JPH06201302A - 寸法測定装置 - Google Patents
寸法測定装置Info
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- JPH06201302A JPH06201302A JP24768792A JP24768792A JPH06201302A JP H06201302 A JPH06201302 A JP H06201302A JP 24768792 A JP24768792 A JP 24768792A JP 24768792 A JP24768792 A JP 24768792A JP H06201302 A JPH06201302 A JP H06201302A
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- Japan
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- dimension measuring
- measuring device
- concentric circle
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 短時間の測定が可能で、かつ、広範囲の孔径
やシャフト径を高精度に測定することができる。 【構成】 ４個の測子３６をベース４１に板バネ４２
Ａ、４２Ｂを介して設け、さらに、４個の測子３６をベ
ース４１の軸心１０Ａを中心とする同心円上に等間隔に
配置した。移動手段３２は４個の測子３６を、ベース４
１の軸心１０Ａを中心とする同心円の半径方向に移動す
る。また、４個の測子３６の半径方向の移動量は検出器
３８によって検出される。計測処理手段３９は、検出器
３８が検出した４個の測子３６の半径方向の移動量に基
づいて、被測定物２６の孔径やシャフト外径等の計測処
理を行う。このように、寸法測定装置１０は移動手段３
２で４個の測子３６を、ベース４１の軸心１０Ａを中心
とする同心円の半径方向に移動することができる。従っ
て、被測定物２６の孔径の内周やシャフトの外径を同時
に４箇所測定することができ、さらに、被測定物２６の
孔径寸法やシャフトの外径寸法が大きく変化した場合で
も、寸法測定装置１０を使用することができる。
やシャフト径を高精度に測定することができる。 【構成】 ４個の測子３６をベース４１に板バネ４２
Ａ、４２Ｂを介して設け、さらに、４個の測子３６をベ
ース４１の軸心１０Ａを中心とする同心円上に等間隔に
配置した。移動手段３２は４個の測子３６を、ベース４
１の軸心１０Ａを中心とする同心円の半径方向に移動す
る。また、４個の測子３６の半径方向の移動量は検出器
３８によって検出される。計測処理手段３９は、検出器
３８が検出した４個の測子３６の半径方向の移動量に基
づいて、被測定物２６の孔径やシャフト外径等の計測処
理を行う。このように、寸法測定装置１０は移動手段３
２で４個の測子３６を、ベース４１の軸心１０Ａを中心
とする同心円の半径方向に移動することができる。従っ
て、被測定物２６の孔径の内周やシャフトの外径を同時
に４箇所測定することができ、さらに、被測定物２６の
孔径寸法やシャフトの外径寸法が大きく変化した場合で
も、寸法測定装置１０を使用することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は寸法測定装置に係り、
特に被測定物に形成された孔の内径やシャフトの外径等
の寸法を測定する寸法測定装置に関する。
特に被測定物に形成された孔の内径やシャフトの外径等
の寸法を測定する寸法測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、被測定物に形成された孔の内径や
シャフトの外径等の寸法を測定する場合、以下の２つの
方法が一般に知られている。第１の方法は３次元座標測
定機のタッチプローブをＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動して、
孔の内周やシャフトの外周等の３点以上を測定する。従
って、タッチプローブで孔の内周やシャフトの外周等の
３点以上を測定すると、孔の内径やシャフトの外径等が
測定される。
シャフトの外径等の寸法を測定する場合、以下の２つの
方法が一般に知られている。第１の方法は３次元座標測
定機のタッチプローブをＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動して、
孔の内周やシャフトの外周等の３点以上を測定する。従
って、タッチプローブで孔の内周やシャフトの外周等の
３点以上を測定すると、孔の内径やシャフトの外径等が
測定される。
【０００３】また、第２の方法は挿入ガイドを介して内
径測定ヘッド又は外径測定ヘッドを孔の内周やシャフト
の外周に挿入させて、孔の内周やシャフトの外周を測定
する。この方法の具体例として特公昭５８−２４７２２
号公報がある。
径測定ヘッド又は外径測定ヘッドを孔の内周やシャフト
の外周に挿入させて、孔の内周やシャフトの外周を測定
する。この方法の具体例として特公昭５８−２４７２２
号公報がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第１の
方法は個々に３点以上を測定するので短時間の測定が困
難であるという問題がある。また、第２の方法は挿入ガ
イドを使用するので被測定物の孔の内径やシャフトの外
径の測定範囲が限定される。従って、例えば測定範囲を
越えた孔径やシャフト径を測定する場合、挿入ガイドと
孔内周やシャフト外周間にガタが生じるので、ガタによ
り測定ポイントがズレるので高精度測定が困難である。
これにより、第２の方法では広範囲の孔径やシャフト径
を高精度に測定することが困難であるという問題があ
る。
方法は個々に３点以上を測定するので短時間の測定が困
