JPH0617896B2 - 誘導性センサ装置および同装置使用のための測定装置 - Google Patents

誘導性センサ装置および同装置使用のための測定装置

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JPH0617896B2 JP59139737A JP13973784A JPH0617896B2 JP H0617896 B2 JPH0617896 B2 JP H0617896B2 JP 59139737 A JP59139737 A JP 59139737A JP 13973784 A JP13973784 A JP 13973784A JP H0617896 B2 JPH0617896 B2 JP H0617896B2
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第１項に記載の上位概念に基づ
く誘導性センサ装置に関する。
記載方式の誘導性センサ装置は種々の実施態様で既知で
あり、たとえば欧州特許登録第7034号またはフランス特
許登録第2,394,783号あるいはそれらの異議申立書に記
載されている。これらのセンサ装置はいずれも共通し
て、非磁性体または強磁性体材料への接近による振動回
路の誘導が材料の磁性特性、減衰および／または渦電流
形成により変化し、この誘導はある一定範囲内では対象
物距離の関数であることを基礎としている。これらのセ
ンサ装置は解像度に限界があり、とくにたとえば裂け
目、孔または隆起部のような対象物の不規則部を高い精
度で計測することには不適当である。これらはむしろ距
離計測に使用が限定される。本発明は高い解像度と高い
計測精度とを可能とし、また対象物の不規則な表面形状
においても使用可能である誘導性センサ装置を提供する
ことの課題を基礎としている。センサ装置はさらに構造
が簡単で使用に際し頑丈であることが必要である。
この課題は本発明により、まず発信コイルおよび／また
は受信コイルはメタル層として、平坦で非導電性コイル
担持体の少くとも１方の表面に担持されていることで達
成される。たとえば厚層フイルム技術または薄層フイル
ム技術による平坦ベース上へのこのような導電層の担持
はコイルの形状形成において無限の可能性を許容する。
平坦ベースは他方最も簡単で最も有利に多層コイル装置
への「積層」ないしは組合わせを可能とし、また適切材
料の選択により変形とくに彎曲を可能としこれにより対
象物の表面への適合を可能とする。本発明の構成により
また１個のコイル担持体上しかもコイル担持体の両面に
複数個のコイルの具備を可能とする。したがつて、たと
えば最も簡単な方法としては受信コイルはコイル担持体
の対象物に面する側にまた発信コイルはコイル担持体の
対象物とは反対の面に具備することを可能とする。これ
により、小なる構成高さ、小なるコイル寸法、したがつ
て高い解像度が確保されるばかりでなく受信コイル相互
間ならびに受信コイルと発信コイル間の構造上に起因す
る距離変化は回避可能である。したがつて製作誤差は最
低に減少可能でたとえば使用中の機械的障害も回避可能
である。
本発明により複数個のコイルがコイル担持体上に対称
（軸対称または点対称）に配設されるセンサ装置が実現
可能であることはとくに有利である。このような対称配
設は裂け目の追跡および／または対象物不規則面上での
センサのセンタリングに最適でとくに有利である。
不規則な表面を有する対象物に適合させるために対象物
に対し２個またはそれ以上の相互に隣接して配設された
コイル担持体を具備可能であることは有利である。本発
明による手段、すなわち彎曲可能な平坦ベースの挿入、
および／または複数個のコイル担持体の相互重ね合わせ
による積層、および／またはコイル担持体の隣接するお
よび／または相互に角をなす配設等の組合せにより従来
達成不可能であった方法で実際にこの種の誘導センサに
課された課題が解決可能である。
センサ装置は少くとも１個の受信コイルと発信コイルと
を具備し、ここで該発信コイルは発振器、とくにＨＦ発
振器に接続されまた発信コイルは対象物とセンサ装置と
の相対位置変化に応じた位相変化および／または電圧変
