JPS6317738B2 - - Google Patents

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JPS6317738B2
JPS6317738B2 JP58170393A JP17039383A JPS6317738B2 JP S6317738 B2 JPS6317738 B2 JP S6317738B2 JP 58170393 A JP58170393 A JP 58170393A JP 17039383 A JP17039383 A JP 17039383A JP S6317738 B2 JPS6317738 B2 JP S6317738B2
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frame
pasting
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JP58170393A
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Keigo Funakoshi
Minoru Ametani
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Nitto Denko Corp
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Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は例えば集積回路形成用の基板となる
シリコンウエハのような円板状などの薄板と、こ
の薄板のキヤリヤ治具となる円形環状などのリン
グを１枚の粘着フイルムに貼着する半自動式の貼
着装置に関するものである。
従来では上記のようなリング状のキヤリヤ治具
に対するフイルムの貼着と、フイルムに対するシ
リコンウエハなどの貼着は全て手作業で行ない、
リングの周囲からはみ出したフイルムの切り取り
も手作業で行なつていたのできわめて手数がかか
り、かつ皺ができないように張ることは困難で、
熟練を要するなどの問題があつた。
この発明は上記のようなリングにフイルムを貼
着するとともに薄板をフイルムに貼着する作業を
半自動化したもので、リングと薄板の配置は手作
業で行ない、リングと薄板に対するフイルムの貼
着は自動的に行ない、リングに張つたフイルムの
切断は手動操作ではあるが、ガイドレールに沿つ
て切断し後続のフイルムの切断もガイドに沿つて
切断できるようにしたため、熟練者でなくともフ
イルムの貼着は完全に行なえ、フイルムの切断も
容易にかつ安全確実に行なえる半自動の貼着装置
を提供するものである。
以下にこの発明の貼着装置の詳細を図面に示す
実施例に基づいて説明する。
１はフレーム、２はフレーム上部に配置したリ
ング支持テーブルである。このテーブル２は、第
２図のようにフレーム１内の支持台１２上に設け
た複数の支柱１３で支えられたもので、このテー
ブル２上には第４図のようにリング３の位置決め
片４，５が固定してあり、片４はリング３の外周
一部の直線部６を受け、左右の片４はリング３の
両外周を受けるもので何れの片もリング３の肉厚
よりも薄いものである。また、この片のかわりに
凹入部を設けてもよい。
テーブル２の中央には円形の開口１４を設け、
この開口１４に薄板支持テーブル７を臨ませる。
このテーブル７は第２図に示すような円筒形でそ
の下端の支持脚８がフレーム１内の前記支持台１
２のガイド孔に昇降自在に嵌合し、かつテーブル
７の上面がテーブル２の上面と同一面となるよう
にバネ１０で押上し、ストツパ１１で上限を限定
する。また、このテーブル７には適当な回り止め
を施す。
また、この薄板支持テーブル７上には薄板１５
の位置決め用の浅い凹所または目印を設け、さら
に必要に応じ、複数の真空吸引孔を設けてテーブ
ル７の薄板を真空吸引により固定する場合もあ
