JPH0619555A

JPH0619555A - 流量コントローラー

Info

Publication number: JPH0619555A
Application number: JP17537492A
Authority: JP
Inventors: Koji Kitahara; 浩司北原
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1992-07-02
Filing date: 1992-07-02
Publication date: 1994-01-28

Abstract

(57)【要約】【目的】半導体製造に用いられるガスの流量を制御する
流量コントローラー内の残留ガスを短時間に取り除く。【構成】コントロールバルブ１３、バルブ４を開き、流
量コントローラー内のセンサー管１、バイパス２の１、
２次側の両側を高真空にすることに依って流量コントロ
ーラー内の残留ガスを取り除くことができる流量コント
ローラー。【効果】バイパス３、バルブ４を有する流量コントロー
ラーに於いて、流量コントローラー内のセンサー管１、
バイパス２の１、２次側の両側を高真空にすることに依
り短時間で流量コントロール内の残留ガスを取り除くこ
とが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造に用いられ
るガスの流量を制御する流量コントローラーに関する。

【０００２】

【従来の技術】流量コントローラーは、ガスの流量を測
定し制御するもので、ガスは、温度、圧力といった周囲
条件に関しては、絶えず変化するが、質量に関しては変
化しないので、単位時間に流れる流体の質量（質量流
量）を測定し制御している。

【０００３】流量コントローラーの構成図を図２に示
す。

【０００４】流量コントローラーは、大きく分けてセン
サー部、バイパス部、コントロールバルブ部、電気回路
部に分けられる。

【０００５】センサー部では、一般的に図２の１３の様
なセンサー管と呼ばれる金属性の毛細管の外側に２本の
自己発熱抵抗体を巻いた構造をしている。毛細管は定電
流に制御された自己発熱抵抗体によって加熱され、流量
が０の場合、毛細管の中心に対して左右対称な温度分布
となる。しかし、センサー管１１内をガスが流れる場
合、図２に於ける左側（上流側）の抵抗と右側（下流
側）の抵抗には温度差が生じる。また、質量流量は温度
差に比例するので、温度差を図２の１６のブリッジ回路
のような回路によって検出し、質量流量を測定してい
る。

【０００６】図２の１４のバイパス部では、センサー管
１３の中を流れるガスの流量に限界があるため、センサ
ー管１３と別に並列な流路を設けて分流させている。こ
こで、センサー管１３内の流量とバイパス１４内の流量
との比は常に一定となっている。

【０００７】図２の１５のコントロールバルブ部では、
設定した流量になるように、バルブの開度を調整しガス
の流量を制御している。

【０００８】電気回路部では、一例として図２に示すよ
うなブリッジ回路１６、増幅回路１７、補正回路１８、
比較制御回路１９、バルブ駆動回路２０、等様々な回路
に依って構成されているが、ブリッジ回路１６のような
回路に依って温度差を測定し、質量流量に応じた出力電
圧を検出する。これを増幅回路１７に依って増幅してい
る。そして、補正回路１８に依って周囲温度による影響
を補正し、得られた出力電圧に基いて、比較制御回路１
９、バルブ駆動回路２０でバルブを動作させている。

【０００９】以上のような原理に依って、従来の一般的
な流量コントローラーは、流量を検出し、コントロール
バルブ１５に依り制御している。また、流量コントロー
ラー内の残留ガスを取り除く場合は、コントロールバル
ブ１５を開き、流量コントローラーの２次側を真空にす
ることに依り取り除いている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流量コ
ントローラー内の残留ガスを取り除く場合、コントロー
ルバルブ１５を開き、流量コントローラーの２次側を真
空状態にしているが、センサー管１３、バイパス１４の
配管の抵抗に依り残留ガスを取り除く時間が長い。

【００１１】そこで、本発明は、このような問題点を解
決するもので、その目的は、流量コントロール内の残留
ガスを短時間に取り除くところにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の流量コントロー
ラーは、流量コントローラー内の残留ガスを取り除く場
合、コントロールバルブ５を開き、かつバルブ４を開く
ことに依って流量コントローラー内の残留ガスを取り除
くという特徴を有する。

