JPH06190227A - ミストあるいは蒸気凝縮回収装置 - Google Patents
ミストあるいは蒸気凝縮回収装置Info
- Publication number
- JPH06190227A JPH06190227A JP4346157A JP34615792A JPH06190227A JP H06190227 A JPH06190227 A JP H06190227A JP 4346157 A JP4346157 A JP 4346157A JP 34615792 A JP34615792 A JP 34615792A JP H06190227 A JPH06190227 A JP H06190227A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- pipe
- mist
- exhaust
- throttle valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separating Particles In Gases By Inertia (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
- Drying Of Gases (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Weting (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は例えば局所排気における排気ミスト
あるいは蒸気の回収装置に関するものであり、簡便で動
力費を必要としないミストあるいは蒸気凝縮回収装置を
提供する。 【構成】 一端をミストあるいは蒸気発生源（エッチン
グ装置１１）に接続され、他端を排気手段（ファン６）
に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向かう配
管（４）に絞り弁（９）を設け、その絞り弁の下流側に
液留め部（５）を設け、その液留め部から配管を上向け
に立ち上げ（２）、前記液留め部に液回収手段（バルブ
７）を設けてミストあるいは蒸気の凝縮液を回収するも
のである。 【効果】 以上のように本発明は、排気が絞り弁を通過
するときの断熱膨張による温度降下により、凝縮して液
体となし、その下流側に設けた液溜め部にその液を溜め
て回収するものであるから、簡便で安価に設置でき、し
かも動力費を必要とせず、排気による持ち出しを低減す
る装置を提供することができる。
あるいは蒸気の回収装置に関するものであり、簡便で動
力費を必要としないミストあるいは蒸気凝縮回収装置を
提供する。 【構成】 一端をミストあるいは蒸気発生源（エッチン
グ装置１１）に接続され、他端を排気手段（ファン６）
に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向かう配
管（４）に絞り弁（９）を設け、その絞り弁の下流側に
液留め部（５）を設け、その液留め部から配管を上向け
に立ち上げ（２）、前記液留め部に液回収手段（バルブ
７）を設けてミストあるいは蒸気の凝縮液を回収するも
のである。 【効果】 以上のように本発明は、排気が絞り弁を通過
するときの断熱膨張による温度降下により、凝縮して液
体となし、その下流側に設けた液溜め部にその液を溜め
て回収するものであるから、簡便で安価に設置でき、し
かも動力費を必要とせず、排気による持ち出しを低減す
る装置を提供することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば局所排気におけ
るミストあるいは蒸気凝縮回収装置に関するものであ
る。
るミストあるいは蒸気凝縮回収装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のミストあるいは蒸気回収装置は、
例えば繊維を用いた障害物を排気配管中に設け、この障
害物に衝突し凝縮したミストあるいは蒸気を回収する、
あるいは排気配管中に冷却機構を設け、ミストあるいは
蒸気を凝縮させ回収するものであった。
例えば繊維を用いた障害物を排気配管中に設け、この障
害物に衝突し凝縮したミストあるいは蒸気を回収する、
あるいは排気配管中に冷却機構を設け、ミストあるいは
蒸気を凝縮させ回収するものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら繊維等を
用いた障害物を使用した場合は、定期的な交換が必要と
なりその処理をも含めたコストが発生する。しかもこれ
に化学薬品等を含んだ場合は危険を伴う作業が発生す
