JPH06214657A

JPH06214657A - 異常診断機能付マスフローコントローラ及びその異常診断方法

Info

Publication number: JPH06214657A
Application number: JP525493A
Authority: JP
Inventors: Makoto Tanaka; 田中　　誠; Akihito Hayashi; 明史林; Tatsuo Moroi; 達夫師井; Hironori Kawahara; 博宣川原
Original assignee: Hitachi Ltd; Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Proterial Ltd
Priority date: 1993-01-14
Filing date: 1993-01-14
Publication date: 1994-08-05

Abstract

(57)【要約】【目的】全流量制御範囲内の任意の指定流量でいつで
もセンサ部の目詰り等の異常の有無を診断する機能を備
えたマスフローコントローラを提供すること。【構成】流入路と、バイパス流路と、センサ流路と、
流量センサと、流量制御弁と、流出路と、比較制御部と
を有するマスフローコントローラにおいて、予め初期状
態において、各流量値に相当する基準設定信号と基準弁
駆動信号とを全流量範囲にわたって段階的に対応させた
基準特性データを得て、使用中のある時点で任意に設定
した診断流量に対応する基準弁駆動信号を前記基準特性
データから取出し、このあるべき基準信号とセンサ部の
実際の駆動信号とを比較し、この結果が許容量を越えて
いる場合警報を表示するようにした診断機能付マスフロ
ーコントローラ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造プロセスに用
いる流体の質量流量を制御するマスフローコントローラ
に関し、特に流量センサ部で生じる異常の有無を自己診
断する機能を備えたマスフローコントローラに関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】従来のマスフローコントローラの一例を
図７にブロック図で示す。このマスフローコントローラ
は流体の流入路50と、この流入路50の流体を並列に別け
て流すバイパス流路51と、センサー流路52と、これらバ
イパス流路51およびセンサー流路52の流体が合流する流
出路53と、この流出路53の途中に設けた流量制御弁54
と、センサー部55の検出信号を増幅する増幅回路56と、
この増幅した検出信号と予め設定した質量流量設定信号
57とを比較し、前記流量制御弁54へ駆動信号を出力する
比較制御部58とからなっている。ここでセンサー部55
は、例えば内直径が0.5 mm程の細いステンレス鋼製の細
管52の外周面にコイル62と、このコイル62の下流側にコ
イル63とを巻き、さらにこれらコイル62、コイル63と他
の抵抗素子、通常２個とでブリッジ回路60を構成したも
のである。また、このマスフローコントローラはセンサ
ー部55からの増幅検出信号を出力信号として取出し質量
流量を外部で表示したりすることがある。

【０００３】近年、半導体製造プロセスの進展とともに
マスフローコントローラに流す流体の種類は増々多くな
り、多様化して来ている。こうした中でマスフローコン
トローラに例えば腐食性を有するガス、あるいは熱分解
しやすいガスなどを長期間流すと、マスフローコントロ
ーラのセンサー部に用いられているステンレス鋼製の細
管内でガスが分解して固形物化し、これが細管の内壁に
付着したり、他のガスと反応して反応した物質が細管内
に付着したりして細管内に目詰りを起すことがある。こ
の結果センサー部の感度が変化し、バイパス流路には十
分流体が流れているのにセンサ部を流れる流量が少なく
なり設定質量流量に対して実際の流量を多くしてしまう
ということが起る。ところが従来、マスフローコントロ
ーラにはセンサー部の細管の目詰りの検出手段がないた
め、半導体製造プロセスの状態が変化して初めてこの異
常を発見するのが実状であった。