難であるという問題がある。また、第２の方法は挿入ガ
イドを使用するので被測定物の孔の内径やシャフトの外
径の測定範囲が限定される。従って、例えば測定範囲を
越えた孔径やシャフト径を測定する場合、挿入ガイドと
孔内周やシャフト外周間にガタが生じるので、ガタによ
り測定ポイントがズレるので高精度測定が困難である。
これにより、第２の方法では広範囲の孔径やシャフト径
を高精度に測定することが困難であるという問題があ
る。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、短時間の測定が可能で、かつ、広範囲の孔径や
シャフト径を高精度に測定することが可能な寸法測定装
置を提供することを目的とする。
もので、短時間の測定が可能で、かつ、広範囲の孔径や
シャフト径を高精度に測定することが可能な寸法測定装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、寸法測定装置本体と、前記寸法測定装置本
体の軸心を中心とする同心円上に等間隔に配置されると
共に、前記寸法測定装置本体に前記同心円の半径方向に
移動自在に配設された４個の測子と、該４個の測子を前
記同心円の半径方向に移動する移動手段と、前記４個の
測子の半径方向の移動量を検出する検出器と、該検出器
が検出した前記４個の測子の半径方向の移動量に基づい
て、被測定物の孔径やシャフト外径等の計測処理を行う
計測処理手段と、を備えたことを特徴とする。
成する為に、寸法測定装置本体と、前記寸法測定装置本
体の軸心を中心とする同心円上に等間隔に配置されると
共に、前記寸法測定装置本体に前記同心円の半径方向に
移動自在に配設された４個の測子と、該４個の測子を前
記同心円の半径方向に移動する移動手段と、前記４個の
測子の半径方向の移動量を検出する検出器と、該検出器
が検出した前記４個の測子の半径方向の移動量に基づい
て、被測定物の孔径やシャフト外径等の計測処理を行う
計測処理手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、前記４個の測子は、前記４個の測子の位置を調整可
能な手段を介して前記寸法測定装置本体に連結されたこ
とを特徴とする。
に、前記４個の測子は、前記４個の測子の位置を調整可
能な手段を介して前記寸法測定装置本体に連結されたこ
とを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、４個の測子を寸法測定装置本
体の軸心を中心とする同心円上に等間隔に配置すると共
に、同心円の半径方向に移動自在に支持した。移動手段
は４個の測子を、寸法測定装置本体の軸心を中心とする
同心円の半径方向に移動する。また、４個の測子の半径
方向の移動量は検出器によって検出される。計測処理手
段は、検出器が検出した４個の測子の半径方向の移動量
に基づいて、被測定物の孔径やシャフト外径等の計測処
理を行う。
体の軸心を中心とする同心円上に等間隔に配置すると共
に、同心円の半径方向に移動自在に支持した。移動手段
は４個の測子を、寸法測定装置本体の軸心を中心とする
同心円の半径方向に移動する。また、４個の測子の半径
方向の移動量は検出器によって検出される。計測処理手
段は、検出器が検出した４個の測子の半径方向の移動量
に基づいて、被測定物の孔径やシャフト外径等の計測処
理を行う。
【０００９】このように、寸法測定装置は移動手段で４
個の測子を、寸法測定装置本体の軸心を中心とする同心
円の半径方向に移動することができる。従って、被測定
物の孔径の内周やシャフトの外径を同時に４箇所測定す
ることができ、さらに、被測定物の孔径寸法やシャフト
の外径寸法が大きく変化した場合でも、使用することが
できる。
個の測子を、寸法測定装置本体の軸心を中心とする同心
円の半径方向に移動することができる。従って、被測定
物の孔径の内周やシャフトの外径を同時に４箇所測定す
ることができ、さらに、被測定物の孔径寸法やシャフト
の外径寸法が大きく変化した場合でも、使用することが
できる。
【００１０】また、本発明によれば、４個の測子は、４
個の測子の位置を調整可能な手段を介して寸法測定装置
本体に連結されていて、この調整手段は４個の測子の相
対位置関係を調整する。従って、寸法測定装置が設けら
れた３次元座標測定機の測定精度にたよらずに高精度の
測定が可能である。
個の測子の位置を調整可能な手段を介して寸法測定装置
本体に連結されていて、この調整手段は４個の測子の相
対位置関係を調整する。従って、寸法測定装置が設けら
れた３次元座標測定機の測定精度にたよらずに高精度の
測定が可能である。
【００１１】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る寸法測定
装置について詳説する。図１は本発明に係る寸法測定装
置１０が使用されているインライン計測機１１の斜視図
である。同図に示すようにインライン計測機１１は３次
元駆動機構１２を備えていて、３次元駆動機構１２は移
動ポスト１４は架台１６の側部に沿ってＸ軸方向に移動
自在に支持されている。移動ポスト１４にはキャリア１
６がＺ軸方向に移動自在に支持されていて、キャリア１
６にはアーム１８がＹ軸方向に移動自在に支持されてい
る。そして、アーム１８の先端部には寸法測定装置１０
が設けられている。従って、寸法測定装置１０はＸ、
Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動される。
装置について詳説する。図１は本発明に係る寸法測定装
置１０が使用されているインライン計測機１１の斜視図
である。同図に示すようにインライン計測機１１は３次
元駆動機構１２を備えていて、３次元駆動機構１２は移
動ポスト１４は架台１６の側部に沿ってＸ軸方向に移動
自在に支持されている。移動ポスト１４にはキャリア１
