JPH06190815A - 積層体製造用熱プレス金型およびそれを用いた積層体製造方法 - Google Patents

積層体製造用熱プレス金型およびそれを用いた積層体製造方法

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JPH06190815A
JPH06190815A JP34305292A JP34305292A JPH06190815A JP H06190815 A JPH06190815 A JP H06190815A JP 34305292 A JP34305292 A JP 34305292A JP 34305292 A JP34305292 A JP 34305292A JP H06190815 A JPH06190815 A JP H06190815A
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JP
Japan
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laminate
hot
mold
die
hot press
Prior art date
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Pending
Application number
JP34305292A
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English (en)
Inventor
Shoichi Murazaki
彰一 村崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 グリーンシートを複数枚積層して熱プレス
し、積層セラミックコンデンサの積層体を製造する際の
積層ズレを防止する。 【構成】 熱プレス金型の中金型10と下金型20を形
状記憶合金材料にて作製し、常温で金型内にグリーンシ
ート3と、内部電極4を形成したグリーンシート3とを
積層した後熱プレスする。この熱プレスの温度で形状記
憶合金が、金型内部が縮まるように動作し、各グリーン
シート3は強制的に揃えられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、積層セラミックコン
デンサ、多層基板、セラミックパッケージ等における積
層体製造用熱プレス金型とそれを用いた積層体の製造方
法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の積層体製造用熱プレス金型は、図
2,図3に示すように枠状の中金型1と板状の下金型2
とからなり、その構造を積層セラミックコンデンサに適
用した例に基づいて述べる。
【0003】この金型は、グリーンシート3と、内部電
極4を一定位置に印刷したグリーンシート3からなる薄
状シートの外形寸法に対して、積層を容易にするために
100μm程度のクリアランスCをもった内形寸法の熱
プレス金型であり、それを用いて積層・熱プレスを行い
積層体を製造していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の従来
の積層体製造用熱プレス金型は、グリーンシート3の外
形寸法とのクリアランスを設けるために、図2に示すよ
うに積層する各グリーンシート3が金型内で動き不揃い
となり、内部電極3の位置が各層で異なった状態で熱プ
レスされ、いわゆる積層ズレとなる。
【0005】この積層ズレは、積層セラミックコンデン
サにおいては容量小の不良となるばかりでなく、積層精
度が悪化して多層化の妨げとなる。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の積層体製造用
熱プレス金型は、金型材料に熱プレス時またはプレヒー
ト時の温度で収縮動作し、金型内形寸法が積層される薄
状シートの外形寸法と同じになるような形状記憶合金を
使用する。
【0007】また、この金型使用にあたっては、熱プレ
ス時に金型内形寸法が積層する薄状シートの外形寸法と
同じになる温度を与えて積層体を製造するようにしたも
のである。
【0008】
【作用】上記の積層体製造用熱プレス金型を用いると、
例えば熱プレス時に所定の温度になると金型の内形寸法
が薄状シートの外形寸法と同寸法になるように形状変化
して、積層されていた薄状シートがそれに伴って揃えら
れる。このことにより、例えばグリーンシートからなる
薄状シートの一定位置に印刷されていた内部電極も揃
い、積層ズレが防止できる。
【0009】したがって、例えば積層セラミックコンデ
ンサにおける容量小不良、他の積層体での絶縁不足等の
電気的初期不良が防止でき、より多くの積層も容易に行
うことができる。
【0010】
【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。
【0011】図1は、この発明の一実施例である積層体
製造用熱プレス金型にグリーンシートを積層した状態を
示す断面図である。図において、10は形状記憶合金か
らなる枠状の中金型、20は同じく形状記憶合金からな
る板状の下金型、3は金型内に積層されたグリーンシー
ト、4はグリーンシート3に印刷されている内部電極で
ある。P1は常温時すなわち熱プレス時の温度を与える
前の中金型10の枠部の模造的な位置、P2は同じく熱
プレス時の温度を与える前の下金型20の端部の位置、
Cは常温時に金型内に設けられるクリアランスを示す。
【0012】なお、中金型10と下金型20には、熱プ
レス時にその100℃弱の所定の温度でP1およびP2
の位置から図面矢印の方向に縮むか、あるいは変形する
Ti−Ni,Cu−Zn−Ni,Cu−Al−Ni合金
等の形状記憶合金を用いる。
【0013】以下、この金型を用いた積層セラミックコ
ンデンサの積層体の製造方法について述べると、まず常
温で中金型10と下金型20で形成される金型凹部に、
グリーンシート3と内部電極4を形成したグリーンシー
ト3とを積層する。この時点では中金型10の枠部およ
び下金型の端部はそれぞれP1とP2の位置にあり、ク
リアランスCが設けられているので、従来通りにその積
層は容易にできる。所定数のグリーンシート3を積層し
た後、金型を高温炉等に入れて加熱する。そうすると、
その熱で中金型10の枠部は、図1に示す矢印の方向に
縮み、金型内の各グリーンシート3は強制的に揃えら
れ、内部電極4の位置が各グリーンシート3で整列し、
いわゆる積層ズレは発生しない。そしてこの状態で図示
しない重し等を、積層したグリーンシート3上に乗せ加
圧状態で所定時間熱プレスして、積層体を製造する。
【0014】なお、熱プレス時のその温度で形状記憶合
金からなる金型を動作させてもよいし、別の実施例とし
て、プレヒート工程を設けて、その温度でグリーンシー
ト3を整列させ、次いで熱プレスするようにしてもよ
い。この実施例によれば、自由に選べるプレヒート温度
に合わせて形状記憶合金材料を選定できるので、材料選
定に自由度がでる。
【発明の効果】以上、説明したように、この発明は熱プ
レス用金型に例えば熱プレス時の温度で金型内寸法が、
積層される薄状シートの外形寸法と同寸法に形状変化す
る形状記憶合金を用いることにより、熱プレス時の温度
で積層された各薄状シートが強制的に揃えられて積層ズ
レを防止し、例えば積層セラミックコンデンサの容量小
不良やその他の積層体における絶縁不良等の電気的初期
特性不良を防止し、また、より多くの積層を容易に行う
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の積層体製造用熱プレス金型および
金型内に積層されたグリーンシートの断面図。
【図2】 従来の積層体製造用熱プレス金型および金型
内に積層されたグリーンシートの断面図。
【図3】 従来の積層体製造用熱プレス金型および金型
内に積層されたグリーンシートの斜視図。
【符号の説明】
3 グリーンシート(薄状シート) 4 内部電極 10 中金型 20 下金型 C クリアランス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01G 4/12 364 4/30 9375−5E

