JPH06201168A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 クリーンエリアの変更、清浄度の変更、その
他改造、増設などにも適切に対応しうるクリーンルーム
を得る。 【構成】 フィルタユニット２０の四方の側面又は天井
面にファンユニット１０を取り付けてクリーンユニット
３０ａ，３０ｂを形成し、クリーンルーム１の上面に設
置し、清浄空気を矢印Ｒで示す如く、フィルタユニット
２０から、クリーンルーム１、通気床４、メンテエリア
５、ファンユニット１０に循環させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、フィルタユニットと
ファンユニットを別体に形成し、それらを組合せて形成
したクリーンユニットを使用するクリーンルームに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルームを形成するには、ファン
から送られた空気を高性能フィルタを通して室内に送気
するが、従来の方式を説明すると、下記の如きものがあ
る。 （１）図６に示す例ではクリーンエリア１の天井５１に
適宜間隔でフィルタユニット５２を設け、別置きの空調
機から空調空気Ａをダクト５４でフィルタユニット５２
に送り有孔板５３を介して矢印Ｒで示すように清浄空気
をクリーンエリア１内に送気する。３は室の床を示して
いる。

【０００３】この方式は低清浄度のクリーンシステムに
使用される。対象とするクリーンエリアのスペースは小
さいが、イニシャルコスト、ランニングコストも小さく
てすみ、室内の装置の配置を変えるようなとき、クリー
ンエリアの変更のときなどでもそのままでよく、使用の
際の多様性は大きい。 （２）図７はローカルリターン方式に向いているもの
で、所要のエリアを高度に清浄にすることができる。

【０００４】この方式では天井５１の所要部分にファン
フィルタユニット６０を設置する。６１はファン、６２
は高性能フィルタを示している。ファン内蔵部分と、フ
ィルタ内蔵部分との間に間仕切り２を通気床４との間に
設け、さらにフィルタ部分の反対側には所要長さの仕切
り６３を上方から垂下させ、間仕切り２と仕切り６３の
間にフィルタ６２を経た高度の清浄空気が流れこみクリ
ーンエリア１となる。

【０００５】仕切り６３の間にもファン６１からの空気
の一部がフィルタ６２′を通って流れ込み、この間の清
浄度も考慮されているが、間仕切り２と仕切り６３の間
に比べ清浄空気の流速が小さく、したがって清浄度も若
干悪くなっている。この部分は通路として使用される。
矢印Ｆで示すように清浄空気はクリーンエリア１から通
気床４を通って床下に抜け、間仕切り２の下方をくぐっ
てメンテ域（人が通行するなど清浄度が可成低くてよい
部分）５に入りファン６１に還流し、循環する。又メン
テ域５には（１）でのべた低清浄度用の装置が外気の供
給、温湿度のコントロール用として設けられる。

【０００６】この方式は天井に設置されたファンフィル
タユニットにおいてのみ高清浄空気が局部的に循環する
のでローカルリターン方式といわれ、対象スペースは小
さく限定され、イニシャルコストもランニングコストも
小さいが、使用の際の多様性も小さい。 （３）図８は室全体又は一部を高清浄状態にするもの
で、天井５１のところに、天井の上方で建物に固定した
支持パイプなどから吊り下げたアルミグリッド７１を使
用するなどして、フィルタユニット７０をたて，よこに
ならべて設置する。２は天井５１から下方の通気床４ま
での間仕切り、６３は必要個所にアルミグリッドなどか
ら垂下した仕切りである。

【０００７】そして別に空調機９０が設置され、空調機
９０からの空調空気Ａは高性能フィルタのフィルタユニ
ット７０から間仕切り２の間のクリーンエリア全体に流
れる。そして高い清浄度の空気は矢印Ｆの如くクリーン
エリア全体から通気床４を通り、Ｆ₁ で示すように大部
分は空調機９０にリターンするが、Ｆ₂ で示すように一
部は外部に排気され、又Ｆ₃ で示すように一部の新鮮な
外気を空調機９０に取り入れている。

【０００８】この方式はルーム全体の清浄空気が還流さ
れるのでトータルリターン方式とよばれる。図８に示す
方式では対象スペースは大で、イニシャルコストもラン
ニングコストも大きい。室全体に清浄空気が流れてくる
ので、その内部の装置の配備は自由であるから、使用の
際の多様性は大きい。 （４）図９に示す方式では天井部５１にアルミグリッド
７１を吊り、小型のファンフィルタユニット８０をたて
よこに室の上方一面に設置したものであって、別に空調
機９０を設けてある。図８と同じ符号は同じ部分を示し
ている。

