JPS60190696A - タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 - Google Patents
タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式Info
- Publication number
- JPS60190696A JPS60190696A JP4635684A JP4635684A JPS60190696A JP S60190696 A JPS60190696 A JP S60190696A JP 4635684 A JP4635684 A JP 4635684A JP 4635684 A JP4635684 A JP 4635684A JP S60190696 A JPS60190696 A JP S60190696A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- molecular pump
- turbo molecular
- output
- rotor
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
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- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
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- 210000002784 stomach Anatomy 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、ターボ分子ポンプの定常運転時においてモ
ータの発熱を少くし、消費型ツノを小さくできるように
しだモータ制御方式に関する。
ータの発熱を少くし、消費型ツノを小さくできるように
しだモータ制御方式に関する。
（従来技術）
ターボ分子ポンプのロータ胃は、分子の気体分子平均速
度に比較して速く回転１ればするほど、ポンプの圧力比
が大きくなる。
度に比較して速く回転１ればするほど、ポンプの圧力比
が大きくなる。
この原理に基づいて、従来のターボ分子ポンプは、その
定常運転中に常時モータを起動状態にしているが、モー
タの回転子が極めて高速で回転しかつモータそのものは
真空中に存在するので、これからの発熱が容易に外部に
逃げてくれず、モータからの発熱量が大であり、しかも
消費電力も大きくなるなどの欠点がある。
定常運転中に常時モータを起動状態にしているが、モー
タの回転子が極めて高速で回転しかつモータそのものは
真空中に存在するので、これからの発熱が容易に外部に
逃げてくれず、モータからの発熱量が大であり、しかも
消費電力も大きくなるなどの欠点がある。
この対策としては、従来、定常運転時のモータに対づる
電力を、印加電圧を絞るなどして減らすものもあるが、
このようなモータ制御方式では。
電力を、印加電圧を絞るなどして減らすものもあるが、
このようなモータ制御方式では。
そのモータに最も効率の良い定格電圧以下に抑えられる
ために、かえって効率が低下し、効果も充分でなかった
。
ために、かえって効率が低下し、効果も充分でなかった
。
（考案の目的）
この考案はモータの定常運転時においてモータを間欠運
転−４ることにより、発熱を抑え、省電力化を図ること
を目的とづる。
転−４ることにより、発熱を抑え、省電力化を図ること
を目的とづる。
（発明の構成）
前記目的を達成するために本発明は、ターボ分子ポンプ
内の圧力、モータの駆動時間またはロータの回転数を検
出する検出手段と、この検知出力と設定値を比較する比
較手段と、比較手段からの出力に応じて前記検知出力が
設定値以上でモータ停止、設定値以下でモータ起動を行
なう制御回路を備えたことを特徴とする。
内の圧力、モータの駆動時間またはロータの回転数を検
出する検出手段と、この検知出力と設定値を比較する比
較手段と、比較手段からの出力に応じて前記検知出力が
設定値以上でモータ停止、設定値以下でモータ起動を行
なう制御回路を備えたことを特徴とする。
すなわら本北明は、ロータアッセンブリがモータの大き
さとこれを駆動するに必要なトルクに比べ非常に大きな
慣性モーメントを持っており、しかも真空中に存在し、
また磁気軸受で非接触状態に軸受されていることからな
どから、モータの駆動を間欠的に停止してもその回転が
すぐには落ちないことを基本においている。
さとこれを駆動するに必要なトルクに比べ非常に大きな
慣性モーメントを持っており、しかも真空中に存在し、
また磁気軸受で非接触状態に軸受されていることからな
どから、モータの駆動を間欠的に停止してもその回転が
すぐには落ちないことを基本においている。
（実施例）
第１図はこの発明の電気的構成を示すブロック図であり
、第２図は同タイムチャーＩ−を示す。
、第２図は同タイムチャーＩ−を示す。
図において、このターボ分子ポンプはターボ分子ポンプ
本体１とこれを駆動づ−るための電源部２とからなって
いる。
本体１とこれを駆動づ−るための電源部２とからなって
いる。
本体１内にはロータアッセンブリを駆動するためのモー
タ３が内装されているとともに、これの回転数を検出す
るだめの検出器４が設けられ、これらは気密性コネクタ
等を介して前記電源部２に接続される。
タ３が内装されているとともに、これの回転数を検出す
るだめの検出器４が設けられ、これらは気密性コネクタ
等を介して前記電源部２に接続される。
電源部２内には、前記モータの回転数上限および下限を
設定するための設定器５と、設定器５により設定された
値と前記検出器４からの出力を比較する比較回路６と、
この比較回路６からのスター１へストップ信号に基づき
前記モータ３を駆動および停止するモータ回転制御回路
７が備わっている。
設定するための設定器５と、設定器５により設定された
値と前記検出器４からの出力を比較する比較回路６と、
この比較回路６からのスター１へストップ信号に基づき
前記モータ３を駆動および停止するモータ回転制御回路
７が備わっている。
従って、モータ３がオンし、回転数が上がると、設定器
５で設定された回転数の上限を越え、これににって比較
回路６からは停止信号が出力され、これに基づきモータ
３の駆動が停止される。
５で設定された回転数の上限を越え、これににって比較
回路６からは停止信号が出力され、これに基づきモータ
３の駆動が停止される。
次いで、駆動停止により徐々に回転数が落ち、その回転
数が設定器５に設定された下限値にりち低くなると、比
較回路６からはモータ起動信号が出力され、これによっ