化を計測するための評価回路に接続されているところの
センサ装置の相対位置計測のため計測装置への本発明に
よるセンサ装置の使用はとくにきわめて有利である。解
像度の向上および／または特殊な測定要求または特殊な
対象物への適合のためにここで本発明により、少くとも
受信コイルおよび／または発信コイルは少くとも２個の
部分コイルに分割されていること、および部分コイルの
一方および／または他方を評価回路に選択接続するため
の切換装置を具備していることが提案される。ここで該
部分コイルが対象物に対し異なる作用をなすコイル平面
を提示する場合、たとえば大なる捕獲領域を確保するた
めに大なる表面を有するコイルが対象物接近の間に評価
回路と接続され、一方作用のより小なるコイル表面を有
するコイルは接近の終結後評価回路に接続することが可
能であるが、これらは解像度および操作精度の向上を確
実に行なうためのものである。たとえば一方では距離の
計測をまた他方では対象物の不規則部に対する相対位置
の計測を実行するという場合のように設定課題に応じて
コイル表面が切換装置を介して任意に直列またはその逆
に切換えることもまた思考可能である。
部分コイルの切換えのための切換装置の使用は、明らか
にそれ自体すでにこの種の計測装置の実質的な改良へと
つながつている。これにより必要なコイル数は減少可能
であると同時に場合によつてはただ１個の評価回路で距
離の計測ならび対象物の不規則部に対する横方向相対位
置の計測に交互にまたサイクリツクに利用可能であると
いう方法で評価回路は簡単化が可能である。切換装置を
有する計測装置と組み合わせて、本発明による誘導性セ
ンサ装置を利用すれば、広範囲な利用可能性、機械的安
定性ならびに機械的影響に対する抵抗性を基礎としてと
くに顕著な結果を提供する。
以下図により本発明を実施例で詳細に説明する。
第１ａ図および第１ｂ図において、自動溶接装置で使用
されているような、ここで略図で示したイナートガス溶
接ノズルＳの周囲にリング状コイル担持体２が具備さ
れ、該コイル担持体上に厚層フイルム技術でその上側に
発信コイル１がまたその下側に第１の受信部分コイル４
ａおよび第２の受信部分コイル４ｂが配設されている。
受信部分コイル４ａおよび４ｂは軸対称に形成され切断
で分割された板７の両半分の上方に位置する。発信コイ
ル１により電磁界が励起され該電磁界は板７内に渦電流
を惹起し、該渦電流は一方部分コイル４ａおよび４ｂに
影響を及ぼす。両方の受信コイル４ａおよび４ｂの対称
性の理由で、イナートガス溶接ノズルＳおよびそれに付
属の発信コイル１と受信部分コイル４ａならびに４ｂと
からなる装置が板７の切断面７ａ上の中央に存在する限
り、これら受信コイルは明らかに同一の影響を受ける。
しかしながら、ひとたび中心移動が発生すると部分コイ
ルは異なる影響を受け出力端4a-1,4a-2ないし4b-1,4b-2
に位相および／または振幅の異なる出力電圧が発生し、
該出力電圧は既知の方法で評価され中心移動の量に比例
する信号の提供に利用可能である。
コイル担持体２を比較的薄いコイル積層を有するリング
板として形成することにより全体配設はきわめてコンパ
クトにして溶接部近傍に配設が可能でこれは高い計測精
度を確保する。この場合、セラミックベース上への厚層
技術または薄層フイルム技術が高温雰囲気をも可能とす
る。
第２図はコイル担持体２上に４個の受信部分コイル4a1,
4a2,4b1,4b2が配設されているセンサ装置を示す。ここ
で部分コイル４ａ−１および４ａ−２は部分コイル４ａ
−２および４ｂ−２と軸対称に配設されている。部分コ
イル４ａ−２および４ｂ−２は対称軸からより大なる距
離にあるのでたとえば第１ａ図の切断面７ａのような対
象物の不規則部に接近した場合、明らかにより大なる
「捕獲領域」がえられる。すなわちセンサ装置が切断面
７ａに（たとえば上方から）接近した場合まず外側から
位置する部分コイル４ａ−２および４ｂ−２の評価によ
り大なる確実性をもつて裂け目７ａによつて与えられる
不規則部は発信コイル１により与えられるＨＦ−磁界の
影響内にて「探知」可能である。センサ装置が切断部７
ａ上の近傍に配置されれば該対象物の不規則部の近傍に
部分コイルは配置されることとなる。この目的のために
