JPH0618346A - 差圧測定装置 - Google Patents
差圧測定装置Info
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- JPH0618346A JPH0618346A JP17423892A JP17423892A JPH0618346A JP H0618346 A JPH0618346 A JP H0618346A JP 17423892 A JP17423892 A JP 17423892A JP 17423892 A JP17423892 A JP 17423892A JP H0618346 A JPH0618346 A JP H0618346A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐食特性が向上された差圧測定装置を提供す
るにある。 【構成】 耐食性は劣るが耐力性の大なる材料からなる
センターダイアフラムと、該センターダイアフラムを挟
持する耐食性の大なる材料からなるハウジングと、該ハ
ウジングと前記センターダイアフラムとの接合部に設け
られたリング状の溶接部とを具備する差圧測定装置にお
いて、溶け込み断面形状が前記リング面方向に長く前記
リング面と直角方向に短い第１溶接部と該第１溶接部の
形成後に形成され溶け込み断面形状が前記リング面方向
に短く前記リング面と直角方向に長い第２溶接部とを備
える溶接部を具備したことを特徴とする差圧測定装置で
ある。
るにある。 【構成】 耐食性は劣るが耐力性の大なる材料からなる
センターダイアフラムと、該センターダイアフラムを挟
持する耐食性の大なる材料からなるハウジングと、該ハ
ウジングと前記センターダイアフラムとの接合部に設け
られたリング状の溶接部とを具備する差圧測定装置にお
いて、溶け込み断面形状が前記リング面方向に長く前記
リング面と直角方向に短い第１溶接部と該第１溶接部の
形成後に形成され溶け込み断面形状が前記リング面方向
に短く前記リング面と直角方向に長い第２溶接部とを備
える溶接部を具備したことを特徴とする差圧測定装置で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、耐食特性が向上された
差圧測定装置に関するものである。
差圧測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、実開昭６０―１８１６
４２号に示されている。図において、１はハウジング
で、円柱状の首部１Ａと、首部１Ａの端部外周縁部１Ｃ
において、溶接接続されたブロック状の受圧部１Ｂとよ
りなる。ハウジング１の両側に高圧側フランジ２、低圧
側フランジ３が溶接等によって固定されており、両フラ
ンジ２，３には測定せんとする圧力ＰH の高圧流体の導
入口５、圧力ＰL の低圧流体の導入口４が設けられてい
る。
従来例の構成説明図で、例えば、実開昭６０―１８１６
４２号に示されている。図において、１はハウジング
で、円柱状の首部１Ａと、首部１Ａの端部外周縁部１Ｃ
において、溶接接続されたブロック状の受圧部１Ｂとよ
りなる。ハウジング１の両側に高圧側フランジ２、低圧
側フランジ３が溶接等によって固定されており、両フラ
ンジ２，３には測定せんとする圧力ＰH の高圧流体の導
入口５、圧力ＰL の低圧流体の導入口４が設けられてい
る。
【０００３】ハウジング１内に圧力測定室６が形成され
ており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８が設けられている。センタダイ
アフラム７とシリコンダイアフラム８は、それぞれ別個
に圧力測定室６の壁に固定されており、センタダイアフ
ラム７とシリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測
定室６を２分している。センタダイアフラム７と対向す
る圧力測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが
形成されている。
ており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７と
シリコンダイアフラム８が設けられている。センタダイ
アフラム７とシリコンダイアフラム８は、それぞれ別個
に圧力測定室６の壁に固定されており、センタダイアフ
ラム７とシリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測
定室６を２分している。センタダイアフラム７と対向す
る圧力測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが
形成されている。
【０００４】センタダイアフラム７は周縁部をハウジン
グ１にリング状に溶接７１されている。シリコンダイア
フラム８は、全体が単結晶のシリコン基板から形成され
ている。シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を
選択拡散して４っのストレンゲ―ジ８０を形成し、他方
の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ
ラムを形成する。４っのストレインゲ―ジ８０は、シリ
コンダイアフラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つ
が引張り、２つが圧縮を受けるようになっており、これ
らがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変
化が差圧ΔＰの変化として検出される。
グ１にリング状に溶接７１されている。シリコンダイア
フラム８は、全体が単結晶のシリコン基板から形成され
ている。シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を
選択拡散して４っのストレンゲ―ジ８０を形成し、他方
の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ
ラムを形成する。４っのストレインゲ―ジ８０は、シリ
コンダイアフラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２つ
が引張り、２つが圧縮を受けるようになっており、これ
らがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変
化が差圧ΔＰの変化として検出される。
【０００５】８１は、ストレインゲ―ジ８０に一端が取
付けられたリ―ドである。８２は、リ―ド８１の他端が
接続されたハ―メチック端子である。支持体９はハ―メ
チック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側端
面に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム
８が接着固定されている。ハウジング１と高圧側フラン
ジ２、および低圧側フランジ３との間に、圧力導入室１
０，１１が形成されている。
付けられたリ―ドである。８２は、リ―ド８１の他端が