る。また冷却機構を設けた場合は構造が複雑、高価でし
かも動力費が必要となる。
用いた障害物を使用した場合は、定期的な交換が必要と
なりその処理をも含めたコストが発生する。しかもこれ
に化学薬品等を含んだ場合は危険を伴う作業が発生す
る。また冷却機構を設けた場合は構造が複雑、高価でし
かも動力費が必要となる。
【０００４】またミスト回収装置を設けない場合におい
ては、ミストの持ち出しにより薬液等の消費量が多くな
り不経済である。
ては、ミストの持ち出しにより薬液等の消費量が多くな
り不経済である。
【０００５】本発明はこれらの問題点に対し、簡単で安
価に設置でき、しかも動力費を必要とせず、排気による
薬液等の持ち出しを低減する装置を提供することを目的
とする。
価に設置でき、しかも動力費を必要とせず、排気による
薬液等の持ち出しを低減する装置を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の第１の発明の回収装置は、一端をミストあ
るいは蒸気発生源に接続され、他端を排気手段に接続さ
れた排気配管の水平部もしくは下方に向かう配管に絞り
弁を設け、その絞り弁の下流側に液留め部を設け、その
液留め部から配管を上向けに立ち上げ、前記液留め部に
液回収手段を設けてミストあるいは蒸気を凝縮回収する
ものである。
めに本発明の第１の発明の回収装置は、一端をミストあ
るいは蒸気発生源に接続され、他端を排気手段に接続さ
れた排気配管の水平部もしくは下方に向かう配管に絞り
弁を設け、その絞り弁の下流側に液留め部を設け、その
液留め部から配管を上向けに立ち上げ、前記液留め部に
液回収手段を設けてミストあるいは蒸気を凝縮回収する
ものである。
【０００７】また本発明の第２の発明の回収装置は、一
端をミストあるいは蒸気発生源に接続され、他端を排気
手段に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向か
う配管に絞り弁を設け、その絞り弁の下流側に液溜め部
を設け、その液溜め部から配管を上向けに立ち上げ、前
記液留め部に液回収手段を設け、前記上向きに立ち上げ
た配管が他からの排気配管と合流する前に、その合流部
から、立ち上げた配管に流れ込んでくる液を阻止するト
ラップ液留め部を設けてミストあるいは蒸気を凝縮回収
するものである。
端をミストあるいは蒸気発生源に接続され、他端を排気
手段に接続された排気配管の水平部もしくは下方に向か
う配管に絞り弁を設け、その絞り弁の下流側に液溜め部
を設け、その液溜め部から配管を上向けに立ち上げ、前
記液留め部に液回収手段を設け、前記上向きに立ち上げ
た配管が他からの排気配管と合流する前に、その合流部
から、立ち上げた配管に流れ込んでくる液を阻止するト
ラップ液留め部を設けてミストあるいは蒸気を凝縮回収
するものである。
【０００８】
【作用】第１の本発明では上記した構成によって、排気
ファンにより排気配管中に取り込まれたミストあるいは
蒸気を含む排気流は、配管内に設けられた絞り弁を通過
するとき、断熱膨張による温度降下により凝縮し液体と
なり、この液体は水平もしくは下方に向いた配管内を排
気流、自重によって運ばれ液留め部にたまり回収可能と
なる。
ファンにより排気配管中に取り込まれたミストあるいは
蒸気を含む排気流は、配管内に設けられた絞り弁を通過
するとき、断熱膨張による温度降下により凝縮し液体と
なり、この液体は水平もしくは下方に向いた配管内を排
気流、自重によって運ばれ液留め部にたまり回収可能と
なる。
【０００９】また第２の本発明では上記した構成によっ
て、排気ファンにより排気配管中に取り込まれたミスト
あるいは蒸気を含む排気流は、配管内に設けられた絞り
弁を通過するとき、断熱膨張による温度降下により凝縮
し液体となり、この液体は水平もしくは下方に向いた配
管内を排気流、自重によって運ばれ液留め部にたまり回
収可能となすと共に、他の排気配管との合流があって
も、他の排気配管からの凝縮液が前記液留め部に流れ込
むことを阻止できるので、純度の高い液の回収を可能な
らしめることができる。
て、排気ファンにより排気配管中に取り込まれたミスト
あるいは蒸気を含む排気流は、配管内に設けられた絞り
弁を通過するとき、断熱膨張による温度降下により凝縮
し液体となり、この液体は水平もしくは下方に向いた配
管内を排気流、自重によって運ばれ液留め部にたまり回
収可能となすと共に、他の排気配管との合流があって
も、他の排気配管からの凝縮液が前記液留め部に流れ込
むことを阻止できるので、純度の高い液の回収を可能な
らしめることができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明をエッエング装置に適用した場合