【０００９】図９の方式では対象スペースは大きく、イ
ニシャルコストもランニングコストも極めて大きい。使
用の際の多様性は図８の方式と余り変らないが、ユニッ
ト８０のファンで循環するため、空調機９０のファンが
不要である。

【００１０】

【解決すべき課題】従来の方式は前記の（１）〜（４）
の方式があるが、（１）のものは、低清浄度の場合にし
か使用できない。（２）のものはローカルリターン方式
であるから、イニシャルコストもランニングコストも他
の方式に比べて安価であるが、フレキシビリティの点に
おいては融通性に欠ける欠点がある。

【００１１】例えばクリーンエリアの移動、拡巾、縮小
等の変更、クリーンエリアとメンテ域の組合せの変更、
リターンエリアの気流経路の変更などが必要な場合に、
（２）の方式のファンフィルタユニットではファンとフ
ィルタが１つのケーシングに組み込まれているために、
ファンの能力や取付位置の変更、あるいはフィルタ面積
の変更ができない。そのためファンフィルタユニット全
体を交換するか、大がかりな改造を必要としている。

【００１２】（３）の方式ではローカルリターン方式は
できない。また（４）の方式では部分的にローカルリタ
ーン方式にすることは可能であっても、この方式の特徴
としている、小型のファンフィルタユニットをどこでも
必要に応じ取付、取外し可能なシステムとするには天井
裏の必要スペースが大きくなり、コストも大となる。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この発明は前記の課題を
解決するために、フィルタユニットと、ファンユニット
を別体に形成し、それらを組み合せて形成したクリーン
ユニットを使用するクリーンルームにおいて、フィルタ
ユニットの天井面及び四方の各側面にファンユニット取
付用の開口が設けられており、フィルタユニットの天井
面又は各側面のうちの任意の面にファンユニットが取り
付けられて形成されたクリーンユニットを使用すること
を特徴とするクリーンルームを得たもので、図７に示す
方式であって図９に示す方式に近い機能をもつことがで
き、クリーンエリアとメンテ域の変更やリターン気流の
経路の変更が可能となる。即ち前記のトータルリターン
方式とローカルリターン方式との間の変更ができ、また
１台のクリーンユニットに対し、任意のフィルターユニ
ットを接続できる。

【００１４】

【実施例】図１はフィルタユニット２０の側面の一方に
ファンユニット１０を取り付けたクリーンユニット３０
ａを、図２はフィルタユニット２０の上面にファンユニ
ット１０を取り付けたクリーンユニット３０ｂを夫々示
している。（両者を３０ａ，３０ｂとして区別する。）
フィルタユニット２０は四方の各側面にファンユニット
取付用の開口２１を、又天井面に同じく開口２２を有し
ており、又フィルタシール枠を介して高性能フィルター
２３を備えている。

【００１５】図１の場合は側面の開口の内の１方の開口
にファンユニット１０を取り付け、他の開口２１，２２
はパネルやビス等を用いて塞いである。図２の場合は天
井面の開口にファンユニット１０を取り付けてあり、側
面の各開口２１は塞がれている。図１，図２において、
ファンユニット１０には、別置きの空調装置からの空調
空気を取り入れる空調空気取入口２４と、クリーンエリ
アからのリターン空気を取り入れるリターン空気取入口
２５とを有している。

【００１６】このリターン空気取入口２５は２個あるが
図１の３０ａでは上部、図２の３０ｂでは下部の不使用
の開口２５′はパネルやビス等を用いてふさいである。
図３はファンユニット１０をフィルタユニット２０の上
方に取りつけたクリーンユニット３０ｂを天井部にた
て，よこに連続して並置し、広いクリーンルームを形成
したところを示している。３は天井面を表し、２４は空
調空気取入口を示している。

【００１７】図４は、ファンユニット１０を側面に取り
つけたクリーンユニット３０ａとファンユニット１０を
上面に取りつけたクリーンユニット３０ｂを適当に組み
合せた場合を示し、１はクリーンエリア、２は間仕切
り、３は天井部、４は通気床を示し、フィルタユニット
２０を通過した清浄空気はＲで示すように、クリーンエ
リア１から通気床４を通り、間仕切り２の下方をぬけて
メンテエリア５に入り、ファンユニット１０に還流す
る。

