JPH0619212Y2 - 弾性表面波素子 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は弾性表面波素子に関し、特に位相補償用電極
を有する弾性表面波素子に関する。

（従来技術） 第２図は従来の弾性表面波素子の一例を示す部分平面図
である。この弾性表面波素子１は圧電材料にて形成され
た基板２上に形成されたインタディジタル電極３と、こ
のインタディジタル電極３によって発生された弾性表面
波が入力される導波路電極４とを含む。また、インタデ
ィジタル電極３と導波路電極４の間に位相補償用電極５
が形成される。

そしてスプリアスの原因となる導波路電極４の電極端で
の弾性表面波のピックアップや反射を防ぐために、導波
路電極４の入力側には、弾性表面波伝搬方向に対して垂
直でない一定の勾配を有する傾斜が形成されている。ま
た、位相補償用電極５を接地することによって、インタ
ディジタル電極３から導波路電極４への直達波を抑圧す
るようにしている。

（考案が解決しようとする問題点） 第２図に示す、従来の弾性表面波素子では、インタディ
ジタル電極と位相補償用電極の入力側端縁とが平行であ
るため、位相補償用電極端で反射された弾性表面波が、
インタディジタル電極で反射または再励起されて、これ
がスプリアス発生の原因となる。

それゆえに、この考案の主たる目的は、従来の弾性表面
波素子の長所を全て備えた上に、位相補償用電極の入力
側での反射による影響を抑えることができる、弾性表面
波素子を提供することである。

（問題点を解決するための手段） この考案は、圧電材料にて形成された基板の上に、薄膜
金属にて形成されたインタディジタル電極，導波路電極
およびその間に形成された位相補償用電極とを具備した
弾性表面波素子において、弾性表面波の伝搬方向をＸ，
圧電体表面の平面におけるＸ軸に垂直方向をＹとする
と、位相補償用電極の弾性表面波が入力される電極端に
はＹ軸に平行にならない所定の第１の傾斜が形成され、
導波路電極の弾性表面波が入力される電極端には、第１
の傾斜と逆の勾配を有する第２の傾斜が形成され、第１
の傾斜のインタディジタル電極に最も近い点を通るＹ軸
に平行な直線と、第２の傾斜のインタディジタル電極に
最も遠い点を通るＹ軸に平行な直線との間で、弾性表面
波のどの伝搬経路においても、金属電極部分を伝搬する
距離が等しくなるように位相補償用電極の弾性表面波が
出力される電極端に第３の傾斜が設定されることを特徴
とする、弾性表面波素子である。

（作用） 位相補償用電極の入力端に形成された第１の傾斜によっ
て、反射された弾性表面波は、位相が不揃いになり、な
おかつ、その進行方向はＹ方向に平行にならないので、
インタディジタル電極に到達しても打ち消されてしま
う。

（考案の効果） この考案によれば、位相補償用電極の入力端で反射され
た弾性表面波によってインタディジタル電極が再励起さ
れることがないので、それによるスプリアス発生が抑え
られる。

この考案の上述の目的，その他の目的，特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。

（実施例） 第１図はこの考案の一実施例を示す部分平面図である。
この弾性表面波素子１０は圧電材料にて形成された基板
１２を含む。圧電体基板１２上には、入力電気信号を弾
性表面波に変換するためのインタディジタル電極１４が
形成される。さらに、圧電体基板１２の弾性表面波伝搬
方向には、インタディジタル電極１４で励振された弾性
表面波を受ける導波路電極１６が形成される。また、圧
電体基板１２上の、インタディジタル電極１４と導波路
電極１６の間には、位相補償用電極１８が形成される。
この位相補償用電極１８が接地されて、インタディジタ
ル電極１４から導波路電極１６への直達波が抑えられ
る。

第１図において、弾性表面波の伝搬方向をＸ，基板１２
表面の平面におけるＸ軸に垂直な方向をＹとする。

位相補償用電極１８の弾性表面波が入力される電極端
は、Ｙ軸に平行でない所定の勾配を有する第１の傾斜２
０が形成される。また、導波路電極１６の弾性表面波が
入力される側には、Ｙ軸に対して第１の傾斜と逆の勾配
を有する第２の傾斜２２が形成される。さらに、第１の
傾斜２０のインタディジタル電極１４に最も近い点を通
るＹ軸に平行な直線ｌ_１と、第２の傾斜２２のインタデ
ィジタル電極１４より最も遠い点を通るＹ軸に平行な直
線ｌ_２との間で、弾性表面波のどの伝搬経路において
も、金属電極部分を伝搬する距離が等しくなるように、
位相補償用電極１８の弾性表面波が出力される電極端に
第３の傾斜２４が形成される。