６がＺ軸方向に移動自在に支持されていて、キャリア１
６にはアーム１８がＹ軸方向に移動自在に支持されてい
る。そして、アーム１８の先端部には寸法測定装置１０
が設けられている。従って、寸法測定装置１０はＸ、
Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動される。
【００１２】また、架台１６にはロータリテーブル２
０、搬入ローラ２２及び搬出ローラ２４が設けられてい
る。ワーク２６は搬入ローラ２２を介してロータリテー
ブル２０に搬送され、測定完了後、搬出ローラ２４でロ
ータリテーブル２０から搬出される。そして、ワーク２
６がロータリテーブル２０に配置されている時、ワーク
２６に形成されている孔径やシャフト外径等が寸法測定
装置１０で測定される。
０、搬入ローラ２２及び搬出ローラ２４が設けられてい
る。ワーク２６は搬入ローラ２２を介してロータリテー
ブル２０に搬送され、測定完了後、搬出ローラ２４でロ
ータリテーブル２０から搬出される。そして、ワーク２
６がロータリテーブル２０に配置されている時、ワーク
２６に形成されている孔径やシャフト外径等が寸法測定
装置１０で測定される。
【００１３】図２には寸法測定装置１０の正面図が示さ
れていて、図３には図２のＡ−Ａ矢視図が示されてい
る。寸法測定装置１０は連結手段３０、移動手段３２、
調整手段３４、測子３６、検出器３８及び計測処理手段
３９を備えている。連結手段３０は４個の固定ブロック
４０を有していて、固定ブロック４０、４０…はベース
４１の軸心が中心となる同心円上に９０°の間隔をおい
て配設されている。固定ブロック４０の両端部には一対
の板ばね４２Ａ、４２Ｂの上端部が固着されている。ま
た、一対の板ばね４２Ａ、４２Ｂの下端部は移動ブロッ
ク４４に固着されている。一対の板ばね４２Ａ、４２Ｂ
は互いに対向して配置されていて、板ばね４２Ａ、４２
Ｂの平面はベース４１の軸心を中心にした同心円の半径
方向に対して直交する方向に延長されている。
れていて、図３には図２のＡ−Ａ矢視図が示されてい
る。寸法測定装置１０は連結手段３０、移動手段３２、
調整手段３４、測子３６、検出器３８及び計測処理手段
３９を備えている。連結手段３０は４個の固定ブロック
４０を有していて、固定ブロック４０、４０…はベース
４１の軸心が中心となる同心円上に９０°の間隔をおい
て配設されている。固定ブロック４０の両端部には一対
の板ばね４２Ａ、４２Ｂの上端部が固着されている。ま
た、一対の板ばね４２Ａ、４２Ｂの下端部は移動ブロッ
ク４４に固着されている。一対の板ばね４２Ａ、４２Ｂ
は互いに対向して配置されていて、板ばね４２Ａ、４２
Ｂの平面はベース４１の軸心を中心にした同心円の半径
方向に対して直交する方向に延長されている。
【００１４】連結手段３０は移動手段３２に連結されて
いる。移動手段３２は４個のシリンダ４６を有してい
て、シリンダ４６、４６…はそれぞれ４個の固定プレー
ト４１Ａに取り付けられている。固定プレート４１Ａ、
４１Ａ…はベース４１の軸心を中心にした同心円上に９
０°の間隔をおいて、板ばね４２Ｂ、４２Ｂ…と対向す
る位置に配設されている。
いる。移動手段３２は４個のシリンダ４６を有してい
て、シリンダ４６、４６…はそれぞれ４個の固定プレー
ト４１Ａに取り付けられている。固定プレート４１Ａ、
４１Ａ…はベース４１の軸心を中心にした同心円上に９
０°の間隔をおいて、板ばね４２Ｂ、４２Ｂ…と対向す
る位置に配設されている。
【００１５】そして、板ばね４２Ａ、４２Ｂは中央部に
開口孔４２Ｃが形成されている。板ばね４２Ａ、４２Ｂ
の開口孔４２Ｃには、シリンダ４６のロッド４７が挿通
されている。また、ロッド４７にはフランジ４７Ａ、４
７Ｂが形成されていて、４２Ａ、４２Ｂの開口孔４２Ｃ
の内径はフランジ４７Ａ、４７Ｂの外径より大きく設定
されている。
開口孔４２Ｃが形成されている。板ばね４２Ａ、４２Ｂ
の開口孔４２Ｃには、シリンダ４６のロッド４７が挿通
されている。また、ロッド４７にはフランジ４７Ａ、４
７Ｂが形成されていて、４２Ａ、４２Ｂの開口孔４２Ｃ
の内径はフランジ４７Ａ、４７Ｂの外径より大きく設定
されている。
【００１６】シリンダ４６のロッド４７には突片４４Ａ
が嵌入されていて、突片４４Ａは移動ブロック４４に固
着されている。突片４４Ａとフランジ４７Ａ間にはコイ
ル状のばね４８Ａが配設されていて、突片４４Ａとフラ
ンジ４７Ｂ間にはコイル状のばね４８Ｂが配設されて
る。従って、シリンダ４６のロッド４７が伸長すると、
コイル状のばね４８Ｂの付勢力で突片４４Ａが半径方向
内側に移動するので、移動ブロック４４が半径方向内側
に移動する。また、シリンダ４６のロッド４７が収縮す
ると、コイル状のばね４８Ａの付勢力で突片４４Ａが半
径方向外側に移動するので、移動ブロック４４が半径方
向外側に移動する。これにより、後述する先端子６０を
半径方向内側及び外側に移動することができる。
が嵌入されていて、突片４４Ａは移動ブロック４４に固
着されている。突片４４Ａとフランジ４７Ａ間にはコイ
ル状のばね４８Ａが配設されていて、突片４４Ａとフラ
ンジ４７Ｂ間にはコイル状のばね４８Ｂが配設されて
る。従って、シリンダ４６のロッド４７が伸長すると、
コイル状のばね４８Ｂの付勢力で突片４４Ａが半径方向
内側に移動するので、移動ブロック４４が半径方向内側
に移動する。また、シリンダ４６のロッド４７が収縮す
ると、コイル状のばね４８Ａの付勢力で突片４４Ａが半
径方向外側に移動するので、移動ブロック４４が半径方
向外側に移動する。これにより、後述する先端子６０を
半径方向内側及び外側に移動することができる。
【００１７】また、連結手段３０の移動ブロック４４に
は調整手段３４が設けられている。調整手段３４は板ば
ね５０を有していて、板ばね５０の上端部は移動ブロッ
ク４４の下端部に固着されている。板ばね５０の下端部
