JPH06187624A - ヘッド位置決め調整機構 - Google Patents

ヘッド位置決め調整機構

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JPH06187624A
JPH06187624A JP33585492A JP33585492A JPH06187624A JP H06187624 A JPH06187624 A JP H06187624A JP 33585492 A JP33585492 A JP 33585492A JP 33585492 A JP33585492 A JP 33585492A JP H06187624 A JPH06187624 A JP H06187624A
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JP
Japan
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head
magnetic
head slider
magnetic head
support spring
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JP33585492A
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English (en)
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Yoshio Koshikawa
誉生 越川
Takahiro Imamura
孝浩 今村
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Publication date
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は磁気ディスク装置におけるヘッド位
置決め調整機構に関し、磁気ディスク上の所定トラック
へ磁気ヘッドスライダを位置決めするアクチュエータと
は別に、該磁気ヘッドスライダのヨー角(Yaw angle) の
変化を補正して、ヨー角ロスの小さい高精度なヘッド位
置決めを可能にすることを目的とする。 【構成】 磁気ディスク上の半径方向へロータリー・ア
クチュエータにより揺動可能なヘッド支持アーム31と磁
気ヘッドスライダ35を支持した支持ばね36との間に、支
持ばね36の磁気ディスク面と平行な方向への角度変化を
可能とするヒンジ部37を有する連結部材32とその両側に
圧電素子33, 34とを設け、ヘッド支持アーム31をロータ
リー・アクチュエータにより揺動するに対応してその揺
動方向と反対方向に前記支持ばね36を微小に変位可能に
した構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置におけ
る磁気ディスクの所定記録トラックへ磁気ヘッドスライ
ダを精度良く位置決めし得るヘッド位置決め調整機構に
関するものである。
【0002】近年、電子計算機の小型化、可搬化や磁気
ディスク装置の設置面積の縮小化等に伴い、磁気ディス
ク装置の小型、高密度記録化及び高性能化が強く要求さ
れている。このため、小型な磁気ディスクに対する記録
再生用の磁気ヘッドとしては、磁気記録素子と磁気抵抗
効果素子からなる再生素子とを組み合わせて一体に構成
した複合型磁気ヘッドを用いて再生出力を高めることを
図っている。
【0003】また、一方、磁気ディスクの小型化 (小径
化) に伴って該磁気ディスク上の所定トラックへの磁気
ヘッドの位置決めにおいて、その磁気ヘッドスライダの
記録再生トラックに対するヨー角(Yaw angle)が変化し
易くなる傾向にある。このため、そのようなヨー角の変
化をヘッド位置決用アクチュエータの動作時に修正する
ようにして、高再生出力、高トラック密度が実現できる
ヘッド位置決め調整機構が必要とされている。
【0004】
【従来の技術】従来の磁気ディスク装置における磁気ヘ
ッドスライダの所定トラックへの位置決めは、図4に示
すように回転する磁気ディスク1面に対して、該磁気デ
ィスク1上の半径方向へロータリーアクチュエータ2に
より揺動可能なヘッド支持アーム3に支持ばね4を介し
て保持された磁気ヘッドスライダ5を、その浮上力と該
支持ばね4による押圧力とにより所定間隙に浮上させた
状態で、該ロータリー・アクチュエータ2により所定の
記録再生トラックの位置へ移動させて位置決めを行って
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うな従来の磁気ヘッドスライダ5のトラック位置決めに
際しては、図4に示すように磁気ディスク1の記録再生
