JPH06198532A - Electrostatic chuck - Google Patents
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- JPH06198532A JPH06198532A JP57293A JP57293A JPH06198532A JP H06198532 A JPH06198532 A JP H06198532A JP 57293 A JP57293 A JP 57293A JP 57293 A JP57293 A JP 57293A JP H06198532 A JPH06198532 A JP H06198532A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 静電チャックは、誘電体１の内部に２枚の電
極２ａ・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０
と、電極２ａ・２ｂ間に直流電圧を印加する直流電源３
とを有し、静電気力により吸着対象物４を吸着固定す
る。この静電チャックは、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏
れ電流を検出する電流計１０と、電極２ａ・２ｂ間の電
気抵抗を検出する抵抗計１１とを備えている。
【効果】 電流計１０の検出する漏れ電流より、静電チ
ャック本体２０の吸着能力の低下の有無を、動作中にお
いても簡単に検出できる。吸着対象物４が静電チャック
本体２０上に載置されていれば、直流電源３がＯＦＦの
ときでも、抵抗計１１の検出する電気抵抗から、静電チ
ャック本体２０の表面の汚染状態を知ることができる。
(57) [Summary] [Structure] The electrostatic chuck is an electrostatic chuck body 20 in which two electrodes 2a and 2b are embedded in a dielectric 1.
And a DC power supply 3 for applying a DC voltage between the electrodes 2a and 2b
And has the object to be adsorbed and fixed by electrostatic force. The electrostatic chuck includes an ammeter 10 that detects a leak current flowing between the electrodes 2a and 2b, and a resistance meter 11 that detects an electric resistance between the electrodes 2a and 2b. [Effect] Based on the leakage current detected by the ammeter 10, it is possible to easily detect whether or not the attraction capability of the electrostatic chuck body 20 is deteriorated even during operation. If the attraction target 4 is placed on the electrostatic chuck body 20, the state of contamination on the surface of the electrostatic chuck body 20 can be known from the electrical resistance detected by the resistance meter 11 even when the DC power supply 3 is OFF. be able to.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、導体あるいは半導体か
らなる吸着対象物を静電気力により吸着固定する静電チ
ャックに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrostatic chuck for attracting and fixing an object to be attracted, which is made of a conductor or a semiconductor, by electrostatic force.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、吸着対象物を静電気力により吸着
固定する静電チャックが、様々な分野で利用されるよう
になっている。例えば、静電チャックは、プロッタにお
ける用紙の固定に用いられたり、エッチング装置等の半
導体製造装置におけるシリコンウエハ等の固定に用いら
れている。2. Description of the Related Art In recent years, electrostatic chucks for attracting and fixing an object to be attracted by electrostatic force have been used in various fields. For example, an electrostatic chuck is used to fix a sheet on a plotter or a silicon wafer or the like in a semiconductor manufacturing apparatus such as an etching apparatus.
【０００３】上記静電チャックは、基本的には、図２に
示すように、誘電体５１の内部に２枚の金属電極５２ａ
・５２ｂが組み込まれると共に、両電極５２ａ・５２ｂ
間に、電源５３より直流電圧が印加されるような構成と
なっている。The electrostatic chuck basically has two metal electrodes 52a inside a dielectric 51, as shown in FIG.
・ 52b is incorporated and both electrodes 52a ・ 52b
In between, a DC voltage is applied from the power source 53.
【０００４】上記構成の静電チャックでは、電極５２ａ
・５２ｂを披包する誘電体５１において誘電分極現象が
起こり、これにより吸着対象物５４との間で静電気力が
生じ、吸着対象物５４が静電チャック表面に吸着され
る。静電チャックの吸着力Ｆ（Ｎ）は、このような誘電
分極現象により現れる分極電荷の量によって定まり、基
本的には、次式（１）によって表される。In the electrostatic chuck having the above structure, the electrode 52a
A dielectric polarization phenomenon occurs in the dielectric 51 that covers 52b, and an electrostatic force is generated between the dielectric 51 and the attraction target 54, and the attraction target 54 is attracted to the surface of the electrostatic chuck. The attraction force F (N) of the electrostatic chuck is determined by the amount of polarization charge that appears due to such a dielectric polarization phenomenon, and is basically represented by the following equation (1).
【０００５】 Ｆ＝（Ｓ／２）・ε・（Ｖ／ｄ）2 ・・・（１） 但し、上式（１）中のεは、 ε＝ε0 ・εr である。ここで、Ｓは両電極５２ａ・５２ｂの面積（ｍ
2 ）、ε0 は真空の誘電率（8.８５×１０-12 Ｃ2 Ｎ-1
ｍ-2）、εr は誘電体５１の比誘電率、Ｖは電源５３の
印加電圧（Ｖ）、ｄは誘電体５１における表面の厚さ、
即ち、電極５２ａ・５２ｂから載置面までの距離（ｍ）
である。F = (S / 2) · ε · (V / d) 2 (1) However, ε in the above equation (1) is ε = ε 0 · ε r . Here, S is the area of both electrodes 52a and 52b (m
2 ), ε 0 is the dielectric constant of vacuum (8.85 × 10 -12 C 2 N -1)
m -2 ), ε r is the relative permittivity of the dielectric 51, V is the applied voltage (V) of the power source 53, d is the surface thickness of the dielectric 51,
That is, the distance (m) from the electrodes 52a and 52b to the mounting surface
Is.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な静電チャックにおいて、その表面にゴミが付着した場
合、静電チャックと吸着対象物との間に隙間が生じ、両
者間の接触面積が減少するため、静電チャックの吸着能
力（吸着対象物に作用する吸着力）の低下が起きること
になる。また、断線等その他の要因による吸着力Ｆの低
下が生じた場合にも、静電チャックの吸着能力の低下が
起きることになる。このように、静電チャックの吸着能
力の低下が起きれば、吸着対象物の脱落等の事故を招来
する。By the way, in the above electrostatic chuck, when dust adheres to the surface of the electrostatic chuck, a gap is generated between the electrostatic chuck and the object to be attracted, and the contact area between the two is reduced. Since this decreases, the suction capacity of the electrostatic chuck (suction force acting on the suction object) is reduced. Also, when the attraction force F is reduced due to other factors such as disconnection, the attraction capability of the electrostatic chuck is also reduced. As described above, if the attraction capability of the electrostatic chuck is lowered, an accident such as dropping of the attraction target is caused.
【０００７】そこで、静電チャックの吸着能力の低下に
起因する吸着対象物の脱落等の事故を未然に防止するた
め、静電チャックの保守・点検、動作中の監視が重要に
なってくる。Therefore, in order to prevent accidents such as the dropping of the object to be attracted due to the decrease in the adsorption capability of the electrostatic chuck, maintenance and inspection of the electrostatic chuck and monitoring during operation are important.