は調整プレート５２の上端部に固着されている。板ばね
５０の平面は同心円の半径方向に伸長されて配置されて
いる。板ばね５０の両側の調整プレート５２にはボルト
５４Ａ、５４Ｂがねじ結合されていて、ボルト５４Ａ、
５４Ｂの上端部は移動ブロック４４の下端部に当接され
ている。
は調整手段３４が設けられている。調整手段３４は板ば
ね５０を有していて、板ばね５０の上端部は移動ブロッ
ク４４の下端部に固着されている。板ばね５０の下端部
は調整プレート５２の上端部に固着されている。板ばね
５０の平面は同心円の半径方向に伸長されて配置されて
いる。板ばね５０の両側の調整プレート５２にはボルト
５４Ａ、５４Ｂがねじ結合されていて、ボルト５４Ａ、
５４Ｂの上端部は移動ブロック４４の下端部に当接され
ている。
【００１８】調整手段３４の調整プレート５２には測子
３６が固定されている。すなわち、測子３６はアーム５
８を有していて、アーム５８の上端部が調整プレート５
２に固定されている。アーム５８の下端部には先端子６
０が設けられている。これにより、先端子６０はアーム
５８を介して調整プレート５２に連結されている。従っ
て、調整手段３４のボルト５４Ａの上端部を下降させて
ボルト５４Ｂの上端部を上昇させると、板ばね５０を軸
にして調整プレート５２の右端部が下降してその左端部
が上昇するので、先端子６０は左方向に移動する。
３６が固定されている。すなわち、測子３６はアーム５
８を有していて、アーム５８の上端部が調整プレート５
２に固定されている。アーム５８の下端部には先端子６
０が設けられている。これにより、先端子６０はアーム
５８を介して調整プレート５２に連結されている。従っ
て、調整手段３４のボルト５４Ａの上端部を下降させて
ボルト５４Ｂの上端部を上昇させると、板ばね５０を軸
にして調整プレート５２の右端部が下降してその左端部
が上昇するので、先端子６０は左方向に移動する。
【００１９】調整手段３４の調整プレート５２には検出
器３８の先端が当接している。すなわち、４個の検出器
３８はそれぞれ固定プレート４１Ａ、４１Ａ…の下端部
に取り付けられていて、検出器３８、３８…はそれぞれ
調整プレート５２に対向して配置されている。そして、
検出器３８のロッド３８Ａは伸縮自在に支持されてい
て、かつ、伸長する方向に付勢されているので、ロッド
３８Ａの先端が調整プレート５２に当接した状態に維持
される。従って、検出器３８は先端子６０が半径方向内
側及び外側に移動した場合に、先端子６０の移動量を検
出することができる。尚、検出器３８にはモアレスケー
ル等が使用されている。
器３８の先端が当接している。すなわち、４個の検出器
３８はそれぞれ固定プレート４１Ａ、４１Ａ…の下端部
に取り付けられていて、検出器３８、３８…はそれぞれ
調整プレート５２に対向して配置されている。そして、
検出器３８のロッド３８Ａは伸縮自在に支持されてい
て、かつ、伸長する方向に付勢されているので、ロッド
３８Ａの先端が調整プレート５２に当接した状態に維持
される。従って、検出器３８は先端子６０が半径方向内
側及び外側に移動した場合に、先端子６０の移動量を検
出することができる。尚、検出器３８にはモアレスケー
ル等が使用されている。
【００２０】４個の検出器３８は計測処理手段３９に電
気的に接続されている。計測処理手段３９は、４個の検
出器３８が検出した先端子６０の移動量に基づいて、４
個の先端子６０の芯ズレチェックや、ワーク２６の孔径
やシャフト外径の算出を行う。さらに、計測処理手段３
９は、ワーク２６の孔等の芯間距離の算出、長さ測定、
及び段差測定等の計測処理を行う。
気的に接続されている。計測処理手段３９は、４個の検
出器３８が検出した先端子６０の移動量に基づいて、４
個の先端子６０の芯ズレチェックや、ワーク２６の孔径
やシャフト外径の算出を行う。さらに、計測処理手段３
９は、ワーク２６の孔等の芯間距離の算出、長さ測定、
及び段差測定等の計測処理を行う。
【００２１】前記の如く構成された本願発明に係る寸法
測定装置の作用について説明する。最初に、図４乃至図
７に基づいて４個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６
０Ｄの芯ズレをチェックする方法について説明する。先
ず、先端子６０Ａ、６０Ｃの芯ズレのチェックを行う。
この場合、シリンダ４６のロッド４７を伸長させて、コ
イル状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０を半径方向内
側に移動する。次に、インライン計測機１１の寸法測定
装置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、寸法測
定装置１０をマスターリング６６内に挿入する。挿入完
了後、シリンダ４６のロッド４７を収縮させて、コイル
状のばね４８Ａの付勢力で先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０
Ｃ、６０Ｄを半径方向外側に移動する。これにより、４
個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄがマスター
リング６６の内周に接触する。
測定装置の作用について説明する。最初に、図４乃至図
７に基づいて４個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６
０Ｄの芯ズレをチェックする方法について説明する。先
ず、先端子６０Ａ、６０Ｃの芯ズレのチェックを行う。
この場合、シリンダ４６のロッド４７を伸長させて、コ
イル状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０を半径方向内
側に移動する。次に、インライン計測機１１の寸法測定
装置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、寸法測
