JPH06201320A

JPH06201320A - 測定部によつて相互に分離された組込ユニツトおよび反射ユニツトを有する干渉計

Info

Publication number: JPH06201320A
Application number: JP5272991A
Authority: JP
Inventors: Voirin Guy; ギュイ・ボワラン; Farko Lucien; ルシアン・ファルコ
Original assignee: CSEM Centre Suisse dElectronique et de Microtechnique SA Recherche et Développement
Current assignee: CSEM Centre Suisse dElectronique et de Microtechnique SA Recherche et Développement
Priority date: 1992-10-06
Filing date: 1993-10-06
Publication date: 1994-07-19
Also published as: FR2696545A1; EP0591911A2; FR2696545B1; DE69310071T2; EP0591911A3; EP0591911B1; DE69310071D1; ATE152237T1

Abstract

(57)【要約】【目的】温度変化などに影響されない干渉計を提供す
る。【構成】組込ユニツト（５２）と、測定部（５６）に
よつて組込ユニツトから分離された測定ミラー（４４）
とを含む干渉計。この干渉計は、上記組込ユニツトに、
光学距離等化手段（８２）と、測定光束（６８）と、基
準光束（７０）とを含むことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、組込ユニツトと、少な
くとも１つの測定部によつて上記組込ユニツトから分離
された反射ユニツトとを含む干渉計に関する。この種の
干渉計は、測定部に充填された媒体の屈折率の変化を測
定するのに使用する。更に、上記干渉計は、例えば、レ
ーザダイオードから得られた光束の波長を媒体中で安定
化するのに使用される。

【０００２】

【従来の技術】図１に示した、本出願人の研究所で最近
開発した干渉計は、本発明の目的の開示に利用できる。
この図１に、組込ユニツト２と、測定部６によつて組込
ユニツト２から分離された測定ミラー４とを含む。ここ
で、組込ユニツトとは、相互に動作するように結合さ
れ、１つのモジユールとして支持された各種要素を統合
するユニツトを意味する。この図１に示した干渉計は、
マッハ−ツェンダ型である。組込ユニツト２は、光学的
入力ガイド１０を表面に被覆した基板８と、第１分岐１
２ａおよび第２分岐１２ｂを含む光学的測定ガイドと、
第１分岐１４ａおよび第２分岐１４ｂを含む光学的基準
ガイドとから形式される。この組込ユニツト２は、更
に、位相復調器１６を含む。この復調器１６の出力に
は、それぞれ、別個に４つの出力ガイド１８ａ〜１８ｄ
を介して検知器（図示してない）に伝達される４つの別
個の光学信号が得られる。

【０００３】この場合、光学的測定ガイドの波長は、実
質的に、光学的基準ガイドの波長に等しい。基板８の１
つの側面２０に伝達レンズ２２および２４が設けてあ
る。これらのレンズ２２および２４は、光学的測定ガイ
ド２６に連結されている。第１レンズ２２は、光学的測
定ガイド内を伝播できる測定光束２８のコリメーシヨン
（平行化）に役立つ。第２レンズは、光束２８が測定ミ
ラー４で反射された後、光学的測定ガイドの分岐１２ｂ
に上記測定光束２８をフオーカシング（焦点合わせ）す
るのに役立つ。この場合、測定ミラー４は、中空立方体
のコーナの形の後方反射鏡から形成され、伝達レンズ２
２および２４は、屈折率勾配を有するオートフオーカシ
ングレンズＧＲＩＮから形成される。

【０００４】光学的基準ガイドの２つの分岐１４ａ、１
４ｂは、基板８の側面２０によつて決定される平面で再
統合される。この範囲には、基準ミラー３０が設けてあ
る。この場合、光学的基準ガイドの分岐１４ａおよび１
４ｂは、基準ミラー３０とともに、基準ガイド１４（１
４ａ、１４ｂ）内を伝播できる基準光束３４のための基
準光路３２を形成する。測定ガイド１２（１２ａ、１２
ｂ）および基準ガイド１４は、入力ガイド１０の一端を
形成する同一原点３６から生ずる２つのガイドである。

