿命の面で問
題があり、その改善が望まれているのが現状である。
そこで、セラミックスの材質を種々検討し、選択された
材質のセラミックスを用いて総セラミック軸受を試作
し、それについて耐荷重性、寿命の試験を行ってはい
る。しかし、内輪、外輪および転動体のそれぞれを構成
するセラミックスの材料特性を等しくしたセラミック軸
受である以上、前記のような高温、高速の特殊条件下で
は比較的早期のうちに転動体が破壊されるケースが多い
のが実情であり、未だ十分に満足のいく総セラミック軸
受は開発されていない。
材質のセラミックスを用いて総セラミック軸受を試作
し、それについて耐荷重性、寿命の試験を行ってはい
る。しかし、内輪、外輪および転動体のそれぞれを構成
するセラミックスの材料特性を等しくしたセラミック軸
受である以上、前記のような高温、高速の特殊条件下で
は比較的早期のうちに転動体が破壊されるケースが多い
のが実情であり、未だ十分に満足のいく総セラミック軸
受は開発されていない。
その理由を顧みると、次のようなことが判ってきた。
即ち、従来、このような研究・開発においては、セラミ
ックスの材質の検討に当たって、密度、熱伝導率、比
熱、曲げ強度、圧縮強度、線膨張率、縦弾性係数などに
ついて様々な検討を加えている。しかし、このような様
々な項目の検討は、全体として非常に繁雑であり、単純
明快な基礎的判断基準としてはあまり適切でないことが
判ってきた。
ックスの材質の検討に当たって、密度、熱伝導率、比
熱、曲げ強度、圧縮強度、線膨張率、縦弾性係数などに
ついて様々な検討を加えている。しかし、このような様
々な項目の検討は、全体として非常に繁雑であり、単純
明快な基礎的判断基準としてはあまり適切でないことが
判ってきた。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、耐荷重性、寿命の基礎的判断基準としてより適切な
ものを見出し、その基準に基づいて耐荷重性、寿命に優
れたセラミック軸受を提供することを目的とする。
て、耐荷重性、寿命の基礎的判断基準としてより適切な
ものを見出し、その基準に基づいて耐荷重性、寿命に優
れたセラミック軸受を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明者は、従来の既成概念に囚われることなく新たな
視点から研究・開発を進めてきた。その結果、破壊靱性
値KIC(MPa・m1/2)を耐荷重性、寿命の基礎的判
断基準として採用するのが良いことが次第に判ってき
た。
視点から研究・開発を進めてきた。その結果、破壊靱性
値KIC(MPa・m1/2)を耐荷重性、寿命の基礎的判
断基準として採用するのが良いことが次第に判ってき
た。
ここで、破壊靱性値について説明する。
一般に固体材料は外部からの応力で変形し、この応力が
限界値を超えると破壊に至る。固体の破壊は原子間の結
合が切れ、新しい表面が形成される状態をいい、欠陥の
ない固体では材料の破壊強度は原子の配列、結合の仕方
で決定される。
限界値を超えると破壊に至る。固体の破壊は原子間の結
合が切れ、新しい表面が形成される状態をいい、欠陥の
ない固体では材料の破壊強度は原子の配列、結合の仕方
で決定される。
一般の金属では原子間結合は金属結合と呼ばれるのに対
し、セラミックスはイオン結合と共有結合の中間的な原
子間結合であり、この原子間結合様式の差が金属材料と
セラミックスの機械的性質の差を与えている。金属のよ
うに延性に富む材料は外部からの応力により弾性変形を
し、さらに、塑性変形をした後、延性破壊に至るのに対
して、セラミックスは弾性限界内で亀裂が伸展し、脆性
破壊をする。セラミックスのように、脆性破壊をする材
料の破壊に対する抵抗の尺度として破壊靱性が考えられ
ている。材料の破壊条件を満たす応力の下では、この破
壊靱性値は、KIC(MPa・m1/2)で表され、 の関係式が導かれている。ここで、Eはヤング率、γは
破壊エネルギーである。
し、セラミックスはイオン結合と共有結合の中間的な原
子間結合であり、この原子間結合様式の差が金属材料と
セラミックスの機械的性質の差を与えている。金属のよ
うに延性に富む材料は外部からの応力により弾性変形を
し、さらに、塑性変形をした後、延性破壊に至るのに対
して、セラミックスは弾性限界内で亀裂が伸展し、脆性
破壊をする。セラミックスのように、脆性破壊をする材
料の破壊に対する抵抗の尺度として破壊靱性が考えられ
ている。材料の破壊条件を満たす応力の下では、この破