定装置１０をマスターリング６６内に挿入する。挿入完
了後、シリンダ４６のロッド４７を収縮させて、コイル
状のばね４８Ａの付勢力で先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０
Ｃ、６０Ｄを半径方向外側に移動する。これにより、４
個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄがマスター
リング６６の内周に接触する。
【００２２】この状態で、寸法測定装置１０の軸心１０
Ａ（軸心１０Ａはインライン計測機のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向
への移動で制御される。）をＹ軸の正の方向に移動する
（図４参照）。この時、４個の検出器３８はそれぞれ先
端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄの半径方向の移動
量を検出する。そして、Ｘ1 の値が Ｘ1 ＝（ＸMAX −ｋ） （但し、ｋ：作業基準により
決められた数値） となったときのＤＸ1 を測定する。次いで、寸法測定装
置１０の軸心１０ＡをＹ軸の負の方向に移動する（図５
参照）。そして、Ｘ2 の値が Ｘ2 ＝（ＸMAX −ｋ） となったときのＤＸ2 を測定する。次いで、ＤＸ1 −Ｄ
Ｘ2 の演算を行い、 ｜ＤＸ1 −ＤＸ2 ｜≦Δｋ （Δｋ＝許容値） の場合には先端子６０Ａ、６０Ｃの芯ズレが許容公差内
であると判断する。
Ａ（軸心１０Ａはインライン計測機のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向
への移動で制御される。）をＹ軸の正の方向に移動する
（図４参照）。この時、４個の検出器３８はそれぞれ先
端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄの半径方向の移動
量を検出する。そして、Ｘ1 の値が Ｘ1 ＝（ＸMAX −ｋ） （但し、ｋ：作業基準により
決められた数値） となったときのＤＸ1 を測定する。次いで、寸法測定装
置１０の軸心１０ＡをＹ軸の負の方向に移動する（図５
参照）。そして、Ｘ2 の値が Ｘ2 ＝（ＸMAX −ｋ） となったときのＤＸ2 を測定する。次いで、ＤＸ1 −Ｄ
Ｘ2 の演算を行い、 ｜ＤＸ1 −ＤＸ2 ｜≦Δｋ （Δｋ＝許容値） の場合には先端子６０Ａ、６０Ｃの芯ズレが許容公差内
であると判断する。
【００２３】一方、 ｜ＤＸ1 −ＤＸ2 ｜＞Δｋ の場合には、先端子６０Ａ、６０Ｃの芯ズレが許容公差
を越えていると判断する。そして、調整手段３４のボル
ト５４Ａ、５４Ｂを操作して先端子６０Ａ、６０Ｃの芯
ズレを調整する。これにより、先端子６０Ａ、６０Ｃの
芯ズレのチェックが完了する。
を越えていると判断する。そして、調整手段３４のボル
ト５４Ａ、５４Ｂを操作して先端子６０Ａ、６０Ｃの芯
ズレを調整する。これにより、先端子６０Ａ、６０Ｃの
芯ズレのチェックが完了する。
【００２４】測子芯ずれＯＫの場合は、ｙ方向移動量の
中点（ａ＋ａ′）／２の位置へ戻すことによりマスター
リングのＸ軸中心と寸法計測装置のＸ軸中心が合わせら
れる。続いて、先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯ズレのチェッ
クを行う。この場合、寸法測定装置１０の軸心１０Ａを
Ｘ軸の正の方向に移動する（図６参照）。そして、Ｙ 1
の値が Ｙ1 ＝（ＹMAX −ｋ） となったときのＤＹ1 を測定する。次いで、寸法測定装
置１０の軸心１０ＡをＸ軸の負の方向に移動する（図７
参照）。そして、Ｙ2 の値が Ｙ2 ＝（ＹMAX −ｋ） となったときのＤＹ2 を測定する。次いで、ＤＹ1 −Ｄ
Ｙ2 の演算を行い、 ｜ＤＹ1 −ＤＹ2 ｜≦Δｋ の場合には先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯ズレが許容公差内
であると判断する。
中点（ａ＋ａ′）／２の位置へ戻すことによりマスター
リングのＸ軸中心と寸法計測装置のＸ軸中心が合わせら
れる。続いて、先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯ズレのチェッ
クを行う。この場合、寸法測定装置１０の軸心１０Ａを
Ｘ軸の正の方向に移動する（図６参照）。そして、Ｙ 1
の値が Ｙ1 ＝（ＹMAX −ｋ） となったときのＤＹ1 を測定する。次いで、寸法測定装
置１０の軸心１０ＡをＸ軸の負の方向に移動する（図７
参照）。そして、Ｙ2 の値が Ｙ2 ＝（ＹMAX −ｋ） となったときのＤＹ2 を測定する。次いで、ＤＹ1 −Ｄ
Ｙ2 の演算を行い、 ｜ＤＹ1 −ＤＹ2 ｜≦Δｋ の場合には先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯ズレが許容公差内
であると判断する。
【００２５】一方、 ｜ＤＹ1 −ＤＹ2 ｜＞Δｋ の場合には、先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯ズレが許容公差
を越えていると判断する。そして、調整手段３４のボル
ト５４Ａ、５４Ｂを操作して先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯
ズレを調整する。これにより、先端子６０Ｂ、６０Ｄの
芯ズレのチェックが完了する。
を越えていると判断する。そして、調整手段３４のボル
ト５４Ａ、５４Ｂを操作して先端子６０Ｂ、６０Ｄの芯
ズレを調整する。これにより、先端子６０Ｂ、６０Ｄの
芯ズレのチェックが完了する。
【００２６】測子芯ずれＯＫの場合はＸ方向移動量の中
点（ｂ＋ｂ′）／２の位置へ戻すことによりマスターリ
ングのＹ軸中心と寸法計測装置のＹ軸中心が合わせら
