JPH061771B2 - ウエハ保護フイルムの切断方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基板となる半導体ウ
エハのようなウエハに貼着した粘着フイルムからなる保
護フイルムをウエハの周縁に沿つて切断する方法に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来この種の保護フイルムの貼着方法として、前もって
一定寸法に切断された保護フイルムを、ゴムローラ等に
より、手作業でウエハ上に貼着した後、人手によりウエ
ハの外周にカッタナイフを当てがって切抜く方法が行な
われていた。

また、フローティング式の吸着テーブルとこのテーブル
上に吸着せしめたウエハ上面に粘着フイルムからなる保
護フイルムを貼着する動力駆動の貼着ローラと、保護フ
イルムを貼着後に環状のガイドレールに沿つて手動で移
動させる移動台に設けたカッタで保護フイルムを切断す
る半自動の装置もある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来方法において、全てを手作業で行なう
方法はウエハに対してカッタナイフを必要以上の力で押
し付けてウエハを損傷させたり、ウエハの外形と切抜い
た保護フイルムの寸法精度が悪くなったりして作業性が
きわめて悪いものであった。

また、半自動の装置は作業性は相当向上したが保護フイ
ルムの切断は手動にてガイドレールに沿ってカッタを動
かすものであるから、作業性の点でいま一歩というもの
であった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はウエハを上
面に吸着して固定し、このウエハに保護フイルムの貼着
などを行なう真空吸引式の吸着テーブルを回動および昇
降自在とし、この吸着テーブル上にウエハを吸着せしめ
るとともに、このウエハにテープ状の保護フイルムを貼
着したのち、このウエハに貼着されている保護フイルム
をこれに続くテープ状フイルムから切離し、ついで吸着
テーブルを上昇させることによって、ウエハに貼着した
保護フイルムを不回転部分より分離したのち、吸着テー
ブルを回転させつつカッタをウエハの周縁附近に位置す
るようにガイドして保護フイルムをウエハの周縁に沿つ
て切断する方法を提供するものである。

〔実施例〕

第１図において、１は基板、２はこの基板上に図示省略
してある複数の支柱により支持された支持板で、こ支持
板２上に図示省略してあるブラケットを介して固定テー
ブル３が設けてある。

４は固定テーブル３に設けた円形の開口で、この開口内
に円板状の吸着テーブル６を設ける。

この吸着テーブル６の上面には第２図に示すような真空
吸引用の溝７を設け、テーブル６の下部中央にはスプラ
イン軸８を同芯に固定するが、この軸８には溝７に通じ
る連通孔１０を設け、軸８の下端にはロータリエルボ１
１を取付けて、このエルボ１１に図示省略してある真空
吸引装置に通じるホース１２を連結する。

１５は支持板２に固定した軸受で、この軸受１５内にニ
ードルベアリングを介して回転筒１６を回動自在で昇降
不可に取付け、その内部にボールスプライン１７を介し
て前記スプライン軸８を昇降自在で、回転筒１６ととも
に回転するように挿入する。

前記回転筒１６の中間部外側にはギヤ１８を一体に設
け、その上部において回転筒１６の外側にニードルベア
リングを介して回転自在にはめた筒体２０の下部外周の
フランジと、前記テーブル６の下部に着脱自在に固定し
たカム２１の間には押バネ２２を取付けてテーブル６を
フローティング状とする。

第１図の２５は、基板１上に固定したエアまたは油圧あ
るいは電動式のシリンダで、このシリンダ２５により上
下に駆動されるリフタ２６に前記スプライン軸８の下端
に形成した丸棒部２７をベアリングを介して昇降および
回動自在に取付け、この丸棒部２７の外部外側の雄ネジ
にはストッパ２８とロックネジ２９をねじ込んで吸着テ
ーブル６の位置を決めている。

