JPH06198532A

JPH06198532A - 静電チャック

Info

Publication number: JPH06198532A
Application number: JP57293A
Authority: JP
Inventors: Yoshitaka Tanaka; 義啓田中
Original assignee: Nissin Electric Co Ltd
Current assignee: Nissin Electric Co Ltd
Priority date: 1993-01-06
Filing date: 1993-01-06
Publication date: 1994-07-19
Anticipated expiration: 2014-11-08
Also published as: JP2973758B2

Abstract

(57)【要約】【構成】静電チャックは、誘電体１の内部に２枚の電
極２ａ・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０
と、電極２ａ・２ｂ間に直流電圧を印加する直流電源３
とを有し、静電気力により吸着対象物４を吸着固定す
る。この静電チャックは、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏
れ電流を検出する電流計１０と、電極２ａ・２ｂ間の電
気抵抗を検出する抵抗計１１とを備えている。【効果】電流計１０の検出する漏れ電流より、静電チ
ャック本体２０の吸着能力の低下の有無を、動作中にお
いても簡単に検出できる。吸着対象物４が静電チャック
本体２０上に載置されていれば、直流電源３がＯＦＦの
ときでも、抵抗計１１の検出する電気抵抗から、静電チ
ャック本体２０の表面の汚染状態を知ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導体あるいは半導体か
らなる吸着対象物を静電気力により吸着固定する静電チ
ャックに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、吸着対象物を静電気力により吸着
固定する静電チャックが、様々な分野で利用されるよう
になっている。例えば、静電チャックは、プロッタにお
ける用紙の固定に用いられたり、エッチング装置等の半
導体製造装置におけるシリコンウエハ等の固定に用いら
れている。

【０００３】上記静電チャックは、基本的には、図２に
示すように、誘電体５１の内部に２枚の金属電極５２ａ
・５２ｂが組み込まれると共に、両電極５２ａ・５２ｂ
間に、電源５３より直流電圧が印加されるような構成と
なっている。

【０００４】上記構成の静電チャックでは、電極５２ａ
・５２ｂを披包する誘電体５１において誘電分極現象が
起こり、これにより吸着対象物５４との間で静電気力が
生じ、吸着対象物５４が静電チャック表面に吸着され
る。静電チャックの吸着力Ｆ（Ｎ）は、このような誘電
分極現象により現れる分極電荷の量によって定まり、基
本的には、次式（１）によって表される。

【０００５】Ｆ＝（Ｓ／２）・ε・（Ｖ／ｄ）² ・・・（１）但し、上式（１）中のεは、 ε＝ε₀・ε_r である。ここで、Ｓは両電極５２ａ・５２ｂの面積（ｍ
²）、ε₀は真空の誘電率（8.８５×１０^-12Ｃ²Ｎ^-1
ｍ^-2）、ε_rは誘電体５１の比誘電率、Ｖは電源５３の
印加電圧（Ｖ）、ｄは誘電体５１における表面の厚さ、
即ち、電極５２ａ・５２ｂから載置面までの距離（ｍ）
である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な静電チャックにおいて、その表面にゴミが付着した場
合、静電チャックと吸着対象物との間に隙間が生じ、両
者間の接触面積が減少するため、静電チャックの吸着能
力（吸着対象物に作用する吸着力）の低下が起きること
になる。また、断線等その他の要因による吸着力Ｆの低
下が生じた場合にも、静電チャックの吸着能力の低下が
起きることになる。このように、静電チャックの吸着能
力の低下が起きれば、吸着対象物の脱落等の事故を招来
する。

【０００７】そこで、静電チャックの吸着能力の低下に
起因する吸着対象物の脱落等の事故を未然に防止するた
め、静電チャックの保守・点検、動作中の監視が重要に
なってくる。