【０００８】従来では、図５に示すように、電源５３に
ＯＮ／ＯＦＦ状態を表示するモニタランプ５５を設ける
ことにより、電源５３の動作状態を確認することができ
るようにしているものの、静電チャックの吸着能力の低
下の有無を判断するためには、点検作業者が、静電チャ
ックの表面の汚染状態をしらべたり、静電チャックの吸
着力を測定しなければならず、静電チャックの保守・点
検作業に非常に手間がかかるという問題点を有してい
る。さらに、従来では、静電チャックの動作中において
は、吸着能力の低下の有無を確認することができないた
め、静電チャックの吸着能力の低下に起因する吸着対象
物の脱落等の事故を未然に防止することは困難である。Conventionally, as shown in FIG. 5, a power source 53 is provided with a monitor lamp 55 for displaying an ON / OFF state, so that the operating state of the power source 53 can be confirmed. In order to determine whether the chucking capacity of the chuck has deteriorated, the inspector must examine the contamination state of the surface of the electrostatic chuck and measure the chucking force of the electrostatic chuck. It has a problem that maintenance and inspection work is very troublesome. Further, conventionally, it is not possible to confirm whether or not the suction capacity is deteriorated during the operation of the electrostatic chuck, so that an accident such as dropping of the suction target due to the deterioration of the suction capacity of the electrostatic chuck can be prevented. It is difficult to prevent.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る静
電チャックは、上記の課題を解決するために、誘電体内
部に所定距離をおいて２枚の電極が埋設されてなる静電
チャック本体と、上記の２枚の電極間に所定の直流電圧
を印加する直流電圧印加手段とを備え、導体または半導
体からなる吸着対象物を静電気力によって上記静電チャ
ック本体の表面に吸着するものであって、以下の手段を
講じたことを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, an electrostatic chuck according to the invention of claim 1 is an electrostatic chuck in which two electrodes are embedded at a predetermined distance inside a dielectric. A chuck body and a direct current voltage applying means for applying a predetermined direct current voltage between the two electrodes, which attracts an attraction target made of a conductor or a semiconductor to the surface of the electrostatic chuck body by electrostatic force. However, it is characterized by taking the following means.
【００１０】即ち、上記静電チャックは、上記２枚の電
極間に流れる漏れ電流を検出する電流検出手段を備えて
いる。That is, the electrostatic chuck has a current detecting means for detecting a leakage current flowing between the two electrodes.
【００１１】また、請求項２の発明に係る静電チャック
は、上記の課題を解決するために、導体または半導体か
らなる吸着対象物を載置する載置面を有し、誘電体内部
に所定距離をおいて２枚の電極が埋設されてなる静電チ
ャック本体と、上記の２枚の電極間に所定の直流電圧を
印加する直流電圧印加手段とを備え、上記載置面に載置
された吸着対象物を静電気力によって吸着するものであ
って、以下の手段を講じたことを特徴としている。In order to solve the above-mentioned problems, an electrostatic chuck according to a second aspect of the present invention has a mounting surface on which an object to be attracted, which is made of a conductor or a semiconductor, is mounted, and a predetermined amount is provided inside the dielectric. The electrostatic chuck body has two electrodes embedded at a distance from each other, and a DC voltage applying means for applying a predetermined DC voltage between the two electrodes. The electrostatic chuck body is mounted on the mounting surface. In addition, the object to be adsorbed is adsorbed by electrostatic force, and is characterized by taking the following means.
【００１２】即ち、上記静電チャックは、上記２枚の電
極間の電気抵抗を検出する抵抗検出手段を備えている。That is, the electrostatic chuck is equipped with resistance detecting means for detecting the electric resistance between the two electrodes.
【００１３】[0013]
【作用】上記請求項１および請求項２の構成によれば、
直流電圧印加手段により２枚の電極間に直流電圧が印加
されると、これらの電極を披包する誘電体において誘電
分極現象が起こり、導体または半導体からなる吸着対象
物が、静電気力によって上記静電チャック本体の表面
（請求項２では載置面）に吸着固定されることになる。According to the configurations of the above-mentioned claims 1 and 2,
When a DC voltage is applied between the two electrodes by the DC voltage applying means, a dielectric polarization phenomenon occurs in the dielectric material surrounding these electrodes, and the object to be adsorbed, which is made of a conductor or a semiconductor, is statically charged by the electrostatic force. It is adsorbed and fixed to the surface of the electric chuck body (the mounting surface in claim 2).
【００１４】このとき、請求項１の構成では、電流検出
手段により、上記静電チャック本体における２枚の電極
間に流れる漏れ電流が検出されるようになっている。上
記の漏れ電流は、吸着対象物が一定の場合、静電チャッ
ク本体と吸着対象物との接触面積に比例する。また、静
電チャック本体と吸着対象物との接触面積は、吸着対象
物に作用する吸着力にほぼ比例する。即ち、吸着対象物
に作用する吸着力は、静電チャック本体との距離に大き
く反比例し、通常、両者が接触していなければその吸着
力は、吸着対象物を固定するには到らない程である。こ
のように、上記の漏れ電流と、吸着対象物に作用する吸
着力との間には、相関関係が存在する。At this time, in the structure of claim 1, the current detecting means detects the leak current flowing between the two electrodes in the electrostatic chuck body. The above leakage current is proportional to the contact area between the electrostatic chuck body and the attraction target when the attraction target is constant. Further, the contact area between the electrostatic chuck body and the attraction target is almost proportional to the attraction force acting on the attraction target. That is, the attraction force acting on the object to be attracted is largely inversely proportional to the distance from the electrostatic chuck body, and normally, if the two are not in contact with each other, the attraction force is not enough to fix the object to be attracted. Is. As described above, there is a correlation between the leakage current and the attraction force acting on the object to be attracted.
【００１５】したがって、上記請求項１の構成では、上
記電流検出手段の検出結果より、静電チャック本体の吸
着能力の低下の有無を、動作中においても簡単に検出す
ることができる。Therefore, according to the structure of the first aspect, it is possible to easily detect whether or not the attraction capability of the electrostatic chuck body is deteriorated during the operation based on the detection result of the current detecting means.