接続されたハ―メチック端子である。支持体９はハ―メ
チック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側端
面に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム
８が接着固定されている。ハウジング１と高圧側フラン
ジ２、および低圧側フランジ３との間に、圧力導入室１
０，１１が形成されている。
【０００６】この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイア
フラム１２，１３を設け、この隔液ダイアフラム１２，
１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａに隔液
ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―ト
が形成されている。隔液ダイアフラム１２，１３とバッ
クプレ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力
測定室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。
フラム１２，１３を設け、この隔液ダイアフラム１２，
１３と対向するハウジング１の壁１０Ａ，１１Ａに隔液
ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―ト
が形成されている。隔液ダイアフラム１２，１３とバッ
クプレ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される空間と、圧力
測定室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。
【０００７】そして、隔液ダイアフラム１２，１３間に
シリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満たされ、
この封入液が連通孔１６，１７を介してシリコンダイア
フラム８の上下面にまで至っている、封入液１０１，１
０２はセンタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等にな
るように配慮されている。２１は、受圧部１Ｂに設けら
れ封入液１０１，１０２をハウジング１内に封入する封
入手段である。この場合は、封入孔２１１と封入ボ―ル
２１２と封止捩子２１３とよりなる。
シリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満たされ、
この封入液が連通孔１６，１７を介してシリコンダイア
フラム８の上下面にまで至っている、封入液１０１，１
０２はセンタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８
とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等にな
るように配慮されている。２１は、受圧部１Ｂに設けら
れ封入液１０１，１０２をハウジング１内に封入する封
入手段である。この場合は、封入孔２１１と封入ボ―ル
２１２と封止捩子２１３とよりなる。
【０００８】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、隔液ダイアフラム１２に作用する圧力が、
封入液１０１によって、シリコンダイアフラム８に伝達
される。一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダ
イアフラム１３に作用する圧力が封入液１０２によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。
用した場合、隔液ダイアフラム１２に作用する圧力が、
封入液１０１によって、シリコンダイアフラム８に伝達
される。一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダ
イアフラム１３に作用する圧力が封入液１０２によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。
【０００９】この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。
じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がスト
レインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測
定が行なわれる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この様
な装置においては、センターダイアフラム７は、発生す
る応力が大きい為、耐力の大きな材料が使用される。一
般的には、高張力鋼が使用される。このような材料は、
耐食性が劣る。一方、差圧測定装置の受圧部は、腐食性
の雰囲気にさらされる為、耐食性の良い材料が使用さ
れ、一般的には、ＳＵＳ３１６等のステンレス鋼が使用
される。而して、溶接７１の部分は、ステンレス鋼と鋼
張力鋼の合金となる為、耐食性が低下し、シリコンコー
ティング材等で保護しているが、この程度では、十分な
耐食性は得られ無い。本発明は、この問題点を、解決す
るものである。
な装置においては、センターダイアフラム７は、発生す
る応力が大きい為、耐力の大きな材料が使用される。一
般的には、高張力鋼が使用される。このような材料は、
耐食性が劣る。一方、差圧測定装置の受圧部は、腐食性
の雰囲気にさらされる為、耐食性の良い材料が使用さ
れ、一般的には、ＳＵＳ３１６等のステンレス鋼が使用
される。而して、溶接７１の部分は、ステンレス鋼と鋼
張力鋼の合金となる為、耐食性が低下し、シリコンコー
ティング材等で保護しているが、この程度では、十分な
耐食性は得られ無い。本発明は、この問題点を、解決す
るものである。
【００１１】本発明の目的は、耐食特性が向上された差
圧測定装置を提供するにある。
圧測定装置を提供するにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、耐食性は劣るが耐力性の大なる材料から
なるセンターダイアフラムと、該センターダイアフラム
を挟持する耐食性の大なる材料からなるハウジングと、
該ハウジングと前記センターダイアフラムとの接合部に
設けられたリング状の溶接部とを具備する差圧測定装置
において、溶け込み断面形状が前記リング面方向に長く
前記リング面と直角方向に短い第１溶接部と該第１溶接
部の形成後に形成され溶け込み断面形状が前記リング面
方向に短く前記リング面と直角方向に長い第２溶接部と
を備える溶接部を具備したことを特徴とする差圧測定装
置を構成したものである。
に、本発明は、耐食性は劣るが耐力性の大なる材料から
なるセンターダイアフラムと、該センターダイアフラム
を挟持する耐食性の大なる材料からなるハウジングと、
該ハウジングと前記センターダイアフラムとの接合部に
設けられたリング状の溶接部とを具備する差圧測定装置
において、溶け込み断面形状が前記リング面方向に長く