【０００５】測定光路および基準光路は、それぞれ、測
定光学距離および基準光学距離を決定する。光学距離
は、光路の屈折率の数学的積分によつて定められる。こ
の場合、測定部に充填された媒体の屈折率を求めるため
のまたは上記媒体内でレーザ源の波長を安定化するため
の干渉計式測定値は、測定光学距離と基準光学距離との
間の光学距離差の関数である。従って、測定部に充填さ
れた媒体の特性の正確な測定値を得るには、第１に、測
定部における測定光路と基準光路との間の長さの差を一
定に保持しなければならず、第２に、上記測定部外にお
いては測定光学距離を基準光学距離と常に等しくしなけ
ればならない。

【０００６】これに関連して、図１の装置には、多くの
欠点がある。第１に、測定ミラーは、組込ユニツトと一
体ではなく、測定光路と基準光路との間の長さの上記差
は、組込ユニツトに対する測定ミラーの僅かな変位にも
とづき、変化する。第２に、伝達レンズ２２、２４が組
込ユニツト内に設けてあるので、測定光路と基準光路と
の間で、光学距離の差が、測定媒体の屈折率変化に関係
なく、例えば、組込ユニツトの温度変化にもとづいて生
ずる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、上記
欠点を排除することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】従って、本発明は、組込
ユニツトと、その組込ユニツトに対して所定方向に配列
された測定ミラーとを含む干渉計であつて、測定ミラー
が、測定部に隣接し、その測定部は、上記組込ユニツト
と上記測定ミラーとの間に設けてある。上記組込ユニツ
トは、基準ミラーに結合される基準光路を部分的に形成
する基準ガイドと、上記測定ミラーと結合される測定光
路を部分的に形成する測定ガイドとを有する。基準光束
および測定光束は、それぞれ、上記基準ガイドおよび上
記測定ガイド内を伝播できる。上記組込ユニツトは、上
記測定光路に設けてあつて上記測定ガイドから上記測定
光束を放射させ得る第１伝達手段を含む。この第１伝達
手段によつて、上記測定光束が、上記測定部に入って、
その中を伝播し、上記測定ガイドに少なくとも部分的に
再び入射させることができる。本干渉計は、上記測定ミ
ラーおよび上記基準ミラーが、上記基準光束および上記
測定光束の唯一の反射手段を形成することを特徴とす
る。

【０００９】上記特徴によれば、反射ユニツトが組込ユ
ニツトに対して僅かに変位されても、測定光路と基準光
路と間の長さの差は一定に保持され、測定光路と基準光
路と間の長さの上記差は、反射ユニツトのジオメトリの
みに依存する。反射ユニツトについて適切な、特に、温
度変化に対して敏感でない材料を選択すれば、上記測定
光路と基準光路との間の長さの上記を経時的に確実に一
定に保持できる。

【００１０】本発明の別の特徴では、干渉計の上記組込
ユニツトは、上記測定ガイドおよび上記基準ガイドと接
する入力位相復調器を含み、これら２つのガイドが、実
質的に同一の物理的性質および長さを有し、上記組込ユ
ニツトが、基準光路に設置された第２伝達手段を含み、
上記第２伝達手段が、上記基準ガイドから上記基準光束
を放射させることができ、かくして、上記基準光束は、
上記測定部内を伝播でき、上記第２伝達手段によつて上
記基準ガイドに少なくとも部分的に再び入射させること
ができ、上記第２伝達手段が、上記基準光束のために、
上記測定光束のために上記第１伝達手段によつて形成さ
れた光学距離と実質的に同一の光学距離を形成する。こ
の特徴によって、基準光学距離は、上記組込ユニツトに
おいて、測定光学距離に実質的に等しいくなる。従っ
て、測定部において実施した測定が、例えば、組込ユニ
ツトの温度変化によつて擾乱されることはない。