【００１６】また、上記請求項２の構成によれば、直流
電圧印加手段の印加電圧がゼロの状態のとき、抵抗検出
手段により、上記の２枚の電極間の電気抵抗を検出する
ことができる。上記静電チャック本体の載置面に導体ま
たは半導体からなる吸着対象物が載置されている場合、
静電チャック本体の表面にゴミが付着していれば、その
載置面と吸着対象物との間に隙間が生じ、両者間の接触
面積が減少するため、上記抵抗検出手段により検出され
る２枚の電極間の電気抵抗が、ゴミが付着していないと
きよりも大きくなる。即ち、抵抗検出手段により測定さ
れる電気抵抗値は、静電チャック本体の汚染状態の指標
になる。According to the second aspect of the invention, when the voltage applied by the DC voltage applying means is zero, the resistance detecting means can detect the electric resistance between the two electrodes. . When an object to be attracted made of a conductor or a semiconductor is placed on the placing surface of the electrostatic chuck body,
If dust is attached to the surface of the electrostatic chuck body, a gap is created between the mounting surface and the object to be attracted, and the contact area between the two is reduced. The electric resistance between the electrodes of the sheet becomes larger than that when no dust is attached. That is, the electric resistance value measured by the resistance detecting means is an index of the contamination state of the electrostatic chuck body.
【００１７】したがって、上記請求項２の構成では、静
電チャック本体の載置面に導体または半導体からなる吸
着対象物が載置されていれば、直流電圧印加手段の印加
電圧がゼロのときでも、抵抗検出手段の検出する電気抵
抗から、静電チャック本体の表面の汚染状態を知ること
ができる。Therefore, in the structure of claim 2, if the object to be attracted which is made of the conductor or the semiconductor is placed on the placing surface of the electrostatic chuck body, even when the voltage applied by the DC voltage applying means is zero. The state of contamination on the surface of the electrostatic chuck body can be known from the electric resistance detected by the resistance detecting means.
【００１８】[0018]
【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図４に
基づいて説明すれば、以下の通りである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The following will describe one embodiment of the present invention with reference to FIGS.
【００１９】本実施例に係る静電チャックは、図１およ
び図２に示すように、誘電体１の内部に２枚の金属電極
２ａ・２ｂが組み込まれてなる静電チャック本体２０を
備えている。As shown in FIGS. 1 and 2, the electrostatic chuck according to the present embodiment comprises an electrostatic chuck body 20 in which two metal electrodes 2a and 2b are incorporated inside a dielectric 1. There is.
【００２０】上記誘電体１としては、例えば、アルミナ
（Ａｌ2 Ｏ3 ）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、およびチタン
酸カルシウム（ＣａＴｉＯ3 ）等のセラミック材料を使
用することができる。尚、本実施例では、炭化ケイ素か
らなる誘電体１を使用している。As the dielectric 1, for example, a ceramic material such as alumina (Al 2 O 3 ), silicon carbide (SiC) and calcium titanate (CaTiO 3 ) can be used. In this example, the dielectric 1 made of silicon carbide is used.
【００２１】また、上記静電チャックは、上記静電チャ
ック本体２０の両電極２ａ・２ｂ間に、所定の直流電圧
を印加する直流電源（直流電圧印加手段）３を備えてい
る。図１に示すように、上記直流電源３には交流電源５
が接続されており、この直流電源３は、交流電力を直流
電力に変換する整流器、および所定の直流電圧を得るた
めの変圧器からなる。また、上記直流電源３は、マイク
ロコンピュータ等からなる制御部６の入力端子に接続さ
れており、電源のＯＮ／ＯＦＦ状態を示す電源ＯＮ／Ｏ
ＦＦ信号を制御部６に出力するようになっている。Further, the electrostatic chuck is provided with a DC power supply (DC voltage applying means) 3 for applying a predetermined DC voltage between both electrodes 2a and 2b of the electrostatic chuck body 20. As shown in FIG. 1, the DC power supply 3 has an AC power supply 5
The DC power supply 3 is composed of a rectifier for converting AC power into DC power and a transformer for obtaining a predetermined DC voltage. The DC power supply 3 is connected to an input terminal of a control unit 6 including a microcomputer, etc., and is a power ON / O indicating an ON / OFF state of the power.
The FF signal is output to the control unit 6.
【００２２】また、上記直流電源３と電極２ａ・２ｂと
の間の接続ラインには、上記制御部６によりその動作が
制御される回路切り替え部７が設けられている。この回
路切り替え部７は、直流電源３のプラス極端子と電極２
ａとの接続ライン間に設けられた切り替えスイッチ８
と、直流電源３のマイナス極端子と電極２ｂとの接続ラ
イン間に設けられた切り替えスイッチ９とを有してお
り、両切り替えスイッチ８・９は、連動して切り替えら
れる。A circuit switching unit 7 whose operation is controlled by the control unit 6 is provided on the connection line between the DC power supply 3 and the electrodes 2a and 2b. The circuit switching unit 7 includes a positive electrode terminal of the DC power supply 3 and the electrode 2
Changeover switch 8 provided between the connection line with a
And a changeover switch 9 provided between a connection line between the negative electrode terminal of the DC power supply 3 and the electrode 2b. Both the changeover switches 8 and 9 are interlocked and changed over.
【００２３】上記切り替えスイッチ８のコモン端子８ａ
は、電極２ａに接続されると共に、その一方の切り替え
端子８ｂは、電流計（電流検出手段）１０を介して直流
電源３のプラス極端子と接続され、他方の切り替え端子
８ｃは、抵抗計（抵抗検出手段）１１の一方の測定端子
に接続されている。Common terminal 8a of the changeover switch 8
Is connected to the electrode 2a, one switching terminal 8b thereof is connected to the positive pole terminal of the DC power supply 3 via the ammeter (current detecting means) 10, and the other switching terminal 8c is connected to the resistance meter ( It is connected to one measuring terminal of the resistance detecting means 11).
【００２４】また、上記切り替えスイッチ９のコモン端
子９ａは、電極２ｂに接続されると共に、その一方の切
り替え端子９ｂは、直流電源３のマイナス極端子と接続
され、他方の切り替え端子９ｃは、抵抗計１１の他方の
測定端子に接続されている。The common terminal 9a of the changeover switch 9 is connected to the electrode 2b, one of the changeover terminals 9b is connected to the negative pole terminal of the DC power supply 3, and the other changeover terminal 9c is a resistor. It is connected to the other measurement terminal of the total 11.