れ、マスターリングの中心と寸法計測の中心が合ったこ
とになる。この状態でマスターリングのデーターを計測
装置にプリセットする事によりマスタ合わせが完了す
る。
点（ｂ＋ｂ′）／２の位置へ戻すことによりマスターリ
ングのＹ軸中心と寸法計測装置のＹ軸中心が合わせら
れ、マスターリングの中心と寸法計測の中心が合ったこ
とになる。この状態でマスターリングのデーターを計測
装置にプリセットする事によりマスタ合わせが完了す
る。
【００２７】次に、図８に基づいて寸法測定装置１０で
ワーク２６の孔２６Ａの内径を測定する場合について説
明する。先ず、シリンダ４６のロッド４７を伸長させ
て、コイル状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０を半径
方向内側に移動する。次に、インライン計測機１１の寸
法測定装置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、
寸法測定装置１０をワーク２６の孔２６Ａ内に挿入す
る。挿入完了後、シリンダ４６のロッド４７を収縮させ
て、コイル状のばね４８Ａの付勢力で先端子６０Ａ、６
０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄを半径方向外側に移動する。これ
により、４個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ
がワーク２６の孔２６Ａの内周に接触する（図８参
照）。
ワーク２６の孔２６Ａの内径を測定する場合について説
明する。先ず、シリンダ４６のロッド４７を伸長させ
て、コイル状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０を半径
方向内側に移動する。次に、インライン計測機１１の寸
法測定装置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、
寸法測定装置１０をワーク２６の孔２６Ａ内に挿入す
る。挿入完了後、シリンダ４６のロッド４７を収縮させ
て、コイル状のばね４８Ａの付勢力で先端子６０Ａ、６
０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄを半径方向外側に移動する。これ
により、４個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄ
がワーク２６の孔２６Ａの内周に接触する（図８参
照）。
【００２８】この時、４個の検出器３８はそれぞれ先端
子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄの半径方向の移動量
を検出する。４個の検出器３８の検出結果に基づいて、
図８上に示すＸ3 、Ｘ4 、Ｙ3 、Ｙ4 を求める。求めら
れたＸ3 、Ｘ4 、Ｙ3 、Ｙ4に基づいて、Ｘ方向の位置
ズレ△Ｘ、及びＹ方向の位置ズレ△Ｙを以下の式(1)、
(2) から算出する。
子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄの半径方向の移動量
を検出する。４個の検出器３８の検出結果に基づいて、
図８上に示すＸ3 、Ｘ4 、Ｙ3 、Ｙ4 を求める。求めら
れたＸ3 、Ｘ4 、Ｙ3 、Ｙ4に基づいて、Ｘ方向の位置
ズレ△Ｘ、及びＹ方向の位置ズレ△Ｙを以下の式(1)、
(2) から算出する。
【００２９】△Ｘ＝（Ｘ3 −Ｘ4 ）／２ …(1) △Ｙ＝（Ｙ3 −Ｙ4 ）／２ …(2) 従って、Ｘ方向のワーク径φＤX 、及びＹ方向のワーク
径φＤY は以下の式(3) 、(4) から算出される。 φＤX ＝ √((Ｘ3 −ｄ／２＋△Ｘ)2＋( △Ｙ)2) ×２＋ｄ …(3) φＤY ＝ √((Ｙ3 −ｄ／２＋△Ｙ)2＋( △Ｘ)2) ×２＋ｄ …(4) 図８ではワーク２６に形成された孔２６Ａの内径を測定
する場合について説明したが、図９、図１０に示すよう
に、ワーク２６に形成されたシャフト２６Ｂの外径を測
定することができる。この場合は、シリンダ４６のロッ
ド４７を収縮させて、コイル状のばね４８Ａの付勢力で
先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄを半径方向外側
に移動する。次に、インライン計測機１１の寸法測定装
置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、寸法測定
装置１０をワーク２６のシャフト２６Ｂに嵌入させる。
次に、シリンダ４６のロッド４７を伸長させて、コイル
状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０
Ｃ、６０Ｄを半径方向内側に移動する。これにより、４
個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄがワーク２
６のシャフト２６Ｂの外周に接触する（図９、図１０参
照）。以下図８と同様の工程でワーク２６のシャフト２
６Ｂの外径が測定される。
径φＤY は以下の式(3) 、(4) から算出される。 φＤX ＝ √((Ｘ3 −ｄ／２＋△Ｘ)2＋( △Ｙ)2) ×２＋ｄ …(3) φＤY ＝ √((Ｙ3 −ｄ／２＋△Ｙ)2＋( △Ｘ)2) ×２＋ｄ …(4) 図８ではワーク２６に形成された孔２６Ａの内径を測定
する場合について説明したが、図９、図１０に示すよう
に、ワーク２６に形成されたシャフト２６Ｂの外径を測
定することができる。この場合は、シリンダ４６のロッ
ド４７を収縮させて、コイル状のばね４８Ａの付勢力で
先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄを半径方向外側
に移動する。次に、インライン計測機１１の寸法測定装
