JPH06194203A - 異常診断機能付マスフローコントローラ及びその異常診断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 全流量制御範囲内の任意の指定流量でいつで
もセンサ部の目詰り等の異常の有無を診断する機能を備
えたマスフローコントローラを提供すること。 【構成】 流入路と、バイパス流路と、センサ流路と、
流量センサと、流量制御弁と、流出路と、比較制御部と
を有するマスフローコントローラにおいて、流量制御弁
の下流側に圧力検出手段を設け、予め初期状態におい
て、各流量値に相当する基準設定信号と圧力信号とを全
流量範囲にわたって段階的に対応させた基準特性データ
を得て、使用中のある時点で任意に設定した診断流量に
対応する基準圧力信号を前記基準特性データから取出
し、このあるべき基準信号と圧力センサ部の実際の圧力
信号とを比較し、この結果が許容量を越えている場合警
報を表示するようにした診断機能付マスフローコントロ
ーラ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造プロセスに用
いる流体の質量流量を制御するマスフローコントローラ
に関し、特に流量センサ部で生じる異常の有無を自己診
断する機能を備えたマスフローコントローラに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来のマスフローコントローラの一例を
図７にブロック図で示す。このマスフローコントローラ
は流体の流入路50と、この流入路50の流体を並列に別け
て流すバイパス流路51と、センサー流路52と、これらバ
イパス流路51およびセンサー流路52の流体が合流する流
出路53と、この流出路53の途中に設けた流量制御弁54
と、センサー部55の検出信号を増幅する増幅回路56と、
この増幅した検出信号と予め設定した質量流量設定信号
57とを比較し、前記流量制御弁54へ駆動信号を出力する
比較制御部58とからなっている。ここでセンサー部55
は、例えば内直径が0.5 mm程の細いステンレス鋼製の細
管52の外周面にコイル62と、このコイル62の下流側にコ
イル63とを巻き、さらにこれらコイル62、コイル63と他
の抵抗素子、通常２個とでブリッジ回路60を構成したも
のである。また、このマスフローコントローラはセンサ
ー部55からの増幅検出信号を出力信号として取出し質量
流量を外部で表示したりすることがある。

【０００３】近年、半導体製造プロセスの進展とともに
マスフローコントローラに流す流体の種類は増々多くな
り、多様化して来ている。こうした中でマスフローコン
トローラに例えば腐食性を有するガス、あるいは熱分解
しやすいガスなどを長期間流すと、マスフローコントロ
ーラのセンサー部に用いられているステンレス鋼製の細
管内でガスが分解して固形物化し、これが細管の内壁に
付着したり、他のガスと反応して反応した物質が細管内
に付着したりして細管内に目詰りを起すことがある。こ
の結果センサー部の感度が変化し、バイパス流路には十
分流体が流れているのにセンサ部を流れる流量が少なく
なり設定質量流量に対して実際の流量を多くしてしまう
ということが起る。ところが従来、マスフローコントロ
ーラにはセンサー部の細管の目詰りの検出手段がないた
め、半導体製造プロセスの状態が変化して初めてこの異
常を発見するのが実状であった。

【０００４】このような問題から最近では次のような方
法による異常診断機能を備えたマスフローコントローラ
が提案されている。例えば１つの方法は、実公平１−40
014 号公報に開示されたごとく、流量測定用のセンサ管
と、これとは別に内径の大きなチェック用のセンサ管を
設け、両センサ部の出力信号値を比較器で比較し、その
差が一定値以上になったとき、流量測定用のセンサ管に
目詰り等の異常が起ったと判断し警報を発するようにし
たものである。また他の方法としては特開昭63−48422
号公報で開示されたように制御回路に制御弁の弁開度を
一定値に設定する弁開度設定手段を設け、異常の有無を
診断するときは診断回路に切換え前記弁開度設定手段に
より入力された基準値により制御弁を一旦所定の弁開度
に固定し、所定の流量を得た上で前記基準値と実際の流
量センサの出力信号とを比較して両者の差に応じて異常
の有無を判定するという方法があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが上記の従来技
術のうち前者の方法では、チェック用のセンサも同時に
経時変化するし、チェック用のセンサ管及びセンサ部等
を機械的に付加して設ける必要があるのでますフローコ
ントローラ自体が大型となり、組立て等も煩雑になると
いう問題がある。また後者の方法では、制御弁に所定の
基準値（弁の駆動信号）を与えて所定の弁開度に固定し
た上でなければこの基準値とセンサの出力信号とを比較
して異常の有無を診断することはできない。即ち流量が
一定であることを前提しているので、この基準値によっ
て定められた所定の流量以外の流量、例えば今現在制御
している流量などでは診断動作がなされないことにな
る。更に流量制御弁として用いられる電磁弁であるとか
圧電素子のアクチュエータにはヒステリシスがあり、弁
を閉から動作させた場合と開から動作させた場合と同じ
駆動電圧でも開度が異なるという問題があった。叉、弁
の入口の圧力が変動した場合には同じ開度に対して流量
が変わってしまい異常診断ができないという問題があっ
た。流量を段階的に変化させて制御するようなマスフロ
ーコントローラなどでは、センサ部の流量と出力信号の
関係を示すグラフの勾配が変化するスパンドリフトだけ
でなく、ゼロ点がドリフトすること等が比較的多く起こ
る。つまり上記のようにある一点だけでの診断や校正で
は他の全流量範囲にわたる流量とセンサ出力の関係を校
正するようなことはできない。即ち出来るだけ多くの制
御流量で異常の有無を診断しなければならないのに上記
の従来技術では細かな診断流量の指定には柔軟に対応で
きるものでない。又診断できる流量範囲が限定されてい
た。

