JPH06201100A - 流体供給装置及び配管洗浄装置 - Google Patents
流体供給装置及び配管洗浄装置Info
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- JPH06201100A JPH06201100A JP4360819A JP36081992A JPH06201100A JP H06201100 A JPH06201100 A JP H06201100A JP 4360819 A JP4360819 A JP 4360819A JP 36081992 A JP36081992 A JP 36081992A JP H06201100 A JPH06201100 A JP H06201100A
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- liquid
- pipe
- cleaning liquid
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- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 様々の口径・種類の配管に適用できる洗浄
装置その他の流体利用処理装置を提供し、また、これら
の装置に適用できる流体供給装置を提供する。 【構成】 加圧した洗浄液１０等の液体を供給する場
合、液体供給側２と、供給された液体が戻される液体受
容側３とを備え、液体供給側及び液体受容側には各々複
数種の接続配管２１〜２４，３１〜３４を有する配管接
続部を備える。
装置その他の流体利用処理装置を提供し、また、これら
の装置に適用できる流体供給装置を提供する。 【構成】 加圧した洗浄液１０等の液体を供給する場
合、液体供給側２と、供給された液体が戻される液体受
容側３とを備え、液体供給側及び液体受容側には各々複
数種の接続配管２１〜２４，３１〜３４を有する配管接
続部を備える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体供給装置及び配管
洗浄装置に関する。本発明は、各種の分野において流体
を供給する場合、及び配管を洗浄する場合に利用するこ
とができる。特に、例えば各種の半導体装置等の電子材
料の製造の際に流体を供給する場合や、配管を洗浄する
場合になどに利用することができる。
洗浄装置に関する。本発明は、各種の分野において流体
を供給する場合、及び配管を洗浄する場合に利用するこ
とができる。特に、例えば各種の半導体装置等の電子材
料の製造の際に流体を供給する場合や、配管を洗浄する
場合になどに利用することができる。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】流体を供給する装置とし
て、洗浄液により配管を洗浄する配管洗浄装置がある。
従来より、既設の配管、例えば冷却水配管等の熱交換配
管や、排気ダクト配管などの内管に付着したスケール等
の洗浄には、ピグによるスケール等の除去・洗浄、ロボ
ットによるスケール等の除去・洗浄、イオン結合利用等
の物理的洗浄がある。しかしこれらはいずれも、汎用性
に欠けると言う問題がある。
て、洗浄液により配管を洗浄する配管洗浄装置がある。
従来より、既設の配管、例えば冷却水配管等の熱交換配
管や、排気ダクト配管などの内管に付着したスケール等
の洗浄には、ピグによるスケール等の除去・洗浄、ロボ
ットによるスケール等の除去・洗浄、イオン結合利用等
の物理的洗浄がある。しかしこれらはいずれも、汎用性
に欠けると言う問題がある。
【０００３】ピグは、これを配管内に入れることによ
り、これが流されて回転し、スケール等をこそぎ落とす
ように除去・洗浄するものであるので、直管や、やや屈
曲した程度の配管には適用できるが、段差があったり、
屈曲が激しく、曲がりくねった管には利用できない。ロ
ボットによるスケール等の除去・洗浄にも同様のことが
言える。またこれら手段は、細い配管には適用が難し
い。イオン結合利用の物理的洗浄は、発生させたイオン
とＳｉ等を結合させるものであり、流速がある程度大き
くないと（１ｍ／ｓｅｃ以上）、イオン化せず、起電力
で１ｍＶ程度を要するなど、条件が厳しく、汎用性に欠
ける。
り、これが流されて回転し、スケール等をこそぎ落とす
ように除去・洗浄するものであるので、直管や、やや屈
曲した程度の配管には適用できるが、段差があったり、
屈曲が激しく、曲がりくねった管には利用できない。ロ
ボットによるスケール等の除去・洗浄にも同様のことが
言える。またこれら手段は、細い配管には適用が難し
い。イオン結合利用の物理的洗浄は、発生させたイオン
とＳｉ等を結合させるものであり、流速がある程度大き
くないと（１ｍ／ｓｅｃ以上）、イオン化せず、起電力
で１ｍＶ程度を要するなど、条件が厳しく、汎用性に欠
ける。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、様々の口径、様々の種類の配
管に適用できる洗浄装置その他の流体利用処理装置を提
供することを目的とし、また、これらの装置に適用でき
