JPH0617954A - バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハウジングと弁体との間のクリアランス内を
洗浄する洗浄ポートの付いたバルブを提供すること及び
このポートを用いて、クリアランス内部の液を他の本液
と混合しても問題とならない液或いは気体と置換するこ
とが可能なバルブを提供すること。 【構成】 流体入口４及び流体出口５を有するハウジン
グ１内に、流体貫通孔６を有する円筒又は円錐或いはこ
れに類似する形状の弁体２が切換用ステム３により回転
自在に収容されたバルブにおいて、ハウジングに該ハウ
ジングと弁体との間のクリアランス７部分に連通する洗
浄液入口１０と洗浄液出口を１１設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は流体貫通孔を有する円筒
又は円錐或いはこれに類似する形状の弁体を有するバル
ブに関するものである。

【０００２】図２は従来のこの種のバルブの構造を示す
図で、図２（ａ）は側断面図であり、図２（ｂ）は
（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。バルブはハウジング１と
該ハウジング１内に切換用ステム３により回転自在に収
容された弁体２からなる。また、切換用ステムと弁体が
一体に形成されたものもある。ハウジング１は一般に樹
脂材からなり、流体入口４と流体出口５が設けられてい
る。

【０００３】弁体２は、流体貫通孔６が設けられてい
る。また、ハウジング１内には流体入口４及び流体出口
５からハウジング１と弁体２との間のクリアランス７に
流体が流入するのを防ぐためのシール用のＯリング８が
流体入り口４の近傍と流体出口５の近傍に設けられてい
る。また、ハウジング１の切換用ステム３が貫通する孔
の内周面にもシール用の“Ｏ”リング９が設けられてい
る。

【０００４】上記構成のバルブにおいて、切換用ステム
３を矢印ａ又はその反対に回転させると連動して弁体２
も回転する。弁体２の流体貫通孔６の両端が流体入口４
と流体出口５に合うと流体入口４から流入した流体は流
体貫通孔６を通り流体出口５から流出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記構成のバルブにお
いて、弁を開閉する場合、図２の矢印ｂ，ｃに示すよう
に、流体入口４と流体出口５とが合致する途中で、ハウ
ジング１と弁体２との間のクリアランス７に流体が流入
するのを防ぐことができない。また、図示しない３方弁
や４方弁の場合も弁体の切換途中において、流体が流れ
込むのを防ぐことができない。

【０００６】特に半導体製造工程で使用する液体にはク
リアランス７に長時間滞留することにより、凝固、結晶
化を起すとバルブ開閉時にシール部に不具合を発生した
り、本液に悪影響を与えたりする等の問題がある。ま
た、バルブが３方弁、４方弁等の場合は、弁切換前に空
気或いは窒素でブローして弁体の流体貫通孔６に残存す
る液を除いても、クリアランス部分の残存液を取除くこ
とができないため、弁切換時に本来混合してはならない
２液が微量に混入する等の悪影響があった。

【０００７】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去するためハウジングと弁体との間
のクリアランス内を洗浄する洗浄ポートの付いたバルブ
を提供することを目的とする。また、このポートを用い
て、クリアランス内部の液を他の本液と混合しても問題
とならない液或いは気体と置換することが可能なバルブ
を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、流体入口及び流体出口を有するハウジング内
に、流体貫通孔を有する円筒又は円錐或いはこれに類似
する形状の弁体が切換用ステムにより回転自在に収容さ
れたバルブにおいて、ハウジングに該ハウジングと弁体
との間のクリアランス部分に連通する洗浄液入口と洗浄
液出口を設けたことを特徴とする。

【０００９】

【作用】本発明は上記のように、ハウジングに該ハウジ
ングと弁体との間のクリアランス部分に連通する洗浄液
入口と洗浄液出口を設け、該洗浄液入口から洗浄液を流
すことにより、クリアランス内に流入した液体はこの洗
浄液に押され或いは洗浄液と混入し洗浄液出口から排出
される。これによりクリアランス内部は洗浄されること
になる。洗浄液入口から空気や窒素を流した場合、クリ
アランス内残存液を排出することにもなる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明のバルブの構造を示す図で、図１
（ａ）は平面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ断面矢視図、図１
（ｃ）はＢ−Ｂ断面矢視図、図１（ｄ）はＣ−Ｃ断面矢
視図である。本発明のバルブは流体入口４及び流体出口
５を有するハウジング１内に、流体貫通孔６を有する円
筒状の弁体２が切換用ステム３により回転自在に収容さ
れている。ハウジング１の流体入口４の近傍と流体出口
５の近傍にハウジング１とバルブ２との間のクリアラン
ス７に流体が流入するのを防ぐためのシール用のＯリン
グ８が設けられている。該Ｏリング８は弁体２の側部に
設けた突起部２ｂのＯリング嵌入溝に挿入されている。
更にハウジングの切換用ステム３が貫通する孔の内周面
にもシール用のＯリング９が設けられている点は図２に
示す従来のバルブと同一である。