トラックに対して磁気ヘッドスライダ5のヨー角(Yaw a
ngle) がインナー(Inner)側, 或いはアウター(Outer)
側に変化するという問題がある。
【0006】即ち、このような問題は、例えば図5(a)
に示すように浮上スライダ11の後端面に、一対の磁気シ
ールド層12, 13間に非磁性絶縁膜14をそれぞれ介して磁
気抵抗効果素子( MR素子)15 を設けた再生素子と前記
磁気シールド層13を第1磁極とし、その磁気シールド層
13と第2磁極16間に非磁性絶縁膜17をそれぞれ介して記
録用コイル18を設け、その第2磁極16上に非磁性保護膜
19を被覆した記録素子とを一体に構成した複合型の磁気
ヘッドスライダの磁気ディスク1面へのトラック位置決
めにおいて、図5(b) の前記複合型の磁気ヘッドスライ
ダの記録再生素子部を記録媒体側から示すように記録素
子の記録ギャップ部21と再生素子の再生ギャップ部22が
磁気ディスクの記録再生トラックに対してインナー(In
ner)側,或いはアウター(Outer) 側にずれが生じ、この
ずれによるヨー角の変化で記録・再生時にエラーが発生
する問題がある。
【0007】従って、上記した磁気ヘッドスライダのヨ
ー角の変化による影響を避けるために、再生素子(MR
素子15) の再生トラック幅を記録素子(第2磁極16)の
記録トラック幅よりも狭くする必要がある。しかし再生
素子の再生トラック幅を狭くするとヨー角ロスに対して
は有利であるが、それにより再生出力やS/N比が低下
するという欠点があった。
【0008】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、磁
気ディスク上の所定トラックへの磁気ヘッドスライダを
位置決めするアクチュエータとは別にその動作に対応し
て該磁気ヘッドスライダのヨー角(Yaw angle)の変化を
補正する機構を設けて、磁気ヘッドスライダのヨー角ロ
スの小さい高精度なヘッド位置決めを可能とする新規な
ヘッド位置決め調整機構を提供することを目的とするも
のである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、磁気ディスク上の半径方向へロータリー
・アクチュエータにより揺動可能なヘッド支持アームに
支持ばねを介して磁気ヘッドスライダを支持したヘッド
位置決め機構であって、前記ヘッド支持アームと磁気ヘ
ッドスライダを支持した支持ばねとの間に、該支持ばね
の磁気ディスク面に平行な方向への角度変化を可能とす
るヒンジ部を有する連結部材と圧電素子とを設け、ヘッ
ド支持アームをロータリー・アクチュエータにより揺動
するに対応してその揺動方向と反対方向に前記支持ばね
を微小に変位可能にした構成とする。
【0010】また、磁気ディスク上の半径方向へロータ
リー・アクチュエータにより揺動可能なヘッド支持アー
ムに支持ばねを介して磁気ヘッドスライダを支持したヘ
ッド位置決め機構であって、前記ヘッド支持アームと磁
気ヘッドスライダを支持した支持ばねとの間、若しくは
該支持ばねの代わりに、互いに長さ方向に対して反対方
向に伸縮する一対の圧電素子を設け、ヘッド支持アーム
をロータリー・アクチュエータにより揺動するに対応し
てその揺動方向と反対方向に前記磁気ヘッドスライダを
微小に変位可能にした構成とする。
【0011】更に、前記一対の圧電素子が可撓性の湾曲
支持体の内側、若しくは外側に接合した構成とする。
【0012】
【作用】本発明では、ヘッド支持アームと磁気ヘッドス
ライダを支持した支持ばねとの間に、該支持ばねの磁気
ディスク面に平行な方向への角度変化を可能とするヒン
ジ部を有する連結部材と圧電素子とを設け、ヘッド支持
アームをロータリー・アクチュエータにより揺動してヘ
ッド位置決めするに対応して前記圧電素子によりその揺
動方向と反対方向に前記支持ばねを微小に変位させるこ
とにより、該磁気ヘッドスライダのヨー角(Yaw angle)
の変化を補正することが可能となる。
【0013】また、ヘッド支持アームと磁気ヘッドスラ
イダを支持した支持ばねとの間、若しくは該支持ばねの
代わりに、互いに長さ方向に対して反対方向に伸縮する
一対の圧電素子、或いは可撓性の湾曲支持体の内側、若
しくは外側に接合した一対の圧電素子を設け、ヘッド支
持アームをロータリー・アクチュエータにより揺動する
に対応して前記圧電素子によりその揺動方向と反対方向
に前記磁気ヘッドスライダを微小に変位させることによ
り、該磁気ヘッドスライダのヨー角(Yaw angle)の変化
を補正することが可能となる。その結果、磁気ヘッドス
ライダを容易にヨー角(Yaw angle)ずれのない状態で所
定トラック上に精度良く位置決めすることができる。
【0014】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例について