る。
第１図、第２図のＧはフレーム１内の上部のガ
イド枠で、両端の枠１６，１７を左右一対のガイ
ドレール１８により一体に結合したものである。
このガイド枠Ｇはその一端の枠１７を、フレーム
１の一端に設けた駆動軸２０により回動自在に支
承する。また、各ガイドレール１８には貼着手段
Ａを取付けるための左右一対の取付台１９を摺動
自在に嵌合する。
２１はフレーム１内において、前記駆動軸２０
に固定した左右一対のタイミングプーリで、この
プーリ２１とフレーム１の他端に設けた左右一対
のタイミングプーリ２２間に左右一対のタイミン
グベルト２３を係合させ、この各ベルトの両端を
各取付台１９に固定して両ベルト２３により両取
付台１９を同時に移動させるように構成し、駆動
軸２０を第１図の正逆転モータ２４により駆動す
る。
貼着手段Ａは両取付台１９に両端を回動自在に
取付けたゴム製の貼付ローラ２５と同じく取付台
１９に回動自在に取付けたガイドローラ２６と、
前記ローラ２５と同軸に取付けた左右一対の揺動
片２７に取付けたフイルム保持吸着台２８とフイ
ルム押えローラ２９とからなつている。また、揺
動片２７はバネ３０によりローラ２９をローラ２
６に圧着させる状態と吸着台２８を下方へ回動さ
せる状態に切換えられるようになつている。
第１図の３２はフレーム１の前部に設けた左右
一対の支持板で、この支持板３２に着脱自在に取
付けた巻軸３４に巻いたテープ状の粘着フイルム
３５のセパレータ３３は上方の巻取軸３１に巻取
られるように巻軸３４と巻取軸３１を連動させ
る。ただし、セパレータのないフイルムを用いる
場合は巻取軸３１は不用である。
前記テープ保持吸着台２８は中空で下面に多数
の吸気孔を有し、図示省略してあるフレキシブル
パイプによつて真空吸引装置に連結され、切換弁
の作動によつて吸着台２８の下面に前記粘着フイ
ルム３５を粘着面を下にして吸着するように構成
する。
また、前記ガイド枠Ｇの自由端側の内側には第
２図のようにローラ３８を設け、このローラ３８
の下方において、フレーム１に設けた支持台３９
上にはエアシリンダ４０により昇降する押上部材
４１を設け、この部材４１によつてローラ３８を
押上できるようにする。
第１図、第２図の４３はフレーム１の端部両側
に固定した左右一対の取付枠で、この両取付枠４
３の上端には支持枠４４の一端両側の腕４２を軸
４５により起伏自在に取付ける。
支持枠４４の中央には、この枠４４を水平にし
たとき、テーブル２の開口１４を同心となる開口
４６を設け、この開口４６の上部外周にはＴ形横
断面の円形ガイドレール４７を設ける。
Ｂはフイルムの切抜き手段で、第２図、第３図
のように３個のローラ４８によりガイドレール４
７に取付けた移動部材４９と、この部材４９に取
付けた自由回転の円板状カツタ５０で構成されて
いる。また、この移動部材４９上にはハンドル５
１を設ける。
Ｃはフイルムの切離し手段で、第３図、第５図
のように、支持枠４４に設けた横方向のガイド孔
５４に摺動自在に挿入した縦軸５５の下端に移動
体５６を固定し、この移動体５６にカツタ５７を
固定し、縦軸５５の鍔と支持枠４４間には押バネ
５８を取付けて移動体５６を支持枠４４の下面に
圧着させ、縦軸５５の上端にはハンドル５９を設
けてハンドル５９をバネ５８に抗して押下すると
カツタ５７がフイルム３５に切り込むようにした
ものである。また、移動体５６には支持枠４４の
縁に接触する回り止め兼用のガイド片６０を設け
る。なお、第２図、第４図の５２はフイルム貼着
後のリング３の取出用指入孔である。
つぎに作用を説明する。
まず、第１図のように支持枠４４を上方へ回し
ておき、第４図のようにリング３をテーブル２上
に載せて位置決め片４，５により位置決めをす
る。
つぎに、薄板１５を中央のテーブル７上に載せ
て位置決めし、必要に応じて真空吸引によりテー
ブル７上に固定する。
粘着フイルム３５は第１図、第２図のように、
支持板３２と取付枠４３に設けたガイドローラ３