【００１１】弁体２の下端にはハウジングの底部に形成
された円形の凹部に挿入される凸部２ａが設けられてい
る。また、流体入口４側のＯリング８と流体出口５側の
Ｏリング８とで囲まれたクリアランス７ａ，７ｂは弁体
２の下端の凸部２ａに十字状に直交して設けられた洗浄
液貫通溝１２で連通されるようになっている。

【００１２】本発明のバルブが従来のバルブと大きく相
違する点は、図１に示すようにハウジング１に該ハウジ
ング１と弁体２との間のクリアランス７に連通する洗浄
液入口１０と洗浄液出口１１を設けた点にある。

【００１３】上記のように、ハウジング１に該ハウジン
グ１と弁体２との間のクリアランスに連通する洗浄液入
口１０と洗浄液出口１１を設けたことにより、該洗浄液
入口１０から洗浄液を流すことにより、クリアランスの
内部に流入した液体はこの洗浄液に押され或いは洗浄液
と混入し洗浄液出口１１から外部に排出される。これに
よりクリアランス７の内部は洗浄されることになる。

【００１４】半導体製造工程で使用するバルブは、一般
に薬液による腐食等の関係でハウジング１や弁体２を樹
脂製とすることが多い。本実施例でもハウジング１や弁
体２は樹脂製としている。半導体製造工程で図１に示す
構造のバルブを使用する場合、各種の液体にハウジング
１や弁体２が触れるが、液体の中にはハウジング１と弁
体２との間のクリアランス７に長時間滞留することによ
り、変質、凝固及び結晶化を起こすものがある。このよ
うな変質、凝固及び結晶化を起こすとシール部（Ｏリン
グ部）の不具合が発生したり、或いは本液に悪影響を与
えることがあることは前述の通りである。そこで、洗浄
液入口１０から洗浄液を流してクリアランス７の内部を
洗浄することにより、このような問題は解決できる。

【００１５】なお、上記実施例ではハウジング１に一つ
の流体入口４と一つの流体出口５を有する２方弁を示し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく、３方弁
や４方弁でもよいことは当然である。特に、３方向弁や
４方弁においては、切換時に本来混合してはならない２
液が微量に混合することがあるので、このようなハウジ
ングと弁体との間のクリアランス７に連通する洗浄液入
口と洗浄液出口を設けることは効果的である。

【００１６】また、上記実施例では弁体２に円筒形のも
のを用いたが、弁体の形状はこれに限定されるものでは
なく、円錐或いはこれに類似する形状であってもよい。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ハ
ウジングに該ハウジングと弁体との間のクリアランス部
分に連通する洗浄液入口と洗浄液出口を設けたことによ
り、クリアランス内に滞留した液体を排出し洗浄するこ
とができ、クリアランス内に滞留する液体の変質、凝
固、結晶化等による悪影響や、本液に他の液が混入する
等の不具合を防止することが可能になるという優れた効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のバルブの構造を示す図で、図１（ａ）
は平面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ断面矢視図、図１（ｃ）
はＢ−Ｂ断面矢視図、図１（ｄ）はＣ−Ｃ断面矢視図で
ある。

【図２】従来のバルブの構造を示す図で、図２（ａ）は
側断面図、図２（ｂ）はＤ−Ｄ断面矢視図である。

【符号の説明】

１ ハウジング ２ 弁体 ３ 切換用ステム ４ 流体入口 ５ 流体出口 ６ 流体貫通孔 ７ クリアランス ８ Ｏリング ９ Ｏリング １０ 洗浄液入口 １１ 洗浄液出口 １２ 洗浄液貫通溝

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体入口及び流体出口を有するハウジン
   グ内に、流体貫通孔を有する円筒又は円錐或いはこれに
   類似する形状の弁体が切換用ステムにより回転自在に収
   容されたバルブにおいて、 前記ハウジングに該ハウジングと前記弁体との間のクリ
   アランス部分に連通する洗浄液入口と洗浄液出口を設け
   たことを特徴とするバルブ。
2. 【請求項２】 前記切換用ステムと前記弁体は一体であ
   ることを特徴とする請求項１記載のバルブ。