３１は支持板２上に固定した軸で、この軸３１に回動自
在に取付けたギヤ３２を前記ギヤ１８に噛合させる。

３３は支持板２上に固定した軸受（図示省略）に回動自
在に取付けた横向きの駆動軸で、この軸３３の外端にハ
ンドル３４を固定し、内端にはベベルギヤ３５を固定し
て、このギヤ３５を前記ギヤ３２上に固定したベベルギ
ヤ３６に噛合させる。また、駆動軸３３をモータなどの
動力駆動にしてもよい。

第２図、第３図の３８は吸着テーブル６の側方におい
て、支持板２上に固定した軸、３９はこの軸３８を中心
として回転するアーム、４０はアームの外端に取付けた
カムフオロア、４１はカムフオロア４０をカム２１の外
周に圧着させるためアーム３９と支持板２の間に張った
引バネである。

４５は前記アーム３９上に固定したブラケットで、その
上に円弧状の長孔とボルトなどによってカッタ取付台４
６が上下位置および取付角度が調節自在に固定されてい
る。

カッタ取付台４６上には、直線ガイドによりホルダ４７
を第３図の矢印方向に進退するように取付け、ホルダ４
７の先端にはカッタ４８を固定し、ホルダ４７の両側に
は、ホルダ４７を吸着テーブル６の方へ押すバネ４９を
設ける。

つぎに、上記実施例の作用を説明すれば、最初にウエハ
５０を下降位置の吸着テーブル６上に載せ、このテーブ
ル上に設けた指示線などにより正確に位置決めしたの
ち、真空吸引を行ないウエハ５０をテーブル６上に固定
する。

ついで、図示省略してある保護フイルム貼着装置を働か
せてテープ状の保護フイルム５１をその粘着面を下にし
てウエハ５０上に張り渡し、ついで、ゴムなどからなる
貼着ローラ５２をフイルム５１上に圧着しつつ転がして
フイルム５１をウエハ５０上に貼着する。

前記の貼着において、ローラ５２が吸着テーブル６上に
載ったとき、バネ２２の反力によりローラ５２とテーブ
ル６間の加圧力が一定となる。

こうして、ウエハ５０に保護フイルム５１を貼着し、ロ
ーラ５２がテーブル６上から去ったのち、図示省略して
あるカッタにより保護フイルム５１を吸着テーブル６の
前後でテープ状のフイルムから切り離す。

つぎに、シリンダ２５を作用させて、スプライン軸８を
上昇させ、吸着テーブル６上のフイルム５１を固定テー
ブル３などから分離させてテーブル３とともに回転し得
る状態とする。

そののち、アーム３９を第２図、第３図のような作用位
置につけてバネ４１によりカムホロア４０をカム２１に
圧着させる。

また、カッタ取付台４６、ホルダ４７を調節してカッタ
４８をウエハ５０の周囲のフイルム５１に切込ませる。

つぎに、ハンドル３４により駆動軸３３を回すとベベル
ギヤ３５，３６、ギヤ３２，１８、回転筒１６、ボール
スプライン１７を介してスプライン軸８がカム２１、テ
ーブル６とともに回転するので、回転しないカッタ４８
がウエハ５０の周縁に沿つてフイルム５１を切断する。

上記のさい、カッタ４８がウエハ５０の円形の周縁を切
っているときはカムフオロア４０もカム２１の円形の周
縁に接していてカッタ４８は一定の位置で動かないから
フイルム５１が円形に切断されるが、ウエハ５０のオリ
エンテーションフラット５３がカッタ４８の部分にくる
と同時にカム２１のフラット部もカムフオロア４０の部
分にくるのでこの部分ではカムフオロア４０とともにカ
ッタ４８が若干動いて、フイルム５１をフラット５３に
沿つて直線状に切り抜く。

ウエハ５０とカム２１の大きさと形状を近似とし、第２
図に示すようにカッタ４８の刃先と、カム２１とカムフ
オロア４０の接点の垂直方向の位置が鉛直線上にあるよ
うにすればカッタ４８の刃先はカム２１に倣って動き、
フイルム５１をウエハ５０の形状の通りに切り抜くが、
カム２１をウエハ５０よりも小さくし、かつウエハ５０
と相似形としても同じ結果が得られる。

