JPH0617784B2 - 光学式センサの自動出力制御装置 - Google Patents
光学式センサの自動出力制御装置Info
- Publication number
- JPH0617784B2 JPH0617784B2 JP62121183A JP12118387A JPH0617784B2 JP H0617784 B2 JPH0617784 B2 JP H0617784B2 JP 62121183 A JP62121183 A JP 62121183A JP 12118387 A JP12118387 A JP 12118387A JP H0617784 B2 JPH0617784 B2 JP H0617784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- light
- output
- amount
- apc
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Circuit Arrangement For Electric Light Sources In General (AREA)
- Control Of Non-Electrical Variables (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、投光器と受光器を有する光学式センサにおい
て光量を安定化する自動出力制御回路に関する。本発明
においてＡＰＣ回路とは自動出力制御回路のことを表し
ている。光学式センサとは、例えば光学式傷センサのこ
とである。
て光量を安定化する自動出力制御回路に関する。本発明
においてＡＰＣ回路とは自動出力制御回路のことを表し
ている。光学式センサとは、例えば光学式傷センサのこ
とである。
従来の技術 被測定物の表面状態を検査する光学式センサは、投光器
から一定の強さの光を投光し、被測定物から反射または
透過した光を受光し、受光量の変化を解析して表面状態
を判定する。光量が安定できないと、正確な測定ができ
ないだけでなく、光学的ノイズの大きな被測定物、例え
ば研磨面の表面状態を測定する場合、受光量の乱れが大
きく、異常部分を判定するためには複雑な処理が必要で
あり、処理時間は長くなり、かつ処理装置は複雑にな
る。そのためまず基本的に投光量と受光量は安定でなけ
ればならない。
から一定の強さの光を投光し、被測定物から反射または
透過した光を受光し、受光量の変化を解析して表面状態
を判定する。光量が安定できないと、正確な測定ができ
ないだけでなく、光学的ノイズの大きな被測定物、例え
ば研磨面の表面状態を測定する場合、受光量の乱れが大
きく、異常部分を判定するためには複雑な処理が必要で
あり、処理時間は長くなり、かつ処理装置は複雑にな
る。そのためまず基本的に投光量と受光量は安定でなけ
ればならない。
反射型または透過型の光学式センサにおいて光量を安定
化するためには負帰還技術が利用される。その場合投光
器の光は、投光器の近くに配置したモニタ受光器により
検出され、検出した光の量に応じて投光器の駆動出力が
制御される。また特にモニタ受光器を設けなくとも、本
来の受光器により検出した光の量に従つて同様の制御を
行うこともできる。これらの技術は、例えば特開昭59-5
2889号公報または特開昭 61-192044号公報に記載されて
いる。
化するためには負帰還技術が利用される。その場合投光
器の光は、投光器の近くに配置したモニタ受光器により
検出され、検出した光の量に応じて投光器の駆動出力が
制御される。また特にモニタ受光器を設けなくとも、本
来の受光器により検出した光の量に従つて同様の制御を
行うこともできる。これらの技術は、例えば特開昭59-5
2889号公報または特開昭 61-192044号公報に記載されて
いる。
発明が解決しようとする問題点 投光器側に設けたモニタ受光器により光量の制御を行う
場合、投光量は一定に制御できるが、被測定物の表面反
射率または透過率に従って受光量は大幅に変化するの
で、正確な測定が困難になる。例えば被測定物の表面か
らの反射光の受光位置により被測定物までの距離を三角
測量する距離センサの場合、このような受光量の変動は
測定精度を大幅に低下させる。
場合、投光量は一定に制御できるが、被測定物の表面反
射率または透過率に従って受光量は大幅に変化するの