【０００４】このような問題から最近では次のような方
法による異常診断機能を備えたマスフローコントローラ
が提案されている。例えば１つの方法は、実公平１−40
014 号公報に開示されたごとく、流量測定用のセンサ管
と、これとは別に内径の大きなチェック用のセンサ管を
設け、両センサ部の出力信号値を比較器で比較し、その
差が一定値以上になったとき、流量測定用のセンサ管に
目詰り等の異常が起ったと判断し警報を発するようにし
たものである。また他の方法としては特開昭63−48422
号公報で開示されたように制御回路に制御弁の弁開度を
一定値に設定する弁開度設定手段を設け、異常の有無を
診断するときは診断回路に切換え前記弁開度設定手段に
より入力された基準値により制御弁を一旦所定の弁開度
に固定し、所定の流量を得た上で前記基準値と実際の流
量センサの出力信号とを比較して両者の差に応じて異常
の有無を判定するという方法があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが上記の従来技
術のうち前者の方法では、チェック用のセンサも同時に
経時変化するし、チェック用のセンサ管及びセンサ部等
を機械的に付加して設ける必要があるのでマスフローコ
ントローラ自体が大型となり、組立て等も煩雑になると
いう問題がある。また後者の方法では、制御弁に所定の
基準値（弁の駆動信号）を与えて所定の弁開度に固定し
た上でなければこの基準値とセンサの出力信号とを比較
して異常の有無を診断することはできない。即ち流量が
一定であることを前提しているので、この基準値によっ
て定められた所定の流量以外の流量、例えば今現在制御
している流量などでは診断動作がなされないことにな
る。流量を段階的に変化させて制御するようなマスフロ
ーコントローラなどでは、センサ部の流量と出力信号の
関係を示すグラフの勾配が変化するスパンドリフトだけ
でなく、ゼロ点がドリフトすること等が比較的多く起こ
る。つまり上記のようにある一点だけでの診断や校正で
は他の全流量範囲にわたる流量とセンサ出力の関係を校
正するようなことはできない。即ち出来るだけ多くの制
御流量で異常の有無を診断しなければならないのに上記
の従来技術では細かな診断流量の指定には柔軟に対応で
きるものでない。又診断できる流量範囲が限定されてい
た。

【０００６】以上のことから本発明は、上記問題点を解
消し、全流量制御範囲内の任意の指定流量（診断流量）
でセンサ部の目詰り等の異常の有無を診断することがで
きる機能を備えたマスフローコントローラを提供するこ
とを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、マスフローコ
ントローラに異常の有無を自己診断する診断機能を付加
したものである。これは、予め全流量設定範囲にわたっ
て流量設定信号に対応する弁駆動信号を段階的に計測
し、これらを基準弁駆動信号として記憶する手段と、使
用状態で流量設定値を入力する手段と、この流量設定値
に対応する基準弁駆動信号を読み出す手段と、この読み
出した基準弁駆動信号と、このとき前記比較制御部から
実際出力されている弁駆動信号とを許容量を加味して比
較する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を表
示する表示手段とを設けたものである。また、前記流量
設定信号と基準弁駆動信号とからなる基準特性データを
直線化させる補正手段をさらに設け、且つ実際出力され
ている弁駆動信号も直線的に補正して、それぞれ補正後
の基準弁駆動信号と実際の弁駆動信号を上記のように比
較してもよい。

【０００８】

【作用】本発明による異常診断機能付マスフローコント
ローラは、入口と出口の圧力差が各流量においてほぼ一
定に保たれ、かつこの流量を段階的に比較的頻繁に変更
して流体を制御するような半導体製造プロセスに用いる
ことに適している。予め全流量範囲にわたって段階的に
設定した基準となる流量設定信号と基準弁駆動信号とか
らなる基準特性データを得る。これは後に異常の有無を
診断するときに使用することになる。一方、通常の使用
状態では別に設定された質量流量設定信号と、センサ部
の検出信号とを比較制御部で比較制御し、流量制御弁へ
弁駆動信号を出力している。ここでセンサ部が目詰りを
起こし始めると、センサ部の圧損が大きくなりバイパス
側に流れる流量が多くなる。実際に流量制御弁を通る流
量は変化していないにもかかわらず、比較制御部では流
量設定信号とセンサ信号の偏差をなくすように弁の駆動
信号を増大させるので必要以上に流量は増える。つまり
目詰りが起こると、あるべき基準の弁駆動信号と実際の
センサ部で検出した信号にもとづく弁駆動信号とにズレ
が生じ始める。本発明はこのズレが許容量の範囲を越え
た場合警報を発するようにしたものである。

【０００９】更に本発明では、定期的あるいは制御流量
を変えた時などに、異常の有無を診断する流量値を自由
に設定することができ、この流量設定信号に対応する基
準弁駆動信号を取出し、これと実際の弁駆動信号とを比
較し、この結果が許容範囲を外れた場合には警報をラン
プや音等で表示するというものである。ここで流量設定
信号と基準弁駆動信号とからなる基準特性データは全流
量範囲にわたって段階的にデータがとられ系列的に記憶
されているので、診断時、流量設定値を随時任意の値を
選定してもこの流量設定値に対応する基準弁駆動信号を
取りだすことが出来る。また記憶されていない流量値
や、小数点以下の流量値でもそれに対応する基準弁駆動
信号は直線補間演算によって求めることができるし、全
流量範囲にわたって繰返して診断することも可能であ
る。また、入口の圧力が変化したりして、入口と出口の
圧力差が変化した場合でも、予めそれぞれの入口圧力や
圧力差における基準特性データを記憶して用意しておく
ことにより、随時それぞれの圧力差に対応する基準特性
データに変換して診断を行うことができる。更に、複数
のデータを取り出すことができるのでこれによってスパ
ンドリフトやゼロ点ドリフトを補正することが正確にか
つ容易に行なえる。以上のことより、診断の流量値設定
に柔軟性があり、しかもインライン状態で今現在制御し
ている流量で異常の有無を診断することができる。

