JPH06204589A - 高周波放電レーザ発振器の電極 - Google Patents
高周波放電レーザ発振器の電極Info
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- JPH06204589A JPH06204589A JP4493A JP4493A JPH06204589A JP H06204589 A JPH06204589 A JP H06204589A JP 4493 A JP4493 A JP 4493A JP 4493 A JP4493 A JP 4493A JP H06204589 A JPH06204589 A JP H06204589A
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高周波放電レーザ発振器において、放電の局
部集中を防止すると共に、周辺部との絶縁を確保し、安
定した放電を行うことのできる電極を提供する。 【構成】 第一の発明の電極は、対向する上部、下部金
属電極１、３と、これらをレーザガス流から遮蔽する上
部、下部第一誘電体５、７と、前記上部、下部金属電極
１、３の端面と前記上部、下部第一誘電体５、７の間に
充填された上部、下部第二誘電体９、１１とからなる。
第二の発明の電極は、第一の発明において上部、下部第
一誘電体５、７の誘電率が２〜２００で、上部、下部第
二誘電体９、１１の誘電率が２〜１０のものを組合せた
ものである。
部集中を防止すると共に、周辺部との絶縁を確保し、安
定した放電を行うことのできる電極を提供する。 【構成】 第一の発明の電極は、対向する上部、下部金
属電極１、３と、これらをレーザガス流から遮蔽する上
部、下部第一誘電体５、７と、前記上部、下部金属電極
１、３の端面と前記上部、下部第一誘電体５、７の間に
充填された上部、下部第二誘電体９、１１とからなる。
第二の発明の電極は、第一の発明において上部、下部第
一誘電体５、７の誘電率が２〜２００で、上部、下部第
二誘電体９、１１の誘電率が２〜１０のものを組合せた
ものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高周波放電レーザ発
振器の電極に関する。
振器の電極に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の高周波放電三軸直交形炭酸
ガスレーザ発振器の概略図で、レーザガスＧが循環する
真空容器１３に設けられた放電空間１５に、上部、下部
金属電極１、３を対向して設け、その対向表面をガラス
やセラミックス等からなる上部、下部（第一）誘電体
５、７によってガス流から遮蔽保護し、それぞれに高周
波電源を接続し、放電によってレーザガスＧを励起し、
放電空間１５に設けられた図示しない複数のミラーによ
って増幅し、紙面に垂直方向にレーザビームを発生する
ものである。
ガスレーザ発振器の概略図で、レーザガスＧが循環する
真空容器１３に設けられた放電空間１５に、上部、下部
金属電極１、３を対向して設け、その対向表面をガラス
やセラミックス等からなる上部、下部（第一）誘電体
５、７によってガス流から遮蔽保護し、それぞれに高周
波電源を接続し、放電によってレーザガスＧを励起し、
放電空間１５に設けられた図示しない複数のミラーによ
って増幅し、紙面に垂直方向にレーザビームを発生する
ものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記のような高周波放
電レーザ発振器の金属電極は、その幅が有限であるた
め、左右端部には、端効果により電界が集中し、特に右
端部はガスの下流端にあたるためレーザガスの温度の上
昇とあいまって、図３に示すように放電の局部集中が発
生する。この電界の局部集中は電極の左右端部に曲率を
つけることにより、低減することができるが、電界を緩
和して安定な放電を得るためには、曲率をかなり大きく
する必要があつた。しかし、曲率を大きくすると、金属
電極と誘電体との接触面積が減少し、放電電圧が高くな
り、電極周辺の耐圧等に新たな問題が生じた。
電レーザ発振器の金属電極は、その幅が有限であるた
め、左右端部には、端効果により電界が集中し、特に右
端部はガスの下流端にあたるためレーザガスの温度の上
昇とあいまって、図３に示すように放電の局部集中が発
生する。この電界の局部集中は電極の左右端部に曲率を
つけることにより、低減することができるが、電界を緩
和して安定な放電を得るためには、曲率をかなり大きく
する必要があつた。しかし、曲率を大きくすると、金属
電極と誘電体との接触面積が減少し、放電電圧が高くな
り、電極周辺の耐圧等に新たな問題が生じた。
【０００４】また、金属電極や誘電体は放電の際発生す
る熱や、誘電損失により加熱されるので、冷却する必要
があり、したがって、金属電極等の大気に接触している
部分は結露を発生しやすく、周辺部との絶縁が著しく低
下するという問題があった。
る熱や、誘電損失により加熱されるので、冷却する必要
があり、したがって、金属電極等の大気に接触している
部分は結露を発生しやすく、周辺部との絶縁が著しく低
下するという問題があった。
【０００５】この発明は、このような問題に鑑みて創案
されたもので、放電の局部集中を防止しすると共に、周