【００２５】即ち、切り替えスイッチ８・９が、ぞれぞ
れ切り替え端子８ｂ・９ｂ側に切り替えられている状態
では、上記電流計１０により、直流電源３がＯＮのとき
に電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流（正確には、直流
電源３、切り替えスイッチ８、電極２ａ・２ｂ、誘電体
１および切り替えスイッチ９から成る回路に流れる電
流）が検出される。一方、切り替えスイッチ８・９が、
ぞれぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替えられてい
る状態では、上記抵抗計１１により、電極２ａ・２ｂ間
の電気抵抗が検出される。That is, in the state where the changeover switches 8 and 9 are changed over to the changeover terminals 8b and 9b, respectively, the ammeter 10 causes the direct current power source 3 to turn on between the electrodes 2a and 2b. Leakage current (to be precise, current flowing through a circuit composed of the DC power supply 3, the changeover switch 8, the electrodes 2a and 2b, the dielectric 1 and the changeover switch 9) is detected. On the other hand, the changeover switches 8 and 9
In a state where the terminals are switched to the switching terminals 8c and 9c respectively, the resistance meter 11 detects the electrical resistance between the electrodes 2a and 2b.
【００２６】上記電流計１０および抵抗計１１は、それ
ぞれ上記制御部６の入力端子に接続されており、電流計
１０からは電流値信号が、抵抗計１１からは抵抗値信号
が制御部６に出力されるようになっている。The ammeter 10 and the ohmmeter 11 are respectively connected to the input terminals of the control section 6, and the ammeter 10 sends a current value signal and the ohmmeter 11 sends a resistance value signal to the control section 6. It is supposed to be output.
【００２７】上記制御部６は、上記電流計１０および抵
抗計１１から入力される電流値信号および抵抗値信号に
基づいて、後述のように、吸着対象物４に作用する吸着
力、および静電チャック本体２０の汚染状態を判断し、
これらの判断結果、ならびに測定された電流値または抵
抗値を表示部１２に表示させる。また、制御部６は、吸
着対象物４に作用する吸着力の低下が所定以上になった
と判断した場合、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかけるようになっている。Based on the current value signal and the resistance value signal input from the ammeter 10 and the resistance meter 11, the control section 6 causes the attraction force acting on the attraction object 4 and the electrostatic force, as will be described later. Judge the contamination state of the chuck body 20,
These judgment results and the measured current value or resistance value are displayed on the display unit 12. In addition, when the control unit 6 determines that the attraction force acting on the attraction target 4 has decreased by a predetermined amount or more, the control unit 6 interlocks the entire device including the electrostatic chuck or a main part thereof. There is.
【００２８】上記の構成において、静電チャックの動作
を以下に説明する。The operation of the electrostatic chuck having the above structure will be described below.
【００２９】静電チャックによる吸着対象物４の吸着固
定を行うにあたり、事前に、静電チャック本体２０の表
面にゴミが付着していない状態で、次に示す測定を行
う。先ず、切り替えスイッチ８・９を、ぞれぞれ切り替
え端子８ｂ・９ｂ側に切り替えた状態で、直流電源３を
ＯＮにし、静電チャック本体２０の載置面に吸着対象物
４を載置しない場合と吸着対象物４を載置した場合とに
ついて、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流を電流計１
０でそれぞれ測定する。そして、これらの測定電流値
は、正常値として制御部６の図示しないメモリに格納さ
れることになる。次に、切り替えスイッチ８・９を、ぞ
れぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替え、静電チャ
ック本体２０の載置面に吸着対象物４を載置した状態
で、電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗を抵抗計１１で測定す
る。この測定抵抗値も、正常値として制御部６の図示し
ないメモリに格納されることになる。Before the attraction and fixation of the object 4 to be attracted by the electrostatic chuck, the following measurement is carried out in advance in a state where dust is not attached to the surface of the electrostatic chuck body 20. First, with the changeover switches 8 and 9 switched to the switching terminals 8b and 9b, respectively, the DC power supply 3 is turned on, and the attraction target 4 is not placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20. The leakage current flowing between the electrodes 2a and 2b is measured by the ammeter 1 for the case and the case where the adsorption target 4 is placed.
0 is measured respectively. Then, these measured current values are stored in the memory (not shown) of the control unit 6 as normal values. Next, the changeover switches 8 and 9 are changed over to the switching terminals 8c and 9c side, respectively, and in a state where the attraction target 4 is placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20, between the electrodes 2a and 2b. The electrical resistance is measured by the resistance meter 11. This measured resistance value is also stored in the memory (not shown) of the control unit 6 as a normal value.
【００３０】尚、吸着対象物４が複数ある場合、制御部
６のメモリに、それぞれの吸着対象物４に対する漏れ電
流値および抵抗値の正常値を格納しておき、吸着対象物
４が変われば、それに応じて正常値を切り替えるように
することもできる。When there are a plurality of objects 4 to be adsorbed, the normal value of the leakage current value and the resistance value for each object 4 to be adsorbed is stored in the memory of the controller 6, and if the objects 4 to be adsorbed change. It is also possible to switch the normal value accordingly.
【００３１】静電チャックによる吸着対象物４の吸着固
定は、切り替えスイッチ８・９を、ぞれぞれ切り替え端
子８ｂ・９ｂ側に切り替えた状態で行われる。従来例に
示した通り、直流電源３がＯＮになると、電極２ａ・２
ｂを披包する誘電体１において誘電分極現象が起こり、
基本的に式（１）で表される吸着力Ｆが発生する。この
状態で、静電チャック本体２０の載置面に、導体あるい
は半導体からなる吸着対象物４を載置すれば、吸着対象
物４が静電チャック本体２０の表面に吸着固定されるこ
とになる。The attraction and fixation of the object 4 to be attracted by the electrostatic chuck is performed with the changeover switches 8 and 9 switched to the switching terminals 8b and 9b, respectively. As shown in the conventional example, when the DC power supply 3 is turned on, the electrodes 2a
Dielectric polarization phenomenon occurs in the dielectric body 1 that encloses b,
Basically, the attraction force F expressed by the equation (1) is generated. In this state, when the attraction target 4 made of a conductor or a semiconductor is placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20, the attraction target 4 is attracted and fixed on the surface of the electrostatic chuck body 20. .
【００３２】この場合、上記電流計１０により、電極２
ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流が測定され、この測定値に
対応する電流値信号が、電流計１０より制御部６に出力
される。In this case, the electrode 2
The leak current flowing between a and 2b is measured, and a current value signal corresponding to this measured value is output from the ammeter 10 to the control unit 6.