を１つの実施例として図面を用いて説明する。図１は本
発明の第１の実施例のエッチング装置の全体構成図であ
る。
を１つの実施例として図面を用いて説明する。図１は本
発明の第１の実施例のエッチング装置の全体構成図であ
る。
【００１１】図１において、１、２、４は排気流を導く
ための排気配管、３はフランジ継手、５は液留め部、６
は排気ファン、７は回収バルブ、８は回収容器、９は例
えばバタフライバルブで構成した絞り弁、１０はエッチ
ング液容器、１１はエッチング装置本体、１２は循環ポ
ンプ、１３はヒーター、１４は回収液である。
ための排気配管、３はフランジ継手、５は液留め部、６
は排気ファン、７は回収バルブ、８は回収容器、９は例
えばバタフライバルブで構成した絞り弁、１０はエッチ
ング液容器、１１はエッチング装置本体、１２は循環ポ
ンプ、１３はヒーター、１４は回収液である。
【００１２】ヒーター１３で加熱され蒸発したミストあ
るいは蒸気を含む排気流（矢印Ａ）は、排気ファン６に
引かれて排気配管４を通り絞り弁９に達する。ここでミ
ストあるいは蒸気を含む排気流は絞り弁９を直通すると
き断熱膨張により温度が下がり凝縮し液体となり液留め
部５に落下してたまり、回収液１４となる。ミストある
いは蒸気分を失った排気流（矢印Ｂ）は液留め部５を通
り抜け排気配管２に導かれ（矢印Ｄ）、ファン６により
排気される。また配管の立ち上がり部Ｈ１で冷やされて
液化した液も配管の壁面に沿って落下して液留め部５に
たまる。液留め部５にたまった回収液１４はバルブ７に
より回収容器８に取り出すことができる。
るいは蒸気を含む排気流（矢印Ａ）は、排気ファン６に
引かれて排気配管４を通り絞り弁９に達する。ここでミ
ストあるいは蒸気を含む排気流は絞り弁９を直通すると
き断熱膨張により温度が下がり凝縮し液体となり液留め
部５に落下してたまり、回収液１４となる。ミストある
いは蒸気分を失った排気流（矢印Ｂ）は液留め部５を通
り抜け排気配管２に導かれ（矢印Ｄ）、ファン６により
排気される。また配管の立ち上がり部Ｈ１で冷やされて
液化した液も配管の壁面に沿って落下して液留め部５に
たまる。液留め部５にたまった回収液１４はバルブ７に
より回収容器８に取り出すことができる。
【００１３】図２は本発明の第２実施例を示すものであ
る。なお、図１と同一構成要素には同一符号を付し、説
明を省略する。図２において、１５は回収配管、１６は
回収配管１５を取り込むための孔であり、絞り弁９は配
管４の水平部に設けてある。実施例１と同様に絞り弁９
により凝縮し、排気流Ｅに運ばれて液留め部５に溜まっ
た回収液１４はバルブ７を開くことにより、回収配管１
５を経てエッチング液容器１０へ戻される。このように
すると、第１実施例よりも配管の構成が簡単になり、ま
た回収液１４を直接エッチング液容器１１に戻すことが
できる。
る。なお、図１と同一構成要素には同一符号を付し、説
明を省略する。図２において、１５は回収配管、１６は
回収配管１５を取り込むための孔であり、絞り弁９は配
管４の水平部に設けてある。実施例１と同様に絞り弁９
により凝縮し、排気流Ｅに運ばれて液留め部５に溜まっ
た回収液１４はバルブ７を開くことにより、回収配管１
５を経てエッチング液容器１０へ戻される。このように
すると、第１実施例よりも配管の構成が簡単になり、ま
た回収液１４を直接エッチング液容器１１に戻すことが
できる。
【００１４】図３は本発明の第３実施例を示すものであ
る。なお、図１，図２と同一構成要素には同一符号を付
し、説明を省略する。図３において、１７は接続用排気
配管である。第１段目の回収を終えた排気流は接続用排
気配管１７を通り第２段目に入る。一段目と同様の作用
を受けて凝縮された液は、バルブ７により配管１５を通
り、エッチング液容器１０へ戻される。このように複数
の凝縮回収装置を直列接続することにより回収効率の向
上を図ることができる。
る。なお、図１，図２と同一構成要素には同一符号を付
し、説明を省略する。図３において、１７は接続用排気
配管である。第１段目の回収を終えた排気流は接続用排
気配管１７を通り第２段目に入る。一段目と同様の作用
を受けて凝縮された液は、バルブ７により配管１５を通
り、エッチング液容器１０へ戻される。このように複数
の凝縮回収装置を直列接続することにより回収効率の向
上を図ることができる。
【００１５】図４は、本発明の第４実施例を示すもので
ある。なお、図１、図２および図３と同一構成要素には
同一符号を付している。図４において、１８は回収配管
１５の途中に設けた公知の排気の逆流を防止するトラッ
プである。回収液１４は液溜め部５からトラップ１８を