【００１０】

【実施例】本発明の一実施例を以下図面に基づき説明す
る。図１は一実施例を示す異常診断機能付マスフローコ
ントローラの要部ブロック図である。本実施例の異常診
断機能付マスフローコントローラは、マスフローコント
ローラ部分Ａ（……で示す。）と診断機能部分Ｂ（―で
示す。）と、コンソール部分Ｃ（‐・‐で示す。）とか
らなっており、マスフローコントローラ部分Ａ（但し図
１では比較制御部の一部は診断機能部分に含まれてい
る。）に診断機能部分Ｂとコンソール部分Ｃを付加した
ものである。ただし、これらの構成部分が一体的にある
いは近接して設けられていると限定するものではない。
先ずマスフローコントローラ部分Ａを説明する。図１で
被測定流体例えばガス体がマスフローコントローラの流
入口から流入路１を流れ並列に分かれたバイパス流路２
とセンサ流路31とに所定の割合で分流する。さらにバイ
パス流路２及びセンサ流路31を通過したガスは再び合流
して流出路４を流れ、この流出路４の途中に設けられた
流量制御弁５によって流量を制御され流出口より流出さ
れる。

【００１１】センサ流路31には流量に応じた質量流量信
号を出力するセンサ部３が設けられており、通常上流側
コイル32と下流側コイル33とは同電気抵抗値で、一定電
流を流すと同熱量を発生する。センサ流路31にガスが流
れると、上流側コイル32に発生した熱量をガスが奪い、
この温度の上昇したガスによって下流側コイル33は加温
される。この結果下流側コイル33の方が上流側コイル32
より温度が高くなり、これに応じて電気抵抗値にも差が
でてくる。この差をブリッジ回路６を介して不平衡電圧
として取り出すと、センサ流路31内を流れるガスの質量
流量はこの不平衡電圧とある関係にあるので、不平衡電
圧を検出することにより質量流量を測定することができ
る。検出された不平衡電圧ｅは増幅回路７とA/D変換器
８を通って、増幅され質量流量信号ｆとなって比較部11
に入力される。一方、比較部11には所望する制御流量に
相当する質量流量設定信号ｇが切換スイッチ14のａ接点
を介して外部より入力される。そのため比較部11はセン
サ部で検出した質量流量信号ｆと質量流量設定信号ｇと
を比較し、この差に比例した信号ｈを弁駆動電圧決定回
路12へ出力する。弁駆動電圧決定回路12では上記信号ｈ
と現在の駆動信号をもとに内蔵された弁駆動電圧決定プ
ログラムでＰＩＤ制御が行われ弁駆動信号（ここでは電
圧なので以下電圧という。）Ｖを出力する。そしてD/A
変換器13を介して流量制御弁５のアクチュエータに駆動
電圧として入力され、その結果流量制御弁５を駆動し弁
開度は上記の差を減じるように変化する。こうして流量
制御弁５は弁開度を調整され質量流量設定信号ｇに応じ
た制御流量を保つように制御される。

【００１２】次に診断機能部分Ｂについて図２〜図５と
共に説明する。図２は初期状態で基準特性データを設定
するフローチャートの概略である。図３は流量設定値と
弁駆動電圧の関係線図を示す。図４は図３の流量設定値
を基準となる流量設定信号に置換した流量設定信号と弁
駆動電圧との特性データ線図を示す。図５は図４の弁駆
動電圧のスケールを変換した上で線図を直線化した補正
後の特性データ線図を示す。なお、図４、図５において
基準値を細線で示すと共に、実際センサ部で測定した実
測値を実線で併記した。