【００３３】ところで、図３に示すように、静電チャッ
ク本体２０の載置面に吸着対象物４が載置されていない
場合、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流は、二点鎖線
Ａで示されるように、誘電体１の内部のみを通過する。
したがって、この場合の漏れ電流は、電極２ａ・２ｂ間
の距離および誘電体１の有する固有抵抗値に依存する。
一方、静電チャック本体２０の載置面に、導体あるいは
半導体からなる吸着対象物４が載置された場合、電極２
ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流は、点線Ｂで示されるよう
に、誘電体１の内部のみでなく、吸着対象物４の内部を
も通過することになる。したがって、この場合の漏れ電
流は、電極２ａ・２ｂ間の距離、電極２ａ・２ｂから載
置面までの距離、誘電体１の有する固有抵抗値、静電チ
ャック本体２０の載置面に載置される吸着対象物４の有
する固有抵抗値、および静電チャック本体２０と吸着対
象物４との接触面積に依存し、吸着対象物４が載置面に
載置されていない場合よりも大きくなる。By the way, as shown in FIG. 3, when the object to be attracted 4 is not mounted on the mounting surface of the electrostatic chuck body 20, the leakage current flowing between the electrodes 2a and 2b is indicated by a chain double-dashed line line A. As shown, it only passes inside the dielectric 1.
Therefore, the leakage current in this case depends on the distance between the electrodes 2a and 2b and the specific resistance value of the dielectric 1.
On the other hand, when the attraction target 4 made of a conductor or a semiconductor is placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20, the electrode 2
As indicated by the dotted line B, the leakage current flowing between a and 2b passes not only inside the dielectric 1 but also inside the object to be attracted 4. Therefore, the leakage current in this case is determined by the distance between the electrodes 2a and 2b, the distance from the electrodes 2a and 2b to the mounting surface, the specific resistance value of the dielectric 1, and the mounting surface of the electrostatic chuck body 20. Depending on the specific resistance value of the attraction target 4 and the contact area between the electrostatic chuck body 20 and the attraction target 4, the value becomes larger than that when the attraction target 4 is not placed on the placement surface. .
【００３４】尚、吸着対象物４が静電チャック本体２０
の載置面に載置されていない場合と、載置されている場
合とにおける、電流計１０で測定される漏れ電流の違い
を、図４に示している。吸着対象物４が上記載置面に載
置されておらず、直流電源３がＯＦＦの状態から、時刻
ｔ1 において直流電源３をＯＮし、電極２ａ・２ｂ間に
６００Ｖの直流電圧を印加した場合、電流計１０で測定
された漏れ電流値は約１μＡであった。この後、時刻ｔ
2 において上記載置面に吸着対象物４としてシリコンウ
エハを載置したとき、漏れ電流値は約９μＡとなった。
尚、この実験は、静電チャック本体２０の載置面にゴミ
が付着していない状態で行ったものである。The object 4 to be attracted is the electrostatic chuck body 20.
FIG. 4 shows the difference in the leakage current measured by the ammeter 10 between the case where the current is not placed and the case where the current is placed. The adsorption target 4 is not placed on the mounting surface described above, and the DC power supply 3 is turned off, and then the DC power supply 3 is turned on at time t 1 to apply a DC voltage of 600 V between the electrodes 2a and 2b. In this case, the leakage current value measured by the ammeter 10 was about 1 μA. After this, time t
In No. 2 , when a silicon wafer was mounted as the adsorption target 4 on the mounting surface described above, the leakage current value was about 9 μA.
It should be noted that this experiment was performed in a state where dust was not attached to the mounting surface of the electrostatic chuck body 20.
【００３５】上述のように、静電チャック本体２０の載
置面に吸着対象物４が載置されている状態で、上記電流
計１０により測定される漏れ電流は、吸着対象物４が一
定の場合、静電チャック本体２０と吸着対象物４との接
触面積に比例する。As described above, the leakage current measured by the ammeter 10 when the adsorption target 4 is placed on the mounting surface of the electrostatic chuck body 20 is constant when the adsorption target 4 is constant. In this case, it is proportional to the contact area between the electrostatic chuck body 20 and the attraction target 4.
【００３６】また、静電チャック本体２０と吸着対象物
４との接触面積は、吸着対象物４に作用する吸着力にほ
ぼ比例する。即ち、吸着対象物４に作用する吸着力は、
静電チャック本体２０との距離に大きく反比例し、通
常、両者が接触していなければその吸着力は、吸着対象
物４を固定するには到らない程である。The contact area between the electrostatic chuck body 20 and the attraction target 4 is substantially proportional to the attraction force acting on the attraction target 4. That is, the suction force acting on the suction object 4 is
It is largely inversely proportional to the distance to the electrostatic chuck body 20, and normally, unless the two are in contact with each other, the attraction force is not enough to fix the attraction object 4.
【００３７】即ち、上記電流計１０により測定される漏
れ電流と、吸着対象物４に作用する吸着力との間には、
相関関係が存在する。そこで、上記制御部６は、事前に
登録された（メモリに格納された）漏れ電流の正常値
と、電流計１０から入力される漏れ電流値（電流値信
号）とを比較して、吸着対象物４に作用する吸着力の低
下状態を判断する。そして、制御部６は、この判断結果
および漏れ電流値を表示部１２に表示させる。また、制
御部６は、電流計１０から入力される漏れ電流値が、上
記の漏れ電流の正常値に応じて設定された基準値よりも
低くなった場合、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかける。That is, between the leakage current measured by the ammeter 10 and the attraction force acting on the attraction object 4,
There is a correlation. Therefore, the control unit 6 compares the normal value of the leakage current registered in advance (stored in the memory) with the leakage current value (current value signal) input from the ammeter 10 to detect the adsorption target. The state where the suction force acting on the object 4 is lowered is determined. Then, the control unit 6 causes the display unit 12 to display the determination result and the leakage current value. Further, when the leakage current value input from the ammeter 10 becomes lower than the reference value set according to the normal value of the above leakage current, the control unit 6 determines the entire apparatus including the electrostatic chuck. , Or interlock the main part.
【００３８】また、表示部１２に表示される漏れ電流値
から、次のような静電チャックの状態を推定できる。例
えば、上記漏れ電流が０（ゼロ）であった場合、直流電
源３と電極２ａ・２ｂとの間の断線が考えられる。ま
た、上記漏れ電流が、正常値よりも大きい場合も、短絡
等の配線トラブルや、吸着対象物４よりも導電率が高い
ものが誤って静電チャック本体２０に載置されている等
の異常が考えられる。また、静電チャック本体２０の表
面にゴミが付着している場合、その載置面と吸着対象物
４との間に隙間が生じ、両者間の接触面積が減少するた
め、吸着対象物４に作用する吸着力の低下が起きる。こ
の吸着力の低下は、上記電流計１０により測定される漏
れ電流値の減少として現れるので、この漏れ電流値は、
静電チャック本体２０の汚染状態の指標になる。The following electrostatic chuck state can be estimated from the leakage current value displayed on the display unit 12. For example, when the leakage current is 0 (zero), disconnection between the DC power supply 3 and the electrodes 2a and 2b is considered. Even when the leakage current is larger than the normal value, a wiring trouble such as a short circuit or an abnormality such that a substance having a higher conductivity than the object to be attracted 4 is erroneously placed on the electrostatic chuck body 20. Can be considered. In addition, when dust adheres to the surface of the electrostatic chuck body 20, a gap is created between the mounting surface and the object to be attracted 4, and the contact area between the two is reduced, so that the object to be attracted 4 is absorbed. A decrease in the acting adsorption force occurs. This decrease in the adsorption force appears as a decrease in the leakage current value measured by the ammeter 10, and thus the leakage current value is
It serves as an index of the contamination state of the electrostatic chuck body 20.