上記実施例はカム２１にカッタ４８を倣わせる方法であ
るが、カムを用いない切断方法を第４図ないし第７図に
基づいて説明すると、第４図のように表面に硬度を与え
た吸着テーブル６にカッタ４８の刃先をあて、ウエハ５
０の側面をガイドとして切断する方法と第５図のように
吸着テーブル６上にウエハ５０の外径と近似形の溝５４
を加工し、その溝の中にカッタ４８の刃先をあて切断し
ていく方法がある。また、ウエハ５０の外形よりの保護
フイルム５１の切断面のはみ出し量は、カッタ４８の傾
きにより調整可能である。

ウエハ５０の外形とほとんど同寸法に切断したい場合は
第６図のように、保護フイルム５１を吸着テーブル６の
上面に移しかえることにより可能である。

第７図のように吸着テーブル６上にウエハ５０と近似形
状の突部５５を設け、この上にウエハ５０を吸着させて
フイルム５１を突部５５の外周にはめたリング５６で押
えてフイルム５１に張力を与えた状態を保ち、カッタ４
８に熱を加えて溶断によりフイルム５１を切断する場合
もある。保護フイルム５１の基材が縮み易いものなど
の、溶断に不都合なものはカッタ４８に加える熱のコン
トロールをし熱溶断とカッタ４８の刃先による切断を併
用しながら保護フイルム５１を切断する場合もある。

切断後、不用な外周のフイルムを剥ぎ取り、吸着テーブ
ル６の吸着を開放し、保護フイルム５１が貼着されたウ
エハを取り外したのちテーブル６を元の位置に下げる。

〔効果〕

この発明は上記のようにウエハを上面に吸着して固定
し、このウエハに保護フイルムの貼着などを行なう真空
吸引式の吸着テーブルを回動および昇降自在とし、この
吸着テーブル上にウエハを吸着せしめるとともに、この
ウエハにテープ状の保護フイルムを貼着したのち、ウエ
ハに貼着されている保護フイルムをこれに続くテープ状
フイルムから切離し、ついで吸着テーブルを上昇させる
ことによって保護フイルムを不回転部分より分離したの
ち、吸着テーブルを回転させつつカッタをウエハの周縁
附近に位置するようにガイドして保護フイルムをウエハ
の周縁に沿つて切断する方法であるからカッタの動きは
極くわずかとなり、カッタの支持手段や上下手段も簡単
となる。また、従来の方法と異なり、手作業による熟練
度を必要とせず、カッタによりウエハの周縁を強く押圧
して損傷せしめるおそれもないなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一部縦断正面
図、第２図は同上要部の平面図、第３図はカッタ取付部
の正面図、第４図ないし第７図は切断方法の各例を示す
一部縦断正面図である。 ６……吸着テーブル、４８……カッタ、 ５０……ウエハ、５１……保護フイルム。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウエハを上面に吸着して固定し、このウエ
   ハに保護フィルムの貼着などを行なう真空吸引式の吸着
   テーブルを回動および昇降自在とし、この吸着テーブル
   上にウエハを吸着せしめるとともに、このウエハにテー
   プ状の保護フィルムを貼着したのち、このウエハに貼着
   されている保護フィルムを、これに続くテープ状フィル
   ムから切離し、ついで吸着テーブルを上昇させることに
   よって、ウエハに貼着した保護フィルムを不回転部分よ
   り分離したのち、吸着テーブルを回転させつつカッタを
   ウエハの周縁付近に位置するようにガイドして保護フィ
   ルムをウエハの周縁に沿つて切断することを特徴とする
   ウエハ保護フィルムの切断方法。
2. 【請求項２】前記カッタのガイド方法はカッタの先端を
   吸着テーブルの境界位置に当てがって、カッタをウエハ
   の周縁によりガイドすることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のウエハ保護フィルムの切断方法。
3. 【請求項３】前記カッタのガイド方法はウエハの形状と
   近似の外形カムを設け、このカムを吸着テーブルと同期
   回転させることによりカッタをガイドすることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項記載のウエハ保護フィルムの
   切断方法。