【０００６】以上のことから本発明は、上記問題点を解
消し、全流量制御範囲内の任意の指定流量（診断流量）
で、マスフローコントローラの入口の圧力が変動しても
センサ部の目詰り等の異常の有無を診断することができ
る機能を備えたマスフローコントローラを提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、マスフローコ
ントローラの流量制御弁の下流側に圧力検出手段を設
け、予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応
する圧力信号を段階的に計測し、これらを基準圧力信号
として記憶する手段と、使用状態で流量設定値を入力す
る手段と、この流量設定値に対応する基準圧力信号を読
み出す手段と、この読み出した基準圧力信号と、このと
き前記圧力検出手段から実際出力されている圧力信号と
を許容量を加味して比較する比較手段と、この比較結果
に応じて異常信号を表示する表示手段とを設けたもので
ある。また、前記流量設定信号と基準圧力信号とからな
る基準特性データを直線化させる補正手段をさらに設
け、且つ実際出力されている圧力信号も直線的に補正し
て、それぞれ補正後の基準圧力信号と実際の圧力信号を
上記のように比較してもよい。

【０００８】

【作用】本発明による異常診断機能付マスフローコント
ローラは、マスフローコントローラの下流側にある反応
チャンバーの圧力がほぼ一定に保たれ、かつ流量を段階
的に比較的頻繁に変更して流体を制御するような半導体
製造プロセスに用いることに適している。予め全流量範
囲にわたって段階的に設定した基準となる流量設定信号
と基準圧力信号とからなる基準特性データを得る。これ
は後に異常の有無を診断するときに使用することにな
る。一方、通常の使用状態では別に設定された質量流量
設定信号と、センサ部の検出信号とを比較制御部で比較
制御し、流量制御弁へ弁駆動信号を出力している。この
とき、圧力検出手段からの出力値は圧力検出手段から反
応チャンバーまでの配管の圧損に依存して変化してい
る。即ち反応チャンバー内はほぼ真空状態（10-1〜10-3
Torr）で使用され、しかも反応チャンバーまでの配管は
圧損を生じるようになっている。この圧損は反応チャン
バー内でのプロセスガスの増減による圧損よりも十分に
大きいので流量と圧損の関係はほぼ一定に保たれてい
る。ここでセンサ部が目詰りを起こし始めると、センサ
部の圧損が大きくなりバイパス側に流れる流量が多くな
る。実際に流量制御弁を通る流量は変化していないにも
かかわらず、比較制御部では流量設定信号とセンサ信号
の偏差をなくすように弁の駆動信号を増大させるので必
要以上に流量は増える。同時に圧力検出手段の圧力値が
大きくなる。つまり目詰りが起こると、あるべき基準の
圧力信号と実際の圧力検出部で検出した圧力信号とにズ
レが生じ始める。本発明はこのズレが許容量の範囲を越
えた場合警報を発するようにしたものである。