で、正確な測定が困難になる。例えば被測定物の表面か
らの反射光の受光位置により被測定物までの距離を三角
測量する距離センサの場合、このような受光量の変動は
測定精度を大幅に低下させる。
一方本来の受光器により光量を検出する場合、投光器の
実際の投光量はモニタできないので、被測定物の状態に
よっては投光量は異常に増加することがあり、投光器の
寿命を短くしてしまう。
実際の投光量はモニタできないので、被測定物の状態に
よっては投光量は異常に増加することがあり、投光器の
寿命を短くしてしまう。
負帰還技術により光量を安定化したとしても、同時に被
測定物の表面状態の変化を表す情報を抑圧してしまって
はいけない。
測定物の表面状態の変化を表す情報を抑圧してしまって
はいけない。
本発明の目的は、投光器の寿命に害を及ぼすことなく、
投光量と受光量を安定化し、しかも被測定物の表面状態
の変化を表す受光量の変化を抑圧しない光学式センサの
自動出力制御装置を提供することにある。
投光量と受光量を安定化し、しかも被測定物の表面状態
の変化を表す受光量の変化を抑圧しない光学式センサの
自動出力制御装置を提供することにある。
問題点を解決するための手段 本発明は、投光器と受光器を有する光学式センサにおい
て、投光器の投光量を検出するためモニタ受光器を含む
モニタ回路、モニタ回路により検出した投光量に応じて
投光器駆動回路の駆動出力を制御する第１のＡＰＣ回
路、受光器の受光量を検出する受光回路、および受光回
路により検出した受光量に応じて投光器駆動回路の駆動
出力を制御する第２のＡＰＣ回路を設けた光学式センサ
の自動出力制御装置を前提としている。
て、投光器の投光量を検出するためモニタ受光器を含む
モニタ回路、モニタ回路により検出した投光量に応じて
投光器駆動回路の駆動出力を制御する第１のＡＰＣ回
路、受光器の受光量を検出する受光回路、および受光回
路により検出した受光量に応じて投光器駆動回路の駆動
出力を制御する第２のＡＰＣ回路を設けた光学式センサ
の自動出力制御装置を前提としている。
このような装置において、本発明によればこの目的は次
のようにして達成される。すなわち第２のＡＰＣ回路の
出力側に信号の振幅を制限する回路を設ける。
のようにして達成される。すなわち第２のＡＰＣ回路の
出力側に信号の振幅を制限する回路を設ける。
また第２のＡＰＣ回路の出力側に信号の勾配を制限する
回路を設けることにより、同じ目的を達成することがで
きる。
回路を設けることにより、同じ目的を達成することがで
きる。
さらに第２のＡＰＣ回路の出力側に信号の振幅を制限す
る回路と勾配を制限する回路両方を設けても同じ目的が
達成できる。その際信号の振幅を制限する回路と勾配を
制限する回路を直列に接続することが目的に合つてい
る。しかし両方の回路は並列に接続してもよい。
る回路と勾配を制限する回路両方を設けても同じ目的が
達成できる。その際信号の振幅を制限する回路と勾配を
制限する回路を直列に接続することが目的に合つてい
る。しかし両方の回路は並列に接続してもよい。
ここにおいて信号の振幅を制限する回路とは、例えばリ
ミッタのことであり、所定のレベルを上回る信号または
下回る信号またはその両方を制限するものである。一方
信号の勾配を制限する回路とは、例えばローパスフィル
タまたは積分器のことである。
ミッタのことであり、所定のレベルを上回る信号または
下回る信号またはその両方を制限するものである。一方
信号の勾配を制限する回路とは、例えばローパスフィル
タまたは積分器のことである。
また、本発明の上記装置には、第１のＡＰＣ回路の出力
及び、振幅制限回路及び／又は勾配制限回路の出力を適
当な割合として加算し、その信号を投光器駆動回路へ出
力する荷重加算回路が設けてある。
及び、振幅制限回路及び／又は勾配制限回路の出力を適
当な割合として加算し、その信号を投光器駆動回路へ出
力する荷重加算回路が設けてある。
作用 投光器、モニタ回路、第１のＡＰＣ回路および投光器駆
動回路は、いわば第１の負帰環ループを形成しており、
一方投光器、受光器、受光回路、第２のＡＰＣ回路およ
び投光器駆動回路は、第２の負帰還ループを形成してい
る。従って本発明による自動出力制御装置は、二重の負
帰還ループを備えた光量安定化回路として作用するので
ある。従ってまずこれらの負帰還ループにより投光量お
よび受光量が安定化する。
動回路は、いわば第１の負帰環ループを形成しており、