る流体供給装置を提供することを目的とする。
管に適用できる洗浄装置その他の流体利用処理装置を提
供することを目的とし、また、これらの装置に適用でき
る流体供給装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】本出願の請求項１の発
明は、加圧した流体を供給する流体供給装置において、
流体供給側には複数種の接続配管を有する配管接続部を
備えることを特徴とする流体供給装置であって、これに
より上記目的を達成するものである。
明は、加圧した流体を供給する流体供給装置において、
流体供給側には複数種の接続配管を有する配管接続部を
備えることを特徴とする流体供給装置であって、これに
より上記目的を達成するものである。
【０００６】本出願の請求項２の発明は、加圧した液体
を供給する流体供給装置において、液体供給側と、供給
された液体が戻される液体受容側とを備え、液体を閉シ
ステムで循環させることを特徴とする流体供給装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
を供給する流体供給装置において、液体供給側と、供給
された液体が戻される液体受容側とを備え、液体を閉シ
ステムで循環させることを特徴とする流体供給装置であ
って、これにより上記目的を達成するものである。
【０００７】本出願の請求項３の発明は、加圧した液体
を供給する流体供給装置において、液体供給側と、供給
された液体が戻される液体受容側とを備え、液体供給側
及び液体受容側には各々複数種の接続配管を有する配管
接続部を備えることを特徴とする流体供給装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
を供給する流体供給装置において、液体供給側と、供給
された液体が戻される液体受容側とを備え、液体供給側
及び液体受容側には各々複数種の接続配管を有する配管
接続部を備えることを特徴とする流体供給装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
【０００８】本出願の請求項４の発明は、前記複数種の
接続配管が、口径が互いに異なる複数種の接続配管であ
ることを特徴とする請求項１または３に記載の流体供給
装置であって、これにより上記目的を達成するものであ
る。
接続配管が、口径が互いに異なる複数種の接続配管であ
ることを特徴とする請求項１または３に記載の流体供給
装置であって、これにより上記目的を達成するものであ
る。
【０００９】本出願の請求項５の発明は、液体を加圧す
る加圧部と、この加圧部をバイパスするバイパス管を備
えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記
載の流体供給装置であって、これにより上記目的を達成
するものである。
る加圧部と、この加圧部をバイパスするバイパス管を備
えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記
載の流体供給装置であって、これにより上記目的を達成
するものである。
【００１０】本出願の請求項６の発明は、戻された液体
をオーバーフロウさせるオーバーフロウ槽と、オーバー
フロウした液体を浄化する洗浄液浄化部とを備えること
を特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の流体
供給装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
をオーバーフロウさせるオーバーフロウ槽と、オーバー
フロウした液体を浄化する洗浄液浄化部とを備えること
を特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の流体
供給装置であって、これにより上記目的を達成するもの
である。
【００１１】本出願の請求項７の発明は、加圧した洗浄
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側には複数種の接続配管を有する配管
接続部を備えることを特徴とする配管洗浄装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側には複数種の接続配管を有する配管
接続部を備えることを特徴とする配管洗浄装置であっ
て、これにより上記目的を達成するものである。
【００１２】本出願の請求項８の発明は、加圧した洗浄
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄
液受容側とを備え、洗浄液を閉システムで循環させるこ
とを特徴とする配管洗浄装置であって、これにより上記
目的を達成するものである。
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄
液受容側とを備え、洗浄液を閉システムで循環させるこ
とを特徴とする配管洗浄装置であって、これにより上記
目的を達成するものである。
【００１３】本出願の請求項９の発明は、加圧した洗浄