【０００８】従来では、図５に示すように、電源５３に
ＯＮ／ＯＦＦ状態を表示するモニタランプ５５を設ける
ことにより、電源５３の動作状態を確認することができ
るようにしているものの、静電チャックの吸着能力の低
下の有無を判断するためには、点検作業者が、静電チャ
ックの表面の汚染状態をしらべたり、静電チャックの吸
着力を測定しなければならず、静電チャックの保守・点
検作業に非常に手間がかかるという問題点を有してい
る。さらに、従来では、静電チャックの動作中において
は、吸着能力の低下の有無を確認することができないた
め、静電チャックの吸着能力の低下に起因する吸着対象
物の脱落等の事故を未然に防止することは困難である。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る静
電チャックは、上記の課題を解決するために、誘電体内
部に所定距離をおいて２枚の電極が埋設されてなる静電
チャック本体と、上記の２枚の電極間に所定の直流電圧
を印加する直流電圧印加手段とを備え、導体または半導
体からなる吸着対象物を静電気力によって上記静電チャ
ック本体の表面に吸着するものであって、以下の手段を
講じたことを特徴としている。

【００１０】即ち、上記静電チャックは、上記２枚の電
極間に流れる漏れ電流を検出する電流検出手段を備えて
いる。

【００１１】また、請求項２の発明に係る静電チャック
は、上記の課題を解決するために、導体または半導体か
らなる吸着対象物を載置する載置面を有し、誘電体内部
に所定距離をおいて２枚の電極が埋設されてなる静電チ
ャック本体と、上記の２枚の電極間に所定の直流電圧を
印加する直流電圧印加手段とを備え、上記載置面に載置
された吸着対象物を静電気力によって吸着するものであ
って、以下の手段を講じたことを特徴としている。

【００１２】即ち、上記静電チャックは、上記２枚の電
極間の電気抵抗を検出する抵抗検出手段を備えている。

【００１３】

【作用】上記請求項１および請求項２の構成によれば、
直流電圧印加手段により２枚の電極間に直流電圧が印加
されると、これらの電極を披包する誘電体において誘電
分極現象が起こり、導体または半導体からなる吸着対象
物が、静電気力によって上記静電チャック本体の表面
（請求項２では載置面）に吸着固定されることになる。

【００１４】このとき、請求項１の構成では、電流検出
手段により、上記静電チャック本体における２枚の電極
間に流れる漏れ電流が検出されるようになっている。上
記の漏れ電流は、吸着対象物が一定の場合、静電チャッ
ク本体と吸着対象物との接触面積に比例する。また、静
電チャック本体と吸着対象物との接触面積は、吸着対象
物に作用する吸着力にほぼ比例する。即ち、吸着対象物
に作用する吸着力は、静電チャック本体との距離に大き
く反比例し、通常、両者が接触していなければその吸着
力は、吸着対象物を固定するには到らない程である。こ
のように、上記の漏れ電流と、吸着対象物に作用する吸
着力との間には、相関関係が存在する。

【００１５】したがって、上記請求項１の構成では、上
記電流検出手段の検出結果より、静電チャック本体の吸
着能力の低下の有無を、動作中においても簡単に検出す
ることができる。

【００１６】また、上記請求項２の構成によれば、直流
電圧印加手段の印加電圧がゼロの状態のとき、抵抗検出
手段により、上記の２枚の電極間の電気抵抗を検出する
ことができる。上記静電チャック本体の載置面に導体ま
たは半導体からなる吸着対象物が載置されている場合、
静電チャック本体の表面にゴミが付着していれば、その
載置面と吸着対象物との間に隙間が生じ、両者間の接触
面積が減少するため、上記抵抗検出手段により検出され
る２枚の電極間の電気抵抗が、ゴミが付着していないと
きよりも大きくなる。即ち、抵抗検出手段により測定さ
れる電気抵抗値は、静電チャック本体の汚染状態の指標
になる。

【００１７】したがって、上記請求項２の構成では、静
電チャック本体の載置面に導体または半導体からなる吸
着対象物が載置されていれば、直流電圧印加手段の印加
電圧がゼロのときでも、抵抗検出手段の検出する電気抵
抗から、静電チャック本体の表面の汚染状態を知ること
ができる。

