JPH0617787A - 気体摩擦ポンプ - Google Patents
気体摩擦ポンプInfo
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- JPH0617787A JPH0617787A JP2406525A JP40652590A JPH0617787A JP H0617787 A JPH0617787 A JP H0617787A JP 2406525 A JP2406525 A JP 2406525A JP 40652590 A JP40652590 A JP 40652590A JP H0617787 A JPH0617787 A JP H0617787A
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- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 11
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N Adamantane Natural products C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B51/00—Testing machines, pumps, or pumping installations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2203/00—Motor parameters
- F04B2203/02—Motor parameters of rotating electric motors
- F04B2203/0201—Current
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B2205/00—Fluid parameters
- F04B2205/05—Pressure after the pump outlet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ロータ及びステータ、ロータ用の駆動モー
タ、駆動モータの電流給電に用いられる回路を備えた気
体摩擦ポンプであって、ポンプの到達する圧力限界値の
検出を簡単な方法で可能にする気体の摩擦ポンプを提供
することにとある。 【構成】 上記回路は駆動モータにより消費される電流
の捕捉検出のための電子的構成素子（７，８，９，１
１，１４）を有するのである。
タ、駆動モータの電流給電に用いられる回路を備えた気
体摩擦ポンプであって、ポンプの到達する圧力限界値の
検出を簡単な方法で可能にする気体の摩擦ポンプを提供
することにとある。 【構成】 上記回路は駆動モータにより消費される電流
の捕捉検出のための電子的構成素子（７，８，９，１
１，１４）を有するのである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はロータ及びステータ、ロ
ータ用の駆動モータ、駆動モータの電流給電に用いられ
る回路を備えた気体摩擦ポンプに関する。
ータ用の駆動モータ、駆動モータの電流給電に用いられ
る回路を備えた気体摩擦ポンプに関する。
【０００２】気体摩擦ポンプには分子-及びターボ分子
ポンプが属しており、それらポンプの作用はWutz/Adam/W
alcher著述教科書“Theorie und Praxis der Vakuumtec
hnik”、第２０２頁以降に記載されている。上記ポンプ
は回転及び固定部分を有し、それら部分は次のように間
隔をおかれ構成されている、即ち、当該部分からその間
にある気体分子に伝達される衝撃波（パルス）が特定方
向を有するように間隔をおかれ構成されている。気体摩
擦ポンプは予備真空に対して耐久性のある高真空ポンプ
でなく、従って、予真空ポンプが後置接続されなければ
ない。
ポンプが属しており、それらポンプの作用はWutz/Adam/W
alcher著述教科書“Theorie und Praxis der Vakuumtec
hnik”、第２０２頁以降に記載されている。上記ポンプ
は回転及び固定部分を有し、それら部分は次のように間
隔をおかれ構成されている、即ち、当該部分からその間
にある気体分子に伝達される衝撃波（パルス）が特定方
向を有するように間隔をおかれ構成されている。気体摩
擦ポンプは予備真空に対して耐久性のある高真空ポンプ
でなく、従って、予真空ポンプが後置接続されなければ
ない。
【０００３】真空ポンプに接続された収容器内で所定の
圧力に到達したかするかを検出するために、真空測定装
置を使用することが公知である。所定の圧力限界値に達
したか否かだけを検出しよううとする場合にはそのよう
な真空測定装置を使用することは殊に高価である。この
ことが該当するのは例えば所定圧力への到達後添付され
るＣＲＴ用のガラス中空体についてである。
圧力に到達したかするかを検出するために、真空測定装
置を使用することが公知である。所定の圧力限界値に達
したか否かだけを検出しよううとする場合にはそのよう
な真空測定装置を使用することは殊に高価である。この
ことが該当するのは例えば所定圧力への到達後添付され
るＣＲＴ用のガラス中空体についてである。
【０００４】
【発明の目的】本発明の目的ないし課題とすることはポ
ンプの到達する圧力限界値の検出を簡単な手法で可能に
する冒頭に述べた形式の気体摩擦ポンプを提供すること
にある。
ンプの到達する圧力限界値の検出を簡単な手法で可能に
