JPH0225065Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、クリーンルームにおけるエアカー
テン用空気清浄ユニツトに関する。

〔従来の技術〕

従来のクリーンルーム装置としては、例えば特
開昭58−110938号公報に記載されるようなものが
ある。これは多数の空気清浄ユニツトを、天井裏
から吊つた格子状の骨組に取付けてなるものであ
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このような従来のクリーンルー
ム装置にあつては、空気清浄ユニツトを多数設け
て清浄空気を室内の一部である所定場所に送るよ
うにした場合において、当該清浄空気が清浄を保
つべき前記所定場所から逃げたり、又は塵等を含
む空気がこの清浄を保つべき指定場所に侵入する
不都合があり、これを防止するために別途エアカ
ーテン装置を設けることが要請されるものであ
る。しかし、従来は前記公報の空気清浄ユニツト
の如く、所定の長さと幅とがある広がつた面から
の清浄空気の吹き出しだけがなされていたため、
清浄室内にエアーカーテンを形成するユニツトが
存在しなかつた。したがつて、従来は前記要請に
応えることができないという問題点があつた。

この考案は、このような従来例の問題点に着目
してなされたものであり、クリーンルーム内にエ
アカーテン機構を設けることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案にかかるエアカーテン用空気清浄ユニ
ツトは、周囲と上面とを囲む枠と、枠内に送風す
る送風機と、枠内で送風機の吹き出し下流に配置
されるエアフイルタと、エアフイルタより下に配
置される、幅が狭いエアカーテン用吹き出し口
と、エアフイルタより下に配置される、前記吹き
出し口以外の部分から均一な速度で空気を吹き出
すハニカム状に形成された層流用吹き出し口と、
該層流用吹き出し口と前記エアフイルタの間に設
置された照明灯と、前記層流用吹き出し口の上面
に配置された空気抵抗体と、を備えた構成として
いる。

〔作用〕

周面と上面とを囲む枠内に設けられた送風機は
空気をエアフイルタに送り、このエアフイルタを
通過した空気は濾過されて清浄な空気となる。こ
の清浄な空気は、エアカーテン用吹き出し口と均
一な速度で空気を吹き出す層流用吹き出し口とに
供給される。前記エアカーテン用吹き出し口は幅
狭であるためここを通過する空気は絞られて高速
に吹き出してエアカーテンを構成し、このエアー
カーテンが前記層流用吹き出し口から均一に空気
吹き出されている領域と他側方の領域との間を区
分する。

また、本考案では、層流用吹き出し口の上面に
は空気抵抗体を配置しているために、エアカーテ
ン用吹き出し口からの空気吹き出しは、層流用吹
き出し口からの空気吹き出しより高速になる。従
つて、エアカーテンの形成能が向上する。

〔実施例〕

第１図ａ，ｂは、清浄室の天井を清浄室から見
上げた状態の図であつて、第１図ａは、空気清浄
ユニツト１を一面に配置した層流領域Ａと、空気
を吹き出さない盲ユニツト２の間に空気清浄ユニ
ツト１を間隔をおいて配置した乱流領域Ｂと、両
領域Ａ，Ｂ間に、一部に形成された細長状の開口
からエアカーテン状に空気を吹き出し且つ他の部
分の略前面から空気を均等に吹き出すエアカーテ
ン用空気清浄ユニツト３を配置した例である。

このようにして、空気清浄ユニツト１と盲ユニ
ツト２とエアカーテン用空気清浄ユニツト３との
各送風ユニツトの中から選択された１又は複数の
送風ユニツトを、清浄室の用途に応じた所定の配
列をもつて配置している。なお、第１図ｂのよう
に、多数の空気清浄ユニツト１のなかに、一列だ
けエアカーテン用空気清浄ユニツト３を設置する
ことにより、そのエアカーテンによつて清浄室を
２つに区分し、両層流領域Ａ，Ａの清浄度を相違
させることも可能である。

次に各送風ユニツトについて説明する。

第２図ａ〜ｃは前記空気清浄ユニツト１の例を
示す図である。即ち、周囲と上面とが囲まれた枠
１１の上面四隅には、この枠１１を上方から吊る
ための吊りボルトが係合する穴１１ａが形成さ
れ、また枠１１の内部には、高い位置に送風機１
２が設置される。送風機１２の上側位置では枠１
１が開口され、ここにプレフイルタ１３が配設さ
れて、このプレフイルタ１３から天井室の空気が
送風機１２に供給されるようにしてある。