このときは内方に位置する部分コイル4a1および４ｂ１
からえられる信号が評価可能で、これにより高度な追跡
精度が達成可能である。
第２ｂ図は第２ａ図に類似の実施例を示すがここでは部
分コイル4a-1,4a-2,4b-1,4b-2は長方形に走行する軌道
を有している。第２ｃ図は計測装置のブロツク線図を示
し、第２ａ図または第２ｂ図のセンサ装置の信号は該計
測装置内で評価可能である。ここで発信コイル１はＨＦ
−発振器３で励起される。受信コイル４ａ−１および４
ｂ−１は巻線方向が逆に接続され第１の増幅器６の入力
端に接続されている。部分コイル4a-1および４ｂ−１の
逆方向接続により、部分コイルが対象物に対し対称に影
響を受ける限りその出力電圧は相殺されてゼロとなる。
しかしながら非対称が発生してたとえば切断部７ａがも
はやコイル装置の対称軸と正確に一致しなくなった場
合、両方の部分コイルは切断部のために一方はより弱く
他方はより強く影響を受ける。増幅器６は振幅比較器お
よび／または位相比較器として形成されＨＦ−発振器３
から基準電圧を受ける。部分コイル4a-1,4b-1の各々の
非対称は合成信号の振幅変動および／または位相移動と
なり、したがつて増幅器６の出力端に信号が発生する。
同様に外方に位置する受信部分コイル4a-2,4b-2も逆方
向に接続されて増幅器６ａの入力端に接続され、該増幅
器も同様に位相比較器として形成され基準入力を介して
ＨＦ−発振器と結合されている。両方の増幅器６および
６ａは出力側が切換装置８と接続されている。切換装置
８が開であること、すなわち増幅器６の出力端のみが切
換装置８を介して加算増幅器６ｂに接続された状態であ
る限り、計測装置の出力端９に達する信号はもつぱら内
方に位置する部分コイル４ａ−１および４ｂ−１の測定
信号から来るものである。これにより、対象物に作用す
るコイル平面が小なることからすでにわずかに移動して
も評価可能な対称関係変動とすることが可能である。一
方切換装置８が閉とされると、増幅器６ａの出力も加算
増幅器６ｂの入力端に付加され、これにより外方に位置
する部分コイル４ａ−２および４ｂ−２から送られる信
号も出力端９における加算信号に付加される。４ａ−１
ないし４ｂ−２の装置全体のすべての部分コイルからな
るより大なる作用コイル平面により、切換装置８のこの
開閉状態では測定装置の大なる捕獲領域が確保され、こ
の捕獲領域は対象物７から大なる距離にあつてもなお対
象物の不規則部を評価可能に「確認」しうる範囲内にあ
る。この場合複数個のこのような部分コイルが具備され
ているとき、一種の「景観図」すなわちセンサ装置下の
対象物の図がえられることはきわめて有利である。ここ
でコイル表面は段階的に小または大となすことが可能で
ある。切換がシーケンシヤルな切換装置（走査装置）で
達成可能であることは有利で、この場合個々の切換段の
計測値はたとえばマイクロプロセツサで処理可能であ
る。
第３図は第２ｃ図の装置に類似して構成されている計測
装置の実施例を示す。前述の装置との相違は切換装置８
が専ら受信部分コイル４ａ−１，4a-2,4b-1,4b-2の出力
端と直接結合されていることであつて、したがつて大な
る捕獲領域を有する一方の位置と大なる解像能力を有す
る第２の位置との間の切換は増幅器６の前で行われるこ
とである。ここで明らかなように受信部分コイル４ａ−
１ないし４ｂ−２から導入された信号は直接相互に逆方
向に接続され、第２ｃ図の回路と同様な結果をうる。
第４ａ図は円形形状の部分コイル4a-1,4a-2,4b-1および
4b-2を有する誘導性センサ装置を示す。発信コイル１は
コイル担持体２の上面に配設されている（第４ｂ図）。
記述のセンサ装置は受信部分コイル4a-1,4a-2,4b-1,4b-
2からえられた信号の評価ののち、裂け目７ａに対する
コイル担持体２の対称軸Ｘの相対位置に関する出力情報
と同様に点状の対象物の不規則部に対する相対位置の決
定も可能とする。これは受信コイルの対角線に位置する
対すなわち4a-1,4b-2および4a-2,4b-1の出力信号の比較
で可能である。
第５図はコイル担持体２が彎曲しやすい材料から製作さ
れしたがって２個のメタル片７ｂおよび７ｃの彎曲面に