一方投光器、受光器、受光回路、第２のＡＰＣ回路およ
び投光器駆動回路は、第２の負帰還ループを形成してい
る。従って本発明による自動出力制御装置は、二重の負
帰還ループを備えた光量安定化回路として作用するので
ある。従ってまずこれらの負帰還ループにより投光量お
よび受光量が安定化する。
受光量を安定化した場合、そのままでは同時に表面状態
の情報を含んだ受光量変化も抑圧してしまうので、この
ような二重の負帰還ループのうち第２のものは、そのル
ープ内に信号の振幅または勾配を制限する回路を含む。
それにより所定の値以上の振幅または所定の速度以上の
信号変化は抑圧されない。本発明によれば、これら大き
な振幅の発生または高速の変化の発生を表面の異常と判
定するので、本発明による装置では、表面の異常は明確
に判定できる。
の情報を含んだ受光量変化も抑圧してしまうので、この
ような二重の負帰還ループのうち第２のものは、そのル
ープ内に信号の振幅または勾配を制限する回路を含む。
それにより所定の値以上の振幅または所定の速度以上の
信号変化は抑圧されない。本発明によれば、これら大き
な振幅の発生または高速の変化の発生を表面の異常と判
定するので、本発明による装置では、表面の異常は明確
に判定できる。
実施例の説明 図示した実施例は、いわゆる三角測量方式によりセンサ
と被測定物１の間の距離を測定する距離センサに本発明
を応用した例を示している。またここでは同時に被測定
物１の表面の傷を検査することができる。
と被測定物１の間の距離を測定する距離センサに本発明
を応用した例を示している。またここでは同時に被測定
物１の表面の傷を検査することができる。
センサには、レーザー素子２からなる投光器と位置検出
素子３からなる受光器が被測定物に対向して設けられて
いる。レーザー素子２の近くに、レーザー光の一部を受
け取るモニタ受光器が配置されており、このモニタ受光
器はフォトダイオード４からなる。
素子３からなる受光器が被測定物に対向して設けられて
いる。レーザー素子２の近くに、レーザー光の一部を受
け取るモニタ受光器が配置されており、このモニタ受光
器はフォトダイオード４からなる。
図に示す実施例においてフォトダイオード４の出力は、
図示していない増幅器を介して第１のＡＰＣ回路に供給
される。ここでは第１のＡＰＣ回路は簡単に差動増幅器
６として構成されており、この差動増幅器の他方の入力
端子には投光量基準電圧ＶＲ１が供給されている。差動
増幅器６の出力は、荷重加算回路５の第１の入力端子に
供給される。
図示していない増幅器を介して第１のＡＰＣ回路に供給
される。ここでは第１のＡＰＣ回路は簡単に差動増幅器
６として構成されており、この差動増幅器の他方の入力
端子には投光量基準電圧ＶＲ１が供給されている。差動
増幅器６の出力は、荷重加算回路５の第１の入力端子に
供給される。
レーザー光の大部分は被測定物１に当たり、ここで反射
して位置検出素子３に達する。位置検出素子３は２つの
出力端子を有し、光が位置検出素子３の中央に当たる
と、２つの出力端子から同じ大きさの出力を生じ、かつ
光の当たる位置に応じて、一方の出力端子から他方の出
力端子より大さな出力を生じる。それによりいわゆる三
角測量が可能である。すなわち一方の出力端子の出力を
Ｖ１、他方の出力端子の出力をＶ２とすると、（Ｖ１−
Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）は距離データとして利用でき
る。またＶ１＋Ｖ２は光量データであり、被測定物１の
表面の傷の検査に利用される。
して位置検出素子３に達する。位置検出素子３は２つの
出力端子を有し、光が位置検出素子３の中央に当たる
と、２つの出力端子から同じ大きさの出力を生じ、かつ
光の当たる位置に応じて、一方の出力端子から他方の出
力端子より大さな出力を生じる。それによりいわゆる三
角測量が可能である。すなわち一方の出力端子の出力を
Ｖ１、他方の出力端子の出力をＶ２とすると、（Ｖ１−
Ｖ２）／（Ｖ１＋Ｖ２）は距離データとして利用でき
る。またＶ１＋Ｖ２は光量データであり、被測定物１の
表面の傷の検査に利用される。
前記の演算を行うため、位置検出素子３の出力は、それ
ぞれ増幅器８，９を介して演算回路１０に供給される。
その際ここでは位置検出素子の出力は電流値として供給
されるので、増幅器８，９は電流電圧変換を行う。演算
回路１０内では所定演算が行われ、距離と表面傷の判定