【００３９】尚、直流電源３の電源がＯＮの状態で、静
電チャック本体２０に吸着対象物４が載置されていなく
ても、電流計１０により測定される漏れ電流値により、
静電チャックの異常を検出できる。即ち、静電チャック
本体２０の載置面に吸着対象物４を載置しない状態で、
事前に測定されて制御部６のメモリに格納された漏れ電
流の正常値と、電流計１０で測定される漏れ電流値との
差が大きければ、断線や短絡等の配線トラブルが考えら
れる。そこで、制御部６は、静電チャック本体２０の載
置面上に吸着対象物４が存在しない状態の漏れ電流の正
常値と、電流計１０で測定される漏れ電流値とを比較
し、両者の差が所定以上であれば、静電チャックが異常
であると判断し、表示部１２に静電チャックの異常を表
示させると共に、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかける。Even if the object to be attracted 4 is not placed on the electrostatic chuck body 20 while the power source of the DC power source 3 is ON, the leakage current value measured by the ammeter 10
It is possible to detect the abnormality of the electrostatic chuck. That is, in a state where the adsorption target object 4 is not mounted on the mounting surface of the electrostatic chuck body 20,
If the difference between the normal value of the leakage current measured in advance and stored in the memory of the control unit 6 and the leakage current value measured by the ammeter 10 is large, wiring trouble such as disconnection or short circuit may be considered. Therefore, the control unit 6 compares the normal value of the leakage current in a state where the adsorption target 4 does not exist on the mounting surface of the electrostatic chuck body 20 with the leakage current value measured by the ammeter 10, and If the difference is greater than or equal to a predetermined value, it is determined that the electrostatic chuck is abnormal, the abnormality of the electrostatic chuck is displayed on the display unit 12, and the entire device including the electrostatic chuck or an essential part is interlocked. multiply.
【００４０】また、上記静電チャックは、直流電源３が
ＯＦＦの状態のとき、次のようにして、静電チャック本
体２０の表面の汚染状態を知ることができる。In the electrostatic chuck, when the DC power supply 3 is off, the contamination state of the surface of the electrostatic chuck body 20 can be known as follows.
【００４１】即ち、制御部６は、直流電源３がＯＦＦの
状態で、且つ、静電チャック本体２０の載置面に吸着対
象物４が載置されているとき、切り替えスイッチ８・９
を、ぞれぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替える。
これにより、抵抗計１１により、電極２ａ・２ｂ間の電
気抵抗が測定されれ、この測定値に対応する抵抗値信号
が、抵抗計１１より制御部６に出力される。That is, the control unit 6 switches the DC power supply 3 to OFF and the changeover switches 8 and 9 when the attraction target 4 is placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20.
To the switching terminals 8c and 9c, respectively.
As a result, the resistance meter 11 measures the electrical resistance between the electrodes 2a and 2b, and a resistance value signal corresponding to the measured value is output from the resistance meter 11 to the control unit 6.
【００４２】この抵抗計１１により測定される電気抵抗
値は、静電チャック本体２０の汚染状態の指標になる。
即ち、静電チャック本体２０の表面にゴミが付着してい
る場合、その載置面と吸着対象物４との間に隙間が生
じ、両者間の接触面積が減少するため、抵抗計１１によ
り測定される電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗が、ゴミが付
着していないときよりも大きくなる。The electric resistance value measured by the resistance meter 11 is an index of the contamination state of the electrostatic chuck body 20.
That is, when dust adheres to the surface of the electrostatic chuck body 20, a gap is created between the mounting surface and the object to be attracted 4, and the contact area between the two is reduced. The electric resistance between the electrodes 2a and 2b is larger than that when no dust is attached.
【００４３】そこで、上記制御部６は、事前に登録され
た（メモリに格納された）電気抵抗の正常値と、抵抗計
１１から入力される電気抵抗値（抵抗値信号）とを比較
して、静電チャック本体２０の表面の汚染状態を判断す
る。そして、制御部６は、この判断結果および抵抗計１
１で測定された電気抵抗値を表示部１２に表示させる。
また、制御部６は、抵抗計１１から入力される電気抵抗
値が、上記の電気抵抗値の正常値に応じて設定された基
準値よりも高くなった場合、静電チャックを備えた装置
の全体、または要部にインターロックをかける。Therefore, the control unit 6 compares the normal value of the electric resistance registered in advance (stored in the memory) with the electric resistance value (resistance value signal) input from the resistance meter 11. , Determine the contamination state of the surface of the electrostatic chuck body 20. Then, the control unit 6 determines this determination result and the resistance meter 1
The electric resistance value measured in 1 is displayed on the display unit 12.
Further, when the electric resistance value input from the resistance meter 11 becomes higher than the reference value set according to the normal value of the electric resistance value, the control unit 6 controls the device including the electrostatic chuck. Apply an interlock to the whole or the main part.
【００４４】尚、直流電源３がＯＮからＯＦＦに切り替
えられた直後においては、誘電体１が誘電分極状態から
もとの状態に戻るまでに時間がかかるため、その間、吸
着対象物４には残留吸着力が作用する。このため、残留
吸着力が存在している間は、電気抵抗値の正常値よりも
抵抗計１１で測定される電気抵抗値の方が小さくなるこ
ともあるが、残留吸着力の低下と共に、電気抵抗値の測
定値も徐々に大きくなり、残留吸着力がなくなれば、電
気抵抗値の測定値も略一定になる。そこで、制御部６
は、抵抗計１１から入力される電気抵抗値が略一定にな
ったときに、上述の静電チャック本体２０の表面の汚染
状態を判断するようになっている。Immediately after the DC power supply 3 is switched from ON to OFF, it takes time for the dielectric 1 to return from the dielectric polarization state to the original state, and during that time, it remains on the adsorption target 4. Adsorption force acts. Therefore, while the residual suction force is present, the electric resistance value measured by the resistance meter 11 may be smaller than the normal value of the electric resistance value. The measured resistance value also gradually increases, and when the residual suction force disappears, the measured electric resistance value becomes substantially constant. Therefore, the control unit 6
Is adapted to judge the contamination state of the surface of the electrostatic chuck body 20 when the electric resistance value inputted from the resistance meter 11 becomes substantially constant.