６，３７の上下を通し、取付台１９上のガイドロ
ーラ２６の上方から、このローラ２６とフイルム
押えローラ２９間を通し、貼着ローラ２５の下部
へと導いてセツトし、フイルムの先端は粘着面が
下となり、吸着台２８の下面に真空吸引されて保
持される。ついでシリンダ４０を働かせて押上部
材４１を上昇させ、ローラ３８を介してガイド枠
Ｇを押上し、貼着手段Ａの貼着ローラ２５がテー
ブル２上に接触しないようにする。
この状態でモータ２４を正転させると、取付台
１９とともに貼着手段Ａが第２図に向つて左方へ
移動を始め、フイルム３５を巻軸３４から引出し
ていく。このとき巻軸３４に連動する巻取軸３１
がセパレータ３３を巻き取る。
こうして、フイルム３５がテーブル２上に浮い
た状態でリング３と薄板１５上に張り渡されたの
ち、シリンダ４０を働かせて押上部材４１を下降
させ、粘着フイルム３５をテーブル２上に接触さ
せる。ついで、吸着台２８によるフイルム３５の
吸着を解き、モータ２４を逆転させて、貼着手段
Ａが元の位置へ移動し始めると、貼着ローラ２５
がフイルム３５をリング３や薄板１５に圧着しつ
つ移動する。
フイルム３５を貼着した貼着手段Ａが元の位置
で停止したのち、前記支持枠４４を第２図のよう
にテーブル２上へ下げ、ハンドル５１を押下する
と、リング３上のフイルム３５に切抜き手段Ｂの
カツタ５０が押し付けられるので、この状態で移
動部材４９をガイドレール４７に沿つて移動させ
ると、カツタ５０は回転しつつフイルム３５を円
形に切つていく。こうして移動部材４９をガイド
レール４７に沿つて約２周させるとフイルム３５
はリング３上において円形に切り抜かれる。
その後、切り離し手段Ｃのハンドル５９を押し
下げてカツタ５７をフイルム３５の一端に切り込
み、移動体５６をガイド孔５４の一端から他端へ
移動させるとフイルム３５が切り離される。
こうしてフイルム３５に貼着されたリング３と
薄板１５をテーブル２上から取出し、その周囲の
残りのフイルム３５を除去し、ついで前回同様に
後続のフイルム３５の先端を吸着台２８に吸着さ
せ、シリンダ４０により押上部材４１を上昇させ
てつぎの工程に入る。
この発明は上記のようにリング３と薄板１５を
定位置に支持するテーブル２と、このテーブル２
上をガイド枠Ｇに沿つて往復する貼着手段Ａを設
け、この貼着手段Ａには、貼着面を下面として巻
軸３４から引き出された粘着フイルム３５の先端
を吸着または挾持することにより保持して、貼着
手段Ａの往行時に粘着フイルム３５を前記リング
３と薄板１５上に接触しないように展張したのち
粘着フイルム３５の吸着を解くフイルム保持吸着
台２８と、貼着手段Ａの後退時に、前記展張して
ある粘着フイルム３５をリング３と薄板１５上に
圧着せしめる貼着ローラ２５を設けて、薄板１５
とリング３はテーブル２上の定位置に手作業で配
置するようにしたものであるから、これらをきわ
めて正確に配置できる。また、手作業で正確に張
ることが困難なフイルム３５の貼着は貼着手段Ａ
によつて自動的に行えるので熟練者でなくともフ
イルムの貼着作業は容易である。
また、前記テーブル２の一端上方において、軸
４５を支点とする起伏自在の支持枠４４を配置
し、この支持枠４４の中央に環状のガイドレール
４７を設け、このガイドレール４７には、このレ
ール４７に沿つて同心円にて移動する移動部材４
９または回転中心を有する回転機構と、この移動
部材４９に取付けたカツタ５０からなるフイルム
切抜き手段Ｂを設け、さらに、前記支持枠４４の
前記巻軸３４側には、横方向のガイド孔５４に沿
つて移動する昇降自在の移動体５６と、この移動
体５６の下部に取付けたカツタ５７からなるフイ
ルム切離し手段Ｃを設けて、上記支持枠４４を、
リング３と薄板１５上に貼着した状態の粘着フイ
ルム３５上に伏せて上記切抜き手段Ｂをレール４
７に沿つて移動させることにより、前記リング３
上の粘着フイルム３５を切抜き、ついで上記フイ
ルム切離し手段Ｃを押下してそのカツタ５７によ