送風機１２の下流側で枠１１内には、送風機１
２と同一の高さ位置に与圧室１４が形成される。
与圧室１４は、送風機１２から吹き出された空気
によつて圧力を増大させ、この空気圧をパスカル
の原理に基づいて、その下側のエアフイルタ１５
全面に平均した圧力で空気を供給するものであ
る。

与圧室１４の下側にはエアフイルタ１５が、枠
１１の平断面積に近い面積にわたつて架設され
る。このエアフイルタ１５下側には、枠１１の下
面開口全体に散光板１６が装着され、散光板１６
とエアフイルタ１５との間には照明灯１７が設置
される。散光板１６はハニカム状をなしていて、
その上側の照明灯１７の光線が分散されて清浄室
を照明し、且つエアフイルタ１５を通過した空気
がこれにより下方に案内されるようになつてい
る。

而して、送風機１２の運転により、天井室の空
気をプレフイルタ１３で濾過した後、与圧室１４
に送出する。与圧室１４は送風機１２の運転によ
り気圧が上昇するが、上昇した気圧はエアフイル
タ１５にパスカルの原理によつて均等に作用し
て、この空気はエアフイルタ１５を、その各部に
おいて均等に通過し濾過される。ここで濾過され
た空気はエアフイルタ１５下面に均等に吹き出さ
れ、散光板１６を通過してそのまま清浄室に吹き
出される。

３２は調速装置により送風機の回転数を制御
し、天井プレナム内の空気抵抗の差による各ユニ
ツト間の風量の差異をなくすよう調整すると共
に、作業内容に応じた清浄度の変更にも利用す
る。

第３図ａ〜ｃは、この考案のエアカーテン用空
気清浄ユニツト３を示す図である。このエアカー
テン用空気清浄ユニツト３は散光板１６の一部
に、該枠１１の一辺部に沿つて細長い吹き出し口
２０が形成される他は第２図ａ〜ｃに示した空気
清浄ユニツト１と同一である。ここで、散光板１
６のハニカム状の格子の上面に網目状の空気抵抗
体を設置し、且つ細長い吹き出し口２０の開口が
大きいため、エアフイルタ１５を通過した空気が
清浄室に吹き出す際に、散光板１６の上部抵抗体
の流通抵抗が大であり、吹き出し口２０の流通抵
抗が小となるから、吹き出し口２０からの空気吹
き出しは散光板１６のそれよりも高速となる。

而して、散光板１６から清浄室に吹き出す空気
は均一な流れ（層流）になり、且つ吹き出し口２
０から吹き出す空気はエアカーテン状になる。

盲ユニツト２については詳細に図示してない
が、前記した空気清浄ユニツト１の枠１１の下面
に、散光板１６に代えて盲板を装着したものであ
り、枠１１内部には格別の機器類は存在しない。
前記盲板の下側には照明灯１７が配置されていて
もよい。

そして、各送風ユニツトは上方から吊りボルト
によつて吊られ、且つ各送風ユニツトは、相互間
に必要によりシール材が介在されて、隣接するど
うしで連結される。この連結のための構造は図面
においては省略してある。

なお、前記した各送風機１２は空気吹き出し速
度を段階的に調整可能に構成される。また前記の
ように照明灯１７を予め取付けておくことによ
り、照明設備の取付け作業が簡略化される効果が
ある。

第４図は、空気清浄ユニツト１、盲ユニツト
２、エアカーテン用空気清浄ユニツト３の中から
選択された１つの種類または複数種類の多数の送
風ユニツトＵと、その上側の天井室２１と、送風
ユニツトＵの下側の清浄室２２と、清浄室２２の
床２３と、その下側の床下室２４との関係を示す
説明図である。床２３は格子状をなしていて、そ
の格子の孔が清浄室２２の空気の吸い込み口をな
す。

床下室２４と天井室２１とは２つの経路により
接続されている。即ち、その１つが空調機２５と
送風機２６とを備えた循環路２６ａであり、この
循環路２６ａは、清浄室２２の空気を床下室２４
を介して吸い込み、空調機２５で温湿度を調整し
て、送風機２６により天井室２１に循環させるも
のである。空調機２５には新鮮な空気を適宜混入
する構造になつている。

また他の１つは、第５図に示すように、送風機
２７とエアフイルタ２８とを備えて、清浄室２２
の側部に配置される循環ユニツト２９の経路であ
り、清浄室２２の空気を床下室２４を介して循環
ユニツト２９内に下から吸い込み、この内部でエ
アフイルタ２８で濾過し送風機２７で天井室２１
に循環させるものである。循環ユニツト２９と床
２３との間には高さ調整パネル３０があつて、清
浄室２２の高さに応じてこの高さ調整パネル３０
の上下の長さを調整すれば、循環ユニツト２９は
各種高さの清浄室２２に適応できる。３１は循環
ユニツト２９の吊りボルトである。