する冒頭に述べた形式の気体摩擦ポンプを提供すること
にある。
【０００５】
【発明の構成】上記課題の解決のため本発明によれば冒
頭に述べた形式のポンプにおいて上記回路は駆動モータ
により消費される電流の捕捉検出のための電子的構成素
子を有するのである。
頭に述べた形式のポンプにおいて上記回路は駆動モータ
により消費される電流の捕捉検出のための電子的構成素
子を有するのである。
【０００６】本発明においては下記のそれ自体公知の事
項が利用される、即ち、気体摩擦ポンプの駆動モータに
より消費される電流が、ポンプにより生ぜしめられる圧
力に依存し、かつ、当該圧力ないし電流を介しては接続
された中空体にて到達した圧力が検知され得るという公
知事項が利用される。上記依存性ないし関係性の考察検
討の際生れた認識によれば、気体摩擦により惹起される
摩擦出力成分が圧力減少と共に比較的迅速に減少する
が、支承部摩擦により惹起される摩擦出力成分はたんに
わずかしか変化しないということである。この圧力領域
では気体摩擦成分が無視可能となって、その結果上記の
圧力領域以下では実質的にたんに支承部摩擦を克服しさ
えすればよいようになる。同種の摩擦ポンプの場合、即
ち所定のポンプ出力を有する摩擦ポンプの場合、当該関
係ないし要因の分散は殆どなく、それにより、駆動モー
タの電流消費により、所定の圧力に到達したか否かを認
識できる。従って、ｄＩ／ｄｐ−関係性の比較的強い領
域において、再生可能な、圧力に依存する“良好−／不
良−データ”を可能にする切換限界値を調整することが
可能である。その種切換限界値の調整に必要な手段は真
空装置全体一揃いより遥かに簡単である。
項が利用される、即ち、気体摩擦ポンプの駆動モータに
より消費される電流が、ポンプにより生ぜしめられる圧
力に依存し、かつ、当該圧力ないし電流を介しては接続
された中空体にて到達した圧力が検知され得るという公
知事項が利用される。上記依存性ないし関係性の考察検
討の際生れた認識によれば、気体摩擦により惹起される
摩擦出力成分が圧力減少と共に比較的迅速に減少する
が、支承部摩擦により惹起される摩擦出力成分はたんに
わずかしか変化しないということである。この圧力領域
では気体摩擦成分が無視可能となって、その結果上記の
圧力領域以下では実質的にたんに支承部摩擦を克服しさ
えすればよいようになる。同種の摩擦ポンプの場合、即
ち所定のポンプ出力を有する摩擦ポンプの場合、当該関
係ないし要因の分散は殆どなく、それにより、駆動モー
タの電流消費により、所定の圧力に到達したか否かを認
識できる。従って、ｄＩ／ｄｐ−関係性の比較的強い領
域において、再生可能な、圧力に依存する“良好−／不
良−データ”を可能にする切換限界値を調整することが
可能である。その種切換限界値の調整に必要な手段は真
空装置全体一揃いより遥かに簡単である。
【０００７】有利な実施例によれば電流測定値を指示体
上に表示するのである。そのような指示体によっては到
達した圧力関係について、比較的粗いが依頼性の高い情
報が与えられる。
上に表示するのである。そのような指示体によっては到
達した圧力関係について、比較的粗いが依頼性の高い情
報が与えられる。
【０００８】本発明のほかの利点及び発展形態を第１図
及び第２図を用いて説明する。
及び第２図を用いて説明する。
【０００９】
【実施例】第１図は駆動モータ２を有するターボ分子ポ
ンプ１を示す。このポンプ１のＸ力側３にはＣＲＴのガ
ラス中空体４の内部空間が接続されている。このガラス
中空体は所定の圧力限界まで排気さるべきである。ポン
プ１の排出部５には予備真空ポンプ６が接続されてい
る。
ンプ１を示す。このポンプ１のＸ力側３にはＣＲＴのガ
ラス中空体４の内部空間が接続されている。このガラス
中空体は所定の圧力限界まで排気さるべきである。ポン
プ１の排出部５には予備真空ポンプ６が接続されてい
る。
【００１０】駆動モータ２の給電のため電源トランス７
及び整流器回路８が設けられている。それにより、モー
タ側で終段１１を有する中間回路９が形成されている。
終段１１の出力側１２は直接的にモータ２と接続されて
いる。１３は終段１１に作用するロジック段を示し、こ
のロジック段においては所望の動作形式が制御され得
る。
及び整流器回路８が設けられている。それにより、モー
タ側で終段１１を有する中間回路９が形成されている。
終段１１の出力側１２は直接的にモータ２と接続されて
いる。１３は終段１１に作用するロジック段を示し、こ
のロジック段においては所望の動作形式が制御され得
る。
【００１１】第２図に示すように、中間回路９に流れる
電流が圧力に依存しており、殊に、低い圧力の領域にお
いて圧力依存性がある。ここで考察されるターボ分子真
空ポンプ、５０ｌ−ポンプの場合、１０-4mbarを下回る
と気体摩擦成分が益々小さくなる。
電流が圧力に依存しており、殊に、低い圧力の領域にお
いて圧力依存性がある。ここで考察されるターボ分子真
空ポンプ、５０ｌ−ポンプの場合、１０-4mbarを下回る
と気体摩擦成分が益々小さくなる。
【００１２】駆動モータによっては支承部摩擦のみに打
勝ちさえすればよい。
勝ちさえすればよい。
【００１３】１０-4mbar〜ほぼ１０-1mbarを上回ると、
開始する気体摩擦に基づき圧力と電流との依存性が比較
的高い。それにより電流消費は電子的に評価可能であ
る。従って１０-3mbarの場合切換限界値が設定され得
る。
開始する気体摩擦に基づき圧力と電流との依存性が比較
的高い。それにより電流消費は電子的に評価可能であ
る。従って１０-3mbarの場合切換限界値が設定され得
る。