適合可能な実施例を示す。
第６図は２個のメタル部分７ｂおよび７ｃの表面形状に
適合するように２個のコイル担持体２ａおよび２ｂが相
互に角をなして配設されている実施例を示す。これらの
実施例は本発明によるセンサ装置の広範囲な利用可能性
を示す。図示の変更態様においては使用例および運転条
件等に応じて彎曲しやすい絶縁材料、セラミツク、ガラ
ス等からなるコイル担持体が使用可能である。専門家に
は適切な材料がよく知られている。
第７ａ図および第７ｂ図は「積層」すなわち種々のコイ
ル担持体の重畳結合によりセンサ装置がさらにいかに改
善されるかを見やすく示している。明確な記述を可能と
するために第７ａ図においては２個のコイル担持体２ａ
および２ｂは相互に隔離して記載されている。最終の組
立形状は第７ｂ図で明瞭なように両方のコイル担持体２
ａおよび２ｂは相互に糊着され固く結合されている。両
方のコイル担持体２ａおよび２ｂは受信部分コイル4a-
1,4b-1,ないしは4a-2,4b-2を具備し、これらはコイル担
持体２上に薄層フイルム技術でそれぞれほぼＤ形状およ
び軸対称に担持されている。ここで対称軸Ｘ１およびＸ
２は相互に直交して二等分している。これにより第７ｂ
図の実施例のように受信部分コイルは発信コイル１ない
しは対象物（図示なし）の非対称により影響を受ける。
しかしながらこの場合コイル形状（Ｄ形状）により、対
称軸に平行に走行する巻線部分が比較的短かい１個づつ
のコイルの配設の場合よりもより良好な解像度がえられ
る。
第８ａ図および第８ｂ図は４個のコイル担持体2a,2b,2c
および2aを有するセンサ装置の変更態様を示す。第７図
の実施例と類似してコイル担持体２ａおよび２ｂ上に発
信コイル１ならびに受信部分コイル4a-1,4b-1,4b-2,お
よび４ｂ−２がＤ形状に配設されている。第３のコイル
担持体２ｃ上にさらにリング状の第３の受信部分コイル
４ｃが具備され、該コイルはセンサ装置と対象物との間
の距離の計測に利用可能である。さらに第４のコイル担
持体２ａ上にコンデンサとして働くさらに２個の円形導
体１１、１２が配設され、該導体は既知の方法で、セン
サ装置と対象物との間の静電容量的距離計測のための装
置に結合可能である。この静電容量電極１１、１２は個
々にセンサ装置の対象物７ｂ，７ｃに対する距離を高精
度に計測することを可能とする。コンデンサ電極１１お
よび１２は第８ｂ図から明らかなように最下層のコイル
担持体２ａの背側に配設されしたがつて保護されてい
る。記述の複数個の部分コイルならびに最も簡単な方法
で組込まれたコンデンサ電極からなる総体装置はきわめ
てコンパクトで、操作が確実で高度な解像度を有する広
く適用可能なセンサ装置の製作を可能とする。
第９図は本発明による計測装置の実施例を示す。ここで
は発信装置１ならびに受信部分コイル4a,４ｂおよび４
ｃはコイル担持体上に平面に担持される層としては表示
されてないが、これは第９図の本発明による計測装置は
３次元に巻付けられたコイルにおいても使用可能だから
である。しかしながら計測装置は前述例のようなセンサ
装置を用いて実施することがきわめて有利である。
第９図において部分コイル４ａ，４ｂおよび4cは出力側
で切換装置８に接続されている。シーケンシヤルに動作
するスイツチである切換装置８が作動して実線位置Ｉの
状態では、両方の受信部分コイル４ｂおよび４ｃは前述
の方法で発信コイル１の交流磁界で影響される。これに
よりセンサ装置を介してメタル部分７ｂおよび７ｃの間
の切断部７ａは受信部分コイル４ｂおよび４ｃに対しそ
の相対位置内に探知可能である。したがつて切換装置８
の位置Ｉにおいて増幅器６の出力端９に信号が到達し、
該信号はセンサ装置の切断部７ａに対する横方向移動を
指示する。これは第10図のＩの略図内で明瞭である。こ
れに対し、切換装置８が位置IIに切換えられると、第１
の受信部分コイル４ａと第２の受信部分コイル４ｂとが
相互に逆方向に接続される。この両方の受信部分コイル
の合成信号はしかしながら両方の受信部分コイル４ａお
よび４ｂのメタル部分７からの垂直距離に依存するの
で、位置IIでは増幅器６の出力端９にはセンサ装置のメ
タル部分７からの高さすなわち垂直距離に比例した信号