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄
液受容側とを備え、洗浄液供給側及び洗浄液受容側には
各々複数種の接続配管を有する配管接続部を備えること
を特徴とする配管洗浄装置であって、これにより上記目
的を達成するものである。
液を被洗浄配管に供給して洗浄を行う配管洗浄装置にお
いて、洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄
液受容側とを備え、洗浄液供給側及び洗浄液受容側には
各々複数種の接続配管を有する配管接続部を備えること
を特徴とする配管洗浄装置であって、これにより上記目
的を達成するものである。
【００１４】本出願の請求項１０の発明は、前記複数種
の接続配管が、口径が互いに異なる複数種の接続配管で
あることを特徴とする請求項７または９に記載の配管洗
浄装置であって、これにより上記目的を達成するもので
ある。
の接続配管が、口径が互いに異なる複数種の接続配管で
あることを特徴とする請求項７または９に記載の配管洗
浄装置であって、これにより上記目的を達成するもので
ある。
【００１５】本出願の請求項１１の発明は、洗浄液を加
圧する加圧部と、この加圧部をバイパスするバイパス管
を備えることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれ
かに記載の配管洗浄装置であって、これにより上記目的
を達成するものである。
圧する加圧部と、この加圧部をバイパスするバイパス管
を備えることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれ
かに記載の配管洗浄装置であって、これにより上記目的
を達成するものである。
【００１６】本出願の請求項１２の発明は、洗浄後の洗
浄液をオーバーフロウさせるオーバーフロウ槽と、オー
バーフロウした洗浄液を浄化する洗浄液浄化部とを備え
ることを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記
載の配管洗浄装置であって、これにより上記目的を達成
するものである。
浄液をオーバーフロウさせるオーバーフロウ槽と、オー
バーフロウした洗浄液を浄化する洗浄液浄化部とを備え
ることを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記
載の配管洗浄装置であって、これにより上記目的を達成
するものである。
【００１７】
【作用】本発明によれば、様々の口径、様々の種類の配
管に適用できる流体利用処理装置等の流体供給装置を提
供できる。また、様々の口径、様々の種類の配管に適用
できる洗浄装置を提供できる。
管に適用できる流体利用処理装置等の流体供給装置を提
供できる。また、様々の口径、様々の種類の配管に適用
できる洗浄装置を提供できる。
【００１８】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を参照し
て説明する。なお当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定を受けるものではない。
て説明する。なお当然のことではあるが、本発明は実施
例により限定を受けるものではない。
【００１９】実施例１ この実施例は、本発明を、冷却用配管の洗浄装置として
具体化したものであり、特に、洗浄液を循環して利用す
るクロウズドシステムの洗浄装置として具体化したもの
である。
具体化したものであり、特に、洗浄液を循環して利用す
るクロウズドシステムの洗浄装置として具体化したもの
である。
【００２０】本実施例は、図１に示すように、加圧した
流体である洗浄液１０を被処理対象である被洗浄対象７
（図２参照）に供給する装置１であって、流体供給側で
ある洗浄液供給側２には複数種の接続配管２１〜２４を
有する配管接続部（具体的には配管接続集合シリンダ）
を備えるものである。
流体である洗浄液１０を被処理対象である被洗浄対象７
（図２参照）に供給する装置１であって、流体供給側で
ある洗浄液供給側２には複数種の接続配管２１〜２４を
有する配管接続部（具体的には配管接続集合シリンダ）
を備えるものである。
【００２１】上記液体供給側２に加え、供給された液体
（洗浄液）が戻される液体受容側３を備える。これによ
り、液体（洗浄液）を閉システムで循環させるようにし
た。図中、矢印で液体（洗浄液）の流れを示す。
（洗浄液）が戻される液体受容側３を備える。これによ
り、液体（洗浄液）を閉システムで循環させるようにし
た。図中、矢印で液体（洗浄液）の流れを示す。
【００２２】液体受容側３にも、複数種の接続配管３１
〜３４を有する配管接続部（具体的には配管接続集合シ
リンダ）を備える。
〜３４を有する配管接続部（具体的には配管接続集合シ
リンダ）を備える。
【００２３】本実施例の複数種の接続配管２１〜２４
は、口径が互いに異なる複数種の接続配管である。例え
ば、１／８インチ、１／４インチ、３／８インチ、１／
２インチの各口径の丸管とすることができる（図２参
照）が、これは被処理対象（被洗浄対象）７に応じて適
宜設定すればよい。