【００１８】

【実施例】本発明の一実施例について図１ないし図４に
基づいて説明すれば、以下の通りである。

【００１９】本実施例に係る静電チャックは、図１およ
び図２に示すように、誘電体１の内部に２枚の金属電極
２ａ・２ｂが組み込まれてなる静電チャック本体２０を
備えている。

【００２０】上記誘電体１としては、例えば、アルミナ
（Ａｌ₂Ｏ₃）、炭化ケイ素（ＳｉＣ）、およびチタン
酸カルシウム（ＣａＴｉＯ₃）等のセラミック材料を使
用することができる。尚、本実施例では、炭化ケイ素か
らなる誘電体１を使用している。

【００２１】また、上記静電チャックは、上記静電チャ
ック本体２０の両電極２ａ・２ｂ間に、所定の直流電圧
を印加する直流電源（直流電圧印加手段）３を備えてい
る。図１に示すように、上記直流電源３には交流電源５
が接続されており、この直流電源３は、交流電力を直流
電力に変換する整流器、および所定の直流電圧を得るた
めの変圧器からなる。また、上記直流電源３は、マイク
ロコンピュータ等からなる制御部６の入力端子に接続さ
れており、電源のＯＮ／ＯＦＦ状態を示す電源ＯＮ／Ｏ
ＦＦ信号を制御部６に出力するようになっている。

【００２２】また、上記直流電源３と電極２ａ・２ｂと
の間の接続ラインには、上記制御部６によりその動作が
制御される回路切り替え部７が設けられている。この回
路切り替え部７は、直流電源３のプラス極端子と電極２
ａとの接続ライン間に設けられた切り替えスイッチ８
と、直流電源３のマイナス極端子と電極２ｂとの接続ラ
イン間に設けられた切り替えスイッチ９とを有してお
り、両切り替えスイッチ８・９は、連動して切り替えら
れる。

【００２３】上記切り替えスイッチ８のコモン端子８ａ
は、電極２ａに接続されると共に、その一方の切り替え
端子８ｂは、電流計（電流検出手段）１０を介して直流
電源３のプラス極端子と接続され、他方の切り替え端子
８ｃは、抵抗計（抵抗検出手段）１１の一方の測定端子
に接続されている。

【００２４】また、上記切り替えスイッチ９のコモン端
子９ａは、電極２ｂに接続されると共に、その一方の切
り替え端子９ｂは、直流電源３のマイナス極端子と接続
され、他方の切り替え端子９ｃは、抵抗計１１の他方の
測定端子に接続されている。

【００２５】即ち、切り替えスイッチ８・９が、ぞれぞ
れ切り替え端子８ｂ・９ｂ側に切り替えられている状態
では、上記電流計１０により、直流電源３がＯＮのとき
に電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流（正確には、直流
電源３、切り替えスイッチ８、電極２ａ・２ｂ、誘電体
１および切り替えスイッチ９から成る回路に流れる電
流）が検出される。一方、切り替えスイッチ８・９が、
ぞれぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替えられてい
る状態では、上記抵抗計１１により、電極２ａ・２ｂ間
の電気抵抗が検出される。

【００２６】上記電流計１０および抵抗計１１は、それ
ぞれ上記制御部６の入力端子に接続されており、電流計
１０からは電流値信号が、抵抗計１１からは抵抗値信号
が制御部６に出力されるようになっている。

【００２７】上記制御部６は、上記電流計１０および抵
抗計１１から入力される電流値信号および抵抗値信号に
基づいて、後述のように、吸着対象物４に作用する吸着
力、および静電チャック本体２０の汚染状態を判断し、
これらの判断結果、ならびに測定された電流値または抵
抗値を表示部１２に表示させる。また、制御部６は、吸
着対象物４に作用する吸着力の低下が所定以上になった
と判断した場合、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかけるようになっている。