【０００９】更に本発明では、定期的あるいは制御流量
を変えた時などに、異常の有無を診断する流量値を自由
に設定することができ、この流量設定信号に対応する基
準圧力信号を取出し、これと実際の圧力信号とを比較
し、この結果が許容範囲を外れた場合には警報をランプ
や音等で表示するというものである。ここで流量設定信
号と基準圧力信号とからなる基準特性データは全流量範
囲にわたって段階的にデータがとられ系列的に記憶され
ているので、診断時、流量設定値を随時任意の値を選定
してもこの流量設定値に対応する基準圧力信号を取りだ
すことが出来る。また記憶されていない流量値や、小数
点以下の流量値でもそれに対応する基準圧力信号は演算
によって求めることができるし、全流量範囲にわたって
繰返して診断することも可能である。また、入口の圧力
が変化した場合でも、チャンバー内の圧力が一定であれ
ばマスフローコントローラの出口側の圧力は一定であり
異常診断を正確に行なうことができる。以上のことよ
り、診断の流量値設定に柔軟性があり、しかもインライ
ン状態で今現在制御している流量で異常の有無を診断す
ることができる。

【００１０】

【実施例】本発明の一実施例を以下図面に基づき説明す
る。図１は一実施例を示す異常診断機能付マスフローコ
ントローラの要部ブロック図である。本実施例の異常診
断機能付マスフローコントローラは、マスフローコント
ローラ部分Ａ（……で示す。）と診断機能部分Ｂ（―で
示す。）と、コンソール部分Ｃ（‐・‐で示す。）とか
らなっており、マスフローコントローラ部分Ａ（但し図
１では比較制御部の一部は診断機能部分に含まれてい
る。）に診断機能部分Ｂとコンソール部分Ｃを付加した
ものである。ただし、これらの構成部分が一体的にある
いは近接して設けられていると限定するものではない。
先ずマスフローコントローラ部分Ａを説明する。図１で
被測定流体例えばガス体がマスフローコントローラの流
入口から流入路１を流れ並列に分かれたバイパス流路２
とセンサ流路31とに所定の割合で分流する。さらにバイ
パス流路２及びセンサ流路31を通過したガスは再び合流
して流出路４を流れ、この流出路４の途中に設けられた
流量制御弁５によって流量を制御され流出口より流出さ
れる。流量制御弁の５の下流側に圧力検出手段となる圧
力センサ26を設ける。尚圧力センサ26はマスフローコン
トローラ内に設けてもよいしまた外部の配管に設けても
よく設置場所は問わない。

【００１１】センサ流路31には流量に応じた質量流量信
号を出力するセンサ部３が設けられており、通常上流側
コイル32と下流側コイル33とは同電気抵抗値で、一定電
流を流すと同熱量を発生する。センサ流路31にガスが流
れると、上流側コイル32に発生した熱量をガスが奪い、
この温度の上昇したガスによって下流側コイル33は加温
される。この結果下流側コイル33の方が上流側コイル32
より温度が高くなり、これに応じて電気抵抗値にも差が
でてくる。この差をブリッジ回路６を介して不平衡電圧
として取り出すと、センサ流路31内を流れるガスの質量
流量はこの不平衡電圧とある関係にあるので、不平衡電
圧を検出することにより質量流量を測定することができ
る。検出された不平衡電圧ｅは増幅回路７とA/D変換器
８を通って、増幅され質量流量信号ｆとなって比較部11
に入力される。一方、比較部11には所望する制御流量に
相当する質量流量設定信号ｇが切換スイッチ14のａ接点
を介して外部より入力される。そのため比較部11はセン
サ部で検出した質量流量信号ｆと質量流量設定信号ｇと
を比較し、この差に比例した信号ｈを弁駆動電圧決定回
路12へ出力する。弁駆動電圧決定回路12では上記信号ｈ
と現在の駆動信号をもとに内蔵された弁駆動電圧決定プ
ログラムでＰＩＤ制御が行われ弁駆動信号（ここでは電
圧なので以下電圧という。）Ｖを出力する。そしてD/A
変換器13を介して流量制御弁５のアクチュエータに駆動
電圧として入力され、その結果流量制御弁５を駆動し弁
開度は上記の差を減じるように変化する。こうして流量
制御弁５は弁開度を調整され質量流量設定信号ｇに応じ
た制御流量を保つように制御される。このとき圧力セン
サ26の出力信号はマスフローコントローラの出口から下
流側に接続されているチャンバまでの配管の圧力損失に
応じた電圧を出力しており流量変化に伴い変化してい
る。

