JPH06188486A - 放電励起型エキシマレーザ装置 - Google Patents
放電励起型エキシマレーザ装置Info
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- JPH06188486A JPH06188486A JP36184692A JP36184692A JPH06188486A JP H06188486 A JPH06188486 A JP H06188486A JP 36184692 A JP36184692 A JP 36184692A JP 36184692 A JP36184692 A JP 36184692A JP H06188486 A JPH06188486 A JP H06188486A
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- insulators
- discharge
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- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 5
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- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザガス中で均一な励起放電を発生させ、
均一な光強度分布となるレーザビームパターンを得るこ
とを目的とする。 【構成】 主電極の表面を平坦とし、その両側に電界に
対して主電極と実効的にほぼ等しい誘電率の絶縁体を配
置する。この絶縁体の表面を主電極の表面と同一平面と
する。主電極および絶縁体の表面が平坦となっているの
で、主電極から絶縁体に至る全域にわたって電気力線の
分布は均一となる。そのため主電極間に発生する放電電
流の空間的強度分布は均一となる。これによりレーザビ
ームパターンについても、均一な光強度分布となる。
均一な光強度分布となるレーザビームパターンを得るこ
とを目的とする。 【構成】 主電極の表面を平坦とし、その両側に電界に
対して主電極と実効的にほぼ等しい誘電率の絶縁体を配
置する。この絶縁体の表面を主電極の表面と同一平面と
する。主電極および絶縁体の表面が平坦となっているの
で、主電極から絶縁体に至る全域にわたって電気力線の
分布は均一となる。そのため主電極間に発生する放電電
流の空間的強度分布は均一となる。これによりレーザビ
ームパターンについても、均一な光強度分布となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は放電励起型エキシマレー
ザ装置に関する。
ザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように放電励起型のガスレーザ装
置は、一対の対向する細長い主電極間で放電を発生させ
てレーザガスを励起し、レーザ発振を誘起するように構
成されている。図４はその従来構成を示し、レーザチャ
ンバ１内にレーザ媒質であるガスを封入しておき、主電
極２，３間で放電させてガスを励起し、レーザ光を発生
させる。４は主放電発生用のコンデンサ、５は予備電離
用のギャップ、６はガス循環用のファン、７はガスを冷
却するための熱交換器である。
置は、一対の対向する細長い主電極間で放電を発生させ
てレーザガスを励起し、レーザ発振を誘起するように構
成されている。図４はその従来構成を示し、レーザチャ
ンバ１内にレーザ媒質であるガスを封入しておき、主電
極２，３間で放電させてガスを励起し、レーザ光を発生
させる。４は主放電発生用のコンデンサ、５は予備電離
用のギャップ、６はガス循環用のファン、７はガスを冷
却するための熱交換器である。
【０００３】図５は図４の主放電部の断面図を示すもの
で、主電極２，３の表面形状は、両主電極間で平等電界
分布が得られるように理論計算によって求められたもの
で、二重曲率をもつ形状とされている。このような形状
をもつ主電極間に電界が形成された場合の、主電極の近
傍における電気力線Ｐの分布状態を示したのが図６であ
る。
で、主電極２，３の表面形状は、両主電極間で平等電界
分布が得られるように理論計算によって求められたもの
で、二重曲率をもつ形状とされている。このような形状
をもつ主電極間に電界が形成された場合の、主電極の近
傍における電気力線Ｐの分布状態を示したのが図６であ
る。
【０００４】同図に示すように電気力線Ｐは電極に垂直
に入射する。また曲率をもった電極に一様な電界を与え
た場合、電気力線Ｐは電極の中央部分では密になり、側
端部では粗になる。したがって主電極間の放電電流の密
度も同じように分布し、電極の中央部分では密になり、
側端部では粗になる。そのためレーザガスを励起するた
めの放電電流に強弱ができ、発生するレーザ光の強度分
布にも強弱が生じる。この強度分布はガウシアン分布と
呼ばれている。
に入射する。また曲率をもった電極に一様な電界を与え
た場合、電気力線Ｐは電極の中央部分では密になり、側
端部では粗になる。したがって主電極間の放電電流の密
度も同じように分布し、電極の中央部分では密になり、
側端部では粗になる。そのためレーザガスを励起するた
めの放電電流に強弱ができ、発生するレーザ光の強度分
布にも強弱が生じる。この強度分布はガウシアン分布と
呼ばれている。
【０００５】一方エキシマレーザ光を用いた加工、たと
えばエキシマレーザによる穴あけなどの加工を行なう場
合、光強度分布はビームパターン内の全域にわたって均
一であることが必要である。しかし前記したガウシアン
分布的なビームでは、光強度は強い個所から弱い個所へ
連続的に分布している。そのため従来ではビームホモジ
ナイザのような付加機器を用いて補正したり、ビームを
走査したりするようにしている。
えばエキシマレーザによる穴あけなどの加工を行なう場
合、光強度分布はビームパターン内の全域にわたって均
一であることが必要である。しかし前記したガウシアン
分布的なビームでは、光強度は強い個所から弱い個所へ
連続的に分布している。そのため従来ではビームホモジ
ナイザのような付加機器を用いて補正したり、ビームを
走査したりするようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、主電極間に
広い範囲にわたって一様な電気力線の分布を形成するこ
とによって、密度分布にむらのない励起放電電流を得る
ようにし、これにより均一な光強度分布をもつビームパ
ターン得ることを目的とする。
広い範囲にわたって一様な電気力線の分布を形成するこ
とによって、密度分布にむらのない励起放電電流を得る
ようにし、これにより均一な光強度分布をもつビームパ
ターン得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、主電極の表面
を平坦とし、その両側に電界に対して主電極と実効的に