また清浄室２２の側面には排気口３２が形成さ
れ、これに排気フアン３３を備えた排気ダクト３
４が連続している。

ところで、清浄室２２の温湿度を制御するに必
要な循環風量は、全循環風量の20〜50％あれば足
りる。このことから、循環する空気を空調機２５
により空調する量は20〜50％あればよく、他は循
環ユニツト２９を経由して循環させればよいこと
になる。そこでこの実施例では、床下室２４と天
井室２１とを空調機２５を通過する経路と循環ユ
ニツト２９を通過する経路の２つの経路により接
続している。このため、空調機２５を通過する風
量が、全循環風量に比して少なくなるから、空調
機２５、送風機２６の規模を小さくすることがで
きる。

以上、実施例について説明したが、この考案に
かかるエアカーテン用空気清浄あつては、前記す
るような吹き出し口の形状の他、枠の相隣接する
辺に沿つて直角をなす形状の吹き出し口として、
エアカーテンのコーナ部に使用することも勿論可
能である。

〔考案の効果〕

以上説明したように、この考案によれば、クリ
ーンルーム内にもエアカーテンを形成することが
可能となり、且つ空気清浄ユニツト、盲ユニツト
等と組み合わせることによつて、エアカーテン装
置の現場取り付け作業の簡略化を図ることが出来
る。また、吹き出し口が幅狭であるため、他の送
風機と同じ送風機を用いても所望の風速を得るこ
とが出来るため各種の送風ユニツトとの電力的な
統一が図れ、その組付けが容易となる効果があ
る。

さらに、エアカーテン用吹き出し口と層流用吹
き出し口とが隣接するため、狭い場所におけるエ
アカーテン機構の設置を可能とする効果がある。

また、本考案によれば、層流用吹き出し口の上
面には空気抵抗体を配置しているために、エアカ
ーテン用吹き出し口からの空気吹き出しは、層流
用吹き出し口からの空気吹き出しより高速にで
き、従つて、エアカーテンの形成能を向上できる
と言う効果を奏する。

またさらに、本考案によれば、層流用吹き出し
口と前記エアフイルタの間に照明灯が設置されて
いるために、空気清浄ユニツトの設置作業を終了
すれば、室内照明設備の設置作業を終了している
ことになり、クリーンルーム設置作業の効率が向
上する効果を有する。そして、層流用吹き出し口
はハニカム状に形成され、且つ、この吹き出し口
の上面には照明灯が設置されているために、層流
用吹き出し口は照明灯の光を室内に分散できる効
果も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂは、夫々送風ユニツトの種類と配
置の例を示す天井の下面図、第２図ａは層流ユニ
ツトの下面図、同図ｂは同側面図、同図ｃは同上
面図、第３図ａはエアカーテン用空気清浄ユニツ
トの下面図、同図ｂは同側面図、同図ｃは同上面
図、第４図はクリーンルームの装置全体を示す説
明図、第５図は循環ユニツトの縦断面図である。 Ａ……層流領域、Ｂ……乱流領域、Ｕ……送風
ユニツト、１……空気清浄ユニツト、２……盲ユ
ニツト、３……エアカーテン用空気清浄ユニツ
ト、１１……枠、１１ａ……穴、１２……送風
機、１３……プレフイルタ、１４……与圧室、１
５……エアフイルタ、１６……散光板、１７……
照明灯、１８……エアフイルタ、１９……盲板、
２０……吹き出し口、２１……天井室、２２……
清浄室、２３……床、２４……床下室、２５……
空調機、２６……送風機、２７……送風機、２８
……エアフイルタ、２９……循環ユニツト、３１
……吊りボルト、３２……調速装置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 周囲と上面とを囲む枠と、枠内に送風する送風
   機と、枠内で送風機の吹き出し下流に配置される
   エアフイルタと、エアフイルタより下に配置され
   る、幅が狭いエアカーテン用吹き出し口と、エア
   フイルタより下に配置される、前記吹き出し口以
   外の部分から均一な速度で空気を吹き出すハニカ
   ム状に形成された層流用吹き出し口と、該層流用
   吹き出し口と前記エアフイルタの間に設置された
   照明灯と、前記層流用吹き出し口の上面に配置さ
   れた空気抵抗体と、を備えたことを特徴とするエ
   アカーテン用空気清浄ユニツト。