【００２８】上記の構成において、静電チャックの動作
を以下に説明する。

【００２９】静電チャックによる吸着対象物４の吸着固
定を行うにあたり、事前に、静電チャック本体２０の表
面にゴミが付着していない状態で、次に示す測定を行
う。先ず、切り替えスイッチ８・９を、ぞれぞれ切り替
え端子８ｂ・９ｂ側に切り替えた状態で、直流電源３を
ＯＮにし、静電チャック本体２０の載置面に吸着対象物
４を載置しない場合と吸着対象物４を載置した場合とに
ついて、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流を電流計１
０でそれぞれ測定する。そして、これらの測定電流値
は、正常値として制御部６の図示しないメモリに格納さ
れることになる。次に、切り替えスイッチ８・９を、ぞ
れぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替え、静電チャ
ック本体２０の載置面に吸着対象物４を載置した状態
で、電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗を抵抗計１１で測定す
る。この測定抵抗値も、正常値として制御部６の図示し
ないメモリに格納されることになる。

【００３０】尚、吸着対象物４が複数ある場合、制御部
６のメモリに、それぞれの吸着対象物４に対する漏れ電
流値および抵抗値の正常値を格納しておき、吸着対象物
４が変われば、それに応じて正常値を切り替えるように
することもできる。

【００３１】静電チャックによる吸着対象物４の吸着固
定は、切り替えスイッチ８・９を、ぞれぞれ切り替え端
子８ｂ・９ｂ側に切り替えた状態で行われる。従来例に
示した通り、直流電源３がＯＮになると、電極２ａ・２
ｂを披包する誘電体１において誘電分極現象が起こり、
基本的に式（１）で表される吸着力Ｆが発生する。この
状態で、静電チャック本体２０の載置面に、導体あるい
は半導体からなる吸着対象物４を載置すれば、吸着対象
物４が静電チャック本体２０の表面に吸着固定されるこ
とになる。

【００３２】この場合、上記電流計１０により、電極２
ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流が測定され、この測定値に
対応する電流値信号が、電流計１０より制御部６に出力
される。

【００３３】ところで、図３に示すように、静電チャッ
ク本体２０の載置面に吸着対象物４が載置されていない
場合、電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流は、二点鎖線
Ａで示されるように、誘電体１の内部のみを通過する。
したがって、この場合の漏れ電流は、電極２ａ・２ｂ間
の距離および誘電体１の有する固有抵抗値に依存する。
一方、静電チャック本体２０の載置面に、導体あるいは
半導体からなる吸着対象物４が載置された場合、電極２
ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流は、点線Ｂで示されるよう
に、誘電体１の内部のみでなく、吸着対象物４の内部を
も通過することになる。したがって、この場合の漏れ電
流は、電極２ａ・２ｂ間の距離、電極２ａ・２ｂから載
置面までの距離、誘電体１の有する固有抵抗値、静電チ
ャック本体２０の載置面に載置される吸着対象物４の有
する固有抵抗値、および静電チャック本体２０と吸着対
象物４との接触面積に依存し、吸着対象物４が載置面に
載置されていない場合よりも大きくなる。

【００３４】尚、吸着対象物４が静電チャック本体２０
の載置面に載置されていない場合と、載置されている場
合とにおける、電流計１０で測定される漏れ電流の違い
を、図４に示している。吸着対象物４が上記載置面に載
置されておらず、直流電源３がＯＦＦの状態から、時刻
ｔ₁において直流電源３をＯＮし、電極２ａ・２ｂ間に
６００Ｖの直流電圧を印加した場合、電流計１０で測定
された漏れ電流値は約１μＡであった。この後、時刻ｔ
₂において上記載置面に吸着対象物４としてシリコンウ
エハを載置したとき、漏れ電流値は約９μＡとなった。
尚、この実験は、静電チャック本体２０の載置面にゴミ
が付着していない状態で行ったものである。

【００３５】上述のように、静電チャック本体２０の載
置面に吸着対象物４が載置されている状態で、上記電流
計１０により測定される漏れ電流は、吸着対象物４が一
定の場合、静電チャック本体２０と吸着対象物４との接
触面積に比例する。