は、口径が互いに異なる複数種の接続配管である。例え
ば、１／８インチ、１／４インチ、３／８インチ、１／
２インチの各口径の丸管とすることができる（図２参
照）が、これは被処理対象（被洗浄対象）７に応じて適
宜設定すればよい。
【００２４】本実施例の洗浄装置１は、液体（洗浄液）
を加圧する加圧部４である高圧水ポンプ（例えば、１０
ｋｇ／ｃｍ2 以上の高圧水ポンプ）と、この加圧部４
（高圧水ポンプ）をバイパスするバイパス管５を備え
る。全圧が加わると、配管（パイプ）が破裂するおそれ
がある場合が出るが、このバイパス管５上のバイパスバ
ルブ５２で調整して、液体（洗浄液）をバイパス管５に
逃がすようにできる。図中、符号５１はバイパス管５上
の圧力計である。
を加圧する加圧部４である高圧水ポンプ（例えば、１０
ｋｇ／ｃｍ2 以上の高圧水ポンプ）と、この加圧部４
（高圧水ポンプ）をバイパスするバイパス管５を備え
る。全圧が加わると、配管（パイプ）が破裂するおそれ
がある場合が出るが、このバイパス管５上のバイパスバ
ルブ５２で調整して、液体（洗浄液）をバイパス管５に
逃がすようにできる。図中、符号５１はバイパス管５上
の圧力計である。
【００２５】本実施例の洗浄装置１は、被処理対象（被
洗浄対象）７から戻された液体（洗浄液）をオーバーフ
ロウさせるオーバーフロウ槽６１を備えるとともに、オ
ーバーフロウした液体（洗浄液）を浄化する液体（洗浄
液）浄化部６２を備える。本実施例のオーバーフロウ槽
６１は沈澱槽を兼ね、底部に沈澱物６４を溜めて、上部
上澄みをオーバーフロウさせ（オーバーフロウ液を図１
中、符号Ａで示す）、浄化部６２に導く。浄化部６２に
は液体（洗浄液）をろ過洗浄するフィルター６３を備え
る。オーバーフロウ槽６１と液体（洗浄液）浄化部６２
とで、液体（洗浄液）溜め置き槽６が構成される。
洗浄対象）７から戻された液体（洗浄液）をオーバーフ
ロウさせるオーバーフロウ槽６１を備えるとともに、オ
ーバーフロウした液体（洗浄液）を浄化する液体（洗浄
液）浄化部６２を備える。本実施例のオーバーフロウ槽
６１は沈澱槽を兼ね、底部に沈澱物６４を溜めて、上部
上澄みをオーバーフロウさせ（オーバーフロウ液を図１
中、符号Ａで示す）、浄化部６２に導く。浄化部６２に
は液体（洗浄液）をろ過洗浄するフィルター６３を備え
る。オーバーフロウ槽６１と液体（洗浄液）浄化部６２
とで、液体（洗浄液）溜め置き槽６が構成される。
【００２６】本実施例の装置１の接続構造例を図２に示
す。図２において、被処理対象（被洗浄対象）７は、冷
却水を使用している冷却設備（チラーユニット）であ
り、その冷却水配管のスケール除去洗浄にのために本実
施例の洗浄装置１を接続した。図２中、符号９１は冷却
水導入配管であり、９２は冷却水排出配管である。通常
は、冷却水導入配管９１，冷却水排出配管９２が冷却設
備に接続されているが、これら冷却水導入配管９１，冷
却水排出配管９２を冷却設備（被洗浄対象７）から外し
（例えば冷却水導入配管９１のＢで示す口を外し）、代
わりにフレキシブル配管８１，８２（ゴムホースなど）
を介して、冷却設備（被洗浄対象７）と本実施例の洗浄
装置１とを接続する。
す。図２において、被処理対象（被洗浄対象）７は、冷
却水を使用している冷却設備（チラーユニット）であ
り、その冷却水配管のスケール除去洗浄にのために本実
施例の洗浄装置１を接続した。図２中、符号９１は冷却
水導入配管であり、９２は冷却水排出配管である。通常
は、冷却水導入配管９１，冷却水排出配管９２が冷却設
備に接続されているが、これら冷却水導入配管９１，冷
却水排出配管９２を冷却設備（被洗浄対象７）から外し
（例えば冷却水導入配管９１のＢで示す口を外し）、代
わりにフレキシブル配管８１，８２（ゴムホースなど）
を介して、冷却設備（被洗浄対象７）と本実施例の洗浄
装置１とを接続する。
【００２７】ここで、被処理対象（被洗浄対象）７側の
配管の口径は、様々である。洗浄すべき冷却設備の配管
径が例えば１／２インチであれば、本実施例の洗浄装置
１の洗浄液供給側２の配管接続部（具体的には配管接続
集合シリンダ）の複数種の接続配管２１〜２４のうち、
１／２インチの径の配管２４に接続する。液体受容側３
についても、同様とする。このように、被処理対象（被
洗浄対象）７側の配管の口径に応じて、任意に接続を行
うことにより、様々な種類被処理対象（被洗浄対象）に
適用することが可能となり、きわめて汎用性に富む。
配管の口径は、様々である。洗浄すべき冷却設備の配管
径が例えば１／２インチであれば、本実施例の洗浄装置
１の洗浄液供給側２の配管接続部（具体的には配管接続
集合シリンダ）の複数種の接続配管２１〜２４のうち、
１／２インチの径の配管２４に接続する。液体受容側３
についても、同様とする。このように、被処理対象（被
洗浄対象）７側の配管の口径に応じて、任意に接続を行
うことにより、様々な種類被処理対象（被洗浄対象）に
適用することが可能となり、きわめて汎用性に富む。
【００２８】例えば、本実施例の装置１を、コンパクト
な運搬可能な構成にまとめ、例えば台車で運搬できるよ
うにすれば、被処理対象（被洗浄対象）７のところに容