通りエッチング液容器１０に戻る。このようにしておく
と前述した各実施例のようにバルブを開くことなく回収
できるという利点がある。
ある。なお、図１、図２および図３と同一構成要素には
同一符号を付している。図４において、１８は回収配管
１５の途中に設けた公知の排気の逆流を防止するトラッ
プである。回収液１４は液溜め部５からトラップ１８を
通りエッチング液容器１０に戻る。このようにしておく
と前述した各実施例のようにバルブを開くことなく回収
できるという利点がある。
【００１６】図５は、本発明の第５の実施例を示すもの
である。なお、図１〜図５と同一構成要素には同一符号
を付している。図５において、１９、２１は排気配管、
２０はトラップ液留め部、２２は排液バルブ、２３は配
管１９からの凝縮液である。配管１９には他からの、例
えば水分を含む薬液、あるいは他種の薬液の排気が通
る。この構成によれば、その排気配管１９中で凝縮した
液が、配管１９、２１の合流部Ｆから矢印Ｇのように流
れ込んで来てもトラップ液留め部２０を配管２１の下方
に設けることにより、液留め部５まで流れ込むことを阻
止できるので、純度の高い回収液１４を回収できる。こ
こで凝縮液２３は、適宜排液バルブ２２を開いて排液す
ればよい。
である。なお、図１〜図５と同一構成要素には同一符号
を付している。図５において、１９、２１は排気配管、
２０はトラップ液留め部、２２は排液バルブ、２３は配
管１９からの凝縮液である。配管１９には他からの、例
えば水分を含む薬液、あるいは他種の薬液の排気が通
る。この構成によれば、その排気配管１９中で凝縮した
液が、配管１９、２１の合流部Ｆから矢印Ｇのように流
れ込んで来てもトラップ液留め部２０を配管２１の下方
に設けることにより、液留め部５まで流れ込むことを阻
止できるので、純度の高い回収液１４を回収できる。こ
こで凝縮液２３は、適宜排液バルブ２２を開いて排液す
ればよい。
【００１７】なお、トラップ液留め部２０は、図６に示
すように排気配管２１を排気配管２に同軸的に接続した
大径部分に設け、溜った凝縮液２３を排液バルブ２２で
排液するようにしてもよい。このようにすれば、第５の
実施例よりも配管スペースを小さくすることができる。
すように排気配管２１を排気配管２に同軸的に接続した
大径部分に設け、溜った凝縮液２３を排液バルブ２２で
排液するようにしてもよい。このようにすれば、第５の
実施例よりも配管スペースを小さくすることができる。
【００１８】以上全ての実施例において、液溜め部５か
ら立ち上がる配管は垂直としたが、斜め上でも差し支え
ない。
ら立ち上がる配管は垂直としたが、斜め上でも差し支え
ない。
【００１９】なお、以上の説明では加熱したエッチング
液を例に取って説明したが、真空ポンプからのオイルミ
スト等、あらゆるミストあるいは蒸気発生源に対して有
効である。
液を例に取って説明したが、真空ポンプからのオイルミ
スト等、あらゆるミストあるいは蒸気発生源に対して有
効である。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明は、排気配管の水平
部もしくは下方に向かう配管に絞り弁を設け、その絞り
弁の下流側に液留め部を設け、排気が絞り弁を通過する
ときの断熱膨張による温度降下により、凝縮して液体と
なし、その下流側に設けた液留め部にその液を溜めて回
収するものであるから、簡便で安価に設置でき、しかも
動力費を必要とせず、排気によ薬液の持ち出しを低減す
ることができる。
部もしくは下方に向かう配管に絞り弁を設け、その絞り
弁の下流側に液留め部を設け、排気が絞り弁を通過する
ときの断熱膨張による温度降下により、凝縮して液体と
なし、その下流側に設けた液留め部にその液を溜めて回
収するものであるから、簡便で安価に設置でき、しかも
動力費を必要とせず、排気によ薬液の持ち出しを低減す
ることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示す全体構成図
【図２】本発明の第２の実施例を示す全体構成図
【図３】本発明の第３の実施例を示す全体構成図
【図４】本発明の第４の実施例を示す要部構成図
【図５】本発明の第５の実施例を示す全体構成図
【図６】本発明の第５の実施例におけるトラップ液留め
部の他の構成図
部の他の構成図
１、２、４ 排気配管 ５ 液留め部 ６ 排気ファン ７ 回収バルブ ９ 絞り弁 １０ エッチング液容器 １１ エッチング装置本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/306 Ｊ 9278−4Ｍ (72)発明者 黒田 啓 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】一端がミストあるいは蒸気発生源に接続さ