詳細に説明する。図1(a) は本発明のヘッド位置決め調
整機構の第1実施例を示す要部概略平面図である。
【0015】図において、31は図示しない磁気ディスク
上の半径方向へロータリー・アクチュエータにより揺動
可能なヘッド支持アームであり、そのヘッド支持アーム
31の先端部に連結部材32とその両側に電圧印加によりそ
の長さ方向に伸縮変位する圧電素子33, 34が配設され、
それらの先端に記録・再生素子が付設された磁気ヘッド
スライダ35を支持する支持ばね36を、該支持ばね36が磁
気ディスク面に平行な方向へ角度変化を可能とするヒン
ジ部37を介して接続配置されている。
【0016】そして図1(b) に示すように図示しない回
転する磁気ディスク上に所定間隙で浮上させた磁気ヘッ
ドスライダ35を支持ばね36を介して保持したヘッド支持
アーム31をロータリー・アクチュエータにより矢印Aの
方向に鎖線で示すように揺動させて該磁気ヘッドスライ
ダ35を所定の記録再生トラックへ位置決めする。
【0017】また、それに対応して前記連結部材32の両
側にそれぞれ設けた各圧電素子33,34に、例えば一方の
圧電素子33にはその長さ方向に延伸する電圧と、他方の
圧電素子34にはその長さ方向に収縮する電圧を印加して
前記支持ばね36を含む磁気ヘッドスライダ35をヘッド支
持アーム31の揺動方向と矢印Cで示す反対方向に変位、
或いは、前記ヘッド支持アーム31をロータリー・アクチ
ュエータにより矢印Bの方向に鎖線で示すように揺動さ
せて該磁気ヘッドスライダ35を所定の記録再生トラック
へ位置決めするに対応して前記各圧電素子33, 34の内の
例えば一方の圧電素子33にはその長さ方向に収縮する電
圧と、他方の圧電素子34にはその長さ方向に延伸する電
圧を印加して前記支持ばね36を含む磁気ヘッドスライダ
35をヘッド支持アーム31の揺動方向と矢印Dで示す反対
方向に変位させることにより、該磁気ヘッドスライダ35
のヨー角(Yaw angle)のずれを零の状態に補正すること
が可能となる。
【0018】従って、前記磁気ヘッドスライダ35をヨー
角(Yaw angle)のずれのない状態で容易に所定の記録再
生トラックへ精度よく位置決めすることができるので、
ヨー角ずれによる記録・再生時に生ずるエラーが解消さ
れ、また、再生素子の再生トラック幅を従来のように記
録素子の記録トラック幅よりも狭くする必要はないので
高再生出力、ひいては高トラック密度化が実現できる。
【0019】図2(a) は本発明のヘッド位置決め調整機
構の第2実施例を示す要部概略平面図であり、図1(a)
と同等の機能を示す部分には同一符号を付している。こ
の図で示す実施例が図1(a) の実施例と異なる点は、磁
気ヘッドスライダ35とヘッド支持アーム31との間に、支
持ばねの代わりも兼ねて長さ方向に対して互いに反対方
向に伸縮する可撓性を有する一対の圧電素子41と42を配
設したことである。
【0020】このような第2実施例の構成によっても、
図2(b) に示すように 前記第1実施例と同様にヘッド
支持アーム31を図示しないロータリー・アクチュエータ
により矢印Aの方向、または矢印Bの方向に鎖線で示す
ように揺動させて該磁気ヘッドスライダ35を所定の記録
再生トラックへ位置決めするに対応して前記一対の圧電
素子41と42に互いに逆極性の電圧を印加してその一対の
圧電素子41と42を互いにその長さ方向に対して伸縮さ
せ、磁気ヘッドスライダ35をヘッド支持アーム31の揺動
方向と矢印C、または矢印Dで示す反対方向に変位させ
ることにより、該磁気ヘッドスライダ35のヨー角(Yaw
angle)のずれを零の状態に補正することが可能となり、
ヨー角ずれによる記録・再生時に生ずるエラーが解消さ
れ、高再生出力、高トラック密度化を実現することがで
きる。
【0021】なお、この第2実施例では一対の圧電素子
41,42と磁気ヘッドスライダ35とを直接的に接続した場
合の例について説明したが、例えば一対の圧電素子41,
42と磁気ヘッドスライダ35との間に支持ばねを介して接
続した構成とすることもでき、この構成においても同様
の作用効果が得られる。
【0022】図3(a) は本発明のヘッド位置決め調整機
構の第3実施例を示す要部概略平面図であり、図2(a)
と同等の機能を示す部分には同一符号を付している。こ
の図で示す実施例が図2(a) の実施例と異なる点は、ヘ
ッド支持アーム31の先端部に支持された連結部材51に水
平方向へ角度変化を可能とするヒンジ部52を介して磁気
ヘッドスライダ35が接続保持され、かつその磁気ヘッド
スライダ35と前記ヘッド支持アーム31の先端部の両側に
設けた支持部材53との間に圧電素子54, 56をそれぞれ内
側、若しくは外側、本実施例では内側に接合した一対の