【００１３】先ず診断機能部分Ｂを用いてそれぞれのマ
スフローコントローラについて、予め初期状態において
各流量設定値に対応する流量設定信号と弁駆動電圧とが
１対１に対応した基準特性データを得る。この時、切換
えスイッチ14をａ接点からｂ接点に切換え、設定信号自
動発生回路15に切換える。設定信号自動発生回路15では
流量０％から例えば余裕をみて120 ％程度までの全流量
範囲にわたって段階的に流量設定が行われるプログラム
を内蔵している。これは各流量設定値i ％を任意の間隔
で段階的に発生させることができ、この流量設定値i ％
に対応して流量設定信号ｋiが発生するようになってい
る。この信号ｋは上述の質量流量設定信号ｇと実質的に
同一のものであるが、ｋはｋ0からｋ120まで全流量範囲
にわたって対応する信号が存在する(図２の２ｂ)。そし
て、発生させられた流量設定信号ｋiを比較部11に入力
すると、センサ部３からの質量流量信号ｆと比較し弁駆
動信号決定回路12を介して弁駆動電圧Ｖiが出力され
る。ここでこの弁駆動電圧Ｖiを測定し(図２の２ｃ)こ
れを基準弁駆動電圧記憶部16に記憶する。同時にこの弁
駆動電圧Ｖiは基準データ記憶部18にも記憶される。な
お、ここで上記流量設定値i は流量設定信号ｋiを兼ね
たものとして流量設定信号を省略してもよい。また、弁
駆動電圧Ｖiは基準弁駆動電圧記憶部16に一坦記憶する
までもなく直接下記する直線化回路に出力する構成とし
てもよい。

【００１４】また本実施例のように上記基準弁駆動電圧
Ｖiを基準弁駆動電圧直線化回路17に入力して、例えば
流量設定値100％が流量設定信号５Ｖに相当するように
スケール変換し流量設定信号と基準弁駆動電圧を図５の
ように直線化することが望ましい。こうして直線的に補
正して得られた補正弁駆動電圧ｖiも上記基準データ記
憶部18に記憶する。以上の操作を0〜120％に対応してｋ
0〜ｋ120まで繰り返すことによって(図２の２f,２g)、
流量設定信号ｋ0〜ｋ120と基準弁駆動電圧Ｖ0〜Ｖ120及
び補正弁駆動電圧ｖ0〜ｖ120とがそれぞれ対応した121
個の基準特性データが前記基準データ記憶部18に記憶さ
れる(図２の２ｅ）。また、比較制御部から実際出力さ
れる弁駆動信号を直線的に補正する回路25を設けている
が、これは直線化回路17と兼ねるようにしてもよい。こ
のデータによって図３、図４、図５を得ることができ
る。図４にはこの基準特性データを線図化したものの他
にセンサ部での実際の出力値を併記したが、本発明は要
するに細線で示す基準値に対し、実線で示すセンサ部で
の実測値を重ねて比較しこの差が許容値内にあるかない
かをみて異常の有無を判定するものである。

【００１５】基準弁駆動電圧直線化回路17は、スケール
変換等して基準弁駆動電圧Ｖと流量設定信号ｋとの関係
を補正して直線化するプログラムが内臓されているが、
この部分には演算機能も含まれている。こうすることに
よって記憶されていない流量設定値や小数点以下の流量
設定値等は演算して直線化したデータ上で対応する値を
求め比較することができる。図５に補正後の直線化した
データを実測値と共に示したが、無論この直線化データ
を基準値として、これと直線的に補正した実測値とを比
較し異常の有無を判定するようにしてもよい。データ読
み出し部19は、後述する診断モードにした時にある流量
値Xに対応する基準弁駆動電圧ＶXを読みだす機能をもっ
てる。このデータ読み出し部19から補正弁駆動電圧ｖと
流量設定信号ｋとの関係を外部のモニター21にも表示す
ればこのモニターでも監視がしやすいものとなる。弁駆
動電圧比較部20は、診断モードの時上記データ読み出し
部19から取り出した基準弁駆動電圧Ｖxと、実際の弁駆
動電圧Ｖとを比較して、異常があると判定したとき結果
を警報表示手段21へ出力するものである。

【００１６】警報許容量設定部23は、弁駆動電圧比較部
19で上記の比較をする場合に加味される警報許容量εを
設定するところである。許容量εは例えば各マスフロー
コントローラに許容された測定誤差、通常フルスケール
流量に対して決められた一定量を用いることが多いが、
これにこだわることはなく制御流量の範囲などによって
可変に設定することもできる(図２の２h)。また許容量
記憶部24は、設定された許容量εを記憶するところであ
る(図２の２i)。以上の各機能は全てマイコン内で構成
し処理するようにしている。警報表示手段21は、ブザー
などでもよいし、ランプなど視覚に訴えるものでもよ
く、両者を兼ねたものでも無論問題はない。