れ、他端が排気手段に接続された排気配管の水平部もし
くは下方に向かう配管に絞り弁を設け、その絞り弁の下
流側に液溜め部を設け、その液溜め部から配管を上向け
に立ち上げ、前記液溜め部に液回収手段を設けてなるミ
ストあるいは蒸気凝縮回収装置。 - 【請求項２】一端がミストあるいは蒸気発生源に接続さ
れ、他端が排気手段に接続された排気配管の水平部もし
くは下方に向かう配管に絞り弁を設け、その絞り弁の下
流側に液溜め部を設け、その液溜め部から配管を上向け
に立ち上げ、前記液溜め部に液回収手段を設け、前記上
向きに立ち上げた配管が他からの排気配管と合流する前
に、その合流部から、立ち上げた配管に流れ込んでくる
液を阻止するトラップ液溜め部を設けてなるミストある
いは蒸気凝縮回収装置。 - 【請求項３】液回収手段を、ミストあるいは蒸気発生源
と液溜め部の間に設けた排気逆流防止トラップ付配管と
してなる請求項１あるいは２いずれか記載のミストある
いは蒸気凝縮回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346157A JPH06190227A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ミストあるいは蒸気凝縮回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4346157A JPH06190227A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ミストあるいは蒸気凝縮回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06190227A true JPH06190227A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18381505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4346157A Pending JPH06190227A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | ミストあるいは蒸気凝縮回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06190227A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005000440A1 (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-06 | Tokyo Electron Limited | トラップ装置、処理システム及び不純物除去方法 |
| JP2006341153A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Kanematsu Engineering Kk | 吸引作業車の水・空気分離装置及びこの装置を搭載した吸引作業車 |
| JP2012102684A (ja) * | 2010-11-11 | 2012-05-31 | Ud Trucks Corp | エンジンの排気浄化装置 |
| CN108210300A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-06-29 | 扶欣怡 | 一种智能封闭式熏洗仪 |
| CN112447556A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 液雾回收装置及基板处理装置 |
| JP2021044536A (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ミスト回収装置および基板処理装置 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP4346157A patent/JPH06190227A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005000440A1 (ja) * | 2003-06-25 | 2005-01-06 | Tokyo Electron Limited | トラップ装置、処理システム及び不純物除去方法 |
| CN100348288C (zh) * | 2003-06-25 | 2007-11-14 | 东京毅力科创株式会社 | 捕集装置、处理系统以及除去杂质的方法 |