が行われ、図示していないディスプレイによって結果が
表示される。
ぞれ増幅器８，９を介して演算回路１０に供給される。
その際ここでは位置検出素子の出力は電流値として供給
されるので、増幅器８，９は電流電圧変換を行う。演算
回路１０内では所定演算が行われ、距離と表面傷の判定
が行われ、図示していないディスプレイによって結果が
表示される。
増幅器８，９の出力は加算回路１１で加算され、ここで
も増幅器１２から構成された第２のＡＰＣ回路に供給さ
れる。その際加算を前記演算回路１０において行っても
よいことは明らかである。差動増幅器１２は加算電圧と
受光量基準電圧ＶＲ２の差を形成する。第１図に示す実
施例によればこの差は、一方では振幅制限回路１３を介
し、他方では勾配制限回路１４を介して、それぞれ荷重
加算回路５の第２および第３の入力端子に供給される。
も増幅器１２から構成された第２のＡＰＣ回路に供給さ
れる。その際加算を前記演算回路１０において行っても
よいことは明らかである。差動増幅器１２は加算電圧と
受光量基準電圧ＶＲ２の差を形成する。第１図に示す実
施例によればこの差は、一方では振幅制限回路１３を介
し、他方では勾配制限回路１４を介して、それぞれ荷重
加算回路５の第２および第３の入力端子に供給される。
本実施例では振幅制限回路１３は、上限値と下限値を有
する２つのリミッタから構成されているが、例えば下限
値を有する１つのリミッタから構成してもよい。
する２つのリミッタから構成されているが、例えば下限
値を有する１つのリミッタから構成してもよい。
一方勾配制限回路１４は、ローパスフィルタからなる
が、例えば積分器として構成してもよいことは明らかで
ある。
が、例えば積分器として構成してもよいことは明らかで
ある。
荷重加算回路５は、第１の入力端子に供給された第１の
差動増幅器６の出力と第２の入力端子に供給される振幅
制限回路１３の出力と第３の入力端子に供給される勾配
制限回路１４の出力とを適当な割合として加算する。そ
の際この割合を適当に選定することにより、２つの帰還
ループの帰還率を適当に選定できると共に、例えば第２
または第３の入力端子に供給される信号の荷重を０とす
れば、振幅制限回路１３または勾配制限回路１４の片方
だけを有する装置が実現する。
差動増幅器６の出力と第２の入力端子に供給される振幅
制限回路１３の出力と第３の入力端子に供給される勾配
制限回路１４の出力とを適当な割合として加算する。そ
の際この割合を適当に選定することにより、２つの帰還
ループの帰還率を適当に選定できると共に、例えば第２
または第３の入力端子に供給される信号の荷重を０とす
れば、振幅制限回路１３または勾配制限回路１４の片方
だけを有する装置が実現する。
荷重加算回路５の出力端子は投光器駆動回路７の制御入
力端子に接続されており、この投光器駆動回路７は、差
動増幅器６、振幅制限回路１３および勾配制限回路４の
出力に依存してレーザー素子２を駆動する。
力端子に接続されており、この投光器駆動回路７は、差
動増幅器６、振幅制限回路１３および勾配制限回路４の
出力に依存してレーザー素子２を駆動する。
第２図の実施例では、振幅制限回路１３と勾配制限回路
１４は直列に接続されている。従つて差動増幅器１２の
出力端子は、振幅制限回路１３と勾配制限回路１４を介
して荷重加算回路５′の第２の入力端子に接続されてい
る。その他の点では第１図の実施例と同じである。第２
図の実施例で、第１図のものに対して異常信号に対して
敏感である。どちらを適用するかはそのつどの条件によ
り選択すればよい。
１４は直列に接続されている。従つて差動増幅器１２の
出力端子は、振幅制限回路１３と勾配制限回路１４を介
して荷重加算回路５′の第２の入力端子に接続されてい
る。その他の点では第１図の実施例と同じである。第２
図の実施例で、第１図のものに対して異常信号に対して
敏感である。どちらを適用するかはそのつどの条件によ
り選択すればよい。
効果 本発明による自動出力制御装置によれば、光学式センサ
の投光量と受光量を著しく安定化することができ、しか
もその際投光器の寿命に害が及ぶことはない。
の投光量と受光量を著しく安定化することができ、しか
もその際投光器の寿命に害が及ぶことはない。
反射型センサの場合、表面粗度の悪い（研磨面、鋳肌面
等）被測定物、表面色が変化する被測定物、局面を持つ
被測定物等においても、微小な傷や面異常を明確化する