【００１２】次に診断機能部分Ｂについて図２〜図５と
共に説明する。図２は初期状態で基準特性データを設定
するフローチャートの概略である。図３は流量設定値と
圧力信号の関係線図を示す。図４は図３の流量設定値を
基準となる流量設定信号に置換した流量設定信号と圧力
信号との特性データ線図を示す。図５は図４の圧力信号
のスケールを変換した上で線図を直線化した補正後の特
性データ線図を示す。なお、図４、図５において基準値
を細線で示すと共に、実際センサ部で測定した実測値を
実線で併記した。

【００１３】先ず診断機能部分Ｂを用いてそれぞれのマ
スフローコントローラについて、予め初期状態において
各流量設定値に対応する流量設定信号と圧力信号とが１
対１に対応した基準特性データを得る。この時、切換え
スイッチ14をａ接点からｂ接点に切換え、設定信号自動
発生回路15に切換える。設定信号自動発生回路15では流
量０％から例えば余裕をみて120 ％程度までの全流量範
囲にわたって段階的に流量設定が行われるプログラムを
内蔵している。これは各流量設定値i ％を任意の間隔で
段階的に発生させることができ、この流量設定値i ％に
対応して流量設定信号ｋiが発生するようになってい
る。この信号ｋは上述の質量流量設定信号ｇと実質的に
同一のものであるが、ｋはｋ0からｋ120まで全流量範囲
にわたって対応する信号が存在する(図２の２ｂ)。そし
て、発生させられた流量設定信号ｋiを比較部11に入力
すると、センサ部３からの質量流量信号ｆと比較し弁駆
動信号決定回路12を介して弁駆動電圧Ｖiが出力され
る。このときの圧力信号Ｖpを圧力センサで測定し(図２
の２ｃ)これを基準圧力信号記憶部16に記憶する。同時
にこの圧力信号Ｖpは基準データ記憶部18にも記憶され
る。なお、ここで上記流量設定値i は流量設定信号ｋi
を兼ねたものとして流量設定信号を省略してもよい。ま
た、圧力信号Ｖpは基準圧力信号記憶部16に一坦記憶す
るまでもなく直接下記する直線化回路に出力する構成と
してもよい。

【００１４】また本実施例のように上記基準圧力信号Ｖ
pを基準圧力信号直線化回路17に入力して、例えば流量
設定値100％が流量設定信号５Ｖに相当するようにスケ
ール変換し流量設定信号と基準圧力信号を図５のように
直線化することが望ましい。こうして直線的に補正して
得られた補正圧力信号ｖpも上記基準データ記憶部18に
記憶する。以上の操作を0〜120％に対応してｋ0〜ｋ120
まで繰り返すことによって(図２の２f,g)、流量設定信
号ｋ0〜ｋ120と基準圧力信号Ｖ0〜Ｖ120及び補正圧力信
号ｖ0〜ｖ120とがそれぞれ対応した121 個の基準特性デ
ータが前記基準データ記憶部18に記憶される(図２の２
ｅ）。また、圧力センサから実際出力される圧力信号を
直線的に補正する回路25を設けているが、これは直線化
回路17と兼ねるようにしてもよい。このデータによって
図３、図４、図５を得ることができる。図４にはこの基
準特性データを線図化したものの他に圧力センサ部での
実際の出力値を併記したが、本発明は要するに細線で示
す基準値に対し、実線で示すセンサ部での実測値を重ね
て比較しこの差が許容値内にあるかないかをみて異常の
有無を判定するものである。

【００１５】基準圧力信号直線化回路17は、スケール変
換等して基準圧力信号Ｖと流量設定信号ｋとの関係を補
正して直線化するプログラムが内臓されているが、この
部分には演算機能も含まれている。こうすることによっ
て記憶されていない流量設定値や小数点以下の流量設定
値等は演算して直線化したデータ上で対応する値を求め
比較することができる。図５に補正後の直線化したデー
タを実測値と共に示したが、無論この直線化データを基
準値として、これと直線的に補正した実測値とを比較し
異常の有無を判定するようにしてもよい。データ読み出
し部19は、後述する診断モードにした時にある流量値X
に対応する基準圧力信号ＶXを読みだす機能をもって
る。このデータ読み出し部19から補正圧力信号ｖと流量
設定信号ｋとの関係を外部のモニター21にも表示すれば
このモニターでも監視がしやすいものとなる。圧力信号
比較部20は、診断モードの時上記データ読み出し部19か
ら取り出した基準圧力信号Ｖxと、実際の圧力信号Ｖと
を比較して、異常があると判定したとき結果を警報表示
手段21へ出力するものである。