【００１１】本発明の特別な実施例では、第１、第２伝
達手段は、それぞれ、第１、第２レンズによつて形成さ
れる。本発明の別の利点は、実施例を示す添付の図面を
参照した下記の説明から明らかであろう。

【００１２】

【実施例】図２および３を参照して、干渉計の第１実施
例について説明する。この干渉計は、マッハ−ツェンダ
型である。図２に示した如く、干渉計は、組込ユニツト
４２と、組込ユニツト４２に対して所定方向へ配列した
反射ユニツト４４とを有し、反射ユニツトは、測定部４
６に接し、上記測定部は、反射ユニツト４４と組込ユニ
ツト４２との間に設けてある。この組込ユニツト４２
は、光学的入力ガイドを表面に被覆した基板８と、第
１、第２分岐１２ａ、１２ｂを含む光学的測定ガイド１
２と、第１、第２分岐１４ａ、１４ｂを含む光学的基準
ガイド１４とから形成される。測定ガイド１２および基
準ガイド１４は、位相復調器１６に接続され、上記復調
器において、それぞれ、測定ガイド１２の分岐１２ｂお
よび基準ガイド１４の分岐１４ｂ内を伝播してくる測定
光束４８と基準光束５０との間に干渉が生ずる。

【００１３】組込ユニツト４２の基板８の側面２０に
は、実質的に等しい３つの伝達レンズが設けてある。２
つの第１レンズ２２および２４は、光学的測定ガイド５
２に設けてあり、この測定ガイドは、上記測定ガイド１
２、レンズ２２、２４および反射ユニツト４４によつて
形成され、測定光束４８を伝播させることができる。第
３レンズ５４は、基準光路５６に設けてあり、上記基準
ガイド１４、レンズ５４および反射ユニツト４４によつ
て形成され、基準光束５０を伝播させることができる。

【００１４】各レンズは、組込ユニツト４２と測定部４
６との間の外部ジオプトリーを定める。特に、外部ジオ
プトリー２３および外部ジオプトリー５５は、それぞ
れ、レンズ２２および５４によつて形成される。従っ
て、レンズ５４の光軸（図面の簡略化のため図示してな
い）が、組込ユニツト４２および反射ユニツト４４の上
記配列方向を定める。

【００１５】基準ガイド１４の分岐１４ａ、１４ｂおよ
びレンズ５４は、分岐１４ａから出た光束が、反射ユニ
ツトで反射された後、再び分岐１４ｂに導入されるよう
に設計しなければならない。実際には、このため、分岐
１４ａ、１４ｂの端部をレンズ５４の光軸に関して角度
的に僅かにずらす。

【００１６】３つのレンズ２２、２４、５４は、例え
ば、測定ガイド１２および基準ガイド１４の分岐１２ａ
および１４ａから出た測定光束４８および基準光束５０
を平行にすることができ、更に、反射ユニツト４４によ
つて上記測定ガイド１２および基準ガイド１４内に反射
された測定光束４８および基準光束５０を焦点合わせを
行うことができる、屈折率勾配を有する、ＧＲＩＮ型の
オートフオーカシングレンズである。

【００１７】更に、別の実施例（図示してない）によれ
ば基板８の測定ガイドおよび基準ガイドの延長部分に直
接にレンズを形成できる。この場合、用語「レンズ」と
は、光束がランダムに且つ相反的に伝播する媒体へ光学
的ガイドから光束を通過させることができる伝達手段の
ための一般的用語である。更に、別の実施例では、伝達
手段は、コリメーシヨン（平行化）機能を有する回折格
子から形成できる。