【００４５】ところで、直流電源３がＯＦＦの状態で、
且つ、静電チャック本体２０の載置面に吸着対象物４が
載置されていない場合、静電チャック本体２０の汚染状
態に関わらず、抵抗計１１で測定される電気抵抗値は、
ほぼ、誘電体１の有する固有抵抗値となる。したがっ
て、制御部６は、抵抗計１１から入力される電気抵抗値
から、静電チャック本体２０の載置面上の吸着対象物４
の有無を、容易に判断できる。By the way, when the DC power supply 3 is OFF,
Moreover, when the adsorption target 4 is not placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20, the electrical resistance value measured by the resistance meter 11 is irrespective of the contamination state of the electrostatic chuck body 20.
It is almost the resistivity value of the dielectric 1. Therefore, the control unit 6 determines the attraction target 4 on the mounting surface of the electrostatic chuck body 20 based on the electric resistance value input from the resistance meter 11.
The presence or absence of can be easily determined.
【００４６】以上のように、本実施例の静電チャック
は、誘電体１の内部に所定距離をおいて２枚の電極２ａ
・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０と、上記
の２枚の電極２ａ・２ｂ間に所定の直流電圧を印加する
直流電源３とを備えた一般的な静電チャックに、さら
に、上記２枚の電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流を検
出する電流計１０を、電極２ａと直流電源３との接続ラ
イン間に設けた構成である。尚、上記電流計１０は、電
極２ｂと直流電源３との接続ライン間に設けてもよい。
これにより、静電チャック本体２０の吸着能力の低下の
有無を、動作中においても簡単に検出することができ
る。As described above, in the electrostatic chuck of this embodiment, the two electrodes 2a are placed inside the dielectric 1 with a predetermined distance.
A general electrostatic chuck provided with an electrostatic chuck body 20 in which 2b is embedded, and a DC power source 3 for applying a predetermined DC voltage between the two electrodes 2a and 2b described above. An ammeter 10 for detecting a leak current flowing between the two electrodes 2a and 2b is provided between the connection line between the electrode 2a and the DC power supply 3. The ammeter 10 may be provided between the connection line between the electrode 2b and the DC power supply 3.
Accordingly, it is possible to easily detect whether or not the suction capacity of the electrostatic chuck body 20 is deteriorated even during operation.
【００４７】また、上記電流計１０の測定値は、制御部
６に出力され、この測定値を受け取った制御部６は、静
電チャック本体２０の吸着能力の低下が大きいと判断し
たとき、表示部１２に静電チャックの異常を表示させる
と共に、静電チャックを備えた装置の全体、または要部
にインターロックをかけるようになっているので、静電
チャック本体２０の吸着能力の低下に起因する吸着対象
物の脱落等の事故を未然に防止することができる。Further, the measurement value of the ammeter 10 is output to the control section 6, and the control section 6 receiving this measurement value displays it when it judges that the electrostatic chuck main body 20 has a large decrease in the suction capability. Since the abnormality of the electrostatic chuck is displayed on the part 12 and the entire device or the main part of the device equipped with the electrostatic chuck is interlocked, the electrostatic chuck body 20 is deteriorated in suction ability. It is possible to prevent accidents such as falling off of the adsorption target.
【００４８】さらに、本実施例の静電チャックは、上記
２枚の電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗を検出する抵抗計１
１を備えているので、静電チャック本体２０の載置面に
導体または半導体からなる吸着対象物４が載置されてい
れば、直流電源３がＯＦＦの状態のときにも、抵抗計１
１の検出する電気抵抗から、静電チャック本体２０の表
面の汚染状態を知ることができる。Further, the electrostatic chuck of the present embodiment has the resistance meter 1 for detecting the electric resistance between the two electrodes 2a and 2b.
1 is provided, the resistance meter 1 is provided even when the DC power supply 3 is in the OFF state as long as the attraction target 4 made of a conductor or semiconductor is placed on the placement surface of the electrostatic chuck body 20.
From the electric resistance detected by No. 1, the state of contamination of the surface of the electrostatic chuck body 20 can be known.
【００４９】また、上記抵抗計１１の測定値は、制御部
６に出力され、この測定値を受け取った制御部６は、静
電チャック本体２０の表面の汚染がひどいと判断したと
き、表示部１２に静電チャック本体２０の点検を指示す
る表示（静電チャックの異常表示）を行わせると共に、
静電チャックを備えた装置の全体、または要部にインタ
ーロックをかけるようになっているので、静電チャック
本体２０の汚染による静電チャックの吸着能力の低下に
起因する吸着対象物４の脱落事故を未然に防ぐことがで
きる。Further, the measured value of the resistance meter 11 is output to the control section 6, and the control section 6 receiving this measured value, when it judges that the surface of the electrostatic chuck main body 20 is contaminated, the display section. 12 causes the display to instruct inspection of the electrostatic chuck body 20 (display of abnormality of electrostatic chuck), and
Since the whole or a main part of the apparatus provided with the electrostatic chuck is interlocked, the attraction target 4 is dropped due to the reduction of the attraction capability of the electrostatic chuck due to the contamination of the electrostatic chuck body 20. Accidents can be prevented.
【００５０】上記のように、本実施例では、制御部６に
より、動作中、非動作中に関わらず、静電チャック本体
２０の吸着能力（汚染度）、配線トラブル等の異常の有
無が監視され、静電チャックの保守・監視が自動化され
ている。このため、従来のように、定期的に、静電チャ
ックの表面の汚染状態をしらべたり、静電チャックの吸
着力を測定するといった点検作業者の労力を省くことが
でき、より確実な保守がなされる。特に、直接手出しが
できない場所（例えば、真空中）で使用される静電チャ
ックに対しては、非常にその効果が高い。As described above, in the present embodiment, the control unit 6 monitors whether the electrostatic chuck body 20 has an adsorption ability (contamination degree), whether there is an abnormality such as a wiring trouble, whether it is in operation or not. The maintenance and monitoring of the electrostatic chuck are automated. For this reason, it is possible to save the inspection worker's labor such as periodically inspecting the state of contamination on the surface of the electrostatic chuck and measuring the suction force of the electrostatic chuck as in the conventional case, and more reliable maintenance can be performed. Done. In particular, the effect is extremely high for an electrostatic chuck used in a place where it cannot be directly handed out (for example, in a vacuum).