【００１４】中間回路９にて電流を測定または捕捉検出
し得るため、負荷１４が設けられている。負荷１４の前
後にて、アンプ１５の入力側が電流回路９に接続されて
おり、その結果負荷１４においての電圧下降が、中間回
路９にて電流の測定のため用いられ得る。アンプ１５の
出力側１６にて直接的にアナログ符号が収出され得る。
このアナログ信号によりガラス中空体４における圧力が
求められる。
し得るため、負荷１４が設けられている。負荷１４の前
後にて、アンプ１５の入力側が電流回路９に接続されて
おり、その結果負荷１４においての電圧下降が、中間回
路９にて電流の測定のため用いられ得る。アンプ１５の
出力側１６にて直接的にアナログ符号が収出され得る。
このアナログ信号によりガラス中空体４における圧力が
求められる。
【００１５】所定の圧力限界へ到達の際電気信号を形成
するため、アンプ１５の出力側１６をコンパレータ１９
の入力側１７，１８の１つを接続すると好適である。コ
ンパレータ１９の第２入力側には段２１が接続されてお
り、この段によっては限界値の調整を行ない得る。限界
値到達の際、コンパレータ１９により、それの出力２２
を以て電気符号が送出されるか、リーレが働かされ、そ
れにより、例えば製造プロレスにおけるシーケンス動作
が開始され得る。
するため、アンプ１５の出力側１６をコンパレータ１９
の入力側１７，１８の１つを接続すると好適である。コ
ンパレータ１９の第２入力側には段２１が接続されてお
り、この段によっては限界値の調整を行ない得る。限界
値到達の際、コンパレータ１９により、それの出力２２
を以て電気符号が送出されるか、リーレが働かされ、そ
れにより、例えば製造プロレスにおけるシーケンス動作
が開始され得る。
【００１６】出力側１６に現われる電流値を指示体２３
にて表示することも可能である。そのような指示によっ
ては到達した圧力関係についての依頼性の高いデータが
与えられる。
にて表示することも可能である。そのような指示によっ
ては到達した圧力関係についての依頼性の高いデータが
与えられる。
【００１７】第１図及び第２図に示すように構成された
実施例ではガラス中空体４がターボ分子ポンプの入力側
３と接続される。その後ガラス中空体の排気が行なわれ
る。欠陥のないガラス中空体４の場合電流消費（中間回
路９における電流）が第２図に相当して減少する。ほぼ
７０ｍＡの電流を下回ると、ほぼ１０-3mbarの圧力に達
することが確保される。
実施例ではガラス中空体４がターボ分子ポンプの入力側
３と接続される。その後ガラス中空体の排気が行なわれ
る。欠陥のないガラス中空体４の場合電流消費（中間回
路９における電流）が第２図に相当して減少する。ほぼ
７０ｍＡの電流を下回ると、ほぼ１０-3mbarの圧力に達
することが確保される。
【００１８】限界値調整段２１が上記値に調整される
と、コンパータ１９により送出された信号により例えば
ガラス中間空体４の融着過程が開始され得る。
と、コンパータ１９により送出された信号により例えば
ガラス中間空体４の融着過程が開始され得る。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、ポンプの到達する圧力
限界値の検出を簡単な手法で可能にする冒頭に述べた形
式の気体摩擦ポンプを実現できる。
限界値の検出を簡単な手法で可能にする冒頭に述べた形
式の気体摩擦ポンプを実現できる。
【図１】駆動モータ及び給電回路を有するターボ分子ポ
ンプの実施例の接続図である。
ンプの実施例の接続図である。
【図２】駆動モータにより消費される電流と圧力との関
係を示す特性図である。
係を示す特性図である。
１ ターボ分子ポンプ、 ２ 駆動モータ、 ３ ポン
プの入力側、 ４ ガラス中空体、 ５ ポンプ排出
部、 ６ 予備真空ポンプ
プの入力側、 ４ ガラス中空体、 ５ ポンプ排出
部、 ６ 予備真空ポンプ
Claims (5)
- 【請求項１】 ロータ及びステータ、ロータ用の駆動モ
ータ、駆動モータの電流給電に用いられる回路を備えた
気体摩擦ポンプにおいて、上記回路は駆動モータにより
消費される電流の捕捉検出のための電子的構成素子を有
することを特徴とする気体摩擦ポンプ - 【請求項２】 上記回路は電源トランス（７）と、電流
の整流のための素子（８）と、終段（１１）及び負荷
（１４）を有する中間回路（９）とを備えている請求項
１記載のポンプ。 - 【請求項３】 上記中間回路（９）にはアンプ（１５）
の入力側が接続されており、その際当該入力側相互間に
負荷（１４）が設けられているように上記入力側の接続
構成がなされている請求項２記載のポンプ。 - 【請求項４】 上記アンプ（１５）の出力側に限界値調
整部（２１）を有するコンパレータ（１９）が接続され
ている。請求項３記載のポンプ。 - 【請求項５】 上記アンプの出力側に、電流測定値の指
示のための指示装置（２３）が接続されている請求項３
又は４記載のポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE8915199U DE8915199U1 (de) | 1989-12-27 | 1989-12-27 | Gasreibungspumpe |
| DE8915199.2 | 1989-12-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0617787A true JPH0617787A (ja) | 1994-01-25 |
Family