壊靱性値は、KIC(MPa・m1/2)で表され、 の関係式が導かれている。ここで、Eはヤング率、γは
破壊エネルギーである。
ヤング率Eは、材質により定まる定数であるため、高靱
性セラミックスはγの大なる材料でなければならないこ
とになる。金属に比べ、セラミックスのKICは非常に小
さく、脆い性質を有するためセラミックスを構造用部材
として用いる場合はKICを知ることが重要であるにもか
かわらず、セラミックころがり軸受のような構造体で
は、内輪、外輪などの軌道輪とボール、ころなどの転動
体にどのようなKICをもつセラミックスを組み合わせて
使うべきかなど知られていないのが実情である。
性セラミックスはγの大なる材料でなければならないこ
とになる。金属に比べ、セラミックスのKICは非常に小
さく、脆い性質を有するためセラミックスを構造用部材
として用いる場合はKICを知ることが重要であるにもか
かわらず、セラミックころがり軸受のような構造体で
は、内輪、外輪などの軌道輪とボール、ころなどの転動
体にどのようなKICをもつセラミックスを組み合わせて
使うべきかなど知られていないのが実情である。
本発明者は、セラミックころがり軸受の耐荷重性、寿命
の種々の実験によって適正な破壊靱性値KIC(MPa・
m1/2)を得た。
の種々の実験によって適正な破壊靱性値KIC(MPa・
m1/2)を得た。
本発明は、これら破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)の
データに基づいて、前記した目的を達成するために、次
のような構成をとる。
データに基づいて、前記した目的を達成するために、次
のような構成をとる。
本発明のセラミック軸受は、内輪、外輪および転動体の
すべてをSi3N4やSi−A1−O−N系化合物からな
るセラミックスで構成したものであって、前記内輪と前
記外輪との破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)を実質的
に同一に構成するとともに、前記転動体の破壊靱性値K
IC(MPa・m1/2)を前記内輪と前記外輪との破壊
靱性値KIC(MPa・m1/2)よりも0.5〜2.0大
きく構成したことを特徴とするものである。
すべてをSi3N4やSi−A1−O−N系化合物からな
るセラミックスで構成したものであって、前記内輪と前
記外輪との破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)を実質的
に同一に構成するとともに、前記転動体の破壊靱性値K
IC(MPa・m1/2)を前記内輪と前記外輪との破壊
靱性値KIC(MPa・m1/2)よりも0.5〜2.0大
きく構成したことを特徴とするものである。
要するに、セラミックス製内輪の破壊靱性値KIC(MP
a・m1/2)をKIC(N)、セラミックス製外輪の破壊靱性
値KIC(MPa・m1/2)をKIC(G)、セラミックス製の
転動体の破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)をKIC(T)と
すると、 KIC(N)≒KIC(G) KIC(N)+0.5≦KIC(T)≦KIC(N)+2.0 KIC(G)+0.5≦KIC(T)≦KIC(G)+2.0 に設定される。
a・m1/2)をKIC(N)、セラミックス製外輪の破壊靱性
値KIC(MPa・m1/2)をKIC(G)、セラミックス製の
転動体の破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)をKIC(T)と
すると、 KIC(N)≒KIC(G) KIC(N)+0.5≦KIC(T)≦KIC(N)+2.0 KIC(G)+0.5≦KIC(T)≦KIC(G)+2.0 に設定される。
なお、内輪および前記外輪の破壊靱性値KIC(N)、K
IC(G)をそれぞれ5〜6.5とするのが好ましい。
IC(G)をそれぞれ5〜6.5とするのが好ましい。
(作用) 本発明の構成による作用は、次の通りである。
即ち、それぞれセラミックス製の内輪、外輪および転動
体の材料特性を同一とした場合には、破壊靱性値K
IC(MPa・m1/2)についてもKIC(N)(≒KIC(G)
≒KIC(T)となり、この場合は比較的早期のうちに転動
体の剥離による損傷が多いという問題があった。これに
対して、本発明の場合には、前述のように内輪、外輪の
破壊靱性値KIC(N)、KIC(G)を互いに等しくし、かつこ
れに対して転動体の破壊靱性値KIC(T)を0.5〜2.