【００１８】測定光束４８は、組込ユニツト４２から出
るときレンズ２２を通り、反射ユニツト４４によつて反
射された後に上記組込ユニツト４２に再び入るときにレ
ンズ２４を通る。基準光束５０に関して云えば、反射ユ
ニツトの方向へ出る光束および反射ユニツト４４で反射
された後に組込ユニツトに入る光束とも、組込ユニツト
４２と測定部４６との間の通過は、レンズ５４によつて
行われる。

【００１９】光学的測定ガイド１２および基準ガイド１
４の形状は、１つのガイドの長さが、実質的に、別のガ
イドの長さと等しくなるよう定めてある。結合レンズ２
２、２４および５４は同一であるので、組込ユニツトの
基準光学距離と上記組込ユニツトの測定光学距離とは、
実質的に等しく、組込ユニツト１２の基板８の表面のガ
イドの物理的性質は類似している。

【００２０】好ましくはモノブロツク構造を有するユニ
ツト４４は、測定光束４８を反射するための第１、第２
反射側面６０、６２を含み、これらの２つの面は、測定
ミラーを構成し、上記光学的測定ガイド１２およびレン
ズ２２、２４とともに測定光路５２を形成するのに役立
つ。上記第１、第２面６０、６２は、それぞれ、第１平
面６４と第２平面６６を定め、上記平面は、９０°の交
差角を有し、交差線６８を形成する。

【００２１】反射ユニツト４４は、更に、基準光束５０
を反射し基準ミラーを形成する第３反射側面７０を含
む。この第３面７０は、上記各平面６０、６２と４５°
の交差角をなす平面７２を形成する。反射ユニツト４４
は、レンズ５４の光軸が平面７２に対して９０°の角度
をなすように配置する。

【００２２】図２に示した第１実施例の反射ユニツト４
４は、図３には、斜視図として示した。更に、第３面７
０は、平面７２に平行であり交差線６８を含む平面７４
に対して２つの面６０、６２の側にある。

【００２３】測定光学距離と基準光学距離との間の光学
距離の差は、測定部４６の媒体の屈折率の２倍と、平面
７２、７４の間の距離に対応する距離Ｄとの積によつて
与えられる。従って、位相復調器１６における干渉結果
は、反射ユニツト４４のジオメトリおよび測定部４６に
充填された測定媒体の屈折率によつて与えられる距離Ｄ
のみに依存する。

【００２４】本発明の第１実施例の変更例を示す図４
（反射ユニツトのみを示した）を参照する。この場合、
反射ユニツト７８は、図２、３に示した反射ユニツト４
４とは異なる幾何学的形状を有する。図４に示した如
く、第３反射面７１は、上記平面７４に常に平行な平面
８０を形成し、この平面７４に対して面６０、６２の別
の側にある。

【００２５】本発明に係る反射ユニツトのこの特殊な実
施例には、深さを除いた反射ユニツト７８の他の寸法と
は無関係に距離Ｄを選択できるという利点がある。従っ
て、例えば、測定光学距離と基準光学距離との差は、図
３の実施例の場合の差よりも大きくなる。従って、被測
媒体の屈折率の測定精度が向上されるという利点が得ら
れる。

【００２６】以下では、本発明に係る干渉計の第２実施
例を示す図５を参照する。図５において、既述の部材に
ついては、あらためて説明しない。本発明に係る第１実
施例に対するこの第２実施例の利点は、光学的測定ガイ
ド１２の２つの分岐１２ａ、１２ｂと光学的基準ガイド
１４の２つの分岐１４ａ、１４ｂとがそれぞれ完全に対
称であるという点にある。特に、光学的基準ガイド１４
の分岐１４ａ、１４ｂの端部は完全に平行である。この
構造を得るため、基準光路９０に２つのレンズ８６、８
８を設ける。レンズ８６は、組込ユニツト９４から出る
基準光束９２のコリメーシヨンに役立つ。このレンズ８
６は、上記組込ユニツトと測定部４６との間の外部ジオ
メトリ８７を定める。レンズ８８は、反射ユニツト９６
で反射された後に組込ユニツト９４に入る光束９２を基
準ガイドにおいてフオーカシングするのに役立つ。反射
ユニツト９６は、第１実施例の場合と同様に、測定光束
４８を反射し測定ミラーを形成する２つの面６０、６２
を含む。更に、基準光束９２を反射し基準ミラーを形成
する２つの別の反射側面１００、１０２が設けてある。
これらの面１００、１０２は、交差線１０４に沿つて交
差し、９０°の交差角をなす。面１００、１０２は、そ
れぞれ、面６０、６２に平行である。