【００１８】図示の例では、左右にクリーンユニット３
０ａを、中央にクリーンユニット３０ｂを配置してい
る。又２４は空調空気取入口、２５はリターン空気取入
口である。ファンユニット１０をフィルタユニット２０
の側面に取りつけたクリーンユニット３０ａの場合は、
ユニット高さを低くでき、吸音がしやすく低騒音とな
り、ファンのメンテナンスが下方からできるなどの利点
があり、図４に示したように、室内の一部をクリーンエ
リアとする場合にも適している。

【００１９】図５は、モジュール化したクリーンユニッ
トの寸法では納まりきれない場所への対応として、クリ
ーンユニット３０ａ，３０ｂに所要の寸法のフィルタチ
ャンバ４０を連結部４１を介して連結し、クリーンユニ
ット３０ａ，３０ｂから連結されているフィルタチャン
バ４０にも送気する。このようにすることにより、モジ
ュール化したクリーンユニットで納まりきれないとき
は、任意寸法のフィルタチャンバ４０を連結して並設す
るのみであるから、建設コスト、ランニングコストを低
減することができる。

【００２０】

【効果】この発明のクリーンルームは前記の如き構成で
あって、クリーンエリアとメンテエリアの変更や、リタ
ーン空気の経路の変更が可能となり、トータルリターン
方式とローカルリターン方式の間の変更ができ、またフ
ァンユニットとフィルタユニットの組み合せたクリーン
ユニットに対して、ファンの能力に応じて拡巾したい分
のフィルタユニットを設置し、互いのフィルタユニット
の相対する開口を接続することにより、クリーンエリア
の拡巾が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】フィルタユニットの側面にファンユニットを取
りつけたクリーンユニットの説明図。

【図２】同じく天井面にファンユニットを取りつけたク
リーンユニットの説明図。

【図３】クリーンエリアの上方に一面にクリーンユニッ
トを並置した場合を示す説明図。

【図４】クリーンルームの一部をクリーンエリアとした
場合のクリーンユニットの配置例の説明図。

【図５】フィルタチャンバを併設した場合の配置例の説
明図。

【図６】低清浄度の場合の従来のクリーンシステムの一
例の説明図。

【図７】ローカルリターン方式の一例の説明図。

【図８】トータルリターン方式の一例の説明図。

【図９】トータルリターン方式の他の一例の説明図。

【符号の説明】

１ クリーンエリア ２ 間仕切り ３ 天井部 ４ 通気床 ５ メンテエリア １０ ファンユニット ２０ フィルタユニット ２１ 側面開口 ２２ 天井面開口 ２３ 高性能フィルタ ２４ 空調空気取入口 ２５ リターン空気取入口 ３０ クリーンユニット ４０ フィルタチャンバ ４１ 連結部 ５１ 天井 ５２ フィルタユニット ５３ 有孔板 ５４ 配管 ６０ ファンフィルタユニット ６１ ファン ６２ フィルタ ６３ 仕切り ７０ フィルタユニット ７１ アルミグリッド ８０ ファンフィルタユニット ９０ 空調機

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 徳岡 慎一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 加藤 泰司 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 柿崎 治郎 東京都中央区銀座８丁目21番１号 浜離宮 ビル 株式会社竹中工務店東京本店内 (72)発明者 谷口 和人 福岡県福岡市中央区天神４丁目２番20号 天神幸ビル株式会社竹中工務店九州支店内 (72)発明者 加嶋 正一 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大気社内 (72)発明者 北川 透 東京都新宿区西新宿２丁目６番１号 株式 会社大気社内 (72)発明者 福岡 宗男 東京都中央区京橋２丁目５番12号 東洋熱 工業株式会社東京本店内 (72)発明者 五十嵐 豊 東京都江東区有明１丁目２番25号 東洋熱 工業株式会社東京工場内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルタユニットとファンユニットを別
   体に形成し、それらを組み合せて形成したクリーンユニ
   ットを使用するクリーンルームにおいて、 フィルタユニットの天井面及び四方の各側面にファンユ
   ニット取付用の開口が設けられており、 フィルタユニットの天井面又は各側面のうちの任意の面
   にファンユニットが取り付けられて形成されたクリーン
   ユニットを使用することを特徴とするクリーンルーム。
2. 【請求項２】 前記請求項１記載のフィルタユニットの
   数台の側面開口を接合してチャンバを連通させ、この数
   台のフィルタユニットに対して１台のファンユニットを
   取り付けたことを特徴とするクリーンルーム。