【００１７】次にコンソール部Ｃについて説明する。こ
のコンソール部Ｃ内には通常の電源の他に診断流量値を
設定するキー30ａや警報許容量の設定キー30ｉなどがあ
り、その他にも弁駆動電圧を記憶指令するキー、質量流
量設定信号の表示、警報の表示などの機能がまとめられ
ている。またこのコンソール部で複数台のマスフローコ
ントローラについて同種の診断が行えるようにまとめる
こともできる。

【００１８】次に異常の有無を診断する場合の動作につ
いて図６と共に説明する。図６は診断の場合のフローチ
ャートの概略を示している。先ず、通常切換スイッチ14
は接点ａ側の運転モードに位置しており、この場合はマ
スフローコントローラ部Ａが機能して所望する流量、例
えば65％の流量が欲しい時はこの流量に相当する質量流
量設定信号ｇに基づいて上記の通り流量制御が行われ
る。次にその後の使用時で異常の有無を診断しようとす
る時は、切換スイッチ14を接点ｂ側の診断モードに切換
え、その後コンソール部Ｃのキー30ａで診断流量値Ｓ％
を設定する。（図６の６ａ）本発明ではこの設定が自由
に行えることが一つの特徴となっているので例えばここ
では75％を設定する。これは予め記憶されていない流量
値でもよいし、小数点以下の値でも自由に設定できる。
次に設定信号自動発生回路15によって、この流量値75％
に対応する流量設定信号ｋ75を求める（図６の６ｂ）。
次にこの流量設定信号ｋ75に対応する弁駆動電圧Ｖ75を
求め(図６の６ｃ)、これを読み出し弁駆動電圧比較部20
へ出力する。ここで流量設定信号ｋ75が上記した初期設
定時に予め記憶されていれば基準データ記憶部18の中か
ら流量設定信号ｋ75に対応する基準弁駆動電圧Ｖ75を直
接読み出し弁駆動電圧比較部20へ出力するようにしても
よい。なお、この時流量設定信号ｋ75は比較部11にも入
力される。

【００１９】一方、センサ部３で検出した実際の質量流
量信号ｆ65と、先程の流量設定信号ｋ75とを比較し、弁
駆動電圧決定回路12を介して実際の弁駆動電圧Ｖ'を測
定する（図６の６ｄ）。そして、この弁駆動電圧を求め
(図６の６ｅ)、さらに対応する弁駆動電圧Ｖ75'を求め
(図６の６ｆ)、これを弁駆動電圧比較部20へ入力し、上
記基準弁駆動電圧Ｖ75と弁駆動電圧Ｖ75'とを比較す
る。この比較をする場合Ｖ75＝Ｖ75'のとき正常である
と判定し、Ｖ75≠Ｖ75'のとき異常であると判定しても
よいが、上述のように許容量を加味することが望まし
く、許容量記憶部から入力された許容量範囲±εを取り
入れて、Ｖ75−ε≦Ｖ75'≦Ｖ75＋εの判定を行う（図
６の６ｇ）。従って、この範囲を外れる場合は異常信号
Ｐを警報表示手段21に出力し、警報を表示するようにす
る。また、範囲を外れる場合でもタイマをセットして
(図６の６ｉ)数秒間、例えば５秒間同じ状態が継続した
場合（図６の６ｊ）に初めて警報を表示するようにし
(図６の６ｋ)、それまでの間は注意表示を行うようにし
てもよい。さらに上記の比較で範囲内にあるときは正常
信号Ｏを出力してＯＫ表示をするようにしてもよい。以
上のようにしてセンサ部の異常の有無を自己診断するこ
とができる。

【００２０】また上記の実施例は、直線的に補正しない
ままの基準弁駆動電圧Ｖを用いて比較判定を行ったが、
他の実施例としては、直線的に補正を行った後の補正弁
駆動電圧ｖと実際に出力される弁駆動電圧を直線的に補
正したv'とを用いて上記と同様に比較し判定することも
できる。さらに他の実施例としては、上述までのように
実際の弁駆動電圧を比較の対象とするのではなく、実際
の駆動電圧を予め記憶された基準弁駆動電圧Ｖまたはｖ
のデータ上に置換して基準特性データでの相当値を求
め、これと流量設定信号にもとづく基準弁駆動電圧とを
比較し判定するようにしても良い。また、複数の圧力差
における基準特性データを用意しておき実際圧力差が変
化した時相当する圧力差のデータに切り替えて以下同様
に比較、判定を行うことも出来る。なお、切換スイッ
チ14ａ，14ｂは自動切換方式として、診断流量値を入力
したら自動的にａからｂに切換えるようにするとよい。