易に持っていって洗浄を行えるので、非常に便利であ
る。
な運搬可能な構成にまとめ、例えば台車で運搬できるよ
うにすれば、被処理対象（被洗浄対象）７のところに容
易に持っていって洗浄を行えるので、非常に便利であ
る。
【００２９】本実施例の洗浄装置１は、次のように作動
させることができる。
させることができる。
【００３０】洗浄液溜め置き槽６に洗浄液１０を入れ、
加圧部４である高圧水ポンプでフィルター６３を通して
洗浄液１０を吸い上げ、洗浄液供給側２の配管接続部
（配管接続集合シリンダ）へ送り、フレキシブル配管８
１を介して被処理対象（被洗浄対象）７の洗浄対象配管
を通らせ、更に、フレキシブル配管８２を介して洗浄液
受容側３の配管接続部（配管接続集合シリンダ）に返
し、洗浄液溜め置き槽６に回収する。
加圧部４である高圧水ポンプでフィルター６３を通して
洗浄液１０を吸い上げ、洗浄液供給側２の配管接続部
（配管接続集合シリンダ）へ送り、フレキシブル配管８
１を介して被処理対象（被洗浄対象）７の洗浄対象配管
を通らせ、更に、フレキシブル配管８２を介して洗浄液
受容側３の配管接続部（配管接続集合シリンダ）に返
し、洗浄液溜め置き槽６に回収する。
【００３１】この流れで循環を繰り返し、洗浄対象配管
をクリーニングする。フィルター６３は、回収された洗
浄液に含まれるスケール・ごみを除去し、再度洗浄対象
配管に循環させないようにするものである。バイパス管
５は、洗浄対象配管の耐圧に合わせて、洗浄液圧力を調
整するものである。
をクリーニングする。フィルター６３は、回収された洗
浄液に含まれるスケール・ごみを除去し、再度洗浄対象
配管に循環させないようにするものである。バイパス管
５は、洗浄対象配管の耐圧に合わせて、洗浄液圧力を調
整するものである。
【００３２】洗浄液供給側２の配管接続部（配管接続集
合シリンダ）、及び洗浄液受容側３の配管接続部（配管
接続集合シリンダ）の各配管接続バルブは、小径用、大
径用等、口径に合わせて、複数種の接続配管のいずれか
に予め接続をしておく。加圧部４としては、１．５×１
０6 Ｐａ程度、あるいはそれ以下の圧力がかけられる高
圧水ポンプを選定しておくのが好ましい。
合シリンダ）、及び洗浄液受容側３の配管接続部（配管
接続集合シリンダ）の各配管接続バルブは、小径用、大
径用等、口径に合わせて、複数種の接続配管のいずれか
に予め接続をしておく。加圧部４としては、１．５×１
０6 Ｐａ程度、あるいはそれ以下の圧力がかけられる高
圧水ポンプを選定しておくのが好ましい。
【００３３】本実施例は洗浄装置であるが、その外任意
の流体供給装置に本発明が適用できることは言うまでも
ない。
の流体供給装置に本発明が適用できることは言うまでも
ない。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、様々の口径、様々の種
類の配管に適用できる洗浄装置その他の流体利用処理装
置を提供することができ、また、これらの装置に適用で
きる流体供給装置を提供することができる。
類の配管に適用できる洗浄装置その他の流体利用処理装
置を提供することができ、また、これらの装置に適用で
きる流体供給装置を提供することができる。
【図１】実施例１の配管洗浄装置（流体供給装置）の構
成図である。
成図である。
【図２】実施例１の配管洗浄装置（流体供給装置）の接
続構造を示す図である。
続構造を示す図である。
１ 配管洗浄装置（流体供給装置） ２ 洗浄液供給側２（配管接続集合シリンダ） ２１〜２４ 接続配管 ３ 洗浄液受容側２（配管接続集合シリンダ） ３１〜３４ 接続配管 ４ 加圧部 ５ バイパス管 ６ 液体（洗浄液）溜め置き槽 ６１ オーバーフロウ槽６１ ６２ 液体（洗浄液）浄化部 ６３ フィルター
Claims (12)
- 【請求項１】加圧した流体を供給する流体供給装置にお
いて、 流体供給側には複数種の接続配管を有する配管接続部を
備えることを特徴とする流体供給装置。 - 【請求項２】加圧した液体を供給する流体供給装置にお
いて、 液体供給側と、供給された液体が戻される液体受容側と
を備え、 液体を閉システムで循環させることを特徴とする流体供
給装置。 - 【請求項３】加圧した液体を供給する流体供給装置にお
いて、 液体供給側と、供給された液体が戻される液体受容側と
を備え、 液体供給側及び液体受容側には各々複数種の接続配管を
有する配管接続部を備えることを特徴とする流体供給装
置。 - 【請求項４】前記複数種の接続配管が、口径が互いに異
なる複数種の接続配管であることを特徴とする請求項１
または３に記載の流体供給装置。 - 【請求項５】液体を加圧する加圧部と、この加圧部をバ
イパスするバイパス管を備えることを特徴とする請求項
１ないし４のいずれかに記載の流体供給装置。 - 【請求項６】戻された液体をオーバーフロウさせるオー
バーフロウ槽と、オーバーフロウした液体を浄化する洗
浄液浄化部とを備えることを特徴とする請求項１ないし
５のいずれかに記載の流体供給装置。 - 【請求項７】加圧した洗浄液を被洗浄配管に供給して洗
浄を行う配管洗浄装置において、 洗浄液供給側には複数種の接続配管を有する配管接続部