【００３６】また、静電チャック本体２０と吸着対象物
４との接触面積は、吸着対象物４に作用する吸着力にほ
ぼ比例する。即ち、吸着対象物４に作用する吸着力は、
静電チャック本体２０との距離に大きく反比例し、通
常、両者が接触していなければその吸着力は、吸着対象
物４を固定するには到らない程である。

【００３７】即ち、上記電流計１０により測定される漏
れ電流と、吸着対象物４に作用する吸着力との間には、
相関関係が存在する。そこで、上記制御部６は、事前に
登録された（メモリに格納された）漏れ電流の正常値
と、電流計１０から入力される漏れ電流値（電流値信
号）とを比較して、吸着対象物４に作用する吸着力の低
下状態を判断する。そして、制御部６は、この判断結果
および漏れ電流値を表示部１２に表示させる。また、制
御部６は、電流計１０から入力される漏れ電流値が、上
記の漏れ電流の正常値に応じて設定された基準値よりも
低くなった場合、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかける。

【００３８】また、表示部１２に表示される漏れ電流値
から、次のような静電チャックの状態を推定できる。例
えば、上記漏れ電流が０（ゼロ）であった場合、直流電
源３と電極２ａ・２ｂとの間の断線が考えられる。ま
た、上記漏れ電流が、正常値よりも大きい場合も、短絡
等の配線トラブルや、吸着対象物４よりも導電率が高い
ものが誤って静電チャック本体２０に載置されている等
の異常が考えられる。また、静電チャック本体２０の表
面にゴミが付着している場合、その載置面と吸着対象物
４との間に隙間が生じ、両者間の接触面積が減少するた
め、吸着対象物４に作用する吸着力の低下が起きる。こ
の吸着力の低下は、上記電流計１０により測定される漏
れ電流値の減少として現れるので、この漏れ電流値は、
静電チャック本体２０の汚染状態の指標になる。

【００３９】尚、直流電源３の電源がＯＮの状態で、静
電チャック本体２０に吸着対象物４が載置されていなく
ても、電流計１０により測定される漏れ電流値により、
静電チャックの異常を検出できる。即ち、静電チャック
本体２０の載置面に吸着対象物４を載置しない状態で、
事前に測定されて制御部６のメモリに格納された漏れ電
流の正常値と、電流計１０で測定される漏れ電流値との
差が大きければ、断線や短絡等の配線トラブルが考えら
れる。そこで、制御部６は、静電チャック本体２０の載
置面上に吸着対象物４が存在しない状態の漏れ電流の正
常値と、電流計１０で測定される漏れ電流値とを比較
し、両者の差が所定以上であれば、静電チャックが異常
であると判断し、表示部１２に静電チャックの異常を表
示させると共に、静電チャックを備えた装置の全体、ま
たは要部にインターロックをかける。

【００４０】また、上記静電チャックは、直流電源３が
ＯＦＦの状態のとき、次のようにして、静電チャック本
体２０の表面の汚染状態を知ることができる。

【００４１】即ち、制御部６は、直流電源３がＯＦＦの
状態で、且つ、静電チャック本体２０の載置面に吸着対
象物４が載置されているとき、切り替えスイッチ８・９
を、ぞれぞれ切り替え端子８ｃ・９ｃ側に切り替える。
これにより、抵抗計１１により、電極２ａ・２ｂ間の電
気抵抗が測定されれ、この測定値に対応する抵抗値信号
が、抵抗計１１より制御部６に出力される。

【００４２】この抵抗計１１により測定される電気抵抗
値は、静電チャック本体２０の汚染状態の指標になる。
即ち、静電チャック本体２０の表面にゴミが付着してい
る場合、その載置面と吸着対象物４との間に隙間が生
じ、両者間の接触面積が減少するため、抵抗計１１によ
り測定される電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗が、ゴミが付
着していないときよりも大きくなる。