ID=6845838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2406525A Pending JPH0617787A (ja) | 1989-12-27 | 1990-12-26 | 気体摩擦ポンプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5285140A (ja) |
| EP (1) | EP0434939B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0617787A (ja) |
| DE (2) | DE8915199U1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6082184A (en) * | 1997-05-27 | 2000-07-04 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
| JP3382627B2 (ja) * | 1997-07-16 | 2003-03-04 | 三菱重工業株式会社 | モータ駆動高速回転体駆動制御装置と該駆動制御装置に使用される機種判別方法 |
| DE29713548U1 (de) * | 1997-07-30 | 1997-09-25 | Leybold Vakuum GmbH, 50968 Köln | Evakuierungseinrichtung |
| DE10148251B4 (de) * | 2001-09-28 | 2016-10-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb einer Gasreibungspumpe |
| CN110307145B (zh) * | 2019-07-15 | 2020-08-14 | 重庆交通大学 | 一种旋叶式压缩机摩擦功率测试系统及测试方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59221634A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Shimadzu Corp | 真空度測定方法 |
| JPS60128996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-10 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 |
| JPS60190696A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-28 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
| JPS61175284A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-06 | Anelva Corp | 真空ポンプの監視装置 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2365930A1 (de) * | 1973-09-29 | 1977-03-17 | Owens Illinois Inc | Verfahren und vorrichtung zur verhinderung des pumpens bei einem kompressor |
| US4090114A (en) * | 1974-03-07 | 1978-05-16 | Westinghouse Electric Corp. | Safety features for electric vehicle control |
| US3946574A (en) * | 1975-02-07 | 1976-03-30 | Chrysler Corporation | Control circuit for refrigeration compressor motor |
| JPS5280517A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-06 | Hitachi Ltd | Valve opening and closing mechanism for vacuum exhaust device |
| DE2850883B2 (de) * | 1978-11-24 | 1981-03-19 | Frieseke & Hoepfner Gmbh, 8520 Erlangen | Druckgeregeltes einen Elektromotor und eine Konstantstrompumpe aufweisendes Hydraulikaggregat |
| US4268884A (en) * | 1979-05-07 | 1981-05-19 | Amf Incorporated | Current sensing circuit |
| DE2945889A1 (de) * | 1979-11-14 | 1981-05-27 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zun vorrichtung zur messung niedriger druecke |
| DE3149121A1 (de) * | 1981-12-11 | 1983-06-16 | Agfa-Gevaert Ag, 5090 Leverkusen | Vorrichtung zur drehzahlregelung |