を備えることを特徴とする配管洗浄装置。 - 【請求項８】加圧した洗浄液を被洗浄配管に供給して洗
浄を行う配管洗浄装置において、 洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄液受容
側とを備え、 洗浄液を閉システムで循環させることを特徴とする配管
洗浄装置。 - 【請求項９】加圧した洗浄液を被洗浄配管に供給して洗
浄を行う配管洗浄装置において、 洗浄液供給側と、洗浄後の洗浄液が戻される洗浄液受容
側とを備え、 洗浄液供給側及び洗浄液受容側には各々複数種の接続配
管を有する配管接続部を備えることを特徴とする配管洗
浄装置。 - 【請求項１０】前記複数種の接続配管が、口径が互いに
異なる複数種の接続配管であることを特徴とする請求項
７または９に記載の配管洗浄装置。 - 【請求項１１】洗浄液を加圧する加圧部と、この加圧部
をバイパスするバイパス管を備えることを特徴とする請
求項７ないし１０のいずれかに記載の配管洗浄装置。 - 【請求項１２】洗浄後の洗浄液をオーバーフロウさせる
オーバーフロウ槽と、オーバーフロウした洗浄液を浄化
する洗浄液浄化部とを備えることを特徴とする請求項７
ないし１１のいずれかに記載の配管洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360819A JPH06201100A (ja) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 流体供給装置及び配管洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4360819A JPH06201100A (ja) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 流体供給装置及び配管洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201100A true JPH06201100A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=18471060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4360819A Pending JPH06201100A (ja) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 流体供給装置及び配管洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201100A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003276039A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 部材洗浄方法及びその方法を用いた溶液製膜方法 |
| JP2010142772A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Asahi Breweries Ltd | ホットメルト接着剤供給管の洗浄用治具および洗浄方法 |
| JP2014079675A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | フラッシング処理方法およびフラッシング水処理システム |
| KR20170112470A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | (주)동호플랜트 | 무방류 역방향 관로 세척 장치 및 관로 세척 방법 |
-
1992
- 1992-12-31 JP JP4360819A patent/JPH06201100A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003276039A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 部材洗浄方法及びその方法を用いた溶液製膜方法 |
| JP2010142772A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Asahi Breweries Ltd | ホットメルト接着剤供給管の洗浄用治具および洗浄方法 |
| JP2014079675A (ja) * | 2012-10-15 | 2014-05-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | フラッシング処理方法およびフラッシング水処理システム |
| KR20170112470A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | (주)동호플랜트 | 무방류 역방향 관로 세척 장치 및 관로 세척 방법 |
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