【００４３】そこで、上記制御部６は、事前に登録され
た（メモリに格納された）電気抵抗の正常値と、抵抗計
１１から入力される電気抵抗値（抵抗値信号）とを比較
して、静電チャック本体２０の表面の汚染状態を判断す
る。そして、制御部６は、この判断結果および抵抗計１
１で測定された電気抵抗値を表示部１２に表示させる。
また、制御部６は、抵抗計１１から入力される電気抵抗
値が、上記の電気抵抗値の正常値に応じて設定された基
準値よりも高くなった場合、静電チャックを備えた装置
の全体、または要部にインターロックをかける。

【００４４】尚、直流電源３がＯＮからＯＦＦに切り替
えられた直後においては、誘電体１が誘電分極状態から
もとの状態に戻るまでに時間がかかるため、その間、吸
着対象物４には残留吸着力が作用する。このため、残留
吸着力が存在している間は、電気抵抗値の正常値よりも
抵抗計１１で測定される電気抵抗値の方が小さくなるこ
ともあるが、残留吸着力の低下と共に、電気抵抗値の測
定値も徐々に大きくなり、残留吸着力がなくなれば、電
気抵抗値の測定値も略一定になる。そこで、制御部６
は、抵抗計１１から入力される電気抵抗値が略一定にな
ったときに、上述の静電チャック本体２０の表面の汚染
状態を判断するようになっている。

【００４５】ところで、直流電源３がＯＦＦの状態で、
且つ、静電チャック本体２０の載置面に吸着対象物４が
載置されていない場合、静電チャック本体２０の汚染状
態に関わらず、抵抗計１１で測定される電気抵抗値は、
ほぼ、誘電体１の有する固有抵抗値となる。したがっ
て、制御部６は、抵抗計１１から入力される電気抵抗値
から、静電チャック本体２０の載置面上の吸着対象物４
の有無を、容易に判断できる。

【００４６】以上のように、本実施例の静電チャック
は、誘電体１の内部に所定距離をおいて２枚の電極２ａ
・２ｂが埋設されてなる静電チャック本体２０と、上記
の２枚の電極２ａ・２ｂ間に所定の直流電圧を印加する
直流電源３とを備えた一般的な静電チャックに、さら
に、上記２枚の電極２ａ・２ｂ間に流れる漏れ電流を検
出する電流計１０を、電極２ａと直流電源３との接続ラ
イン間に設けた構成である。尚、上記電流計１０は、電
極２ｂと直流電源３との接続ライン間に設けてもよい。
これにより、静電チャック本体２０の吸着能力の低下の
有無を、動作中においても簡単に検出することができ
る。

【００４７】また、上記電流計１０の測定値は、制御部
６に出力され、この測定値を受け取った制御部６は、静
電チャック本体２０の吸着能力の低下が大きいと判断し
たとき、表示部１２に静電チャックの異常を表示させる
と共に、静電チャックを備えた装置の全体、または要部
にインターロックをかけるようになっているので、静電
チャック本体２０の吸着能力の低下に起因する吸着対象
物の脱落等の事故を未然に防止することができる。

【００４８】さらに、本実施例の静電チャックは、上記
２枚の電極２ａ・２ｂ間の電気抵抗を検出する抵抗計１
１を備えているので、静電チャック本体２０の載置面に
導体または半導体からなる吸着対象物４が載置されてい
れば、直流電源３がＯＦＦの状態のときにも、抵抗計１
１の検出する電気抵抗から、静電チャック本体２０の表
面の汚染状態を知ることができる。

【００４９】また、上記抵抗計１１の測定値は、制御部
６に出力され、この測定値を受け取った制御部６は、静
電チャック本体２０の表面の汚染がひどいと判断したと
き、表示部１２に静電チャック本体２０の点検を指示す
る表示（静電チャックの異常表示）を行わせると共に、
静電チャックを備えた装置の全体、または要部にインタ
ーロックをかけるようになっているので、静電チャック
本体２０の汚染による静電チャックの吸着能力の低下に
起因する吸着対象物４の脱落事故を未然に防ぐことがで
きる。