【００１６】警報許容量設定部23は、圧力信号比較部19
で上記の比較をする場合に加味される警報許容量εを設
定するところである。許容量εは例えば各マスフローコ
ントローラに許容された測定誤差、通常フルスケール流
量に対して決められた一定量を用いることが多いが、こ
れにこだわることはなく制御流量の範囲などによって可
変に設定することもできる(図２の２h)。また許容量記
憶部24は、設定された許容量εを記憶するところである
(図２の２i)。以上の各機能は全てマイコン内で構成し
処理するようにしている。警報表示手段21は、ブザーな
どでもよいし、ランプなど視覚に訴えるものでもよく、
両者を兼ねたものでも無論問題はない。

【００１７】次にコンソール部Ｃについて説明する。こ
のコンソール部Ｃ内には通常の電源の他に診断流量値を
設定するキー30ａや警報許容量の設定キー30ｉなどがあ
り、その他にも圧力信号を記憶指令するキー、質量流量
設定信号の表示、警報の表示などの機能がまとめられて
いる。またこのコンソール部で複数台のマスフローコン
トローラについて同種の診断が行えるようにまとめるこ
ともできる。

【００１８】次に異常の有無を診断する場合の動作につ
いて図６と共に説明する。図６は診断の場合のフローチ
ャートの概略を示している。先ず、通常切換スイッチ14
は接点ａ側の運転モードに位置しており、この場合はマ
スフローコントローラ部Ａが機能して所望する流量、例
えば65％の流量が欲しい時はこの流量に相当する質量流
量設定信号ｇに基づいて上記の通り流量制御が行われ
る。次にその後の使用時で異常の有無を診断しようとす
る時は、切換スイッチ14を接点ｂ側の診断モードに切換
え、その後コンソール部Ｃのキー30ａで診断流量値Ｓ％
を設定する。（図６の６ａ）本発明ではこの設定が自由
に行えることが一つの特徴となっているので例えばここ
では75％を設定する。これは予め記憶されていない流量
値でもよいし、小数点以下の値でも自由に設定できる。
次に設定信号自動発生回路15によって、この流量値75％
に対応する流量設定信号ｋ75を求める（図６の６ｂ）。
次にこの流量設定信号ｋ75に対応する圧力信号Ｖ75を求
め(図６の６ｃ)、これを読み出し圧力信号比較部20へ出
力する。ここで流量設定信号ｋ75が上記した初期設定時
に予め記憶されていれば基準データ記憶部18の中から流
量設定信号ｋ75に対応する基準圧力信号Ｖ75を直接読み
出し圧力信号比較部20へ出力するようにしてもよい。な
お、この時流量設定信号ｋ75は比較部11にも入力され
る。

【００１９】一方、センサ部３で検出した実際の質量流
量信号ｆ65と、先程の流量設定信号ｋ75とを比較し、流
量制御弁５は制御されるが、このとき圧力センサで実際
の圧力信号Ｖ'を測定する（図６の６ｄ）。そして、こ
の圧力信号を求め(図６の６ｅ)、さらに対応する圧力信
号Ｖ75'を求め(図６の６ｆ)、これを圧力信号比較部20
へ入力し、上記基準圧力信号Ｖ75と圧力信号Ｖ75'とを
比較する。この比較をする場合Ｖ75＝Ｖ75'のとき正常
であると判定し、Ｖ75≠Ｖ75'のとき異常であると判定
してもよいが、上述のように許容量を加味することが望
ましく、許容量記憶部から入力された許容量範囲±εを
取り入れて、Ｖ75−ε≦Ｖ75'≦Ｖ75＋εの判定を行う
（図６の６ｇ）。従って、この範囲を外れる場合は異常
信号Ｐを警報表示手段21に出力し、警報を表示するよう
にする。また、範囲を外れる場合でもタイマをセットし
て(図６の６ｉ)数秒間、例えば５秒間同じ状態が継続し
た場合（図６の６ｊ）に初めて警報を表示するようにし
(図６の６ｋ)、それまでの間は注意表示を行うようにし
てもよい。さらに上記の比較で範囲内にあるときは正常
信号Ｏを出力してＯＫ表示をするようにしてもよい。以
上のようにしてセンサ部の異常の有無を自己診断するこ
とができる。