| US4602484A (en) * | 1982-07-22 | 1986-07-29 | Bendikson Donald L | Refrigeration system energy controller |
| US4494180A (en) * | 1983-12-02 | 1985-01-15 | Franklin Electric Co., Inc. | Electrical power matching system |
| JPS60134781A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気調和機の異常検出装置 |
| DE3534500A1 (de) * | 1985-09-27 | 1987-04-02 | Porsche Ag | Ueberlastschutz fuer vorwiderstaende von elektromotoren, insbesondere von elektromotorisch angetriebenen lueftergeblaesen von fahrzeugen |
| DE3710470A1 (de) * | 1986-04-02 | 1987-10-15 | Alps Electric Co Ltd | Steuerschaltung fuer einen motorantrieb, insbesondere geblaesemotorantrieb |
| JPS637170A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-13 | Hitachi Ltd | ハ−メチツクモ−タ付勢装置 |
| US4809122A (en) * | 1987-07-31 | 1989-02-28 | Brunswick Corporation | Self-protective fuel pump driver circuit |
| US4795314A (en) * | 1987-08-24 | 1989-01-03 | Cobe Laboratories, Inc. | Condition responsive pump control utilizing integrated, commanded, and sensed flowrate signals |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| US5019757A (en) * | 1990-03-19 | 1991-05-28 | General Electric Company | Method and apparatus for controlling a blower motor in an air handling system to provide constant pressure |
-
1989
- 1989-12-27 DE DE8915199U patent/DE8915199U1/de not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-11-05 DE DE59006429T patent/DE59006429D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-11-05 EP EP90121108A patent/EP0434939B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-11-29 US US07/620,361 patent/US5285140A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-12-26 JP JP2406525A patent/JPH0617787A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59221634A (ja) * | 1983-05-31 | 1984-12-13 | Shimadzu Corp | 真空度測定方法 |
| JPS60128996A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-10 | Ulvac Corp | タ−ボ分子ポンプの運転監視装置 |
| JPS60190696A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-28 | Seiko Seiki Co Ltd | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
| JPS61175284A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-06 | Anelva Corp | 真空ポンプの監視装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE8915199U1 (de) | 1990-03-22 |
| US5285140A (en) | 1994-02-08 |
| DE59006429D1 (de) | 1994-08-18 |
| EP0434939A1 (de) | 1991-07-03 |
| EP0434939B1 (de) | 1994-07-13 |
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