【００１３】

【実施例】以下、本発明について実施例に基いて説明す
る。

【００１４】図１は、本発明に依る流量コントローラ
ー、装置内チャンバー、ポンプの構成図である。

【００１５】従来の流量コントローラーは、ブリッジ回
路１５のような回路に依って温度差を測定し、質量流量
に応じた出力電圧を検出する。これを増幅回路１６に依
って増幅している。そして、補正回路１７に依って周囲
温度による影響を補正し、得られた出力電圧に基いて、
比較制御回路１８、バルブ駆動回路１９でコントロール
バルブ２０を動作させガスの流量を制御している。

【００１６】本発明に依る流量コントローラーは、ブリ
ッジ回路６のような回路に依って温度差を測定し、質量
流量に応じた出力電圧を検出する。これを増幅回路７に
依って増幅している。そして、補正回路８に依って周囲
温度による影響を補正し、得られた出力電圧に基いて、
比較制御回路９、バルブ駆動回路１０でコントロールバ
ルブ５を動作させガスの流量を制御しているのに加え、
本発明に依る流量コントローラーは、バイパス３、バル
ブ４を有する。

【００１７】流量コントローラー内の残留ガスを取り除
く場合、コントロールバルブ５を開き、かつバルブ４を
開きポンプ１２に依って、装置内のチャンバー１１、あ
るいは、流量コントローラーの２次側配管を高真空にす
ることに依り、流量コントローラー内の残留ガスを取り
除くことができるが、従来の流量コントローラーでは、
センサー管１３、バイパス１４の配管の抵抗に依り残留
ガスを取り除く時間が長い。本発明に依る流量コントロ
ーラーでは、センサー管１、バイパス３の１、２次側の
両側から、ポンプ１２を用いて、装置内のチャンバー１
１、あるいは、配管を高真空にすることに依って、残留
ガスを取り除くことができるため、残留ガスを取り除く
時間が非常に短縮できる。

【００１８】また、装置のチャンバー１１内部を窒素な
どの不活性ガスで置換する場合も同様に、従来の流量コ
ントローラーでは、コントロールバルブ２０を開き、セ
ンサー管１３、バイパス１４を通して装置内のチャンバ
ーを窒素などの不活性ガスで置換するが、流量コントロ
ーラー内を流すことができるガスの流量は、流量コント
ローラーの最大流量で決まってしまい、装置内のチャン
バー容量が非常に大きい場合は、窒素などの不活性ガス
で置換するのに長時間かかってしまうが、本発明に依る
流量コントローラーは、コントロールバルブ５、バルブ
４を開き、センサー管１、バイパス２、バイパス３を通
して装置内のチャンバー１１を窒素などの不活性ガスで
置換するため、非常に短時間で置換を行うことが可能で
ある。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、センサー管１、バ
イパス３の１、２次側の両側から高真空にすることに依
って短時間に残留ガスを取り除くことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に依る流量コントローラーの構成図。

【図２】従来の流量コントローラーの構成図。

【符号の説明】

１・・・・センサー管２・・・・バイパス３・・・・バイパス管４・・・・バルブ５・・・・コントロールバルブ６・・・・ブリッジ回路７・・・・増幅回路８・・・・補正回路９・・・・比較制御回路１０・・・・バルブ駆動回路１１・・・・装置内チャンバー１２・・・・ポンプ１３・・・・センサー管１４・・・・バイパス１５・・・・コントロールバルブ１６・・・・ブリッジ回路１７・・・・増幅回路１８・・・・補正回路１９・・・・比較制御回路２０・・・・バルブ駆動回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】センサー管の中を流れるガスの流量を検
出し、コントロールバルブに依ってバルブの開度を調整
し、設定流量になるように流量を制御する流量コントロ
ーラーに於て、流量コントローラー内のセンサー管、バ
イパスの１次側と２次側の間に配管を設け、流量コント
ロール内の残留ガスをセンサー管、バイパスの１次側、
２次側の両側から取り除くという特徴を持つことを特徴
とする流量コントローラー。