【００２７】交差線６８と交差線１０４と間の距離Ｄ
は、測定光路５２と基準光路９０との間の長さ差の１／
２に対応する。距離Ｄの数値は、反射ユニツト９６の構
造のみに依存する。従って、この第２実施例の干渉計の
ために選択した用途に最適に適合する所定の距離Ｄを選
択できる。

【００２８】この第２実施例には、上述の第１実施例に
比して別の利点がある。なぜならば、測定光束４８およ
び基準光束９２が、組込ユニツト９４と反射ユニツト９
６との間を平行に伝播するからである。かくして、測定
精度を低下することなく、組込ユニツト９４に対して反
射ユニツト９６を移動できる。更に、組込ユニツト９４
から出る基準光束と組込ユニツトに入る基準光束とが、
平行で重なり合わず、組込ユニツト９４と測定部４６と
の間の放射基準光束の伝達手段が、反射ユニツト９６で
反射された後に組込ユニツト９４に入射する基準光束の
伝達手段とは異なるので、位相復調器１６に達する基準
光束は、上記位相復調器１６に入る測定光束の振幅と実
質的に等しい振幅を有し、従って、干渉結果の検知に有
利である。更に、特に、上記実施例の変更例（図示して
ない）にもとづき、測定ミラーおよび基準ミラーが、そ
れぞれ、中空立方体のコーナの形の第１、第２後方反射
鏡を形成でき、第１後方反射鏡は、第２後方反射鏡に基
準光束を送るための開口を有することができる。

【００２９】更に、図５の場合、４つの検知器からなる
ユニツト１１０が、組込ユニツト９４の基板８の１つの
側面に設けてある。更に、レーザダイオード１１２が、
上記側面に設けてある。上記検知器に達する信号が位相
の積分である場合は、２つの検知器で、干渉結果を十分
に解析できる。

【００３０】以下に、図６、７を参照して、位相復調器
１６を更に詳細に説明する。ここで、注意するが、光学
干渉素子について選択した実施例は、全く、限定的では
ない。別の例は、「ＴｅｃｈｎｉｓｃｈｅｓＭｅｓｓ
ｅｎ」誌５８（１９９１）４、ｐ１５２〜１５７の論
文「ＩｎｔｅｇｒｉｅｒｔｏｐｔｉｓｃｈｅｓＭｉｃ
ｈｅｌｓｏｎ-Ｉｎ-ｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒｍｉｔ
ＱｕａｄｒａｔｕｒｄｅｍｏｄｕｌａｔｉｎｉｍＧ
ｌａｓｚｕｒＭｅｓｓｕｎｇｖｏｎＶｅｒｓｃｈｉ
ｅｂｅｗｅｇｅｎ」に記載されている。この論文には、
上述の組込ユニツトの製造技術および先行技術のマイケ
ルソン干渉計が記載されている。

【００３１】図６に示した如く、位相復調器１６は、巾
Ｗおよび長さＬを有する、実質的に長方形の平面波ガイ
ドからなる。この平面波ガイドは、入射光分布から多重
像を形成する性質を有するマルチモードガイドである。