| US7488374B2 (en) | 2003-06-25 | 2009-02-10 | Tokyo Electron Limited | Trapping device, processing system, and method removing impurities |
| JP2006341153A (ja) * | 2005-06-07 | 2006-12-21 | Kanematsu Engineering Kk | 吸引作業車の水・空気分離装置及びこの装置を搭載した吸引作業車 |
| JP2012102684A (ja) * | 2010-11-11 | 2012-05-31 | Ud Trucks Corp | エンジンの排気浄化装置 |
| CN108210300A (zh) * | 2018-01-12 | 2018-06-29 | 扶欣怡 | 一种智能封闭式熏洗仪 |
| CN112447556A (zh) * | 2019-09-03 | 2021-03-05 | 芝浦机械电子装置株式会社 | 液雾回收装置及基板处理装置 |
| JP2021044536A (ja) * | 2019-09-03 | 2021-03-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | ミスト回収装置および基板処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0337910B1 (fr) | Procédé de réduction dans des fumées contenant des éléments condensables, de la teneur en éléments incondensables solubles dans les éléments condensables | |
| US6241009B1 (en) | Integrated heat pipe vent condenser | |
| CN1025063C (zh) | 开放循环地热电站排放废地热流体的方法及所用的消声器 | |
| JPH09166315A (ja) | 排煙の冷却，排熱回収システム | |
| US5220792A (en) | Method of and means for extracting heat from a hot fluid containing foreign material that interferes with heat transfer | |
| JP4364414B2 (ja) | 熱交換器 | |
| SU1604395A1 (ru) | Сепаратор | |
| JPS6080087A (ja) | セパレ−ト型熱交換装置の非凝縮性ガスの排出方法 | |
| CN223663156U (zh) | 一种防水击凝结水系统 | |
| JPH0754649A (ja) | 廃ガス熱回収器 | |
| JPS6215661Y2 (ja) | ||
| KR20220046129A (ko) | 오일탱크의 유증기 포집장치 | |
| SU1432122A1 (ru) | Устройство дл регенерации тепла и химикатов из парогазовых выбросов растворител плава содорегенерационного котлоагрегата | |
| RU1799988C (ru) | Устройство дл сбора буровых сточных вод | |
| CN223818192U (zh) | 一种低沸点有机溶液清洗剂回收顶盖 | |
| KR960001396Y1 (ko) | 폐수 정화 처리 장치 | |
| JPS58138987A (ja) | 含油廃蒸気の熱回収用熱交換装置 | |
| JPS6023784A (ja) | 分離形ヒ−トパイプ | |
| SU1511519A1 (ru) | Котельна установка | |
| US1747193A (en) | Heating system | |
| EP0366724A1 (en) | Barometric direct-contact condenser. | |
| JPS60120186A (ja) | 熱交換器 | |
| CN118203869A (zh) | 一种油箱润滑油回收装置及方法 | |
| JPS6234148Y2 (ja) | ||
| JPS605877B2 (ja) | 廃熱回収装置 |