第１の傾斜２０が形成されることによって、位相補償用
電極１８の入力端で反射された弾性表面波の位相は、イ
ンタディジタル電極１４に到達したときに揃ってしない
ので、インタディジタル電極１４によって再励起される
ことがなく、したがってスプリアスの発生も抑えられ
る。同様に、第２の傾斜２２および第３の傾斜２４によ
る反射波の影響もなくなる。

この実施例では、第１の傾斜２０，第２の傾斜２２，第
３の傾斜２４はすべて直線で、それらの長さのＹ方向成
分はすべてインタディジタル電極１４の交差幅に等し
い。そして、第２の傾斜２２と第３の傾斜２４は同じ方
向に傾き、第１の傾斜２０は逆の傾きをもつ。弾性表面
波の波長をλとするとき、第１の傾斜の長さのＸ方向成
分をｎλ／２（ｎ：自然数）、第３の傾斜の長さのＸ方
向成分をｍλ／２（ｍ：自然数）、第２の傾斜の長さの
Ｘ方向成分を（ｎ＋ｍ）λ／２に設定される。

導波路電極１６および位相補償用電極１８の各傾斜は上
述のように形成されるため、第１の傾斜２０のインタデ
ィジタル電極１４に最も近い点を通るＹ軸に平行な直線
ｌ_１と第２の傾斜２２のインタディジタル電極１４に最
も遠い点を通るＹ軸に平行な直線ｌ_２との間で、任意の
弾性表面波の伝搬路で、金属電極形成部分の長さの和が
等しくなっている。そのため、位相補償用電極１８に第
１の傾斜２０を形成しても、導波路電極１６の幅内では
その任意の位置で音速の速い部分の距離と遅い部分の距
離が等しいので、直線ｌ_２の先（右側）へは、位相の揃
った弾性表面波が伝搬する。

以上の実施例では傾斜部が直線である例を示したが折れ
線でも曲線であっても、実用新案登録請求の範囲の条件
を満たしていれば構わない。

さらに、前記実施例では、弾性表面波の励振に用いる場
合の例を示したが、全く同じ構造のものを弾性表面波の
受信に用いても、位相の揃った特性の良い弾性表面波素
子が得られるのは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す部分平面図である。 第２図は従来の弾性表面波素子の一例を示す部分平面図
である。 図において、１０は弾性表面波素子、１２は圧電材料に
より形成された基板、１４はインタディジタル電極、１
６は導波路電極、１８は位相補償用電極を示す。

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】圧電材料にて形成された基板の上に、薄膜
   金属にて形成されたインタディジタル電極，導波路電極
   およびその間に形成された位相補償用電極とを具備した
   弾性表面波素子において、 弾性表面波の伝搬方向をＸ，前記圧電体基板表面の平面
   におけるＸ軸に垂直方向をＹとすると、 前記位相補償用電極の前記弾性表面波が入力される電極
   端にはＹ軸に平行にならない所定の第１の傾斜が形成さ
   れ、 前記導波路電極の前記弾性表面波が入力される電極端に
   は、前記第１の傾斜と逆の勾配を有する第２の傾斜が形
   成され、 前記第１の傾斜の前記インタディジタル電極に最も近い
   点を通るＹ軸に平行な直線と、前記第２の傾斜の前記イ
   ンタディジタル電極に最も遠い点を通るＹ軸に平行な直
   線との間で、前記弾性表面波のどの伝搬経路において
   も、金属電極部分を伝搬する距離が等しくなるように前
   記位相補償用電極の前記弾性表面波が出力される電極端
   に第３の傾斜が設定されることを特徴とする、弾性表面
   波素子。
2. 【請求項２】前記第１の傾斜，第２の傾斜および第３の
   傾斜はすべて直線で、それらの長さのＹ方向成分はすべ
   て前記インタディジタル電極の交差幅に等しく、前記第
   ２の傾斜と前記第３の傾斜は同じ方向に傾き、第１の傾
   斜は逆の傾きをもち、 前記弾性表面波の波長をλとするとき、前記第１の傾斜
   の長さのＸ方向成分をｎλ／２（ｎ：自然数）とし、前
   記第３の傾斜の長さのＸ方向成分をｍλ／２（ｍ：自然
   数）とし、前記第２の傾斜の長さのＸ方向成分を（ｎ＋
   ｍ）λ／２、またはそれらに近く設定した、実用新案登
   録請求の範囲第１項記載の弾性表面波素子。