が到達する。切換装置８の挿入により、位相及び／又は
振幅を決定することが出来る唯１個の評価装置（増幅器
６）の使用のもとで明らかに距離に比例したまた対象物
の不規則部に対する横方向移動に比例した出力信号が出
力端９に発生する。このきわめて経済的で簡単な機能は
とくに、受信部分4a,4b,4cおよび発信コイル１を前述の
方法で狭い空間に好ましい変形態様で製作し「積層」さ
せることで推進される。
【図面の簡単な説明】
第１ａ図は自動イナートガス溶接ノズルにおける誘導性
センサ装置の略側面図、 第１ｂ図は第１図のセンサ装置の底面図、 第２ａ図は複数個の部分コイルを有する誘導性センサ装
置、 第２ｂ図は第２ａ図に類似のセンサ装置であって他のコ
イル形状を有したもの、 第２ｃ図は第２ｂ図のセンサ装置を使用した本発明の特
徴を有する計測装置、 第３図は切換装置と切換可能センサ装置とを有する計測
装置の略図、 第４ａ図は点対称に配設された４個の部分コイルを有す
るリング状センサ装置、 第４ｂ図は第４ａ図のセンサ装置の側面図、 第５図は彎曲コイル担持性を有するセンサ装置の略図、 第６図は相互に角をなして配設された２個のコイル担持
体を有するセンサ装置の略図、 第７ａ図は２個の積層コイル担持体を有するセンサ装置
の略図、 第７ｂ図は第７ａ図のセンサ装置の略側面図でコイル担
持体を接合したもの、 第８ａ図は複数個の部分コイルならびに２個の静電容量
補助電極を有するセンサ装置の略平面図、 第８ｂ図は第８ａ図の線Ａ−Ａによる断面図、第９図は
切換装置と切換可能な部分コイルとを有する計測装置、 第１０図は第９図の位置ＩおよびIIにおける各々の作動
で協働して接続された部分コイルの図である。 １：発信コイル ２：コイル担持体 ３：発振器 4a,4b,4c,4d：受信部分コイル ６，6a,6b：増幅器 ７：メタル板 7a：切断部 ８：切換装置 ９：出力端

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ＨＦ発振器（３）から交流電圧が供給され
    る１個の発信コイル（１）と、 前記発信コイルの有効電磁界の中に配置された受信コイ
    ルであって、該受信コイルと金属対象物（７）の裂け
    目、隅等の実質的な長さを有する不規則部（７ａ）との
    距離及び相対位置の少なくとも一方を計測するための少
    なくとも２個の受信部分コイルを有する受信コイル
    （４）と、 を備え、前記不規則部に対する相対的な位置を表す交流
    信号が誘導されるように、前記発信コイル及び前記受信
    コイルが前記金属対象物の同じ側に配置されている誘導
    性センサ装置において、 前記受信部分コイル（４ａ，４ｂ；４ａ１，４ｂ１；４
    ａ２，４ｂ２）に誘導される信号の位相及び振幅のいず
    れか一方の変化を決定するための評価回路（６、６ａ）
    を前記受信部分コイルに接続し、 前記発信コイルによって逆相のエネルギーが誘導される
    ように、前記受信部分コイルを前記不規則部に関して両
    側に配置し、 前記発信コイル及び前記受信コイルをコイル担持体
    （２）に設けてなることを特徴とする誘導性センサ装
    置。
  2. 【請求項２】前記コイル担持体の一方の面に前記発信コ
    イルが、他方の面に前記受信部分コイルがそれぞれ設け
    られていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の誘導性センサ装置。
  3. 【請求項３】少なくとも２個の前記コイル担持体（２
    ａ，２ｂ）が相互に積層されていることを特徴とする特
    許請求の範囲第２項記載の誘導性センサ装置。
  4. 【請求項４】前記コイル担持体（２、２ａ，２ｂ，２
    ｃ，２ｄ）が湾曲可能な材料からなることを特徴とする
    特許請求の範囲第１〜３項のいずれか１つに記載の誘導
    性センサ装置。
  5. 【請求項５】前記金属対象物に対して、互いに隣接する
    少なくとも２個の前記コイル担持体（２ａ，２ｂ）を設
    けたことを特徴とする特許請求の範囲第１〜４項のいず
    れか１つに記載の誘導性センサ装置。