ステンレス等からなる可撓性の湾曲支持体55, 57を配設
して小型に構成したことである。
【0023】このような第3実施例の構成によっても、
前記第1実施例と同様にヘッド支持アーム31を図示しな
いロータリー・アクチュエータにより水平方向に揺動さ
せて該磁気ヘッドスライダ35を所定の記録再生トラック
へ位置決めするに対応して前記した一対の可撓性の湾曲
支持体55, 57の内側に接合した各圧電素子54と56に互い
に逆極性の電圧を印加してその各圧電素子54と56を互い
にその長さ方向に対して伸縮させ、磁気ヘッドスライダ
35をヘッド支持アーム31の揺動方向と反対方向に変位さ
せることにより、該磁気ヘッドスライダ35のヨー角(Ya
w angle)のずれを零の状態に補正することが可能とな
り、ヨー角ずれによる記録・再生時に生ずるエラーが解
消され、高再生出力、高トラック密度化を実現すること
ができる。
【0024】なお、この第3実施例ではヘッド支持アー
ム31の先端部に磁気ヘッドスライダ35を、ヒンジ部52を
介した連結部材51と、支持部材53を介して内側に圧電素
子54, 56をそれぞれ接合した一対の可撓性の湾曲支持体
55, 57とにより保持した場合の例について説明したが、
前記磁気ヘッドスライダ35とヒンジ部52との間に支持ば
ねを介在した構成としても良く、またその他の変形例と
して例えば図3(b) に示すようにヘッド支持アーム31の
先端部に磁気ヘッドスライダ35を、支持部材53を介して
内側に圧電素子54, 56をそれぞれ接合した支持ばねの機
能を有する一対の可撓性の湾曲支持体55, 57のみにより
保持した構成とすることによっても、構成が小型、簡単
で前記第3実施例と同様な作用効果を得ることが可能と
なる。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係るヘッド位置決め調整機構によれば、ヘッド支持ア
ームと磁気ヘッドスライダを支持した支持ばねとの間、
若しくは該支持ばねの代わりに、互いに長さ方向に対し
て反対方向に伸縮する少なくとも一対の圧電素子を設け
た構成とし、ヘッド支持アームをロータリー・アクチュ
エータにより揺動してヘッド位置決めするに対応して前
記圧電素子によりその揺動方向と反対方向に前記磁気ヘ
ッドスライダを微小に変位させることにより、該磁気ヘ
ッドスライダのヨー角(Yaw angle)の変化を零の状態に
補正することが可能となる。
【0026】従って、磁気ヘッドスライダを容易にヨー
角(Yaw angle)ずれのない状態で所定トラック上に精度
良く位置決めすることができる優れた利点を有し、ヨー
角ずれによる記録・再生時に生ずるエラーが解消され、
また、再生素子の再生トラック幅を従来のように記録素
子の記録トラック幅よりも狭くする必要はないので高再
生出力、ひいては高トラック密度化が実現できる等、実
用上顕著なる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のヘッド位置決め調整機構の第1実施
例とその動作を説明するための要部概略平面図である。
【図2】 本発明のヘッド位置決め調整機構の第2実施
例とその動作を説明するための要部概略平面図である。
【図3】 本発明のヘッド位置決め調整機構の第3実施
例とその変形例を示す要部概略平面図である。
【図4】 従来のヘッド位置決め機構を説明するための
概略平面図である。
【図5】 従来のヘッド位置決め機構による問題点を説
明するための複合磁気ヘッドの要部断面図とその媒体対
向面を示す要部平面図である。
【符号の説明】
31 ヘッド支持アーム 32、51 連結部材 33,34,41,42,54,56 圧電素子 35 磁気ヘッドスライダ 36 支持ばね 37,52 ヒンジ部 53 支持部材 55,57 湾曲支持体

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気ディスク上の半径方向へロータリー
    ・アクチュエータにより揺動可能なヘッド支持アーム(3
    1)に支持ばね(36)を介して磁気ヘッドスライダ(35)を支
    持したヘッド位置決め機構であって、 前記ヘッド支持アーム(31)と磁気ヘッドスライダ(35)を
    支持した支持ばね(36)との間に、該支持ばね(36)の磁気
    ディスク面に平行な方向への角度変化を可能とするヒン
    ジ部(37)を有する連結部材(32)と圧電素子(33, 34)とを
    設け、ヘッド支持アーム(31)をロータリー・アクチュエ
    ータにより揺動するに対応してその揺動方向と反対方向
    に前記支持ばね(36)を微小に変位可能としたことを特徴
    とするヘッド位置決め調整機構。
  2. 【請求項2】 磁気ディスク上の半径方向へロータリー