前記リング面と直角方向に短い第１溶接部と該第１溶接
部の形成後に形成され溶け込み断面形状が前記リング面
方向に短く前記リング面と直角方向に長い第２溶接部と
を備える溶接部を具備したことを特徴とする差圧測定装
置を構成したものである。
【００１３】
【作用】以上の構成において、高圧側から圧力が作用し
た場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封入液によ
ってシリコンダイアフラムに伝達される。一方、低圧側
から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する
圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達され
る。従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコ
ンダイアフラムが歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ
に因って電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
た場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封入液によ
ってシリコンダイアフラムに伝達される。一方、低圧側
から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する
圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達され
る。従って、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコ
ンダイアフラムが歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ
に因って電気的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
【００１４】而して、溶け込み断面形状がリング面方向
に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部と第１溶接
部の形成後に形成され溶け込み断面形状がリング面方向
に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部とを備える
溶接部を構成したので、溶接部の溶接強度が確保出来る
と共に、耐食性が向上された差圧測定装置が得られる。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部と第１溶接
部の形成後に形成され溶け込み断面形状がリング面方向
に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部とを備える
溶接部を構成したので、溶接部の溶接強度が確保出来る
と共に、耐食性が向上された差圧測定装置が得られる。
以下、実施例に基づき詳細に説明する。
【００１５】
【実施例】図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の詳細説明図である。図において、図３と同
一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図３と相違部
分のみ説明する。３１は、溶け込み断面形状がリング面
方向に長く、リング面と直角方向に短い第１溶接部３２
と第１溶接部３２の形成後に形成され溶け込み断面形状
がリング面方向に短く、リング面と直角方向に長い第２
溶接部３３とを備える溶接部である。この場合は、電子
ビームで溶接する。
図２は図１の詳細説明図である。図において、図３と同
一記号の構成は同一機能を表わす。以下、図３と相違部
分のみ説明する。３１は、溶け込み断面形状がリング面
方向に長く、リング面と直角方向に短い第１溶接部３２
と第１溶接部３２の形成後に形成され溶け込み断面形状
がリング面方向に短く、リング面と直角方向に長い第２
溶接部３３とを備える溶接部である。この場合は、電子
ビームで溶接する。
【００１６】以上の構成において、高圧側から圧力が作
用した場合、隔液ダイアフラム１２に作用する圧力が、
封入液１０１によって、シリコンダイアフラム８に伝達
される。一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダ
イアフラム１３に作用する圧力が封入液１０２によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。従って、高圧側
と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が
歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気
的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
用した場合、隔液ダイアフラム１２に作用する圧力が、
封入液１０１によって、シリコンダイアフラム８に伝達
される。一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダ
イアフラム１３に作用する圧力が封入液１０２によって
シリコンダイアフラム８に伝達される。従って、高圧側
と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が
歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気
的に取出され、差圧の測定が行なわれる。
【００１７】而して、溶け込み断面形状がリング面方向
に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部３２と第１
溶接部３２の形成後に形成され溶け込み断面形状がリン
グ面方向に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部３
３とを備える溶接部３１を構成したので、溶接部３１の
溶接強度が確保出来ると共に、耐食性が向上された差圧
測定装置が得られる。
に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部３２と第１
溶接部３２の形成後に形成され溶け込み断面形状がリン
グ面方向に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部３
３とを備える溶接部３１を構成したので、溶接部３１の
溶接強度が確保出来ると共に、耐食性が向上された差圧
測定装置が得られる。
【００１８】即ち、第１の溶接部３２においては、溶接
強度を得て熱変形を少なくするため溶け込み形状を細く
深くする。第２の溶接部３３においては、受圧部表面の
耐食性を向上させるため、溶け込み形状を浅く広くす
る。ここで、第１溶接部３２は耐食性の良いＳＵＳ３１
６のステンレス鋼と耐食性の劣る鋼張力鋼が約半分ずつ
均一に混合される。このため、ＳＵＳ３１６のステンレ