辺部との絶縁を確保し、安定した放電を行うことのでき
る高周波放電レーザ発振器の電極を提供することを目的
とする。
されたもので、放電の局部集中を防止しすると共に、周
辺部との絶縁を確保し、安定した放電を行うことのでき
る高周波放電レーザ発振器の電極を提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、第一の発明の高周波放電レーザ発振器の電極は、
対向する上部、下部金属電極１、３と、これらを遮蔽保
護する上部、下部第一誘電体５、７と、前記上部、下部
金属電極１、３の左右端面と前記上部、下部第一誘電体
５、７の間に充填された上部、下部第二誘電体９、１１
とからなるものである。
めに、第一の発明の高周波放電レーザ発振器の電極は、
対向する上部、下部金属電極１、３と、これらを遮蔽保
護する上部、下部第一誘電体５、７と、前記上部、下部
金属電極１、３の左右端面と前記上部、下部第一誘電体
５、７の間に充填された上部、下部第二誘電体９、１１
とからなるものである。
【０００７】第二の発明の高周波放電レーザ発振器の電
極は、第一の発明において上部、下部第一誘電体５、７
に誘電率が２〜２００のものを用い、上部、下部第二誘
電体９、１１に誘電率が２〜１０であり、第一誘電体５
の誘電率が第二の誘電率７の誘電率より大きいものを用
いたものである。
極は、第一の発明において上部、下部第一誘電体５、７
に誘電率が２〜２００のものを用い、上部、下部第二誘
電体９、１１に誘電率が２〜１０であり、第一誘電体５
の誘電率が第二の誘電率７の誘電率より大きいものを用
いたものである。
【０００８】
【作用】このように構成されているので、上部、下部金
属電極１、３のガス流側表面は上部、下部第一誘電体
５、７によってガス流から遮蔽され、その消耗劣化が防
止される。また左右端部は上部、下部第二誘電体９、１
１によって充填されているので、この端部の曲率を特に
大きくしなくても、電界の集中が起こりにくい。また、
熱伝導率の低い誘電体によって端部が大気から遮蔽され
ているので、上部、下部第二誘電体９、１１への結露が
生じにくい。また、上部、下部第一誘電体５、７及び第
二誘電体９、１１の誘電率は前記の曲率や、上部、下部
第二誘電体９、１１による放電空間の広がり等を考慮し
て、それぞれ２〜２００、２〜１０とした。
属電極１、３のガス流側表面は上部、下部第一誘電体
５、７によってガス流から遮蔽され、その消耗劣化が防
止される。また左右端部は上部、下部第二誘電体９、１
１によって充填されているので、この端部の曲率を特に
大きくしなくても、電界の集中が起こりにくい。また、
熱伝導率の低い誘電体によって端部が大気から遮蔽され
ているので、上部、下部第二誘電体９、１１への結露が
生じにくい。また、上部、下部第一誘電体５、７及び第
二誘電体９、１１の誘電率は前記の曲率や、上部、下部
第二誘電体９、１１による放電空間の広がり等を考慮し
て、それぞれ２〜２００、２〜１０とした。
【０００９】
【実施例】次に、この発明の実施例について図面に基づ
いて説明する。図１はこの発明の実施例の電極の概略図
である。図示のように、上部、下部金属電極１、３のガ
ス流側表面は上部、下部第一誘電体５、７によってガス
流から遮蔽保護されており、左右端部には比較的小さな
Ｒを付けてあり、その部には上部、下部第一誘電体５、
７との間に上部、下部第二誘電体９、１１が充填されて
いる。
いて説明する。図１はこの発明の実施例の電極の概略図
である。図示のように、上部、下部金属電極１、３のガ
ス流側表面は上部、下部第一誘電体５、７によってガス
流から遮蔽保護されており、左右端部には比較的小さな
Ｒを付けてあり、その部には上部、下部第一誘電体５、
７との間に上部、下部第二誘電体９、１１が充填されて
いる。
【００１０】上部、下部第一誘電体５、７にはガラス
（誘電率２〜３）、セラミックス（誘電率７〜１０）等
が用いられ、また、上部、下部第二誘電体９、１１には
上部、下部金属電極１、３及び上部、下部第一誘電体
５、７との密着性を考慮して、電極製作時には流動性の
あるシリコンゴム（誘電率２〜４）を真空脱泡して使用
されている。このシリコンゴムは硬化剤や加熱によって
硬化するものである。
（誘電率２〜３）、セラミックス（誘電率７〜１０）等
が用いられ、また、上部、下部第二誘電体９、１１には
上部、下部金属電極１、３及び上部、下部第一誘電体
５、７との密着性を考慮して、電極製作時には流動性の
あるシリコンゴム（誘電率２〜４）を真空脱泡して使用
されている。このシリコンゴムは硬化剤や加熱によって
硬化するものである。
【００１１】この発明の上部、下部金属電極１、３の左
右端部には、放電電圧の上昇を抑えるため、前記のよう
に比較的小さな曲率を付けてあり、その部に生ずる電界
の集中は上部、下部第二誘電体９、１１によって抑えら
れている。
右端部には、放電電圧の上昇を抑えるため、前記のよう
に比較的小さな曲率を付けてあり、その部に生ずる電界
の集中は上部、下部第二誘電体９、１１によって抑えら
れている。
【００１２】図２は、上部、下部第二誘電体９、１１に
よって放電空間における放電が広がる（薄い放電の部
分）ことを示したもので、その誘電率を上部、下部第一
誘電体５、７の誘電率より比較的小さなものを使用する