りフイルム３５を切離すように構成したものであ
るから、貼着後のフイルム３５の切抜きや切離し
作業は手作業ではあるが、作業者はフイルム切抜
き手段Ｂやフイルム切離し手段Ｃのカツタ５０お
よび５７をフイルムに押し付けて移動部材４９お
よび移動体５６がガイドに沿つて動かすだけでよ
いので正確なフイルム３５の切抜きや切離しがき
わめて容易に行え、危険も少ないなどの効果があ
る。
なお、実施例のように薄板支持テーブル７をバ
ネ１０によりフローテイング式に支持した場合
は、フイルム貼着時において、薄板１５が耐圧荷
重により破損する以前に薄板支持テーブル７がバ
ネ１０を圧縮して下降するため安全である。しか
し、その心配のない材料の場合は薄板支持テーブ
ルをリング支持テーブルと一体にしてもよい。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の貼着装置の一実施例を示す
側面図、第２図は同上の拡大縦断側面図、第３図
は同上の拡大平面図、第４図は第２図―線の
横断平面図、第５図は切離し手段の拡大縦断側面
図である。 ２…リング支持テーブル、３…リング、７…薄
板支持テーブル、１５…薄板、３５…粘着フイル
ム、４４…支持枠、Ａ…貼着手段、Ｂ…切抜き手
段、Ｃ…切離し手段、Ｇ…ガイド枠。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ リング３と薄板１５を定位置に支持するテー
    ブル２と、このテーブル２上をガイド枠Ｇに沿つ
    て往復する貼着手段Ａを設け、この貼着手段Ａに
    は、貼着面を下面として巻軸３４から引き出され
    た粘着フイルム３５の先端を吸着して、貼着手段
    Ａの往行時に粘着フイルム３５を前記リング３と
    薄板１５上に接触しないように展張したのち粘着
    フイルム３５の吸着を解くフイルム保持吸着台２
    ８と、貼着手段Ａの後退時に、前記展張してある
    粘着フイルム３５をリング３と薄板１５上に貼着
    せしめる貼着ローラ２５を設け、上記テーブル２
    の一端上方において、軸４５を支点とする起伏自
    在の支持枠４４を配置し、この支持枠４４の中央
    に環状のガイドレール４７を設け、このガイドレ
    ール４７には、このレール４７に沿つて移動する
    移動部材４９と、この移動部材４９に取付けたカ
    ツタ５０からなるフイルム切抜き手段Ｂを設け、
    さらに、前記支持枠４４の前記巻軸３４側には、
    横方向のガイド孔５４に沿つて移動する昇降自在
    の移動体５６と、この移動体５６の下部に取付け
    たカツタ５７からなるフイルム切離し手段Ｃを設
    けて、上記支持枠４４を、リング３と薄板１５上
    に貼着した状態の粘着フイルム３５上に伏せて上
    記切抜き手段Ｂをレール４７に沿つて移動させる
    ことにより、前記リング３上の粘着フイルム３５
    を切抜き、ついで上記フイルム切離し手段Ｃを押
    下してそのカツタ５７によりフイルム３５を切離
    すように構成したリングと薄板の貼着装置。 ２ リング支持テーブル２と薄板支持テーブル７
    を別体とし、リング支持テーブル２をフレーム１
    に固定し、薄板支持テーブル７をバネ１０により
    フローテイング式とした特許請求の範囲第１項記
    載のリングと薄板の貼着装置。
JP58170393A 1983-09-13 1983-09-13 リングと薄板の貼着装置 Granted JPS6060800A (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58170393A JPS6060800A (ja) 1983-09-13 1983-09-13 リングと薄板の貼着装置
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