【００３２】図６、７に示した実施例の場合、基準ガイ
ド１４の分岐１４ｂを伝播する光束は、位相復調器の入
力において、光度分布Ｉ１を有し、一方、測定ガイド１
２の分岐１２ｂを伝播する光束は、上記復調器１６の入
力１１６において、光分布Ｉ２を有する。測定ガイド１
２および基準ガイド１４を伝播する上記光束は、各光度
分布Ｉ１、Ｉ２が、距離Ｌにおいて、低光度ＩＳの４つ
の像を形成するよう、復調器１６の入力１１６の特殊な
箇所に入射される。距離Ｌは、巾Ｗ、復調器１６を形
成する媒体の屈折率Ｎおよびこの復調器を伝播する光束
の波長λによつて定められる。これらの各パラメータに
長さＬを関係づける数学的関係は、Ｌ＝ＮＷ² ／λで与
えられる。距離Ｌにおいて、２つの入射光束Ｉ１、Ｉ２
は、それぞれ、別の４つの像に重畳する４つの像を形成
し、かくして、２つの入射光束の間の移相度ψの関数で
ある強度を有する４つの特殊な干渉ＩＦ１、ＩＦ２、Ｉ
Ｆ３、ＩＦ４が形成される。

【００３３】図７において、復調器出力には、実際の干
渉像ではなく、各入力信号Ｉ１、Ｉ２の強度に対する寄
与を示した。実際、各寄与は、所与の位相則によつて、
べクトル的に組合わされ、かくして、４つの出力には、
入力信号の位相関係を表す干渉像が与えられる。

【００３４】図７には、更に、復調器１６内の伝播時に
誘起される２つの光度分布Ｉ１、Ｉ２の位相差ＤＦが示
してある。復調器１６によつて誘起されるこの位相差Ｄ
Ｆは、９０°の倍数である。４５°回転して、三角法の
通常の基準軸を変更すれば、干渉ＩＦ１は、（１＋ｃ
ｏｓψ）（式中、ψは、２つの入射光束の間の移相度を
表す）にもとづき変化する光度を与え、一方、干渉ＩＦ
２、ＩＦ３、ＩＦ４は、それぞれ、（１−ｓｉｎψ）、
（１＋ｓｉｎψ）および（１−ｃｏｓψ）にもとづき変
化する光度を与える。干渉ＩＦ１および干渉ＩＦ２の強
度測定は、干渉縞の移動の追跡および方向の決定に十分
である。しかしながら、４つの重畳像を利用することに
よつて、干渉結果のコントラストを増大でき、ゼロに等
しい平均値で処理した結果が得られる。

【００３５】以下に、図８を参照して、本発明に係る干
渉計の用途について説明する。図８において、本発明に
係る干渉計の第１実施例について行つた説明は、再録し
ない。この場合、入力光束１２０は、レーザ源１２２か
ら放射され、次いで、２つの光束に分割され、この場
合、上記光束の第１光束は、作用光束１２４を形成し、
上記光束の第２光束は、本発明の第１実施例の上記光学
的ガイドを伝播するコントロール光束を形成する。

【００３６】本発明に係る干渉計は、測定部４６に充填
された媒体内の波長を安定化するのに使用される。この
ため、位相復調器１６内で干渉する測定光束４８および
基準光束５０の間の干渉結果は、光学的出力ガイド１８
ａ、１８ｂ、１８ｃ、１８ｄを介して検知手段１２８に
伝達される。

【００３７】検知手段１２８によつて検知された干渉結
果は、次いで、干渉結果を表す信号を処理する電子装置
１３０に伝達される。電子装置１３０は、少なくとも２
つの信号を発生し、第１信号は、レーザ１２２に供給さ
れる電流強度を調節するユニツト１３８に伝達され、第
２信号は、レーザの温度を、例えば、ペルチエ手段によ
つて、調節するユニツト１４０に供給される。上記用途
において、使用するレーザユニツト１２２は、レーザダ
イオードから形成され、このレーザダイオードの供給電
流および温度に依存して可変の周波数で光束を発生す
る。