ことにより、ガス流方向への放電の不必要な広がりを防
止することができる。
よって放電空間における放電が広がる（薄い放電の部
分）ことを示したもので、その誘電率を上部、下部第一
誘電体５、７の誘電率より比較的小さなものを使用する
ことにより、ガス流方向への放電の不必要な広がりを防
止することができる。
【００１３】上部、下部第一誘電体５、７には，前記の
ようにガラス（誘電率２〜３）、セラミックス（誘電率
７〜１０）、チタン酸バリウム（誘電率２００）等の誘
電率が２〜２００程度のものを、上部第二誘電体９には
前記のガラス、シリコンゴム、セラミックス等の誘電率
が２〜１０程度のものを使用する。
ようにガラス（誘電率２〜３）、セラミックス（誘電率
７〜１０）、チタン酸バリウム（誘電率２００）等の誘
電率が２〜２００程度のものを、上部第二誘電体９には
前記のガラス、シリコンゴム、セラミックス等の誘電率
が２〜１０程度のものを使用する。
【００１４】この実施例では，上部、下部金属電極１、
３のガス流と反対の面は大気に解放されているが、この
部も上部、下部第二誘電体９、１１で覆ってもよい。こ
うすれば、この部の結露を防止することができる。
３のガス流と反対の面は大気に解放されているが、この
部も上部、下部第二誘電体９、１１で覆ってもよい。こ
うすれば、この部の結露を防止することができる。
【００１５】この実施例では、三軸直交形炭酸ガスレー
ザ発振器の電極について説明したが、この発明は、高速
軸流形ガスレーザ発振器の電極についても適用されるも
のである。
ザ発振器の電極について説明したが、この発明は、高速
軸流形ガスレーザ発振器の電極についても適用されるも
のである。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明の高周波放電レーザ発振器の電極は、特許請求の範
囲に記載の構成を備えているので、放電の局部集中を防
止すると共に、周辺部との絶縁を確保し、安定した放電
を行うことができる。
発明の高周波放電レーザ発振器の電極は、特許請求の範
囲に記載の構成を備えているので、放電の局部集中を防
止すると共に、周辺部との絶縁を確保し、安定した放電
を行うことができる。
【図１】この発明の実施例の構成の概略図である。
【図２】この発明の実施例の作用の説明図である。
【図３】従来の高周波放電三軸直交形炭酸ガスレーザ発
振器の概略図である。
振器の概略図である。
１ 上部金属電極 ３ 下部金属電極 ５ 上部第一誘電体 ７ 下部第一誘電体 ９ 上部第二誘電体 １１ 下部第二誘電体
Claims (2)
- 【請求項１】 対向する上部、下部金属電極１、３と、
これらをレーザガス流から遮蔽する上部、下部第一誘電
体５、７と、前記上部、下部金属電極１、３の左右端面
と前記上部、下部第一誘電体５、７の間に充填された上
部、下部第二誘電体９、１１とからなることを特徴とす
る高周波放電レーザ発振器の電極。 - 【請求項２】 上部、下部第一誘電体５、７の誘電率が
２〜２００で、上部、下部第二誘電体９、１１の誘電率
が２〜１０であり、第一の誘電体５の誘電率が第二の誘
電体７の誘電率より大きいことを特徴とする請求項１の
高周波放電レーザ発振器の電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4493A JPH06204589A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 高周波放電レーザ発振器の電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4493A JPH06204589A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 高周波放電レーザ発振器の電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204589A true JPH06204589A (ja) | 1994-07-22 |
Family
ID=11463292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4493A Pending JPH06204589A (ja) | 1993-01-04 | 1993-01-04 | 高周波放電レーザ発振器の電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06204589A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261357A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
-
1993
- 1993-01-04 JP JP4493A patent/JPH06204589A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261357A (ja) * | 2001-03-01 | 2002-09-13 | Amada Co Ltd | ガスレーザ発振器 |
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