【００２１】

【発明の効果】以上のように本発明の異常診断機能付マ
スフローコントローラによれば、診断する流量値を任意
にかつ何時でも設定できるので、目詰りなどのセンサ部
の異常の有無を確認できる幅が広がり、柔軟に対応でき
るようになった。また、スパンドリフトやゼロ点ドリフ
トの補正が正確にかつ容易にできるようになった。従っ
て、特に制御流量を比較的頻繁に変更するような半導体
製造プロセスに使用するマスフローコントローラに適し
ている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の異常診断機能付マスフローコントロ
ーラのブロック図。

【図２】初期状態で基準特性データを設定するフロー
チャート。

【図３】流量値と弁駆動電圧を示す図。

【図４】流量設定信号と弁駆動電圧からなる基準特性
データを示す図。

【図５】基準特性データを直線化した図。

【図６】使用状態で異常の診断を行うフローチャー
ト。

【図７】従来のマスフローコントローラを示すブロッ
ク図。

【符号の説明】

２…バイパス部３…センサ部５…流量制御弁 11…比較部 12…弁駆動電圧決定回路 14…切換スイッチ 15…設定信号自動発生回路 16…基準弁駆動電圧記憶部 17…基準弁駆動電圧直線化回路 18…基準データ記憶部 19…データ読み出し部 20…弁駆動電圧比較部 21…警報表示手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者師井達夫山口県下松市大字東豊井794番地株式会社日立製作所笠戸工場内 (72)発明者川原博宣山口県下松市大字東豊井794番地株式会社日立製作所笠戸工場内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体の流入路と、この流入路からの流体
が流れるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐し
所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、このセンサ
流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記
バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出
路と、この流出路に設けた流量制御弁と、前記流量セン
サで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定
信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力す
る比較制御部とを有するマスフローコントローラにおい
て、予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応する
弁駆動信号を段階的に計測し、これらを基準弁駆動信号
として記憶する手段と、使用状態で流量設定値を入力する手段と、この流量設定
値に対応する基準弁駆動信号を読み出す手段と、この読
み出した基準弁駆動信号と、このとき前記比較制御部か
ら実際出力されている弁駆動信号とを許容量を加味して
比較する比較手段と、この比較結果に応じて異常信号を
表示する表示手段とを設けたことを特徴とする異常診断
機能付マスフローコントローラ。
【請求項２】前記流量設定信号と基準弁駆動信号とか
らなる基準特性データと実際出力されている弁駆動信号
を直線化させる補正手段を設け、補正後の基準弁駆動信
号と補正後の弁駆動信号とを許容量を加味して比較する
ことを特徴とする請求項１記載の異常診断機能付マスフ
ローコントローラ。
【請求項３】流体の流入路と、この流入路からの流体
が流れるバイパス流路と、このバイパス流路から分岐し
所定の分流比の流体が流れるセンサ流路と、このセンサ
流路を流れる流体の流量を計測する流量センサと、前記
バイパス流路とセンサ流路の流体が合流して流れる流出
路と、この流出路に設けた流量制御弁と、前記流量セン
サで検出した質量流量信号と予め設定した質量流量設定
信号とを比較し、前記流量制御弁へ弁駆動信号を出力す
る比較制御部とを有するマスフローコントローラにおい
て、予め全流量設定範囲にわたって流量設定信号に対応する
弁駆動信号を段階的に計測すると共にこれらを基準弁駆
動信号とし、使用状態で流量設定値を入力して、この流量設定値に対
応する基準弁駆動信号と、このとき前記比較制御部から
実際出力されている弁駆動信号とを許容量を加味して比
較し、この比較結果に応じて異常信号を表示することを
特徴とするマスフローコントローラの異常診断方法。
【請求項４】前記流量設定信号と基準弁駆動信号とか
らなる基準特性データと実際出力されている弁駆動信号
を直線的に補正し、補正後の基準弁駆動信号と補正後の
弁駆動信号とを許容量を加味して比較することを特徴と
する請求項３記載のマスフローコントローラの異常診断
方法。