置１０をＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動して、寸法測定
装置１０をワーク２６のシャフト２６Ｂに嵌入させる。
次に、シリンダ４６のロッド４７を伸長させて、コイル
状のばね４８Ｂの付勢力で先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０
Ｃ、６０Ｄを半径方向内側に移動する。これにより、４
個の先端子６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄがワーク２
６のシャフト２６Ｂの外周に接触する（図９、図１０参
照）。以下図８と同様の工程でワーク２６のシャフト２
６Ｂの外径が測定される。
【００３０】また、寸法測定装置１０は式(1) 、(2) に
示すように、Ｘ方向の位置ズレ△Ｘ、及びＹ方向の位置
ズレ△Ｙを求めることができるので、ワーク２６に複数
の孔やシャフト等が形成されている場合、それぞれの芯
間距離を測定することができる。さらに、寸法測定装置
１０は図１１、図１２に示すように長さ測定や、段差測
定を行うことができる。
示すように、Ｘ方向の位置ズレ△Ｘ、及びＹ方向の位置
ズレ△Ｙを求めることができるので、ワーク２６に複数
の孔やシャフト等が形成されている場合、それぞれの芯
間距離を測定することができる。さらに、寸法測定装置
１０は図１１、図１２に示すように長さ測定や、段差測
定を行うことができる。
【００３１】前記実施例では一対の板ばね４２Ａ、４２
Ｂを使用して寸法装置１０のベース４１に先端子６０を
支持したが、これに限らず、寸法測定装置本体の軸芯を
中心とする同心円の半径方向に先端子６０を移動可能な
ボールスライド機構等を使用してもよい。
Ｂを使用して寸法装置１０のベース４１に先端子６０を
支持したが、これに限らず、寸法測定装置本体の軸芯を
中心とする同心円の半径方向に先端子６０を移動可能な
ボールスライド機構等を使用してもよい。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る寸法測
定装置によれば、移動手段で４個の測子を、寸法測定装
置本体の軸心を中心とする同心円の半径方向に移動する
ことができる。従って、被測定物の孔径の内周やシャフ
トの外径を同時に４箇所測定することができ、さらに、
被測定物の孔径寸法やシャフトの外径寸法が大きく変化
した場合でも、使用することができる。
定装置によれば、移動手段で４個の測子を、寸法測定装
置本体の軸心を中心とする同心円の半径方向に移動する
ことができる。従って、被測定物の孔径の内周やシャフ
トの外径を同時に４箇所測定することができ、さらに、
被測定物の孔径寸法やシャフトの外径寸法が大きく変化
した場合でも、使用することができる。
【００３３】また、本発明によれば、４個の測子は、４
個の測子の位置を調整可能な手段を介して弾性部材に連
結されていて、この調整手段は４個の測子の相対位置関
係を調整する。従って、寸法測定装置が設けられた３次
元座標測定機の測定精度にたよらずに高精度の測定が可
能である。これにより、短時間の測定が可能で、かつ、
広範囲の孔径やシャフト径を高精度に測定することがで
きる。
個の測子の位置を調整可能な手段を介して弾性部材に連
結されていて、この調整手段は４個の測子の相対位置関
係を調整する。従って、寸法測定装置が設けられた３次
元座標測定機の測定精度にたよらずに高精度の測定が可
能である。これにより、短時間の測定が可能で、かつ、
広範囲の孔径やシャフト径を高精度に測定することがで
きる。
【図１】本発明に係る寸法測定装置が使用されているイ
ンライン計測機の斜視図
ンライン計測機の斜視図
【図２】本発明に係る寸法測定装置の要部拡大図
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図
【図４】本発明に係る寸法測定装置の測子の芯ズレのチ
ェック方法を説明した図
ェック方法を説明した図
【図５】本発明に係る寸法測定装置の測子の芯ズレのチ
ェック方法を説明した図
ェック方法を説明した図
【図６】本発明に係る寸法測定装置の測子の芯ズレのチ
ェック方法を説明した図
ェック方法を説明した図
【図７】本発明に係る寸法測定装置の測子の芯ズレのチ
ェック方法を説明した図
ェック方法を説明した図
【図８】本発明に係る寸法測定装置でワークの孔径を測
定する場合について説明した図
定する場合について説明した図
【図９】本発明に係る寸法測定装置でワークのシャフト
径を測定する場合について説明した図
径を測定する場合について説明した図
【図１０】本発明に係る寸法測定装置でワークのシャフ
ト径を測定する場合について説明した図
ト径を測定する場合について説明した図
【図１１】本発明に係る寸法測定装置で長さ測定を行う
場合について説明した図
場合について説明した図
【図１２】本発明に係る寸法測定装置で段差測定を行う
場合について説明した図
場合について説明した図
１０…寸法測定装置 １０Ａ…軸心 １１…インライン計測機（３次元座標測定機） ２６…被測定物 ３２…移動手段 ３４…調整手段 ３６…測子 ３８…検出器 ３９…計測処理手段 ４１…ベース（寸法測定装置本体） ４２Ａ、４２Ｂ…板バネ（弾性部材）
Claims (3)
- 【請求項１】 寸法測定装置本体と、 前記寸法測定装置本体の軸心を中心とする同心円上に等
間隔に配置されると共に、前記寸法測定装置本体に前記
同心円の半径方向に移動自在に配設された４個の測子
と、 該４個の測子を前記同心円の半径方向に移動する移動手
段と、 前記４個の測子の半径方向の移動量を検出する検出器
と、 該検出器が検出した前記４個の測子の半径方向の移動量
に基づいて、被測定物の孔径やシャフト外径等の計測処
理を行う計測処理手段と、 を備えたことを特徴とする寸法測定装置。 - 【請求項２】 前記４個の測子は、前記４個の測子の位