ス鋼の耐食性を向上させる元素であるクロム、ニッケル
の濃度が約半分に低減される。この結果、第１溶接部３
２の部分は耐食性が低下する。
強度を得て熱変形を少なくするため溶け込み形状を細く
深くする。第２の溶接部３３においては、受圧部表面の
耐食性を向上させるため、溶け込み形状を浅く広くす
る。ここで、第１溶接部３２は耐食性の良いＳＵＳ３１
６のステンレス鋼と耐食性の劣る鋼張力鋼が約半分ずつ
均一に混合される。このため、ＳＵＳ３１６のステンレ
ス鋼の耐食性を向上させる元素であるクロム、ニッケル
の濃度が約半分に低減される。この結果、第１溶接部３
２の部分は耐食性が低下する。
【００１９】第２溶接部３３では、第１溶接部３２とＳ
ＵＳ３１６のステンレス鋼とが約半分づつ混合されるた
め、クロム、ニッケルの濃度はＳＵＳ３１６のステンレ
ス鋼の約３／４となり、第１溶接部３２のみの場合に比
し、耐食性が向上し、実用上、十分な耐食性が得られ
る。一般に、クロム濃度は１０％以上で有効な耐食性が
得られる。
ＵＳ３１６のステンレス鋼とが約半分づつ混合されるた
め、クロム、ニッケルの濃度はＳＵＳ３１６のステンレ
ス鋼の約３／４となり、第１溶接部３２のみの場合に比
し、耐食性が向上し、実用上、十分な耐食性が得られ
る。一般に、クロム濃度は１０％以上で有効な耐食性が
得られる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、耐食性
は劣るが耐力性の大なる材料からなるセンターダイアフ
ラムと、該センターダイアフラムを挟持する耐食性の大
なる材料からなるハウジングと、該ハウジングと前記セ
ンターダイアフラムとの接合部に設けられたリング状の
溶接部とを具備する差圧測定装置において、溶け込み断
面形状が前記リング面方向に長く前記リング面と直角方
向に短い第１溶接部と該第１溶接部の形成後に形成され
溶け込み断面形状が前記リング面方向に短く前記リング
面と直角方向に長い第２溶接部とを備える溶接部を具備
したことを特徴とする差圧測定装置を構成した。
は劣るが耐力性の大なる材料からなるセンターダイアフ
ラムと、該センターダイアフラムを挟持する耐食性の大
なる材料からなるハウジングと、該ハウジングと前記セ
ンターダイアフラムとの接合部に設けられたリング状の
溶接部とを具備する差圧測定装置において、溶け込み断
面形状が前記リング面方向に長く前記リング面と直角方
向に短い第１溶接部と該第１溶接部の形成後に形成され
溶け込み断面形状が前記リング面方向に短く前記リング
面と直角方向に長い第２溶接部とを備える溶接部を具備
したことを特徴とする差圧測定装置を構成した。
【００２１】この結果、溶け込み断面形状がリング面方
向に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部と第１溶
接部の形成後に形成され溶け込み断面形状がリング面方
向に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部とを備え
る溶接部を構成したので、溶接部の溶接強度が確保出来
ると共に、耐食性が向上された差圧測定装置が得られ
る。
向に長くリング面と直角方向に短い第１溶接部と第１溶
接部の形成後に形成され溶け込み断面形状がリング面方
向に短くリング面と直角方向に長い第２溶接部とを備え
る溶接部を構成したので、溶接部の溶接強度が確保出来
ると共に、耐食性が向上された差圧測定装置が得られ
る。
【００２２】従って、本発明によれば、耐食特性が向上
された差圧測定装置を実現することが出来る。
された差圧測定装置を実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の要部詳細説明図である。
【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
１…ハウジング １Ａ…首部 １Ｂ…受圧部 １Ｃ…溶接 ２…高圧側フランジ ３…低圧側フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センタダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１…圧力導入室 １１Ａ…バックプレ―ト １２…隔液ダイアフラム １３…隔液ダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 １７…連通孔 ３１…溶接部 ３２…第１溶接部 ３３…第２溶接部 ８０…ストレインゲ―ジ １０１…封入液 １０２…封入液
Claims (1)
- 【請求項１】耐食性は劣るが耐力性の大なる材料からな
るセンターダイアフラムと、 該センターダイアフラムを挟持する耐食性の大なる材料
からなるハウジングと、 該ハウジングと前記センターダイアフラムとの接合部に
設けられたリング状の溶接部とを具備する差圧測定装置
において、 溶け込み断面形状が前記リング面方向に長く前記リング
面と直角方向に短い第１溶接部と該第１溶接部の形成後
に形成され溶け込み断面形状が前記リング面方向に短く
前記リング面と直角方向に長い第２溶接部とを備える溶
接部を具備したことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4174238A JP3039141B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4174238A JP3039141B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618346A true JPH0618346A (ja) | 1994-01-25 |
| JP3039141B2 JP3039141B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=15975136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4174238A Expired - Fee Related JP3039141B2 (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3039141B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012168125A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP4174238A patent/JP3039141B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012168125A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Denso Corp | 圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3039141B2 (ja) | 2000-05-08 |
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