ことができるので、傷判別処理を単純化かつ高速化でき
る。
等）被測定物、表面色が変化する被測定物、局面を持つ
被測定物等においても、微小な傷や面異常を明確化する
ことができるので、傷判別処理を単純化かつ高速化でき
る。
第１図は、本発明による自動出力制御装置の第１の実施
例を示すブロック図、第２図は、同じく第２の実施例の
一部を示すブロック図である。 １……被測定物、２……レーザー素子、３……位置検出
素子、４……フォトダイオード、５……荷重加算回路、
６，１２……ＡＰＣ回路、７……投光器駆動回路、８，
９……増幅器、１０……演算回路、１１……加算回路、
１３……振幅制限回路、１４……勾配制限回路
例を示すブロック図、第２図は、同じく第２の実施例の
一部を示すブロック図である。 １……被測定物、２……レーザー素子、３……位置検出
素子、４……フォトダイオード、５……荷重加算回路、
６，１２……ＡＰＣ回路、７……投光器駆動回路、８，
９……増幅器、１０……演算回路、１１……加算回路、
１３……振幅制限回路、１４……勾配制限回路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｂ 37/02 Ｄ 8715−3Ｋ
Claims (3)
- 【請求項１】投光器と受光器を有する光学式センサにお
いて、投光器の投光量を検出するためモニタ受光器を含
むモニタ回路、モニタ回路により検出した投光量に応じ
て投光器駆動回路の駆動出力を制御する第１のＡＰＣ回
路、受光器の受光量を検出する受光回路、および受光回
路により検出した受光量に応じて投光器駆動回路の駆動
出力を制御する第２のＡＰＣ回路を設け、かつ第２のＡ
ＰＣ回路の出力側に信号の振幅を制限する回路を設け、
上記の第１のＡＰＣ回路の出力、及び第２のＡＰＣ回路
の出力側に設けた振幅制限回路の出力を適当な割合とし
て加算しその信号を投光器駆動回路へ出力する荷重加算
回路を設けたことを特徴とする光学式センサの自動出力
制御装置。 - 【請求項２】投光器と受光器を有する光学式センサにお
いて、投光器の投光量を検出するためモニタ受光器を含
むモニタ回路、モニタ回路により検出した投光量に応じ
て投光器駆動回路の駆動出力を制御する第１のＡＰＣ回
路、受光器の受光量を検出する受光回路、および受光回
路により検出した受光量に応じて投光器駆動回路の駆動
出力を制御する第２のＡＰＣ回路を設け、かつ第２のＡ
ＰＣ回路の出力側に信号の勾配を制限する回路を設け、
上記の第１のＡＰＣ回路の出力、及び第２のＡＰＣ回路
の出力側に設けた勾配制限回路の出力を適当な割合とし
て加算しその信号を投光器駆動回路へ出力する荷重加算
回路を設けたことを特徴とする光学式センサの自動出力
制御装置。 - 【請求項３】投光器と受光器を有する光学式センサにお
いて、投光器の投光量を検出するためモニタ受光器を含
むモニタ回路、モニタ回路により検出した投光量に応じ
て投光器駆動回路の駆動出力を制御する第１のＡＰＣ回
路、受光器の受光量を検出する受光回路、および受光回
路により検出した受光量に応じて投光器駆動回路の駆動
出力を制御する第２のＡＰＣ回路を設け、かつ第２のＡ
ＰＣ回路の出力側に信号の振幅を制限する回路と信号の
勾配を制限する回路を設け、上記の第１のＡＰＣ回路の
出力、及び第２のＡＰＣ回路の出力側に設けた振幅制限
回路並びに勾配制限回路の出力を適当な割合として加算
しその信号を投光器駆動回路へ出力する荷重加算回路を
設けたことを特徴とする光学式センサの自動出力制御装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62121183A JPH0617784B2 (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光学式センサの自動出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62121183A JPH0617784B2 (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光学式センサの自動出力制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63286715A JPS63286715A (ja) | 1988-11-24 |