置を調整可能な手段を介して前記寸法測定装置本体に連
結されたことを特徴とする請求項１の寸法測定装置。 - 【請求項３】 前記寸法測定装置は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向
に移動可能な３次元座標測定機に取り付けられたことを
特徴とする請求項１の寸法測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24768792A JPH06201302A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | 寸法測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24768792A JPH06201302A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | 寸法測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06201302A true JPH06201302A (ja) | 1994-07-19 |
Family
ID=17167154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24768792A Pending JPH06201302A (ja) | 1992-09-17 | 1992-09-17 | 寸法測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06201302A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001116503A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-04-27 | Nippon Kinzoku Kagaku Kk | 内径測定装置 |
| JP2002231660A (ja) * | 2001-12-17 | 2002-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置のスピンドル移動機構 |
| JP2012145494A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| JP2012154942A (ja) * | 2012-04-06 | 2012-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
| CN102967226A (zh) * | 2012-11-14 | 2013-03-13 | 无锡麦铁精密机械制造有限公司 | 一种沟槽直径检具 |
| JP2014130154A (ja) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
| CN104897101A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-09-09 | 南车戚墅堰机车有限公司 | 电机定子内径定位仪 |
| JP2019152504A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社東京精密 | 接触式の外径測定装置及び外径測定方法 |
| CN112710271A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-27 | 苏州泰科贝尔直驱电机有限公司 | 一种高精度三轴联动旋转平台 |
-
1992
- 1992-09-17 JP JP24768792A patent/JPH06201302A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001116503A (ja) * | 1999-10-20 | 2001-04-27 | Nippon Kinzoku Kagaku Kk | 内径測定装置 |
| JP2002231660A (ja) * | 2001-12-17 | 2002-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置のスピンドル移動機構 |
| JP2012145494A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
| JP2012154942A (ja) * | 2012-04-06 | 2012-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
| CN102967226A (zh) * | 2012-11-14 | 2013-03-13 | 无锡麦铁精密机械制造有限公司 | 一种沟槽直径检具 |
| JP2014130154A (ja) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真円度測定装置における心ずれ量算出方法 |
| CN104897101A (zh) * | 2015-06-23 | 2015-09-09 | 南车戚墅堰机车有限公司 | 电机定子内径定位仪 |
| JP2019152504A (ja) * | 2018-03-02 | 2019-09-12 | 株式会社東京精密 | 接触式の外径測定装置及び外径測定方法 |
| CN112710271A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-04-27 | 苏州泰科贝尔直驱电机有限公司 | 一种高精度三轴联动旋转平台 |
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