0だけ大きくしてあるため、転動体のみが剥離するので
はなく、内、外輪にも剥離が発生し、耐荷重性、寿命が
改善されている。
体の材料特性を同一とした場合には、破壊靱性値K
IC(MPa・m1/2)についてもKIC(N)(≒KIC(G)
≒KIC(T)となり、この場合は比較的早期のうちに転動
体の剥離による損傷が多いという問題があった。これに
対して、本発明の場合には、前述のように内輪、外輪の
破壊靱性値KIC(N)、KIC(G)を互いに等しくし、かつこ
れに対して転動体の破壊靱性値KIC(T)を0.5〜2.
0だけ大きくしてあるため、転動体のみが剥離するので
はなく、内、外輪にも剥離が発生し、耐荷重性、寿命が
改善されている。
KIC(T)とKIC(N)、KIC(G)との差を0.5〜2.0と
するのは0.5未満であると耐荷重性,寿命の改善上、
有意な結果が得られなかったためであり、また、2.0
を超えると転動体は異常なく内輪あるいは外輪が破壊さ
れる可能性が高いためである。
するのは0.5未満であると耐荷重性,寿命の改善上、
有意な結果が得られなかったためであり、また、2.0
を超えると転動体は異常なく内輪あるいは外輪が破壊さ
れる可能性が高いためである。
以上のように、耐荷重性,寿命の基礎的判断基準として
破壊靱性値KICを採用した点に本発明の著しい特徴があ
る。
破壊靱性値KICを採用した点に本発明の著しい特徴があ
る。
(実施例) 以下、本発明を図面に基づいて説明する。図面はセラミ
ック軸受の断面図であり、図中、1は内輪、2は外輪、
3は転動体、4は保持器である。
ック軸受の断面図であり、図中、1は内輪、2は外輪、
3は転動体、4は保持器である。
この内輪1、外輪2および転動体3は、Si3N4やSi
−A1−O−N系化合物(いわゆるサイアロン)のセラ
ミックスで形成されている。
−A1−O−N系化合物(いわゆるサイアロン)のセラ
ミックスで形成されている。
そして、転動体3の破壊靱性値KIC(T)は、内輪1の破
壊靱性値KIC(N)や外輪2の破壊靱性値KIC(G)よりも
0.5〜2.0(MPa・m1/2)大きく設定される。
壊靱性値KIC(N)や外輪2の破壊靱性値KIC(G)よりも
0.5〜2.0(MPa・m1/2)大きく設定される。
以下において、前記数値の限定要因を実験結果に基づい
て説明する。
て説明する。
まず、内輪1、外輪2および転動体3をSi3N4を主体
とする焼結体で形成したセラミック軸受における実験結
果を下記表1に示す。
とする焼結体で形成したセラミック軸受における実験結
果を下記表1に示す。
実験に用いたセラミック軸受は、内輪1の内径φ1を3
0mm、外輪2の外径φ2を62mm、外輪2の幅W2を16
mmとしている。また、内輪1、外輪2および転動体3を
形成したSi3N4の特性値は、縦弾性係数:3.00〜
3.20×104(Kgf/mm2)、ポアソン比:0.26
〜0.30、線膨張係数:2.9〜3.2×10-6(1
/℃)、熱伝導率:20〜27(W/mk)、密度:
3.00〜3.30(g/cm3)、硬度:1400〜
1800(Hv)、曲げ強度:75(kgf/mm2)以上と
なっている。
0mm、外輪2の外径φ2を62mm、外輪2の幅W2を16
mmとしている。また、内輪1、外輪2および転動体3を
形成したSi3N4の特性値は、縦弾性係数:3.00〜
3.20×104(Kgf/mm2)、ポアソン比:0.26
〜0.30、線膨張係数:2.9〜3.2×10-6(1
/℃)、熱伝導率:20〜27(W/mk)、密度:
3.00〜3.30(g/cm3)、硬度:1400〜
1800(Hv)、曲げ強度:75(kgf/mm2)以上と
なっている。
運転は、ラジアル荷重を400kgf、回転数を9000
rpmに設定して行った。
rpmに設定して行った。
この結果から明らかなように、転動体3の破壊靱性値K
ICを内・外輪1、2のそれよりも0.5〜2.0(MP
a・m1/2)の範囲内で大きくした実施例1〜3の場
合、内輪1、外輪2、転動体3のすべての破壊靱性値K
ICを同じにした比較例1よりも寿命が21時間以上も延
びている。しかしながら、転動体3の破壊靱性値KICを
内・外輪1、2のそれよりも0.4(MPa・m1/2)
大きくした比較例2の場合は、比較例1よりも寿命が3
時間と僅かに延びただけである。
ICを内・外輪1、2のそれよりも0.5〜2.0(MP
a・m1/2)の範囲内で大きくした実施例1〜3の場
合、内輪1、外輪2、転動体3のすべての破壊靱性値K
ICを同じにした比較例1よりも寿命が21時間以上も延
びている。しかしながら、転動体3の破壊靱性値KICを
内・外輪1、2のそれよりも0.4(MPa・m1/2)
大きくした比較例2の場合は、比較例1よりも寿命が3
時間と僅かに延びただけである。
次に、内輪1、外輪2および転動体3をSi−A1−O
−N系化合物で形成したセラミック軸受における運転実
験結果を下記表2に示す。なお、このSi−A1−O−
N系化合物は、前述したような添加元素の文字を並べて
一般的にサイアロンと呼ばれるものであり、その特定値
は、前述のSi3N4の特性値と同じである。
−N系化合物で形成したセラミック軸受における運転実
験結果を下記表2に示す。なお、このSi−A1−O−
N系化合物は、前述したような添加元素の文字を並べて
一般的にサイアロンと呼ばれるものであり、その特定値
は、前述のSi3N4の特性値と同じである。
この結果から明らかなように、転動体3の破壊靱性値K
ICを内・外輪1、2のそれよりも0.5〜2.0(MP
a・m1/2)の範囲内で大きくした実施例4〜7の場
合、内輪1、外輪2、転動体3のすべての破壊靱性値K
ICを同じにした比較例3よりも寿命が二倍以上も延びて
いるが、転動体3の破壊靱性値KICを内・外輪1、2の
それよりも0.4(MPa・m1/2)大きくした比較例
4の場合は、比較例3よりも寿命が10時間と僅かに延
びただけである。
ICを内・外輪1、2のそれよりも0.5〜2.0(MP
a・m1/2)の範囲内で大きくした実施例4〜7の場
合、内輪1、外輪2、転動体3のすべての破壊靱性値K
ICを同じにした比較例3よりも寿命が二倍以上も延びて
いるが、転動体3の破壊靱性値KICを内・外輪1、2の
それよりも0.4(MPa・m1/2)大きくした比較例
4の場合は、比較例3よりも寿命が10時間と僅かに延
びただけである。
しかも、実施例5に示すように、荷重を800kgfに大
きくすると、荷重を600kgfとする実施例6よりも寿
命が短くなるけれども、比較例3に比べると、荷重を大
きくしているにもかかわらず寿命が二倍以上も延びてい
る。つまり、転動体3の破壊靱性値KICを内・外輪1、
2のそれよりも0.5〜2.0(MPa・m1/2)の範
囲内で大きくした本実施例品が、内輪1、外輪2、転動
体3のすべての破壊靱性値KICを同じにした品よりも、
耐荷重性が向上していると言える。
きくすると、荷重を600kgfとする実施例6よりも寿
命が短くなるけれども、比較例3に比べると、荷重を大
きくしているにもかかわらず寿命が二倍以上も延びてい
る。つまり、転動体3の破壊靱性値KICを内・外輪1、
2のそれよりも0.5〜2.0(MPa・m1/2)の範
囲内で大きくした本実施例品が、内輪1、外輪2、転動
体3のすべての破壊靱性値KICを同じにした品よりも、
耐荷重性が向上していると言える。
以上説明したように、転動体3の破壊靱性値KICを内・
外輪1、2のそれよりも適正な範囲内で大きく設定する
ことにより、耐荷重性、寿命が著しく向上するようにな
る。
外輪1、2のそれよりも適正な範囲内で大きく設定する
ことにより、耐荷重性、寿命が著しく向上するようにな
る。
この適正な範囲を0.5〜2.0(MPa・m1/2)に
特定した理由を説明する。
特定した理由を説明する。
まず、前記適正な範囲の下限値0.5未満では耐荷重
性、寿命の著しい向上が望めない。一方の上限値である
が、破壊靱性値KICの差を1.5とした場合つまり実施
例6と、2.0とした場合つまり実施例7とを対比する
と寿命の延びが20時間とわずかになっていることが分
かる。そして、破壊靱性値KICの差が1.5未満では転
動体3が破損するだけであったのに対し、1.5以上で
は転動体3が剥離する程度では済まずに内輪1が破損し
やすくなる。つまり、転動体3の破壊靱性値KICを内・
外輪1、2のそれよりも大きくし過ぎても、転動体3の
代わりに内輪1が破損しやすくなる割合が増して危険性
を伴う一方で、寿命の延びが飽和することから、実施例
7(破壊靱性値KICの差2.0)が適正な範囲の上限値
として適当であると考えたのである。ちなみに、セラミ
ックス製軌道輪の破損は転動体3の剥離といったもので
はなく、亀裂から割れへとつながるものであり、危険で
あると言える。
性、寿命の著しい向上が望めない。一方の上限値である
が、破壊靱性値KICの差を1.5とした場合つまり実施
例6と、2.0とした場合つまり実施例7とを対比する
と寿命の延びが20時間とわずかになっていることが分
かる。そして、破壊靱性値KICの差が1.5未満では転
動体3が破損するだけであったのに対し、1.5以上で
は転動体3が剥離する程度では済まずに内輪1が破損し
やすくなる。つまり、転動体3の破壊靱性値KICを内・
外輪1、2のそれよりも大きくし過ぎても、転動体3の
代わりに内輪1が破損しやすくなる割合が増して危険性
を伴う一方で、寿命の延びが飽和することから、実施例
7(破壊靱性値KICの差2.0)が適正な範囲の上限値
として適当であると考えたのである。ちなみに、セラミ