ほぼ等しい誘電率の絶縁体を配置し、この絶縁体の表面
を主電極の表面と同一平面としてなることを特徴とす
る。
を平坦とし、その両側に電界に対して主電極と実効的に
ほぼ等しい誘電率の絶縁体を配置し、この絶縁体の表面
を主電極の表面と同一平面としてなることを特徴とす
る。
【０００８】
【作用】主電極の表面を平坦とし、その両側に置かれる
絶縁体の表面も平坦となっているので、主電極から絶縁
体に至る全域にわたって電気力線の分布は均一となる。
そのため主電極間に発生する放電電流の空間的強度分布
は均一となる。これによりレーザビームパターンについ
ても、均一な光強度分布となる。
絶縁体の表面も平坦となっているので、主電極から絶縁
体に至る全域にわたって電気力線の分布は均一となる。
そのため主電極間に発生する放電電流の空間的強度分布
は均一となる。これによりレーザビームパターンについ
ても、均一な光強度分布となる。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１、図２によって説明す
る。なお図４と同じ符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。本発明にしたがい、主電極２、３と
してその表面を平坦とし、その両側に同じく表面を平坦
とした絶縁体８、９および１０、１１を配置する。主電
極および絶縁体の表面は同一平面とされている。
る。なお図４と同じ符号を付した部分は、同一または対
応する部分を示す。本発明にしたがい、主電極２、３と
してその表面を平坦とし、その両側に同じく表面を平坦
とした絶縁体８、９および１０、１１を配置する。主電
極および絶縁体の表面は同一平面とされている。
【００１０】絶縁体１０〜１１としては、導体である主
電極と実効的にほぼ等しい誘電率のものを使用する。た
とえば誘電率が２以上のものがよい。具体的にはテフロ
ン（誘電率は２）、アルミナセラミック（誘電率は５〜
６）などが好適である。
電極と実効的にほぼ等しい誘電率のものを使用する。た
とえば誘電率が２以上のものがよい。具体的にはテフロ
ン（誘電率は２）、アルミナセラミック（誘電率は５〜
６）などが好適である。
【００１１】以上の構成において、主電極２、３の表面
が平坦であることにより、両主電極間における電気力線
は、主電極の表面に対して垂直となる。またその両側に
ある絶縁体８〜１１の表面も平坦であり、これら絶縁体
は主電極と実効的に同じ誘電率であることにより、絶縁
体間の電気力線も絶縁体の表面に対して垂直となる。こ
の電気力線の分布を示したのが図３である。
が平坦であることにより、両主電極間における電気力線
は、主電極の表面に対して垂直となる。またその両側に
ある絶縁体８〜１１の表面も平坦であり、これら絶縁体
は主電極と実効的に同じ誘電率であることにより、絶縁
体間の電気力線も絶縁体の表面に対して垂直となる。こ
の電気力線の分布を示したのが図３である。
【００１２】これからも理解されるように、放電領域
（主電極間の領域）において、電気力線はすべて主電極
に対して垂直に入射し、かつ均一に分布するようにな
る。また放電領域の境界（主電極と絶縁体との境界部）
においても、電気力線は均一に分布する。絶縁体８〜１
１には放電電流は流れないので、放電領域の境界は明確
に区画される。
（主電極間の領域）において、電気力線はすべて主電極
に対して垂直に入射し、かつ均一に分布するようにな
る。また放電領域の境界（主電極と絶縁体との境界部）
においても、電気力線は均一に分布する。絶縁体８〜１
１には放電電流は流れないので、放電領域の境界は明確
に区画される。
【００１３】したがって放電領域、すなわちレーザガス
の励起領域では全域にわたって一様な強度でレーザガス
が励起されることになり、これにより主電極間での放電
によって得られるレーザビームパターンの光強度分布は
均一となる。
の励起領域では全域にわたって一様な強度でレーザガス
が励起されることになり、これにより主電極間での放電
によって得られるレーザビームパターンの光強度分布は
均一となる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、主
電極間に均一な平等電界が形成されることになり、これ
により均一な光強度分布をもつレーザビームパターンが
得られる効果を奏する。
電極間に均一な平等電界が形成されることになり、これ
により均一な光強度分布をもつレーザビームパターンが
得られる効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】図１の部分拡大断面図である。
【図３】図１の構成における電気力線の分布図である。
【図４】従来例を示す断面図である。
【図５】図４の部分拡大断面図である。
【図６】図４の構成における電気力線の分布図である。
１ レーザチャンバ ２ 主電極 ３ 主電極 ８ 絶縁体 ９ 絶縁体 １０ 絶縁体 １１ 絶縁体
Claims (1)
- 【請求項１】 一対の対向する細長い主電極間で放電を
発生させてレーザガスを励起し、レーザ発振を誘起する
放電励起型エキシマレーザ装置において、前記主電極の
表面を平坦とし、その両側に電界に対して前記主電極と
実効的にほぼ等しい誘電率の絶縁体を配置し、前記絶縁
体の表面を前記主電極の表面と同一平面としてなる放電
励起型エキシマレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36184692A JPH06188486A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 放電励起型エキシマレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36184692A JPH06188486A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 放電励起型エキシマレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06188486A true JPH06188486A (ja) | 1994-07-08 |
Family
ID=18475054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36184692A Pending JPH06188486A (ja) | 1992-12-21 | 1992-12-21 | 放電励起型エキシマレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06188486A (ja) |
-
1992
- 1992-12-21 JP JP36184692A patent/JPH06188486A/ja active Pending
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