【００３８】復調器１６の干渉結果を表す信号の処理ユ
ニツト１３０は、このユニツトからそれぞれユニツト１
３８、１４０に供給される信号１３４、１３６が復調器
１６内で干渉する光束４８、５０の間の移相度を一定に
保持するのに寄与するように構成されている。上記用途
に使用した本発明に係る干渉計の場合、移相度は、測定
光学距離と基準光学距離との間の光学距離の差のみに依
存し、この差は、反射ユニツトのジオメトリおよび測定
部４６に充填される媒体の屈折率のみによつて定められ
るので、所与の余弦値に対する2つの光束の間の移相度
の依存性は、上記余弦値に対する測定部４６の充填媒体
の屈折率の依存性に対応する。従って、上記系によつ
て、測定部４６の充填媒体と類似の媒体内で、媒体の屈
折率が変化しても、経時的に一定の波長を有する作用光
束１２４を供給できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本出願人の先願の干渉計の図面である。

【図２】本発明に係る干渉計の第１実施例の略図であ
る。

【図３】本発明の第１実施例に設ける如き反射ユニツト
の斜視図である。

【図４】本発明の第１実施例の変更例に設ける如き反射
ユニツトの下面図である。

【図５】本発明に係る干渉計の第２実施例の略図であ
る。

【図６】本発明の第１、第２実施例に設ける如き位相復
調器の構造を示す略図である。

【図７】第６図の位相復調器の機能を示すグラフであ
る。

【図８】レーザダイオードから来る作用光束の波長を測
定部において安定化した、本発明に係る干渉計の使用状
態を示す図面である。

【符号の説明】

１２・・・測定ガイド１４・・・基準ガイド２２；２４・・・第１伝達手段４２・・・組込ユニツト４４・・・反射ユニツト４６・・・測定部４８・・・測定光束５０・・・基準光束５２・・・測定光路５６・・・基準光路６０・・・測定ミラー７０・・・基準ミラー