ックス製軌道輪の破損は転動体3の剥離といったもので
はなく、亀裂から割れへとつながるものであり、危険で
あると言える。
(発明の効果) 本発明によれば、次のような効果を奏する。
即ち、内輪、外輪の破壊靱性値KIC(N)、KIC(G)を等し
くし、かつこれに対して転動体の破壊靱性値KIC(T)を
0.5〜2.0(MPa・m1/2)だけ大きくしてある
ため、高温、高速の特殊条件下での長時間使用によって
も、せいぜい転動体あるいは内輪に剥離が生じる程度で
済んで、破壊には至らなくて、耐荷重性、寿命を改善す
ることができる。
くし、かつこれに対して転動体の破壊靱性値KIC(T)を
0.5〜2.0(MPa・m1/2)だけ大きくしてある
ため、高温、高速の特殊条件下での長時間使用によって
も、せいぜい転動体あるいは内輪に剥離が生じる程度で
済んで、破壊には至らなくて、耐荷重性、寿命を改善す
ることができる。
図面は本発明の実施例に係るセラミック軸受の断面図で
ある。 1…内輪 2…外輪 3…転動体 4…保持器
ある。 1…内輪 2…外輪 3…転動体 4…保持器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山内 浩一 大阪府大阪市南区鰻谷西之町2番地 光洋 精工株式会社内 (56)参考文献 特開 昭48−99538(JP,A) 実開 昭62−110622(JP,U)
Claims (2)
- 【請求項1】内輪、外輪および転動体のすべてをSi3N
4やSi−Al−O−N系化合物からなるセラミックス
で構成したセラミック軸受であって、 前記内輪と前記外輪との破壊靱性値KIC(MPa・m
1/2)を実質的に同一に構成するとともに、前記転動体
の破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)を前記内輪と前記
外輪との破壊靱性値KIC(MPa・m1/2)よりも0.
5〜2.0大きく構成したことを特徴とするセラミック
軸受。 - 【請求項2】前記内輪および前記外輪の破壊靱性値KIC
(MPa・m1/2)が5〜6.5である特許請求の範囲
第(1)項記載のセラミック軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62198751A JPH0617688B2 (ja) | 1986-08-08 | 1987-08-07 | セラミック軸受 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-187359 | 1986-08-08 | ||
| JP18735986 | 1986-08-08 | ||
| JP62198751A JPH0617688B2 (ja) | 1986-08-08 | 1987-08-07 | セラミック軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01105016A JPH01105016A (ja) | 1989-04-21 |
| JPH0617688B2 true JPH0617688B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=26504308
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62198751A Expired - Fee Related JPH0617688B2 (ja) | 1986-08-08 | 1987-08-07 | セラミック軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617688B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000205276A (ja) * | 1999-01-18 | 2000-07-25 | Koyo Seiko Co Ltd | 転がり軸受 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5347861B2 (ja) * | 1972-04-05 | 1978-12-23 | ||
| JPH0324890Y2 (ja) * | 1985-12-28 | 1991-05-30 |
-
1987
- 1987-08-07 JP JP62198751A patent/JPH0617688B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01105016A (ja) | 1989-04-21 |
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