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】薄状シートを複数枚積層して熱プレスし積
    層体を作製するための金型であって、金型材料に熱プレ
    ス温度またはプレヒート温度で収縮動作する形状記憶合
    金を用いたことを特徴とする積層体製造用熱プレス金
    型。
  2. 【請求項2】上記形状記憶合金がTi−Ni,Cu−Z
    n−NiまたはCu−Al−Niであることを特徴とす
    る請求項1記載の積層体製造用熱プレス金型。
  3. 【請求項3】熱プレス温度で収縮動作する形状記憶合金
    材料からなる熱プレス金型内に薄状シートを複数枚積層
    した後に熱プレスすることを特徴とする積層体製造方
    法。
  4. 【請求項4】プレヒート温度で収縮動作する形状記憶合
    金材料からなる熱プレス金型内に薄状シートを複数枚積
    層した後にプレヒートし、その後に熱プレスすることを
    特徴とする積層体製造方法。
JP34305292A 1992-12-24 1992-12-24 積層体製造用熱プレス金型およびそれを用いた積層体製造方法 Pending JPH06190815A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6324970B1 (en) 1997-11-20 2001-12-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Device for pressing a ceramic stacked layer structure
CN106113229A (zh) * 2016-06-28 2016-11-16 中国路桥工程有限责任公司 铁路t型梁预制模板装置及其安装、脱模方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6324970B1 (en) 1997-11-20 2001-12-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Device for pressing a ceramic stacked layer structure
US7325488B2 (en) 1997-11-20 2008-02-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method of pressing a ceramic stacked layer structure
CN106113229A (zh) * 2016-06-28 2016-11-16 中国路桥工程有限责任公司 铁路t型梁预制模板装置及其安装、脱模方法
CN106113229B (zh) * 2016-06-28 2018-08-14 中国路桥工程有限责任公司 铁路t型梁预制模板装置及其安装、脱模方法

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