フロントページの続き (72)発明者ルシアン・ファルコスイス国シイエイチ−2088 クレッシ・ルドブラン・15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】組込ユニツト（４２；９４）と、組込ユ
ニツトに対して所定方向に配列された測定ミラー（６
０；６２）とを含み、測定ミラーが、測定部（４６）に
隣接し、上記測定部は、上記組込ユニツトと上記測定ミ
ラーとの間に設けてあり、上記組込ユニツトは、基準ミ
ラー（７０；７１；１００、１０２）に結合される基準
光路（５６；９０）を部分的に形成する基準ガイド（１
４）と、上記測定ミラーと結合される測定光路（５２）
を部分的に形成する測定ガイド（１２）とを含み、基準
光束（５０；９２）および測定光束（４８）がそれぞ
れ上記基準ガイドおよび上記測定ガイド内を伝播し、上
記組込ユニツトに、上記測定光路中に上記測定ガイドか
ら上記測定光束を放射させように設けられる第１伝達手
段（２２；２４）を備て、上記測定光束が上記測定部内
を伝播できるようにし、上記第１伝達手段によつて上記
測定ガイドに少なくとも部分的に再び入射させることが
できる干渉計であって、上記測定ミラー（６０；６
２）および上記基準ミラー（７０；７１；１００、１０
２）が、上記基準光束（５０；９２）および上記測定光
束（４８）の一体とされた反射手段（４４；７８；９
６）を形成することを特徴とする干渉計。
【請求項２】上記組込ユニツト（４２；９４）が、上
記測定ガイド（１２）および上記基準ガイド（１４）と
結合された入力位相復調器（１６）を含み、これら２つ
のガイドが、実質的に同一の物理的性質および長さを有
するとともに、上記組込ユニツトが、基準光路（５６；
９０）に設置された第２伝達手段（５４；８６；８８）
を含み、その第２伝達手段で上記基準ガイド（１４）か
ら上記基準光束（５０；９２）を放射させてその基準光
束を上記測定部（４６）内を伝播させるようにし、かつ
上記第２伝達手段によつて上記基準ガイドに少なくとも
部分的に再び入射させることができるようにする一方、
上記測定光束（４８）のために上記第１伝達手段（２
２、２４）によつて形成された光学距離と上記基準光束
（５０；９２）のために上記第２伝達手段によって形成
された光学距離とが実質的に同一であことを特徴とする
請求項１の干渉計。
【請求項３】上記反射ユニツト（４４；７８；９６）
が、上記測定光束（４８）を反射するための第１、第２
反射側面（６０、６２）を含む一つのブロツクから形成
され、上記第１、第２面が、実質的に９０°に等しい交
差角を有し第１交差線（６８）を形成する第１、第２平
面を限定し、上記第１伝達手段が、上記測定光路（５
２）に設置された実質的に同一の第１、第２レンズ（２
２および２４）によつて形成され、上記第１レンズが、
上記組込ユニツト（４２；９４）から出た測定光束（４
８）を平行にする一方、上記第２レンズが、上記反射ユ
ニツト（４４；７８；９６）で反射された後に上記組込
ユニツトに入射する測定光束の焦点合わせに役立つこと
を特徴とする請求項２の干渉計。
【請求項４】上記第２伝達手段が第３レンズ（５４）
によつて形成され、上記反射ユニツト（４４；７８）が
第３平面となり上記基準光束（５０）を反射する第３反
射側面（７０；７１）を有し、上記第３平面が、実質的
に上記第１、第２平面（６４、６６）の各々と４５°交
差して上記第３レンズの光軸と９０°の角度となるよう
に配列方向を定めることを特徴とする請求項３の干渉
計。
【請求項５】上記第３面（７０）が、上記第３平面に
平行であり上記第１交差線（６８）を含む第４平面（７
４）に対して上記第１、第２面（６０、６２）と同じ側
にあることを特徴とする請求項４の干渉計。
【請求項６】上記第３面（７１）が、上記第３平面
（８０）に平行であり上記第１交差線（６８）を含む第
４平面（７４）に対して上記第１、第２面（６０、６
２）とは逆の側にあることを特徴とする請求項４の干渉
計。
【請求項７】上記反射ユニツト（９６）が、９０°で
交差して第２交差線（１０４）を形成する第３、第４反
射側面（１００）を含み、上記第３、第４面が、それぞ
れ、上記反射ユニツト（９６）の上記第１、第２面（６
０、６２）に平行であり、上記第２交差線が、上記第１
交差線（６８）から離れており、上記第２伝達手段が、
上記基準光路（９０）に配置され実質的に上記第１レン
ズ（２２）と同一の第３、第４レンズ（８６、８８）に
よつて形成され、上記第３レンズ（８６）が、上記組込
ユニツト（９４）から出た上記基準光束（９２）の平行
化に役立ち、一方、上記第４レンズ（８８）が、上記反
射ユニツト（９６）から反射された後に組込ユニツトに
入射する際に上記光束の焦点合わせに役立つことを特徴
とする請求項３の干渉計。
【請求項８】請求項１〜６の１つに記載の干渉計であ
つて、上記測定部（４６）に充填した媒体中の作用光束
（１２４）の波長の安定化に役立つものにおいて、上記
測定光束（４８）および基準光束（５０）が、制御光束
（１２６）から得られ、この制御光束および上記作用光
束が、上記干渉計に配した同じ光源（１２２）からえら
れる干渉計において、その干渉計が、更に、上記測定部
（４６）に充填された上記媒体の屈折率の変化に依存し
て上記光源の放射周波数を調節する安定化手段（１２
８、１３０、１３８、１４０）に結合されていることを
特徴とする干渉計。
【請求項９】上記光源（１２２）が、レーザタイオー
ドであり、上記安定化手段（１２８、１３０、１３８、
１４０）が、上記媒体中で上記波長の数値を経時的に一
定に保持するため上記レーザダイオード（１２２）の供
給電流および温度を調節する手段（１３０）を含むこと
を特徴とする請求項８の干渉計。