  6. 【請求項６】２個の前記コイル担持体が互いに角度をな
    して配置されることを特徴とする特許請求の範囲第５項
    記載の誘導性センサ装置。
  7. 【請求項７】線（Ｘ１，Ｘ１）に関して対称に配置され
    た２個の受信部分コイル（４ａ１，４ｂ１；４ａ２，４
    ｂ２）をそれぞれ有する少なくとも２個の前記コイル担
    持体（２ａ，２ｂ）を、前記線が交差するように重畳し
    て配置することを特徴とする特許請求の範囲第５項に記
    載の誘導性センサ装置。
  8. 【請求項８】前記の二対の受信部分コイルをそれぞれ前
    記コイル担持体の異なる面に設けることを特徴とする特
    許請求の範囲第７項記載の誘導性センサ装置。
  9. 【請求項９】前記受信部分コイルのそれぞれは前記線に
    平行な少なくとも１つの巻線部分を備えることを特徴と
    する特許請求の範囲第８項に記載の誘導性センサ装置。
  10. 【請求項１０】前記コイル担持体が非導電性の円板から
    なることを特徴とする特許請求の範囲第１〜９項のいず
    れか１つに記載の誘導性センサ装置。
  11. 【請求項１１】前記発信コイル及び前記受信部分コイル
    が厚膜技術及び薄膜技術のいずれか一方によって形成さ
    れること特徴とする特許請求の範囲第１〜１０項のいず
    れか１つに記載の誘導性センサ装置。
  12. 【請求項１２】前記発信コイル及び前記受信部分コイル
    のいずれか一方がリングセグメントで構成されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１〜１１項のいずれか
    １つに記載の誘導性センサ装置。
  13. 【請求項１３】距離測定用コイル（４ｃ）が更に設けら
    れることを特徴とする特許請求の範囲第１〜１２項のい
    ずれか１つに記載の誘導性センサ装置。
  14. 【請求項１４】前記発信コイル及び前記受信部分コイル
    の巻線軸が前記金属対象物の方を向いていることを特徴
    とする特許請求の範囲第１〜１３項のいずれか１つに記
    載の誘導性センサ装置。
  15. 【請求項１５】特許請求の範囲第１〜１４項のいずれか
    １つに記載の誘導性センサ装置において金属対象物
    （７）に対する位置を計測するための計測装置であっ
    て、前記受信部分コイル（４ａ，４ｂ；４ａ１，４ｂ
    １；４ａ２，４ｂ２）の１つを選択的に前記評価回路
    （６，６ａ）に接続するための切換装置（８）を備える
    ことを特徴とする計測装置。
  16. 【請求項１６】前記受信部分コイルが前記金属対象物に
    対して異なる作用をなすコイル面を備えることを特徴と
    する特許請求の範囲第１５項記載の計測装置。
  17. 【請求項１７】前記受信コイル（４）は少なくとも一対
    の相互に間隔を置いて軸対称に配置された受信部分コイ
    ル（４ｂ，４ｃ）と、前記一対の受信部分コイルと同じ
    側に配置され且つ前記金属対象物に対して前記受信部分
    コイルとは異なる距離に配置された第３のコイル（４
    ａ）とを備え、 前記切換回路（８）は、前記金属対象物の面に平行な方
    向での計測に関しては、前記受信部分コイル（４ｂ，４
    ｃ）からの信号が差動的に前記評価回路（６）に入力さ
    れ、前記金属対象物との距離の計測に関しては、前記受
    信部分コイルの１つ（４ｂ）からの信号と前記第３のコ
    イル（４ａ）からの信号とが逆相で前記評価回路（６）
    に入力されるように、２つの異なる計測位置（Ｉ、II）
    に切り換えることができ、もって、前記金属対象物に対
    する距離及び前記金属対象物の不規則部に関する相対位
    置を計測することができる特許請求の範囲第１５項又は
    第１６項記載の計測装置。
  18. 【請求項１８】前記切換装置（８）がシーケンシャルに
    動作するスイッチであることを特徴とする特許請求の範
    囲第１５〜１７項記載の計測装置。
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