    ・アクチュエータにより揺動可能なヘッド支持アーム(3
    1)に支持ばね(36)を介して磁気ヘッドスライダ(35)を支
    持したヘッド位置決め機構であって、 前記ヘッド支持アーム(31)と磁気ヘッドスライダ(35)を
    支持した支持ばね(36)との間、若しくは該支持ばね(36)
    の代わりに、互いに長さ方向に対して反対方向に伸縮す
    る一対の圧電素子(41, 42)を設け、ヘッド支持アーム(3
    1)をロータリー・アクチュエータにより揺動するに対応
    してその揺動方向と反対方向に前記磁気ヘッドスライダ
    (35)を微小に変位可能としたことを特徴とするヘッド位
    置決め調整機構。
  3. 【請求項3】 前記一対の圧電素子(54, 56)が可撓性の
    湾曲支持体(55, 57)の内側、若しくは外側に接合されて
    いることを特徴とする請求項2のヘッド位置決め調整機
    構。
JP33585492A 1992-12-16 1992-12-16 ヘッド位置決め調整機構 Withdrawn JPH06187624A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0886264A1 (en) * 1997-06-19 1998-12-23 STMicroelectronics S.r.l. A suspension arm for a head of a disk storage device
US6831889B2 (en) 2000-02-01 2004-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7298573B2 (en) 2004-12-15 2007-11-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Magnetic disk drive with offset detection of composite magnetic head
CN117711446A (zh) * 2022-09-15 2024-03-15 株式会社 东芝 盘装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0886264A1 (en) * 1997-06-19 1998-12-23 STMicroelectronics S.r.l. A suspension arm for a head of a disk storage device
US6072665A (en) * 1997-06-19 2000-06-06 Sgs-Thomson Microelectronics, S.R.L. Suspension arm for a head of a disk storage device
US6831889B2 (en) 2000-02-01 2004-12-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US6917498B2 (en) 2000-02-01 2005-07-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7006335B2 (en) 2000-02-01 2006-02-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7027267B2 (en) 2000-02-01 2006-04-11 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7072150B2 (en) 2000-02-01 2006-07-04 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7072149B2 (en) 2000-02-01 2006-07-04 Matsushita Electric Industrial Co. Ltd. Head support mechanism and thin film piezoelectric actuator
US7298573B2 (en) 2004-12-15 2007-11-20 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Magnetic disk drive with offset detection of composite magnetic head
CN117711446A (zh) * 2022-09-15 2024-03-15 株式会社 东芝 盘装置

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