【００２０】また上記の実施例は、直線的に補正しない
ままの基準圧力信号Ｖを用いて比較判定を行ったが、他
の実施例としては、直線的に補正を行った後の補正圧力
信号ｖと実際に出力される圧力信号を直線的に補正した
v'とを用いて上記と同様に比較し判定することもでき
る。さらに他の実施例としては、上述までのように実際
の圧力信号を比較の対象とするのではなく、実際の圧力
信号を予め記憶された基準圧力信号Ｖまたはｖのデータ
上に置換して基準特性データでの相当値を求め、これと
流量設定信号にもとづく基準圧力信号とを比較し判定す
るようにしても良い。また、複数のチャンバ圧力におけ
る基準特性データを用意しておき実際チャンバ圧力が変
化した時相当するチャンバ圧力のデータに切り替えて以
下同様に比較、判定を行うことも出来る。 なお、切換
スイッチ14ａ，14ｂは自動切換方式として、診断流量値
を入力したら自動的にａからｂに切換えるようにすると
よい。

【００２１】

【発明の効果】以上のように本発明の異常診断機能付マ
スフローコントローラによれば、診断する流量値を任意
にかつ何時でも設定できるので、目詰りなどのセンサ部
の異常の有無を確認できる幅が広がり、柔軟に対応でき
るのでより使い易いものとなった。特に制御流量やマス
フローコントローラの入口圧力を比較的頻繁に変更する
ような半導体製造プロセスに使用するマスフローコント
ローラに適している。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の異常診断機能付マスフローコントロ
ーラのブロック図。

【図２】 初期状態で基準特性データを設定するフロー
チャート。

【図３】 流量値と圧力信号の関係を示す図。

【図４】 流量設定信号と圧力信号からなる基準特性デ
ータの関係を示す図。

【図５】 基準特性データを直線化した図。

【図６】 使用状態で異常の診断を行うフローチャー
ト。

【図７】 従来のマスフローコントローラを示すブロッ
ク図。

【符号の説明】

２…バイパス部 ３…センサ部 ５…流量制御弁 11…比較部 12…弁駆動電圧決定回路 14…切換スイッチ 15…設定信号自動発生回路 16…基準圧力信号記憶部 17…基準圧力信号直線化回路 18…基準データ記憶部 19…データ読み出し部 20…圧力信号比較部 21…警報表示手段 26…圧力センサ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の流入路と、この流入路からの流体
   が流れるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐し
   所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、このセンサ
   流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記
   バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出
   路と、この流出路に設けた流量制御弁と、前記流量セン
   サで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定
   信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力す
   る比較制御部とを有するマスフローコントローラにおい
   て、 前記流量制御弁の下流側に圧力検出手段を設け、 予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応する
   圧力信号を段階的に計測し、これらを基準圧力信号とし
   て記憶する手段と、 使用状態で流量設定値を入力する手段と、この流量設定
   値に対応する基準圧力信号を読み出す手段と、この読み
   出した基準圧力信号と、このとき前記圧力検出手段から
   実際出力されている圧力信号とを許容量を加味して比較
   する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表示
   する表示手段とを設けたことを特徴とする異常診断機能
   付マスフローコントローラ。
2. 【請求項２】 前記流量設定信号と基準圧力信号とから
   なる基準特性データと実際検出された圧力信号を直線化
   させる補正手段を設け、補正後の基準圧力信号と補正後
   の圧力信号とを許容量を加味して比較することを特徴と
   する請求項１記載の異常診断機能付マスフローコントロ
   ーラ。
3. 【請求項３】 流体の流入路と、この流入路からの流体
   が流れるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐し
   所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、このセンサ
   流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記
   バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出
   路と、この流出路に設けた流量制御弁と、前記流量セン
   サで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定
   信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力す
   る比較制御部とを有するマスフローコントローラにおい
   て、 予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応する
   圧力信号を段階的に計測すると共にこれらを基準圧力信
   号とし、 使用状態で流量設定値を入力して、この流量設定値に対
   応する基準圧力信号と、このとき前記流量制御弁の下流
   で実際検出される圧力信号とを許容量を加味して比較
   し、この比較結果に応じて異常信号を表示することを特
   徴とするマスフローコントローラの異常診断方法。
4. 【請求項４】 前記流量設定信号と基準圧力信号とから
   なる基準特性データと実際検出された圧力信号を直線的
   に補正し、補正後の基準圧力信号と補正後の圧力信号と
   を許容量を加味して比較することを特徴とする請求項３
   記載のマスフローコントローラの異常診断方法。