てモータ３は再起動される。
数が設定器５に設定された下限値にりち低くなると、比
較回路６からはモータ起動信号が出力され、これによっ
てモータ３は再起動される。
したがって、モータ３は設定器によって設定された範囲
の回転数で回転を行なうべく起動、停止を繰り返す。
の回転数で回転を行なうべく起動、停止を繰り返す。
なお、モータの駆動を停止したとしても、その回転子は
前述の如くロータアッセンブリの慣性、真空中に置かれ
−Ｃいること、および非接触状態で軸受されていること
などから、下限直に至るまでは長時間回転状態を保って
いられる。
前述の如くロータアッセンブリの慣性、真空中に置かれ
−Ｃいること、および非接触状態で軸受されていること
などから、下限直に至るまでは長時間回転状態を保って
いられる。
したがって、起動時に必要な電力に比べてその駆動停止
時間は長く、結果的には消費電力を低く抑えることがで
きることになる。
時間は長く、結果的には消費電力を低く抑えることがで
きることになる。
なお、実施例では回転数を検出し、この回転数を比較す
ることによって起動、停止を行なうようにしたが、ター
ボ分子ポンプ本体１内の圧力や温度を検出媒体としても
結果的には同一の効果を右する。
ることによって起動、停止を行なうようにしたが、ター
ボ分子ポンプ本体１内の圧力や温度を検出媒体としても
結果的には同一の効果を右する。
（発明の効果）
この発明のｔ−夕制御方式では以上のように４Ｍ成され
ているために、従来の定常運転中にモータを起動状態の
ままにしているものに比してモータからの発熱が小さく
なり、消費電力も低減できる。
ているために、従来の定常運転中にモータを起動状態の
ままにしているものに比してモータからの発熱が小さく
なり、消費電力も低減できる。
また起動してからは最も効率の良い領域でモータを駆動
できる。
できる。
第１図はこの発明の電気的構成を示づ回路ブロック図、
第２図は同タイムチャー１−である。 １・・・ターボ分子ポンプ本体 ２・・・電源部 ３・・・し−タ ４・・・回転数検出器 ５・・・設定器 ６・・・比較回路 特許出願人 ヒイｍｌ ｍ例株式会社
第２図は同タイムチャー１−である。 １・・・ターボ分子ポンプ本体 ２・・・電源部 ３・・・し−タ ４・・・回転数検出器 ５・・・設定器 ６・・・比較回路 特許出願人 ヒイｍｌ ｍ例株式会社
Claims (1)
- （１）ターボ分子ポンプ内の圧力、モータの駆動時間ま
たはロータの回転数を検出する検出手段と、この検知出
力と設定値を比較する比較手段と、比較手段からの出ツ
ノに応じて前記検知出力が設定値以上でモ〜り停止、設
定値以下でモータ起動を行なう制御回路を備えたことを
特徴とするターボ分子ポンプのモータ制御方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4635684A JPS60190696A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4635684A JPS60190696A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60190696A true JPS60190696A (ja) | 1985-09-28 |
Family
ID=12744862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4635684A Pending JPS60190696A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | タ−ボ分子ポンプのモ−タ制御方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60190696A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0385393A (ja) * | 1989-08-29 | 1991-04-10 | Ntn Corp | 真空ポンプ用モータ制御装置 |
| JPH03107599A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Ntn Corp | 軸流ポンプ装置の制御システム |
| JPH0617787A (ja) * | 1989-12-27 | 1994-01-25 | Leybold Ag | 気体摩擦ポンプ |
| EP0900940A3 (en) * | 1997-09-02 | 1999-12-08 | Ebara Corporation | Method of operating a vacuum pump |
| CN104343670A (zh) * | 2013-07-31 | 2015-02-11 | 上海汽车集团股份有限公司 | 一种驱动油泵电机运行控制的保护策略 |
| WO2024261799A1 (ja) * | 2023-06-19 | 2024-12-26 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 送風装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS495846A (ja) * | 1972-04-11 | 1974-01-19 | ||
| JPS5233803A (en) * | 1975-09-11 | 1977-03-15 | Ishizuka Glass Ltd | Fiber-reinforced composite material |
| JPS52144802A (en) * | 1976-05-27 | 1977-12-02 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | Interval driving direct water feeding system |
| JPS55125381A (en) * | 1979-03-23 | 1980-09-27 | Ebara Corp | Water supplying method |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP4635684A patent/JPS60190696A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS495846A (ja) * | 1972-04-11 | 1974-01-19 | ||
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