| JPH0617784B2 true JPH0617784B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=14804907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62121183A Expired - Fee Related JPH0617784B2 (ja) | 1987-05-20 | 1987-05-20 | 光学式センサの自動出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617784B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02176411A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Fujitsu Ltd | 表面うねり検査装置及びその光量補正方法 |
| JPH06138040A (ja) * | 1992-10-26 | 1994-05-20 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 検査装置における光源の照度制御装置 |
-
1987
- 1987-05-20 JP JP62121183A patent/JPH0617784B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63286715A (ja) | 1988-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4265535A (en) | Oil-in-water method and detector | |
| US3885872A (en) | Digital proximity sensing system | |
| JPS62215848A (ja) | 感知装置 | |
| JPH0726806B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| US5712477A (en) | System to provide alignment and troubleshooting aid photoelectric sensors through alternating numeric display | |
| GB2283813A (en) | Photoelectric smoke sensor sensitivity test | |
| JPH0617784B2 (ja) | 光学式センサの自動出力制御装置 | |
| JPS6123910A (ja) | 光式距離測定装置 | |
| JP2995124B2 (ja) | 寸法測定装置 | |
| JP4321890B2 (ja) | 色検出装置 | |
| JP2743038B2 (ja) | レーザー光による水中測距装置 | |
| JPH06117821A (ja) | 光学的測定装置 | |
| SU1045003A1 (ru) | Фотометр | |
| JPH01169386A (ja) | 距離測定装置 | |
| KR200144344Y1 (ko) | 파이프 내부검사장치의 레이저다이오드 출력 제어회로 | |
| JP2903283B2 (ja) | 細線径測定装置 | |
| JPH01170886A (ja) | 反射形光電スイッチ | |
| JPH0443808Y2 (ja) | ||
| KR0119713Y1 (ko) | 트랙중심에 대한 광픽업의 편심검출장치 | |
| SU1163307A1 (ru) | Устройство дл контрол устойчивости изображени в киноаппарате | |
| JPH0674760A (ja) | 光学式変位センサ | |
| JPS63282606A (ja) | 光学式センサの自動出力制御装置 | |
| JPS58139032A (ja) | レ−ザ光のビ−ム径測定装置 | |
| JPH0281222A (ja) | タッチ・パネル入力装置 | |
| JPH0421109Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |