JPH06180275A - 管内面の金属組織検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 小径、かつ長尺な管内面の金属組織のレプリ
カを遠隔操作にて容易に採取し、管の健全性評価を容易
に行ない得る検査装置を提供すること。 【構成】 管内表面研磨装置、管内表面電解腐食装置及
びレプリカ採取装置を管３の端より交互に被検査部に挿
入し、遠隔操作によりこれらの装置を作動させ、検査面
を研磨して鏡面に仕上げ、その面を電解腐食して組織を
現出させた後、この組織を転写したレプリカを採取し、
これを観察する。レプリカフイルム６１をフイルムホル
ダー５３に貼り付け、フレキシブルチューブ６０を管３
に固定する。ガス注入によりフイルム押し付けゴム５１
が膨張し、レプリカフイルム６１が被検査部に密着し、
溶剤によりレプリカフイルム６１に被検査部の金属組織
が転写される。次にレプリカフイルム６１を乾燥し、金
属組織が転写されたレプリカフイルム６１を管外に取り
出し、顕微鏡観察する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は金属組織の検査装置に係
り、特に小径管内表面等の金属組織観察を遠隔操作によ
り実施するのに好適な金属組織検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属材料の健全性を評価するための検査
手段のひとつとして、光学顕微鏡等による金属組織観察
があるが、直接検鏡試料を採取することのできない金属
の表面組織を観察する場合には、被観察面を研磨して鏡
面に仕上げ、その面を腐食液により電解腐食して組織を
現出させた後、レプリカフィルムに表面組織を転写し
て、これを観察する方法が一般的である。しかし、これ
らの研磨，電解腐食，レプリカ採取の作業は、主に作業
者の手作業によるものであり、作業者の個人差に伴うバ
ラツキもあり、かつ手の届かない部分への適用は極めて
困難である。

【０００３】例えば、図１１に示すように、多数の長尺
な小径管３が互いに接近して管板１を貫通して溶接によ
り取り付けられている構造物においては、管３の取り付
け溶接部２近傍の管３の金属組織が、溶接熱影響により
変化している可能性がある。しかし、健全性評価のため
に管３内表面の金属組織を観察しようとしても、当該部
位に直接作業者が接近できないために、前述した手段に
よる金属組織のレプリカ採取による組織観察は極めて困
難であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の検査方
法では、構造的に作業者が直接接近できない小径、かつ
長尺な管の内面について、材料の金属組織を採取するこ
とによる健全性評価は極めて困難であった。

【０００５】本発明の目的は、このような作業者が直接
接近できない小径、かつ長尺な管内面の金属組織のレプ
リカを遠隔操作にて容易に採取し、管の健全性評価を容
易に行い得る管内面の金属組織検査装置を提供すること
にある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的は、管内表面研
磨装置，管内表面電解腐食装置，及びレプリカ採取装置
を管端より交互に当該検査部に挿入し、遠隔操作により
これらの装置を作動させることにより、被検査面を研磨
して鏡面に仕上げ、その面を電解腐食して組織を現出さ
せた後、この組織を転写したレプリカを採取し、これを
観察することにより達成される。

【０００７】

【作用】管内面の金属組織を転写したレプリカを採取す
るための装置の作用は次の通りである。

【０００８】１）被検査面を研磨して鏡面に仕上げるた
めの、管内表面研磨装置は、先端に容易に着脱可能な回
転式の研磨具を有し、これに長尺の駆動軸を接続して管
端より挿入し、管外部に設けたモーターにより駆動軸及
び研磨具を回転させて、被検査面の研磨が可能である。

【０００９】２）被検査面を電解腐食させるための管内
表面電解研磨装置は、先端に電極及び電極腐食液を注入
するためのノズル、及び電解腐食液をシールするための
機構を有し、これを管端より挿入し電極下部をシールし
て被検査面に電解腐食液を満たした状態で、管端に電極
の一端を接続して管内に挿入されている一方の電極と通
電することにより、被検査面の電解腐食が可能である。

【００１０】３）被検査面の金属組織を転写したレプリ
カを採取するためのレプリカ採取装置は、先端にレプリ
カ溶剤を注入するためのノズル、及び管の軸方向に伸縮
可能な機構を有し、この機構にレプリカフィルムを貼付
して管端より挿入し、被検査面に溶剤を噴射させた状態
でレプリカを管内面に密着，保持することにより、被検
査面のレプリカ採取が可能である。

【００１１】４）以上のような装置を交互に管端より被
検査面に挿入し、遠隔操作によりこれらの装置を作動さ
せて、被検査面の研磨，電解腐食，レプリカ採取するこ
とにより、被検査面の金属組織観察が可能である。

【００１２】

【実施例】本発明に係る管内面の金属組織検査装置の実
施例を図１〜図６により説明する。なお、図解上、管板
１、溶接部２、管３のみハッチングで示す。この管内面
の金属組織検査装置は、管内表面研磨装置（図１及び図
２），管内表面電解腐食装置（図３及び図４），レプリ
カ採取装置（図５〜図６）の各装置から構成される。

【００１３】図１及び図２に管内表面研磨装置の実施例
を示す。本装置は、駆動モーター１４と、これに接続さ
れた動力伝達のための長尺のフレキシブルシャフト１２
と、フレキシブルシャフト１２にカップリング１１を介
して接続された回転軸となるスプンドル７と、スプンド
ル７の先端にチャック６により取り付けられた内表面を
研磨するための回転式の研磨砥石５とを備えている。

【００１４】スピンドル７は内部に回転軸を支持するた
めのベアリング８及びベアリング９を有した案内管１０
により保持され、フレキシブルシャフト１２は保護のた
めのフレキシブルチューブ１３に覆われている。また、
フレキシブルチューブ１３を被研磨管３に固定するため
のチューブ固定用フランジ１５，チューブ固定用リング
１７と、これらを接合するためのボルト１６，１８，１
９がある。

【００１５】図３及び図４に管内表面電解腐食装置の実
施例を示す。この管内表面電解腐食装置は、通電部と、
薬液シール部と、薬液注入部と、薬液ドレン部とから構
成される。

【００１６】通電部は、電解腐食用の電源３５と該装置
の先端に設けられた電極２１と、電極２１と管３を電気
的に絶縁するための絶縁体２５と、これらを電気的に接
続するための電線３３及びジョイント３０とからなって
いる。

【００１７】薬液シール部は、薬液をシールするための
ガス（例えば空気，窒素等）用のガスボンベ３６とガス
注入ノズル２４及びシールゴム２３と、これらを接続す
るためのホース３２ａ及びジョイント２９と、ガスの送
給を制御するためのバルブ４０とからなっている。

【００１８】薬液注入部は、薬液を注入するためのガス
用と薬液シール用のものと共用のガスボンベ３６と、電
解腐食液（例えば１０％シュウ酸）タンク３７及び洗浄
液（例えばアルコール）タンク３８と、先端の薬液注入
ノズル２０とこれに接続された電解腐食液注入管２６及
び洗浄液注入管２７と、これらを接続するためのホース
３２ｂ、３２ｃ及びジョイント２９と、電解腐食液，洗
浄液の送給を制御するためのバルブ４１，４２とからな
っている。

【００１９】薬液ドレン部は、使用後の薬液を吸引する
ための真空装置４４と、薬液ドレンタンク３９と先端の
オーバーフロー管２２及びドレン管２８と、これらを接
続するためのホース３２ｃ、３２ｄ及びジョイント２９
と、薬液のドレンを制御するためのバルブ４３とからな
っている。

【００２０】ホース３２，電線３３は絶縁体２５の部分
で、それぞれジョイント２９，３０に接続され、これら
は案内管３１に収納されており、案内管３１の下部で
は、ホース３２，電線３３は保護のためにフレキシブル
チューブ３４に覆われている。また、前記の管内面研磨
装置と同様に、フレキシブルチューブ３４を被腐食管３
に固定するためのチューブ固定用フランジ１５及びチュ
ーブ固定用リング１７がある。

【００２１】図５及び図６にレプリカ採取装置の実施例
を示す。このレプリカ採取装置は、フィルム押付部と、
ガス及び溶剤注入部とから構成されている。

【００２２】フィルム押付部は、レプリカフィルム６１
を管内面に押し付けるため管の軸に垂直方向に伸縮自由
な筒状弾性体としてのフィルム押し付けゴム５１と、こ
れに円周方向に数分割して取り付けられている補強板５
２及びフィルムホルダー５３と、これらを保持するため
の上部支持板４８，下部支持板４９及びガイドリング５
０と、フィルム６１を装着するためのナット４７とから
なっている。

【００２３】ガス及び溶剤注入部は、装置の先端に設け
られた溶剤及び乾燥用ガスの注入ノズル４５と、これに
接続された注入管４６と、レプリカ溶剤（例えばアセト
ン，酢酸メチル等）の溶剤タンク６２とレプリカ乾燥用
ガスのガスボンベ３６と、これらを接続するコネクター
５４，ジョイント５５，ホース５８及び５９と、溶剤及
び乾燥用ガスの送給を制御するためのバルブ６３，６
４，６５とからなっている。

【００２４】ホース５８，５９はコネクター５４の部分
でジョイント５５に接続され、これらは案内管５６に収
納されており、案内管５６の下部ではホース５８，５９
は保護のためにフレキシブルチャーブ６０に覆われてい
る。また、前記の管内面研磨装置及び管内面電解腐食装
置と同様に、フレキシブルチューブ６０を被検査管３に
固定するためのチューブ固定用フランジ１５及びチュー
ブ固定用リング１７がある。

【００２５】図１〜図６に示す管内表面研磨装置，管内
表面電解腐食装置，レプリカ採取装置を使用して、管板
１に溶接により取り付けられた管３の溶接部２近傍の管
内表面組織を観察，検査するための手順を図７〜図９に
示す。以下この手順を説明する。

【００２６】図７に示すように、１・管内面の研磨は、
（１）研磨砥石の装着（交換）、（２）管内への装置挿
入・固定、（３）研磨（駆動）モータ始動、（４）内面
研磨、（５）研磨モータ停止、（６）管内から装置引抜
きの工程からなる。

【００２７】まず、図１及び図２に示す管内表面研磨装
置を管３に固定するための２分割されたチューブ固定用
リング１７の一方のリングがボルト１９により取り付け
られたチューブ固定用フランジ１５を、管３の下端にあ
るフランジ４にボルト１６により取り付ける。

【００２８】次に、管内表面研磨装置のスピンドル７の
先端に、比較的目の粗い研磨砥石５をチャック６により
固定して〔図７の（１）〕、これを管下端より管の内部
に先端研磨部が被検査部に到達するまで挿入し、この状
態で他方のチューブ固定用リング１７をボルト１８によ
り締めつけてフレキシブルチャーブ１３を管３に固定す
る〔図７の（２）〕。

【００２９】この状態で駆動モーター１４を作動させる
と、フレキシブルシャフト１２，カップリング１１，ス
ピンドル７を介して先端の研磨砥石５が回転して、被検
査部内表面の研磨を行う〔図７の（３）及び（４）〕。

【００３０】所定時間の研磨が終了した後に研磨（駆
動）モーター１４を停止して〔図７の（５）〕、チュー
ブ固定用リング１７を分割し、フレキシブルチューブ１
３を管内より引き抜いて〔図７の（６）〕、先端の研磨
砥石５をより目の細かい砥石に交換して〔図７の
（１）〕、再び上記と同様の手順により被検査部の研磨
を繰り返すことにより、被検査部の管内表面を鏡面に仕
上げる。

【００３１】このようにして被検査部を鏡面に仕上げた
後に、図３及び図４に示す管内面電解腐食装置により被
検査部の電解腐食を行う。図８に示すように、２・内面
電解腐食は、（１）管内への装置挿入・固定、（２）管
内シール、（３）電解腐食液の注入、（４）電解腐食、
（５）電解腐食液の回収、（６）洗浄液の注入、回収、
（７）管内シール解除、（８）管内から装置の引抜きの
各工程からなる。

【００３２】先ず、バルブ４０，４１，４２，４３を全
て閉にした状態で、タンク３７，３８にそれぞれ電解腐
食液，洗浄液を入れる。装置の先端に設けられた電極２
１を、管下端より管の内部に先端電極部が被検査部に到
達するまで挿入し、この状態で前記の管内面研磨装置と
同様の手順でフレキシブルチューブ３４を管３に固定す
る。ここで、管内に挿入した電極２１（−側）の対極と
なる電線３３（＋側）を管下端に接続する〔図８の
（１）〕。

【００３３】この状態で、バルブ４０を開にすることに
より、タンク３６からホース３２ａ，ジョイント２９を
通してガス注入ノズル２４にシール用のガスを注入する
と、伸縮自由なシールゴム２３が膨らんで、管３の内面
に密着して薬液のシールがなされる〔図８の（２）〕。

【００３４】次に、バルブ４１を開にすることにより、
ガス圧力によりタンク３７の中の電解腐食液がホース３
２ｂ，ジョイント２９，注入管２６を通して電極２１の
下部より電極部に注入され、電解腐食液はシールゴム２
３より上部に徐々に満たされる〔図８の（３）〕。

【００３５】オーバーフロー管２２の上端まで腐食液が
満たされると、オーバーフローした腐食液は、オーバー
フロー管２２，ジョイント２９，ホース３２ｄを通して
ドレンタンク３９に回収され、ここでバルブ４１を閉と
する。このようにして、装置の先端に設けられた電極２
１の部分に電解腐食液を満たした状態で，電源３５をＯ
Ｎにして、電極２１と管３の間に所定時間通電すること
により被検査部の電解腐食を行う〔図８の（４）〕。

【００３６】電解腐食が終了したら、バルブ４３を開に
して、電極２１の下部に設けられたドレン管２８から、
ジョイント２９，ホース３２ｅを通して、使用済の電解
腐食液をドレンタンク３９に回収し、回収し終わったら
再びバルブ４３を閉にする〔図８の（５）〕。

【００３７】次に、バルブ４２を開にすることにより、
ガス圧力によりタンク３８の中の洗浄液がホース３２
ｃ，ジョイント２９，注入管２７，注入ノズル２０を通
して、被電解腐食部に噴霧され、残存した電解腐食液を
洗浄する。この時、バルブ４３は開として使用済の洗浄
液はドレンタンク３９に回収しながら洗浄を行い、洗浄
終了後バルブ４３，４２を閉にする〔図８の（６）〕。

【００３８】以上の手順で被検査部の電解腐食が終了し
たら、バルブ４０を閉としてガス加圧を停止すると共に
ベントを行い、シールゴム２３を収縮させてシールを解
除して〔図７の（７）〕、電極２１を管から引き抜く
〔図８の（８）〕。

【００３９】このようにして被検査部を電解腐食させた
後に、図５及び図６に示すレプリカ採取装置により、被
検査部の金属組織を転写したレプリカフィルムを採取す
る。

【００４０】図９に示すように、３・レプリカ採取は、
（１）装置へのフィルムの装着、（２）管内への装置挿
入・固定、（３）フィルム溶剤の注入、（４）フィルム
圧着、（５）乾燥用ガスの送給、（６）フィルム乾燥、
（７）乾燥用ガスの停止、（８）フィルム圧着の解除、
（９）管内から装置引抜き、（１０）フィルム取外し、
（１１）レプリカフィルム観察の各工程からなる。

【００４１】先ず、レプリカフィルム６１をナット４７
により上部支持板４８に取り付け、さらにレプリカフィ
ルムの下端をフィルムホルダー５３に貼り付けて〔図９
の（１）〕、これを管下端より管の内部にレプリカ部が
被検査部に到達するまで挿入し、この状態で前記の管内
面研磨装置と同様の手順でフレキシブルチューブ６０を
管３に固定する〔図９の（２）〕。

【００４２】この状態でバルブ６４を開にすることによ
り、ガス圧力によりタンク６２の中のレプリカの溶剤が
ホース５９，ジョイント５５，注入管４６，ノズル４５
を通して、被検査部に噴霧され、管内面にレプリカ溶剤
が塗布された状態となる〔図９の（３）〕。

【００４３】次に、タイミングよくバルブ６４を閉にす
ると同時にバルブ６３を開にすることにより、ホース５
８，ジョイント２９，ノズル２４を通して、ガスがガイ
ドリング５０とフィルム押付ゴム５１の間隙に注入さ
れ、フィルム押付ゴム５１が膨張する。フィルム押付ゴ
ム５１の外表面には、周方向に数分割に分割された補強
板５２及びフィルムホルダー５３が取り付けられてお
り、フィルム押付ゴム５１が膨張するとフィルムホルダ
ー５３が管内面に押し付けられて、レプリカフィルム６
１が被検査部に密着され、あらかじめ塗布されていた溶
剤により、レプリカフィルム６１に被検査部の金属組織
が転写される〔図９の（４）〕。

【００４４】このようにして、フィルム６１を管内面に
密着させた状態でバルブ６５を開として、ホース５９，
ジョイント５５，注入管４６，ノズル４５を通して、フ
ィルム乾燥用のガスが被検査部に噴出され〔図９の
（５）〕、レプリカフィルムの乾燥を行う〔図９の
（６）〕。

【００４５】所定時間の乾燥が終了した後、バルブ６５
を閉にして乾燥用ガスの送給を停止し〔図９の
（７）〕、次にバルブ６３を閉にして、フィルム圧着の
ためのガス加圧を停止すると共にベントを行い、フィル
ム押付ゴム５１を収縮させる〔図９の（８）〕。

【００４６】以上の手順で被検査部の金属組織をレプリ
カフィルム６１に転写して、装置を管より引き抜くこと
によりレプリカフィルムを管内面より剥離させて管外に
取り出し〔図９の（９）〕、ナット４７を緩めて、レプ
リカフィルムを外し〔図９の（１０）〕、このレプリカ
フィルムを顕微鏡観察することにより、被検査部の金属
組織が観察できる〔図９の（１１）〕。

【００４７】以上の操作は図７に示すように、装置の管
内への挿入、引き抜き以外の操作は、電源のON/OFF、バ
ルブの開閉操作等の容易でかつ遠隔にて実施可能な操作
であるため、直接作業者が接近不可能な小径かつ長尺な
管の内面金属組織を転写したレプリカを容易に採取する
ことが可能である。

【００４８】また、本実施例においては、 ｉ) 各装置にフレキシブルチャーブを用いているため、
管端から装置を管内に挿入する作業場所が狭い場合で
も、容易に挿入，引抜きが可能であり、かつ装置が長尺
になった場合でも装置の取り扱い，保管が容易である。 ｉｉ) 電解腐食において、電解腐食，洗浄液の回収が可
能であるため、廃液の処理が容易である。 ｉｉｉ) レプリカ採取装置において、フィルムホルダー
が円周方向に数分割されているので、周方向数ケ所のレ
プリカを同時に採取することが可能である。 ｉｖ）レプリカ採取装置において、レプリカ乾燥用のガ
ス送給が可能であるため、小径管内面のような乾燥しに
くい場所においても、レプリカフィルムの乾燥が容易に
実施可能であり、かつ乾燥ガスに窒素等の不活性ガスを
用いれば、フィルム溶剤のアセトン等の有機剤の爆発の
可能性がない等の利点がある。

【００４９】本発明の他の実施例を図１０に示す。本実
施例はレプリカ採取装置の例を示すものであり、図５に
示したレプリカ採取装置の実施例と装置の構成，作用等
はほとんど同じであるが、フレキシブルチューブのかわ
りに金属性の剛性をもった連結管６６を用いたものであ
り、チューブ固定用フランジ６７をに二分割構造にし
て、これをボルトにより締めつけて被検査管３に取り付
ける構造にしたものであり、管端にフランジのない場合
でも取り付け可能である。

【００５０】この実施例の効果は、剛性をもった金属性
の連結管を用いているので、レプリカ採取位置のより高
い寸法精度を確保すると共に、耐久性を向上させること
ができる。

【００５１】

【発明の効果】本発明によれば、従来作業員が直接接近
できないために、金属組織の観察による健全性評価が困
難であった長尺の小径管について、管内表面の金属組織
を転写したレプリカを遠隔操作により容易に採取し、観
察することが可能なので、管の健全性評価に大きな効果
がある。

【００５２】また、レプリカ採取作業を装置化（機械
化）することにより省力化に効果があると共に、予め試
験等により被検査管の条件に合わせた研磨条件（砥石荒
さ，研磨速度，研磨時間等）、電解腐食条件（電流，電
圧，腐食時間等）、レプリカ採取条件（溶剤注入量，乾
燥時間等）の最適条件を設定すれば作業者の個人差によ
るバラツキがなく、常に一定の条件での金属組織観察が
可能なので、健全性評価の信頼性向上に効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）は本発明における管内面研磨装置の一実
施例を示す縦断面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図
である。

【図２】図１（Ａ）のＡ部拡大断面図である。

【図３】本発明における管内面電解腐食装置の一実施例
を示す縦断面図である。

【図４】（Ａ）は図３のＣ部拡大断面図、（Ｂ）は
（Ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。

【図５】本発明におけるレプリカ採取装置の一実施例を
示す縦断面図である。

【図６】図５のＥ部拡大断面図である。

【図７】本発明の各装置における内面研磨の手順を示す
工程図である。

【図８】図８は本発明の各装置における内面研磨腐食の
手順を示す工程図である。

【図９】図９は本発明の各装置におけるレプリカ採取手
順を示す工程図である。

【図１０】本発明におけるレプリカ採取装置の他の実施
例を示す縦断面図である。

【図１１】本発明の適用が可能な管と管板の構造図を示
す斜視図である。

【符号の説明】

１ 管板 ２ 溶接部 ３ 管 ４ フランジ ５ 研磨砥石 ６ チャック ７ スピンドル １０ 案内管 １１ カップリング １２ フレキシブルシヤフト １３ フレキシブルチューブ １４ 駆動（研磨）モータ １５ チューブ固定用フランジ １７ チューブ固定用リング ２０ 薬液注入ノズル ２１ 電極 ２２ オーバーフロー管 ２３ シールゴム ２５ 絶縁体 ２６ 電解腐食液注入管 ２７ 洗浄液注入管 ２８ ドレン管 ２９，３０ ジョイント ３１ 案内管 ３２ ホース ３４ フレキシブルチューブ ３５ 電源 ３６ ガスボンベ ３７ 電解腐食液タンク ３８ 洗浄液タンク ３９ 薬液ドレンタンク ４４ 真空装置 ４５ ノズル ４６ 注入管 ４７ ナット ４８ 上部支持板 ５０ ガイドリング ５１ フィルム押付ゴム ５３ フィルムホルダー ６１ レプリカフィルム ６２ 溶剤タンク ６６ 連結管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 進藤 丈典 広島県呉市宝町６番９号 バブコック日立 株式会社呉工場内 (72)発明者 重弘 勝矢 広島県呉市宝町６番９号 バブコック日立 株式会社呉工場内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 管内表面の金属組織の健全性を検査、評
   価するものにおいて、先端部に設けられたノズルと、そ
   の軸方向に伸縮自在な機構とを備え、この機構の外面に
   流体圧により膨張・伸縮自在な筒状弾性体と、該筒状弾
   性体の外周面にレプリカフィルムを着脱自在に支持する
   フィルムホルダーと、前記筒状弾性体内部に流体を注入
   する注入管とを備え、管内部に着脱可能としたレプリカ
   採取装置を有する管内面の金属組織検査装置。
2. 【請求項２】 前記ノズルに、レプリカ用溶剤と乾燥用
   ガスとをそれぞれ別個に注入するためのホースを有する
   ことを特徴とする請求項１の管内面の金属組織検査装
   置。
3. 【請求項３】 前記フィルムホルダーが、円周方向に複
   数個に分割して配置されていることを特徴とする請求項
   １の管内面の金属組織検査装置。
4. 【請求項４】 管内表面の金属組織の健全性を検査、評
   価するものにおいて、（ａ）先端部に着脱自在に設けら
   れ、管内部に装着可能な回転式の研磨具と、該研磨具が
   管外部に設置される駆動源と長尺の駆動軸を介して接続
   された管内表面研磨装置と、（ｂ）装置先端部に設けら
   れた電極、電解腐食液を注入するためのノズル及び電解
   腐食液をプールするためのシール機構と、前記電極と管
   との間に通電する手段とを備えた管内表面電解腐食装置
   と、（ｃ）先端部に設けられたノズルと、その軸方向に
   伸縮自在な機構とを備え、この機構の外面に流体圧によ
   り膨張・伸縮自在な筒状弾性体と、該筒状弾性体の外周
   面にレプリカフィルムを着脱自在に支持するフィルムホ
   ルダーと、前記筒状弾性体内部に流体を注入する注入管
   とを備え、管内部に着脱可能としたレプリカ採取装置
   と、を備えた管内面の金属組織検査装置。