【００５０】上記のように、本実施例では、制御部６に
より、動作中、非動作中に関わらず、静電チャック本体
２０の吸着能力（汚染度）、配線トラブル等の異常の有
無が監視され、静電チャックの保守・監視が自動化され
ている。このため、従来のように、定期的に、静電チャ
ックの表面の汚染状態をしらべたり、静電チャックの吸
着力を測定するといった点検作業者の労力を省くことが
でき、より確実な保守がなされる。特に、直接手出しが
できない場所（例えば、真空中）で使用される静電チャ
ックに対しては、非常にその効果が高い。

【００５１】尚、上記の実施例は、あくまでも、本発明
の技術内容を明らかにするものであって、そのような具
体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではな
く、本発明の精神と特許請求の範囲内で、いろいろと変
更して実施することができるものである。

【００５２】

【発明の効果】請求項１の発明の静電チャックは、以上
のように、静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏
れ電流を検出する電流検出手段を備えている構成であ
る。

【００５３】それゆえ、上記電流検出手段の検出する漏
れ電流より、静電チャック本体の吸着能力の低下の有無
を、動作中においても簡単に検出することができるの
で、従来の保守・点検に必要であった労力を省くことが
でき、より確実な保守が可能であるため、静電チャック
の吸着能力の低下に起因する吸着対象物の脱落事故を未
然に防ぐことができるという効果を奏する。

【００５４】また、請求項２の発明の静電チャックは、
以上のように、静電チャック本体の２枚の電極間の電気
抵抗を検出する抵抗検出手段を備えている構成である。

【００５５】それゆえ、静電チャック本体の載置面に導
体または半導体からなる吸着対象物が載置されていれ
ば、直流電圧印加手段の印加電圧がゼロのとき、抵抗検
出手段の検出する電気抵抗から、静電チャック本体の表
面の汚染状態を知ることができる。したがって、従来の
保守・点検に必要であった労力を省くことができ、より
確実な保守が可能であるため、静電チャック本体の汚染
による静電チャックの吸着能力の低下に起因する吸着対
象物の脱落事故を未然に防ぐことができるという効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すものであり、静電チャ
ックの要部の構成を示す説明図である。

【図２】静電チャックの動作を説明するための説明図で
ある。

【図３】静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏れ
電流の経路を説明するための説明図である。

【図４】吸着対象物が静電チャック本体の載置面に載置
されていない場合と、載置されている場合とにおける、
静電チャック本体の２枚の電極間に流れる漏れ電流の違
いを説明するための説明図である。

【図５】従来例を示すものであり、静電チャックの要部
の構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１誘電体２ａ電極２ｂ電極３直流電源（直流電圧印加手段）４吸着対象物６制御部７回路切り替え部８切り替えスイッチ９切り替えスイッチ１０電流計（電流検出手段）１１抵抗計（抵抗検出手段）１２表示部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】誘電体内部に所定距離をおいて２枚の電極
が埋設されてなる静電チャック本体と、上記の２枚の電
極間に所定の直流電圧を印加する直流電圧印加手段とを
備え、導体または半導体からなる吸着対象物を静電気力
によって上記静電チャック本体の表面に吸着する静電チ
ャックにおいて、上記２枚の電極間に流れる漏れ電流を検出する電流検出
手段を備えていることを特徴とする静電チャック。
【請求項２】導体または半導体からなる吸着対象物を載
置する載置面を有し、誘電体内部に所定距離をおいて２
枚の電極が埋設されてなる静電チャック本体と、上記の
２枚の電極間に所定の直流電圧を印加する直流電圧印加
手段とを備え、上記載置面に載置された吸着対象物を静
電気力によって吸着する静電チャックにおいて、上記２枚の電極間の電気抵抗を検出する抵抗検出手段を
備えていることを特徴とする静電チャック。