【００５１】尚、上記の実施例は、あくまでも、本発明
の技術内容を明らかにするものであって、そのような具
体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではな
く、本発明の精神と特許請求の範囲内で、いろいろと変
更して実施することができるものである。It should be noted that the above-described embodiments are merely for clarifying the technical contents of the present invention, and should not be construed in a narrow sense by limiting only to such specific examples. It can be implemented with various modifications within the spirit and scope of the claims.
【００５２】[0052]
【発明の効果】請求項１の発明の静電チャックは、以上
のように、静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏
れ電流を検出する電流検出手段を備えている構成であ
る。As described above, the electrostatic chuck according to the first aspect of the present invention is configured to include the current detecting means for detecting the leakage current flowing between the two electrodes of the electrostatic chuck body.
【００５３】それゆえ、上記電流検出手段の検出する漏
れ電流より、静電チャック本体の吸着能力の低下の有無
を、動作中においても簡単に検出することができるの
で、従来の保守・点検に必要であった労力を省くことが
でき、より確実な保守が可能であるため、静電チャック
の吸着能力の低下に起因する吸着対象物の脱落事故を未
然に防ぐことができるという効果を奏する。Therefore, from the leakage current detected by the current detecting means, it is possible to easily detect whether or not the attraction capacity of the electrostatic chuck body is deteriorated even during operation, which is necessary for conventional maintenance and inspection. Since it is possible to save the labor and more reliable maintenance, it is possible to prevent the accidental fall of the attraction target due to the reduction in the attraction capability of the electrostatic chuck.
【００５４】また、請求項２の発明の静電チャックは、
以上のように、静電チャック本体の２枚の電極間の電気
抵抗を検出する抵抗検出手段を備えている構成である。The electrostatic chuck of the invention of claim 2 is
As described above, the resistance detecting means for detecting the electric resistance between the two electrodes of the electrostatic chuck body is provided.
【００５５】それゆえ、静電チャック本体の載置面に導
体または半導体からなる吸着対象物が載置されていれ
ば、直流電圧印加手段の印加電圧がゼロのとき、抵抗検
出手段の検出する電気抵抗から、静電チャック本体の表
面の汚染状態を知ることができる。したがって、従来の
保守・点検に必要であった労力を省くことができ、より
確実な保守が可能であるため、静電チャック本体の汚染
による静電チャックの吸着能力の低下に起因する吸着対
象物の脱落事故を未然に防ぐことができるという効果を
奏する。Therefore, if an object to be attracted made of a conductor or a semiconductor is placed on the placing surface of the electrostatic chuck body, when the applied voltage of the DC voltage applying means is zero, the electric current detected by the resistance detecting means is detected. From the resistance, the contamination state of the surface of the electrostatic chuck body can be known. Therefore, the labor required for the conventional maintenance / inspection can be omitted, and more reliable maintenance can be performed, so that the adsorption target due to the deterioration of the adsorption capacity of the electrostatic chuck due to the contamination of the electrostatic chuck body. This has the effect of preventing accidental dropouts.
【図１】本発明の一実施例を示すものであり、静電チャ
ックの要部の構成を示す説明図である。FIG. 1 shows an embodiment of the present invention and is an explanatory diagram showing a configuration of a main part of an electrostatic chuck.
【図２】静電チャックの動作を説明するための説明図で
ある。FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining the operation of the electrostatic chuck.
【図３】静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏れ
電流の経路を説明するための説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining a path of a leakage current flowing between two electrodes of the electrostatic chuck body.
【図４】吸着対象物が静電チャック本体の載置面に載置
されていない場合と、載置されている場合とにおける、
静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏れ電流の違
いを説明するための説明図である。FIG. 4 shows a case where an object to be attracted is not placed on the placement surface of the electrostatic chuck body and a case where it is placed.
It is an explanatory view for explaining the difference of the leak current which flows between two electrodes of an electrostatic chuck body.
【図５】従来例を示すものであり、静電チャックの要部
の構成を示す説明図である。FIG. 5 illustrates a conventional example and is an explanatory diagram illustrating a configuration of a main part of an electrostatic chuck.
１ 誘電体 ２ａ 電極 ２ｂ 電極 ３ 直流電源（直流電圧印加手段） ４ 吸着対象物 ６ 制御部 ７ 回路切り替え部 ８ 切り替えスイッチ ９ 切り替えスイッチ １０ 電流計（電流検出手段） １１ 抵抗計（抵抗検出手段） １２ 表示部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Dielectric 2a Electrode 2b Electrode 3 DC power supply (DC voltage applying means) 4 Adsorption target 6 Control part 7 Circuit switching part 8 Changeover switch 9 Changeover switch 10 Ammeter (current detecting means) 11 Resistance meter (resistance detecting means) 12 Display
Claims (2)
が埋設されてなる静電チャック本体と、上記の２枚の電
極間に所定の直流電圧を印加する直流電圧印加手段とを
備え、導体または半導体からなる吸着対象物を静電気力
によって上記静電チャック本体の表面に吸着する静電チ
ャックにおいて、 上記２枚の電極間に流れる漏れ電流を検出する電流検出
手段を備えていることを特徴とする静電チャック。1. An electrostatic chuck body having two electrodes embedded in a dielectric material at a predetermined distance, and a DC voltage applying means for applying a predetermined DC voltage between the two electrodes. An electrostatic chuck that attracts an object to be attracted, which is made of a conductor or a semiconductor, to the surface of the electrostatic chuck body by an electrostatic force, and includes current detection means for detecting a leak current flowing between the two electrodes. Electrostatic chuck.
置する載置面を有し、誘電体内部に所定距離をおいて２
枚の電極が埋設されてなる静電チャック本体と、上記の
２枚の電極間に所定の直流電圧を印加する直流電圧印加
手段とを備え、上記載置面に載置された吸着対象物を静
電気力によって吸着する静電チャックにおいて、 上記２枚の電極間の電気抵抗を検出する抵抗検出手段を
備えていることを特徴とする静電チャック。2. A mounting surface on which an object to be attracted, which is made of a conductor or a semiconductor, is mounted, and a predetermined distance is provided inside the dielectric body.
An electrostatic chuck main body having a sheet of electrodes embedded therein, and a DC voltage applying means for applying a predetermined DC voltage between the two electrodes are provided. An electrostatic chuck that attracts by an electrostatic force, comprising resistance detection means for detecting the electrical resistance between the two electrodes.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP57293A JP2973758B2 (en) | 1993-01-06 | 1993-01-06 | Electrostatic chuck |
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